JP4564686B2 - 試料中の元素分析装置 - Google Patents

試料中の元素分析装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4564686B2
JP4564686B2 JP2001213910A JP2001213910A JP4564686B2 JP 4564686 B2 JP4564686 B2 JP 4564686B2 JP 2001213910 A JP2001213910 A JP 2001213910A JP 2001213910 A JP2001213910 A JP 2001213910A JP 4564686 B2 JP4564686 B2 JP 4564686B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
sample
flow path
generated
analyzer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2001213910A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003028852A (ja
Inventor
彰弘 平野
博 内原
篤 坂東
昌彦 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Horiba Ltd filed Critical Horiba Ltd
Priority to JP2001213910A priority Critical patent/JP4564686B2/ja
Publication of JP2003028852A publication Critical patent/JP2003028852A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4564686B2 publication Critical patent/JP4564686B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば鉄鋼やセラミックスなどの素材中に含まれるC(炭素)やS(硫黄)などの元素を分析する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、鉄鋼中に微量に含まれるC、Sの定量分析法としては、酸素気流中燃焼法と赤外線吸収法とを組み合わせたものが一般に用いられている。図2は、従来のこの種の試料中の元素分析装置(以下、単に元素分析装置という)の構成を概略的に示している。この図において、1は加熱炉としての高周波加熱炉、2はこの高周波加熱炉1内に着脱自在にセットされる磁製るつぼであり、その内部には秤量された試料3が収容される。4は高周波加熱炉1にキャリアガスとしての酸素ガスgを供給するキャリアガス(酸素ガス)供給路で、5はキャリアガス(酸素ガス)ボンベである。
【0003】
6は高周波加熱炉1において試料3が加熱され、熱分解されるときに生ずるガスGが流れる流路で、このガス流路6には、発生ガスG中に含まれる酸化鉄などの酸化ダストを除去するダストフィルタ7、発生ガスG中に含まれる水蒸気(水分)を除去する除湿器8、発生ガスG中に含まれるCOをCO2 に酸化する酸化器9が設けられ、その下流側にはガス分析部10が設けられている。このガス分析部10は、CO2 およびSO2 をそれぞれ定量分析することができる例えば非分散型赤外線ガス分析計を備えている。なお、ガス流路6を流れる発生ガスGは、一定流量になるように制御される。
【0004】
11はガス分析部10からの濃度信号を適宜増幅する増幅器、12はデータ処理・表示部で、AD変換器13、濃度演算などを行うマイクロコンピュータ14、演算結果などを表示する表示部15などよりなる。
【0005】
上記構成の元素分析装置においては、例えば試料3として鉄鋼を用いる場合、この試料3を秤量して磁製るつぼ2に収容し、この磁製るつぼ2を高周波加熱炉1内にセットする。そして、高周波加熱炉1に酸素gを供給しながら試料3を加熱し燃焼(酸化)させる。この燃焼により発生したガスGには、CO、CO2 、SO2 や水蒸気が含まれている。この発生ガスGは、キャリアガスとしての酸素ガスgによって流路6に導出され、これを下流側に流れるが、その途中、ダストフィルタ7において酸化鉄などの酸化物ダストが除去され、除湿器8において水が除去され、さらに、酸化器9においてCOがCO2 に酸化されるなどの前処理を受け、この前処理後の発生ガスG中には、成分としてCO2 およびSO2 が含まれている。
【0006】
前記CO2 およびSO2 を含んだ発生ガスGは、一定流量になるように制御されてガス分析部10に導入され、赤外吸収法によってCO2 およびSO2 の濃度が測定される。このガス分析部10で検出した出力を、信号処理部12のマイクロコンピュータ14において、ガス流量、前記濃度、温度などを用いて演算・積算処理して、試料3の重量で割り算することにより、C、Sのそれぞれの質量濃度%(m/m)が得られ、これが表示部15に表示される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、例えば鉄鋼スラッジのように、NaF、CaF2 、BaF2 を含む固体試料3を上記構成の元素分析装置の高周波加熱炉1において酸化分解すると、フッ素ガスが多量に発生し、このフッ素ガスが磁製るつぼ2と反応して気体であるSiF4 を生じたり、また、試料3中に含まれる水分と反応してHFを生ずる。そして、前記ガスSiF4 やHFの赤外吸収波長帯域が測定対象元素の赤外吸収領域と同じかまたは近接している場合、前記測定対象元素の濃度が実際よりも高い目に出るといった正の干渉を引き起こす。
【0008】
また、前記試料を酸化分解したときに、塩素などのハロゲンガスが発生すると、これらのハロゲンガスは、ガス分析部10におけるセルの内面を腐食するだけでなく、ガス流路6を構成する配管や、これに設けられている除湿器8や酸化器9を腐食し、その機能の低下を招来する。
【0009】
これに対して、CaCl2 やBaF2 などのアルカリのハロゲン化塩中の微量のCやSの測定に際して発生するHFやHClを除去するために、発生したガスを、KCl、AgCl、Na2 2 3 を詰めたカラムを通過させ、
HF+KCl→KF+Cl2
Na2 2 3 +4Cl2 +5H2 O→2NaCl+2H2 SO4 +6HCl
という反応によって除去しようと試みたが、測定対象成分であるS2 が発生し、所望の分析を行うのが困難であった、
【0010】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、試料中に含まれるハロゲン元素に起因する気体の分子を確実に除去して、測定対象成分を精度よく測定することができるとともに、ガス流路を構成する配管やガス流路に設けられている各種の部材の腐食を防止することができる元素分析装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明では、加熱炉内において試料を熱分解し、そのとき発生するガスをガス流路を介してガス分析部に供給し、このガス分析部におけるガス分析結果に基づいて前記試料中の元素を定量分析する試料中の元素分析装置において、前記ガス流路中にハロゲン系の気体を吸着またはこれと反応させるためナイロン、ウレタン系、ABS系またはエポキシ系の樹脂よりなるフィルタを設けている。
【0012】
イロンは吸湿性が高くかつ耐薬品性(無機酸)に優れるとともに、ハロゲンガスに対して比較的反応を起こし易いといった性質がある。
【0013】
そして、前記ナイロンのほか、ウレタン系、ABS系およびエポキシ系の樹脂(有機系高分子素材)もHFやHClなどのハロゲン系ガスに対して同様の効果を奏するものと考えられる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の詳細を、図を参照しながら説明する。図1は、この発明の元素分析装置の一例を示すもので、この元素分析装置が図2に示した元素分析装置と大きく異なる点は、ガス流路6中に有機系高分子素材よりなるフィルタ16を設けたことである。
【0015】
より具体的には、前記フィルタ16は、例えばナイロンストッキングよりなり、このナイロンフィルタ16は、ガス流路6の最上流位置に設けられるダストフィルタ7に隣接するようにして充填される。
【0016】
上記構成の元素分析装置によって、鉄鋼スラッジ中のS(硫黄)を分析したところ、下記表1に示すような結果が得られた。
【0017】
【表1】
Figure 0004564686
【0018】
上記表1から次のことが分かる。すなわち、ガス流路6にナイロンを充填しない場合、試料にF(フッ素)を含むときには、Sの分析値が大きく変動し、バラツキが生じている。そして、ガス流路6にナイロンを充填した場合、試料にハロゲンを含まないときと含むときとにおいて分析値にバラツキはない。つまり、ハロゲンの気体分子によって測定対象成分であるSの分析結果に何の影響も及ぼされてないことが分かる。これは、ハロゲンから発生する気体の分子がナイロンフィルタ16を構成する分子に吸着されまたはこれと反応してキャリアガスから除去されるためであると考えられる。また、ナイロンの充填量を多くすると、分析可能回数が大きくなることも分かる。
【0019】
そして、ナイロンフィルタ16は、Fを含む試料を分析したときには、溶解するなど外見が著しく変化していた。また、Cl(塩素)を含む試料を分析したときには、分析後、塩素臭がしたが、長時間放置するとその臭いは無くなった。
【0020】
なお、上記ナイロンフィルタ16は、高周波加熱炉1とガス分析部10とを結ぶガス流路6に設けてあればよく、最も好ましいのは、ガス流路6の最上流位置であるが、これに限られるものではないのはいうまでもない。
【0021】
この発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、例えば、加熱炉1として電気抵抗炉を用いた元素分析装置にも同様に適用することができる。また、この発明は、インパルス炉内に試料入れた黒鉛るつぼを配置し、不活性ガスを供給しながら試料を加熱融解し、そのとき抽出されるガスを分析して、試料中の酸素、窒素または水素の少なくともいずれか一つを定量分析する元素分析装置にも適用することができる。さらに、この発明は、電気抵抗炉内に水素ガスを供給しながら試料を加熱し、そのとき発生するガスを分析して、試料中の炭素、硫黄および窒素の少なくともいずれか一つを定量分析する元素分析装置にも適用することができる。
【0022】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明においては、高周波加熱炉とガス分析部とを結ぶガス流路中に有機系高分子素材よりなるフィルタを設けるいったきわめて簡単な工夫により、分析結果に悪影響を与えたり、装置の構成部材を損傷させたりするハロゲン系の気体を確実に除去することができ、したがって、この発明によれば、ハロゲン系の元素を含む試料を分析する場合にも、高精度の測定結果を得ることができるとともに、装置を構成する部材の損傷・劣化を効果的に防止することができ、装置を長期にわたって好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の元素分析装置の一例を概略的に示す図である。
【図2】従来の元素分析装置の構成を概略的に示す図である。
【符号の説明】
1…加熱炉、3…試料、6…ガス流路、10…ガス分析部、16…フィルタ、G…発生ガス。

Claims (1)

  1. 加熱炉内において試料を熱分解し、そのとき発生するガスをガス流路を介してガス分析部に供給し、このガス分析部におけるガス分析結果に基づいて前記試料中の元素を定量分析する試料中の元素分析装置において、前記ガス流路中にハロゲン系の気体を吸着またはこれと反応させるためナイロン、ウレタン系、ABS系またはエポキシ系の樹脂よりなるフィルタを設けたことを特徴とする試料中の元素分析装置。
JP2001213910A 2001-07-13 2001-07-13 試料中の元素分析装置 Expired - Lifetime JP4564686B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001213910A JP4564686B2 (ja) 2001-07-13 2001-07-13 試料中の元素分析装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001213910A JP4564686B2 (ja) 2001-07-13 2001-07-13 試料中の元素分析装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003028852A JP2003028852A (ja) 2003-01-29
JP4564686B2 true JP4564686B2 (ja) 2010-10-20

Family

ID=19048811

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001213910A Expired - Lifetime JP4564686B2 (ja) 2001-07-13 2001-07-13 試料中の元素分析装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4564686B2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4748296B2 (ja) * 2004-03-24 2011-08-17 株式会社高杉製作所 ガス発生量測定方法及びガス発生量測定装置
CN104535402B (zh) * 2014-12-31 2017-06-23 中科天融(北京)科技有限公司 一种在线oc‑ec分析仪加热炉自动换膜装置
CN106706543A (zh) * 2017-01-05 2017-05-24 钢研纳克检测技术有限公司 基于高温燃烧红外吸收法测定石墨烯中碳、硫含量的方法
KR102107891B1 (ko) * 2018-01-19 2020-05-07 주식회사 엘지화학 다공성 실리카 내 수소의 정량분석방법
CN113670766B (zh) * 2021-08-18 2022-04-05 深圳市振华微电子有限公司 一种厚膜混合集成电路产品烘烤参数的确定方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000065722A (ja) * 1998-08-19 2000-03-03 Mitsubishi Chemicals Corp 分析装置
JP2000065699A (ja) * 1998-08-19 2000-03-03 Mitsubishi Chemicals Corp 分析用試料燃焼装置及び分析用試料燃焼装置における不活性ガス,酸素含有ガス供給制御方法並びに試料燃焼装置を有する分析システム
JP2000065696A (ja) * 1998-08-19 2000-03-03 Mitsubishi Chemicals Corp フィルタ装置及びフィルタ装置を有する硫黄分析システム

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000065722A (ja) * 1998-08-19 2000-03-03 Mitsubishi Chemicals Corp 分析装置
JP2000065699A (ja) * 1998-08-19 2000-03-03 Mitsubishi Chemicals Corp 分析用試料燃焼装置及び分析用試料燃焼装置における不活性ガス,酸素含有ガス供給制御方法並びに試料燃焼装置を有する分析システム
JP2000065696A (ja) * 1998-08-19 2000-03-03 Mitsubishi Chemicals Corp フィルタ装置及びフィルタ装置を有する硫黄分析システム

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003028852A (ja) 2003-01-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5017499A (en) Method for analyzing fluorine containing gases
JP2003065958A (ja) 硫黄の分析方法および分析装置
KR100837477B1 (ko) 미량 성분의 분석 방법 및 그 분석 장치
JP4564686B2 (ja) 試料中の元素分析装置
TWI580946B (zh) Analysis method of nitrogen in metal sample, analysis apparatus for nitrogen in metal sample, method for adjusting nitrogen concentration in molten steel and manufacturing method of steel
CN103163092B (zh) 一种火焰原子吸收光谱法对铅精矿中金的快速测定方法
JP2010096688A (ja) 水銀分析のための加熱分解装置および水銀分析装置ならびにその方法
JP2010032264A (ja) 元素分析装置
JP4909614B2 (ja) 水素化物ガス中の微量不純物分析方法及び装置
US6852543B2 (en) Method and apparatus for measurement of sulfate
JP2006284422A (ja) 有機系ハロゲン化合物の測定方法及び測定装置
JP4642602B2 (ja) フッ素ガス中の含有ガス成分の定量分析方法およびこれに用いる装置
JP4268296B2 (ja) フッ素を含む混合ガス中のフッ素濃度測定方法およびその装置
JP5968083B2 (ja) 元素分析装置
Cheng et al. Gaseous forms of nitrogen
JP2008261865A (ja) 揮発性有機化合物測定装置
US10060890B2 (en) Gas chromatograph intermediate processing apparatus and gas chromatograph
Nair et al. Application of traceable calibration for gaseous oxidized mercury in air
JP2018096926A (ja) 元素分析装置及び元素分析方法
JP6712012B2 (ja) 全イオウおよび全ハロゲン連続濃縮測定システム
JPH07277720A (ja) 多結晶シリコンの製造における塩化水素ガス分析方法
JP2708236B2 (ja) 金属試料中の微量炭素,硫黄,燐の分析方法
Brown et al. Characterising and reducing the blank response from mercury vapour sorbent tubes
JP4018140B2 (ja) 液相の工程中の容積ガス流量を決定する方法
JP4671607B2 (ja) ガス成分計測装置および排ガス排出設備

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20071225

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20100219

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100414

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100427

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100625

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100720

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100802

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130806

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4564686

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130806

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130806

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term