JP4578033B2 - 絶縁継手 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空装置や加速器の電子銃等に用いられる絶縁継手であって、加速電極に接続された金属部材に電圧をかけることによって、電子等の荷電粒子を加速しビームを発生させるのに使用される絶縁継手に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、真空容器を備えた理化学機器では、電子等の荷電粒子を加速させるために絶縁継手(絶縁フランジ)が用いられている。この絶縁継手の基本構成を図3の断面図に、図3の絶縁継手における絶縁体1と金属部材2とのロウ付部の拡大断面図を図4に示す。これらの図において、1は絶縁体、2は金属部材、3はメタライズ層、4はニッケル(Ni)メッキ層、5はロウ材であり、主にこれらで絶縁継手は構成されている。この絶縁継手は、一般に酸化アルミニウム(Al2O3)質焼結体からなる略円筒状の絶縁体1と、絶縁体1の外周面の両端部にそれぞれ一端を嵌入しロウ付された、Fe−Ni−Co合金等の金属材料からなる略円筒状の金属部材2とから構成されている。そして、絶縁体1の両端部にロウ付された2つの金属部材2にそれぞれ異なる電圧を印加することにより、電子等の荷電粒子が加速され、絶縁継手の内部空間で荷電粒子のビームが発生する。
【0003】
金属部材2の絶縁体1へのロウ付による接合は以下のようにして行なわれる。絶縁体1は、その外周面の両端部(ロウ付部)の外径が外周面の中央部よりも小さくなるように段差部が形成されており、その段差部に予めモリブデン(Mo)−マンガン(Mn)から成るメタライズ層3とNiメッキ層4を順次被着しておき、そのメタライズ層3とNiメッキ層4が被着された絶縁体1の段差部に金属部材2がロウ材5を介して接合される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の絶縁継手においては、絶縁体1は酸化アルミニウム質焼結体、金属部材2はFe−Ni−Co合金等の金属材料からなり、酸化アルミニウム質焼結体の熱膨張係数が約7.9×10-6/℃(室温〜800℃)、Fe−Ni−Co合金の熱膨張係数が約10.8×10-6/℃(室温〜800℃)と相違することから、接合の際に両者の熱膨張係数差に起因して大きな応力が発生する。その結果、その応力が、絶縁体1の脆弱な箇所、即ち絶縁体1の外周面の両端部、特に段差部の角部に集中し、絶縁体1にクラックや割れ等を発生させるという問題点を有していた。
【0005】
従って、本発明は上記従来技術における問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、絶縁体にクラックや割れ等が発生するのを有効に防止し、また絶縁体に金属部材を強固に固定した高信頼性の絶縁継手を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の絶縁継手は、略円筒状の絶縁体の外周面の両端部をそれぞれ略円筒状の金属部材の一端に嵌入しロウ付けして成る絶縁継手であって、前記金属部材は厚みが0.3〜1mmであり、前記絶縁体は、その外周面の前記両端部の外径が前記外周面の中央部よりも小さくなるように前記中央部から前記両端部にかけて段差部が形成されているとともに該段差部と前記中央部との間の稜部が平面状の面取り部となっており、該面取り部の前記絶縁体の径方向の幅が前記金属部材の厚みの40〜60%であることを特徴とする。
【0007】
本発明は、上記の構成により、絶縁体と金属部材の熱膨張係数差に起因して発生する応力を緩和することができ、応力によって絶縁体にクラックや割れ等が発生することを有効に抑制し、絶縁体に金属部材を強固に固定した高信頼性の絶縁継手となる。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の絶縁継手を以下に詳細に説明する。本発明の絶縁継手の基本構成を図1の断面図に、図1の絶縁継手におけるロウ付部の拡大断面図を図2に示す。これらの図において、2はFe−Ni−Co合金,Cu−W等の金属材料からなる金属部材、3はメタライズ層、4はNiメッキ層、5はロウ材、11は絶縁体であり、主にこれらで絶縁継手は構成されている。なお、図1,図2において図3,図4と同じ部位には同じ符号を付している。
【0009】
そして、本発明の絶縁継手は、略円筒状の絶縁体11の外周面の両端部をそれぞれ略円筒状の金属部材2の一端に嵌入しロウ付して成るものである。
【0010】
本発明の絶縁体1は、その両端の2つの金属部材2相互を電気的に絶縁する作用を為し、一般に酸化アルミニウム質焼結体等からなる電気絶縁材料で構成される。この絶縁体11は、その外周面の両端部(ロウ付部)の外径が外周面の中央部よりも小さくなるように中央部から両端部にかけて段差部が形成されており、その段差部に予めMo−Mn等のメタライズ層3とNiメッキ層4を被着しておき、メタライズ層3とNiメッキ層4と金属部材2とをロウ材5を介して接合させる。
【0011】
メタライズ層3の厚さは8〜35μmがよく、8μm未満では、絶縁体11と金属部材2の接合強度が低下することと、両者を接合する際の応力緩和が難しくなる。35μmを超える場合、メタライズ層3の焼結時にボイド(空隙)が発生し、接合強度が低下し易くなる。
【0012】
Niメッキ層4の厚さは1〜10μmがよく、1μm未満では、ロウ材5の濡れ性が劣化する。10μmを超えると、Niメッキ層4の内部応力が高まるため、メタライズ層3とNiメッキ層4のと間で剥がれが生じやすくなる。
【0013】
ロウ材5の厚さは25〜75μmがよく、25μm未満では、絶縁体11と金属部材2を接合する際の応力緩和が難しくなる。75μmを超えると、ロウ材5が均一に流れにくくなり、溜りが生じやすくなる。
【0014】
また、絶縁体11は、段差部と外周面の中央部との間の稜部が平面状の面取り部となっており、その面取り部の絶縁体11の径方向の幅が金属部材2の厚みの40〜60%となっている。40%未満では、絶縁体11と金属部材2との接合部のうち面取り部において、熱膨張係数差に起因する応力を緩和させるようなロウ材5の裾野形状(凹形曲面状)のメニスカス形成が不十分となる。その結果、応力に耐えられず、絶縁体11の段差部の面取り部にクラックや割れ等が発生しやすくなる。60%を超えると、面取り部にロウ材5が過剰に溜り、絶縁体11と金属部材2との熱膨張係数差に起因する応力を緩和させるようなロウ材5の裾野形状のメニスカス形成が面取り部でなされなくなる。その結果、応力に耐えられず、絶縁体11の段差部の面取り部にクラックや割れ等が発生しやすくなり、また金属部材2の固定される位置が不安定になり易い。
【0015】
本発明において、絶縁体11と金属部材2との熱膨張係数差に起因する応力を緩和させるようなロウ材5の裾野形状のメニスカスは、具体的には、図2に示すようにロウ材5のメニスカスの幅が絶縁体11の面取り部の幅の50〜80%であり、かつ滑らかな凹形の円弧状等の曲面状となるように形成されていることが好ましい。
【0016】
本発明において、金属部材2の厚みは0.3〜1mmである。0.3mm未満では、外力による振動、衝撃等に対する金属部材2の強度が低下し、絶縁継手としての機械的強度が低下しその機能を維持するのが困難になる。1mmを超えると、絶縁体11は金属部材2との熱膨張差に起因する応力に耐えられず、絶縁体11にクラックや割れ等が発生し易くなる。
【0017】
絶縁体11の段差部の面取り部と絶縁体11の外周面とのなす角度は120〜150°が好ましい。120°未満では、面取り部にロウ材が過剰に溜り、絶縁体11と金属部材2との熱膨張係数差に起因する応力を緩和させるようなロウ材5の裾野形状のメニスカス形成が面取り部でなされなくなる。150°を超えると、絶縁体11と金属部材2との接合部のうち面取り部において、熱膨張係数差に起因する応力を緩和させるようなロウ材5の裾野形状のメニスカス形成が不十分となる。
【0018】
かくして、本発明は、絶縁体が、その外周面の両端部の外径が外周面の中央部よりも小さくなるように中央部から両端部にかけて段差部が形成されているとともに段差部と中央部との間の稜部が平面状の面取り部となっており、面取り部の絶縁体の径方向の幅が金属部材の厚みの40〜60%であることから、熱膨張係数差に起因する応力を緩和させるようなロウ材の裾野形状のメニスカスが面取り部で形成され、絶縁体と金属部材の接合の際に両者の熱膨張係数差に起因して発生する応力を緩和させることができ、応力によって絶縁体にクラックや割れ等を発生することが有効に抑えられる。
【0019】
【実施例】
本発明の実施例について以下に説明する。
【0020】
(実施例1)
実施例1として、図5に示す構成のものを以下のようにして製作した。純度99重量%の酸化アルミニウム質焼結体から成り、内径φaが20mm、外径φbが40mm、長さが30mm、金属部材7が嵌入する両端部の外径φcが39mm、両端部の長さが5mmであり、段差部と外周面の中央部との間の稜部に径方向の幅が0.25mm(金属部材7の厚み0.5mmの50%)の面取り部が形成された円筒状の絶縁体6を用意した。
【0021】
その絶縁体6の両端部の面取り部を含めて両端部に、Mo粉末とMn粉末と酸化ケイ素(SiO2)粉末とに適当な有機バインダや溶剤を混合してなる金属ペーストを、10〜15μmの厚さとなるように印刷塗布し、乾燥後、加湿したフォーミングガス中で1400℃の温度で焼成した。こうして、絶縁体6の面取り部を含む両端部に、Mo−Mn合金からなるメタライズ層を被着した。その後、メタライズ層上にNiメッキ層を電解メッキ法により約2μmの厚さで被着した。
【0022】
次に、絶縁体6の両端部に、外径φdが40mm、厚みが0.5mm、長さが20mmであり、Fe−Ni−Co合金からなる円筒状の金属部材7をロウ付接合した。このとき、絶縁体6の両端面に、直径φeが0.7mmの線状のAg−Cu合金からなるロウ材8のプレフォームを設置し、それを820℃に加熱して、絶縁体6の両端部と金属部材7との間の隙間にロウ材8を毛細管現象により侵入させ、絶縁体6と金属部材7とを接合した。これにより製作されたものをサンプルAとした。
【0023】
比較例1として、実施例1の絶縁体6の段差部と外周面の中央部との間の稜部に径方向の幅が0.15mm(金属部材7の厚み0.5mmの30%)の面取り部を形成したものをサンプルBとした。
【0024】
比較例2として、実施例1の絶縁体6の段差部と外周面の中央部との間の稜部に径方向の幅が0.35mm(金属部材7の厚み0.5mmの70%)の面取り部を形成したものをサンプルCとした。
【0025】
サンプルA〜Cの接合部を双眼顕微鏡を用いて観察し異常がないか検査した。その結果を表1に示す。
【0026】
【表1】
【0027】
表1より、面取り部の径方向の幅が金属部材7の厚みの50%であるサンプルAは異常が見られなかった。サンプルB,Cは、絶縁体6の両端の面取り部付近に長さ1mm程度のクラックの発生が確認された。
【0028】
(実施例2)
本実施例2では、金属部材7の厚みが0.2mmのもの(サンプルD)、0.7mmのもの(サンプルE)、1.2mmのもの(サンプルF)をそれぞれ製作し、それ以外の構成は実施例1と同様に構成した。
【0029】
サンプルD〜Fのそれぞれについて、大気雰囲気中、常温で衝撃試験{MIL−STD(Military Standard:アメリカ軍用規格)−202F METHOD213A}を行い、11ms(ミリ秒)の間に正弦半波の波形で50G(G:重力加速度)程度の衝撃を一回加え、各接合部について双眼顕微鏡を用いて観察し異常がないか試験した。その結果、サンプルDは金属部材7が変形していることが確認された。サンプルEは接合部に異常は見られなかった。サンプルFは、絶縁体6と金属部材7をロウ付する工程において絶縁体6の両端の面取り部付近に長さ1mm程度のクラックの発生が確認された。
【0030】
また、上記と同様に製作した別のサンプルD〜Fそれぞれを用意し、大気雰囲気中、常温で振動試験{MIL−STD−202F METHOD201A}を行い、周波数10〜55Hz(ヘルツ)、最大振れ幅1.52mmの振動をX,Y,Zの3方向に順次各2時間づつ加え、各接合部において異常がないかを双眼顕微鏡を用いて観察し検査した。その結果、サンプルDは金属部材7が変形していることが確認された。サンプルEは接合部に異常は見られなかった。サンプルFは、絶縁体6と金属部材7をロウ付する工程において絶縁体6の両端の面取り部付近に長さ1mm程度のクラックの発生が確認された。
【0031】
これらの結果を総合すると、サンプルDが、絶縁体6と金属部材7との熱膨張係数差に起因する応力によるクラックや割れ等が発生せず、衝撃、振動等に対して優れていることが判った。
【0032】
なお、本発明は上記実施の形態および実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を施すことは何等差支えない。
【0033】
【発明の効果】
本発明は、略円筒状の絶縁体の外周面の両端部をそれぞれ略円筒状の金属部材の一端に嵌入しロウ付けして成る絶縁継手であって、金属部材は厚みが0.3〜1mmであり、絶縁体は、その外周面の両端部の外径が外周面の中央部よりも小さくなるように中央部から両端部にかけて段差部が形成されているとともに段差部と中央部との間の稜部が平面状の面取り部となっており、面取り部の絶縁体の径方向の幅が金属部材の厚みの40〜60%であることにより、絶縁体と金属部材との接合部において絶縁体と金属部材の熱膨張係数差に起因して発生する応力を緩和することができ、応力によって絶縁体にクラック等が発生することを有効に抑制し、その結果金属部材を絶縁体に強固に固定した高信頼性の絶縁継手となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の絶縁継手について実施の形態の例を示す断面図である。
【図2】図1の絶縁継手のロウ付部の拡大断面図である。
【図3】従来の絶縁継手の断面図である。
【図4】図3の絶縁継手のロウ付部の拡大断面図である。
【図5】本発明の実施例の絶縁継手を示す断面図である。
【符号の説明】
2:金属部材
3:メタライズ層
4:Niメッキ層
5:ロウ材
11:絶縁体
Claims (1)
- 略円筒状の絶縁体の外周面の両端部をそれぞれ略円筒状の金属部材の一端に嵌入しロウ付けして成る絶縁継手であって、前記金属部材は厚みが0.3〜1mmであり、前記絶縁体は、その外周面の前記両端部の外径が前記外周面の中央部よりも小さくなるように前記中央部から前記両端部にかけて段差部が形成されているとともに該段差部と前記中央部との間の稜部が平面状の面取り部となっており、該面取り部の前記絶縁体の径方向の幅が前記金属部材の厚みの40〜60%であることを特徴とする絶縁継手。
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