JP4586033B2 - 光ヘテロダイン干渉装置およびその光路長差測定方法 - Google Patents
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Description
Er=Ar・cos(2πfrt+φr)
=(Ar2+As2)
+2Ar・As・cos[2π(fr−fs)t+(φr−φs)]
……(1)
ここで、記号< >は時間平均を示す。
波長可変光源(11)と、
前記波長可変光源の出射光を受けて、被測定物を含む第1光路(L1)と前記被測定物を含まない第2光路(L2)へ出射する光分波手段(12)と、
前記第1光路を経た光と前記第2光路を経た光とを受けて合波する光合波手段(15)と、
前記第1光路を経て前記光合波手段に入射される光と前記第2光路を経て前記光合波手段に入射される光の間に所定周波数(fa、|fa−fa′|)の差を付与する周波数差付与手段(13、43、14、44)と、
前記光合波手段で合波された光を受ける光電変換器(16)とを有し、
前記光電変換器の出力信号に基づいて、前記被測定物の特性を求める光ヘテロダイン干渉装置において、
前記波長可変光源の出射光の周波数を一定速度(α)で掃引させる光周波数掃引手段(31)と、
前記光周波数掃引手段によって前記波長可変光源の出射光の周波数が前記一定速度で掃引されている間に前記光電変換器から出力される信号の周波数(fb)を検出する周波数検出手段(32)と、
前記周波数検出手段によって検出された周波数と前記所定周波数との差(Δf)を求め、該差に基づいて前記第1光路と前記第2光路の長さの差(ΔL)を、
ΔL=c・Δf/(α・n) (cは光速、nは光路の屈折率)
の演算によって算出する光路長差算出手段(33)とを設けたことを特徴としている。
前記周波数差付与手段は、
信号発生器(14)と、入射光の光周波数を前記信号発生器の出力信号の周波数分だけシフトして出射する周波数シフタ(13)とにより構成されていることを特徴としている。
前記第1光路と第2光路の少なくとも一方に光路長可変手段(21)が挿入され、該光路長可変手段により、前記光路長差算出手段によって算出された光路長差を相殺できるようにしたことを特徴としている。
波長可変光源(11)から出射された光を分波して被測定物を含む第1光路(L1)と前記被測定物を含まない第2光路(L2)に分け、前記第1光路を経た光と前記第2光路を経た光の間に所定周波数(fa、|fa−fa′|)の差を与えて合波し、該合波した光を光電変換器(16)に入射し、その出力信号に基づいて前記被測定物の特性を求める光ヘテロダイン干渉装置における前記第1光路と第2光路の長さの差を測定するための光路長差測定方法であって、
前記波長可変光源の出射光の周波数を一定速度(α)で掃引させるとともに、該掃引中に前記光電変換器から出力される信号の周波数(fb)を検出する段階(S1〜S3)と、
前記検出された周波数と前記所定周波数との差(Δf)を求め、該差に基づいて前記第1光路と第2光路の長さの差(ΔL)を、
ΔL=c・Δf/(α・n) (cは光速、nは光路の屈折率)
の演算によって算出する段階(S4、S5)とを含むことを特徴としている。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。
図1は、本発明を適用した光ヘテロダイン干渉装置20の構成を示している。
光路長差ΔLのとき、波長可変光源11から波長λ1の光Pを入射したときに得られる干渉信号Edの位相と、波長λ2の光Pを入射したときの干渉信号Edの位相との差Δθは、次の式(2)で表される。
=ΔL[(λ2−λ1)/λ1・λ2]・2π・n ……(2)
ただし、nは屈折率
Δf=f1−f2=c(λ2−λ1)/λ1・λ2 ……(3)
cは光速
で表される。
Δθ=ΔL・Δf・2π・n/c ……(4)
となる。
ΔL=c・Δθ/(Δf・2π・n) ……(5)
となり、周波数差Δfに対する位相変化量Δθが判れば、光路長差ΔLを求めることができる。
ΔL=(c/n)・Δt ……(6)
と表すことができる。
即ち、図3の処理手順に示すように、光周波数掃引手段31により波長可変光源11の出射光Pの周波数foを一定速度αで掃引させ(S1)、その間に光電変換器16から出力された干渉信号Edの波形データを図示しないメモリに記憶しておく(S2)。
また、前記実施形態では、周波数シフタ13と信号発生器14とを一組だけ用いて、一方の光路の光の周波数をシフトしていたが、図5に示すように、光路L2側だけでなく、光路L1側に挿入した周波数シフタ43に、信号発生器44から周波数fa′の信号Ea′を与え、光合波器15で合波される光の間に、|fa−fa′|の周波数差を付与してもよい。
また、図6に示すように、光源51から出射された波長固定の基準光Puを光合波器52により波長可変光源11からの出射光Pと合波し、その合波光P′を光分波器12に与え、光合波器15からの出射光Pdを波長分波器53に入射して、波長可変光源11の出射光Pを周波数シフトした成分からなる光Peと、基準光Puを周波数シフトした成分のみからなる光Pfと分けて、それぞれ光電変換器16、54に入射して、光電変換器16、54から出力されるビート周波数fbの干渉信号Ee、Efを得て、ロックインアンプ17において、基準光Puに対応した干渉信号Efを基準信号として干渉信号Eeを同期検波して、被測定物1の特性を表す信号X、Yを得る構成としてもよい。
Claims (4)
- 波長可変光源(11)と、
前記波長可変光源の出射光を受けて、被測定物を含む第1光路(L1)と前記被測定物を含まない第2光路(L2)へ出射する光分波手段(12)と、
前記第1光路を経た光と前記第2光路を経た光とを受けて合波する光合波手段(15)と、
前記第1光路を経て前記光合波手段に入射される光と前記第2光路を経て前記光合波手段に入射される光の間に所定周波数(fa、|fa−fa′|)の差を付与する周波数差付与手段(13、43、14、44)と、
前記光合波手段で合波された光を受ける光電変換器(16)とを有し、
前記光電変換器の出力信号に基づいて、前記被測定物の特性を求める光ヘテロダイン干渉装置において、
前記波長可変光源の出射光の周波数を一定速度(α)で掃引させる光周波数掃引手段(31)と、
前記光周波数掃引手段によって前記波長可変光源の出射光の周波数が前記一定速度で掃引されている間に前記光電変換器から出力される信号の周波数(fb)を検出する周波数検出手段(32)と、
前記周波数検出手段によって検出された周波数と前記所定周波数との差(Δf)を求め、該差に基づいて前記第1光路と前記第2光路の長さの差(ΔL)を、
ΔL=c・Δf/(α・n) (cは光速、nは光路の屈折率)
の演算によって算出する光路長差算出手段(33)とを設けたことを特徴とする光ヘテロダイン干渉装置。 - 前記周波数差付与手段は、
信号発生器(14)と、入射光の光周波数を前記信号発生器の出力信号の周波数分だけシフトして出射する周波数シフタ(13)とにより構成されていることを特徴とする請求項1記載の光ヘテロダイン干渉装置。 - 前記第1光路と第2光路の少なくとも一方に光路長可変手段(21)が挿入され、該光路長可変手段により、前記光路長差算出手段によって算出された光路長差を相殺できるようにしたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の光ヘテロダイン干渉装置。
- 波長可変光源(11)から出射された光を分波して被測定物を含む第1光路(L1)と前記被測定物を含まない第2光路(L2)に分け、前記第1光路を経た光と前記第2光路を経た光の間に所定周波数(fa、|fa−fa′|)の差を与えて合波し、該合波した光を光電変換器(16)に入射し、その出力信号に基づいて前記被測定物の特性を求める光ヘテロダイン干渉装置における前記第1光路と第2光路の長さの差を測定するための光路長差測定方法であって、
前記波長可変光源の出射光の周波数を一定速度(α)で掃引させるとともに、該掃引中に前記光電変換器から出力される信号の周波数(fb)を検出する段階(S1〜S3)と、
前記検出された周波数と前記所定周波数との差(Δf)を求め、該差に基づいて前記第1光路と第2光路の長さの差(ΔL)を、
ΔL=c・Δf/(α・n) (cは光速、nは光路の屈折率)
の演算によって算出する段階(S4、S5)とを含むことを特徴とする光ヘテロダイン干渉装置の光路長差測定方法。
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