JP4564290B2 - 磁気センサ - Google Patents
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Description
N. Stutzke, et al, Applied Physics Letters, Vol. 82, No. 1, Jan. 6, 2003.
が所定のスペクトル周波数において極大となり、その所定の周波数スペクトルは前記外部
磁場に依存して変化する磁気抵抗効果膜と、一対の入力端と出力端を備え、前記入力端が
前記磁気抵抗効果膜に接続され、前記所定周波数の近傍において透過率が減少もしくは増
大する周波数フィルタと、前記周波数フィルタの出力端に接続する検波器とを備えること
を特徴とする磁気センサを提供する。
図1は、本発明の磁気センサに関わる第1の実施の形態を説明するための構成図である。
第1の実施の形態の磁気センサは、電界効果トランジスタ(FET)と組み合わせることによりさらに特性を向上させたものである。図5に、第1の実施の形態の磁気センサとFETとを組み合わせた例を示す。
本発明の各実施の形態による磁気センサを磁気ヘッドとして用いる場合は、図8(a)に模式的に示したように、バイアス磁場などを調節して素子の共鳴周波数とフィルタの周波数をずらすことにより記録媒体の信号を再生することが可能となる。
スパッタ成膜と電子線リソグラフィーを用いてサファイア基板上に図9(a)の断面膜式図に示す磁気抵抗効果素子1を作製した。
スペクトルピークの幅(半値幅)から見積もったギルバートの減衰係数αは約0.03である。約2.5nV/√Hzの電気的雑音に最大で約7.2nV/√Hzの磁気的雑音が重畳していることが分かる。
実施例1と同様の方法により、図9(b)に断面模式図を示したトンネル接合素子を形成した。トンネル接合素子は、Au層(厚さ100nm)/Fe層(厚さ50nm)/AlOX層(厚さ1nm)/Fe層(厚さ1nm)/Cu層(厚さ100nm)/Au層(厚さ100nm)の積層膜を備える。実施例2のAlOX層は、微小孔のない連続膜であり、隣接する2つのFe層と共にトンネル接合を形成している。
磁気共鳴周波数を持つ磁性体を用いたバンドストップフィルタについて、図12(a)の断面模式図を用いて説明する。図12(a)は、コプレナガイド型バンドストップフィルタを示す。スパッタ成膜と光リソグラフィーを用いてサファイア基板上に作製した。
実施例1のCPPGMR素子と同様の素子、および図12(b)のバンドストップフィルタを同一のサファイア基板上に作製し、両者をコプレナガイドで接続した。
3・・・バンドパスフィルタ
5・・・検波器
7・・・FET
9・・・増幅器
Claims (5)
- 磁化の熱揺らぎに起因する雑音電圧の周波数スペクトルが所定のスペクトル周波数において極大となり、その所定のスペクトル周波数は外部磁場に依存して変化する磁気抵抗効果膜と、
一対の入力端と出力端を備え、前記入力端が前記磁気抵抗効果膜に接続され、所定周波数の近傍において透過率が減少もしくは増大する周波数フィルタと、
前記周波数フィルタの出力端に接続する検波器とを備えることを特徴とする磁気センサ。 - 前記周波数フィルタは、前記所定周波数において磁気共鳴を生じて透過率が変化する磁気共鳴効果フィルタであることを特徴とする請求項1記載の磁気センサ。
- 前記磁気抵抗効果膜は、磁性体、誘電体、及び磁性体からなるトンネル接合を備え、前記磁気抵抗効果膜の出力端と配線を介して接続されたゲートを備える電界効果トランジスタを備え、前記電界効果トランジスタの出力端が前記周波数フィルタに配線を介して接続されていることを特徴とする請求項1記載の磁気センサ。
- 前記周波数フィルタは磁性体膜により構成されるバンドストップフィルタあるいはバンドパスフィルタであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気センサ。
- 前記磁気抵抗効果素子、前記周波数フィルタ、及び前記検波器が同一基板上に形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の磁気センサ。
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