JP4560627B2 - 散乱光検出方法及び走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
11 レーザーダイオード(レーザー発信器)
12 1/4波長板(円偏光変換手段)
13 回転偏光板(回転する偏光子)
20 プローブ
21 プローブ先端
31 カンチレバー
32 AFM用レーザーダイオード
33 4分割光検知器
34 電流電圧変換器
35 AFMコントローラ
41 圧電素子(脚)
42 ステージ
50 コンピュータ
61 対物レンズ
62 結像レンズ
63 光ファイバー
64 光検出器
65 電流電圧変換器
66 ロックインアンプ
70 偏光変調装置を付設した原子間力顕微鏡(走査型プローブ顕微鏡)
71 音叉型の水晶振動子を利用すると共に偏光変調装置を付設した走査型プローブ顕微鏡
80 プローブ
81 音叉型の水晶振動子
82 励振用圧電素子
90 液中セル
91 カバーガラス
L1 直線偏光
L2 円偏光
L3 変調されている直線偏光
N 近接場光
M1 回転中心
R 散乱光
Claims (6)
- 外部から照射されたレーザーを走査型プローブ顕微鏡のプローブ先端と試料との間へ直線偏光面を回転させることによりP偏光成分を変調して照射し、前記プローブ先端と前記試料との間の相互作用に基づく散乱光を前記P偏光成分に同期して検出することを特徴とする散乱光検出方法。
- 外部から照射された円偏光としたレーザーを回転する偏光子に通して走査型プローブ顕微鏡のプローブ先端と試料との間へ直線偏光面を回転させることによりP偏光成分を変調して照射し、前記プローブ先端と前記試料との間にP偏光が照射されたタイミングで前記プローブ先端と前記試料との間の相互作用に基づく散乱光を検出することを特徴とする散乱光検出方法。
- 外部から照射された円偏光としたレーザーを回転する偏光子に通してプローブ先端と試料との間へ直線偏光面を回転させることによりP偏光成分を変調して照射する偏光変調装置と、前記プローブ先端と前記試料との間の相互作用に基づく散乱光を前記P偏光成分に同期して検出する光検出部とを少なくとも有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
- 前記円偏光変換手段は、1/4波長板であることを特徴とする請求項3に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記偏光変調装置は、レーザー発信器とその光路中の円偏光変換手段と回転する偏光子とから成ることを特徴とする請求項3に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記偏光子は、偏光板であることを特徴とする請求項5に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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- 2005-03-31 JP JP2005105316A patent/JP4560627B2/ja active Active
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