JP4554283B2 - 流体混合装置 - Google Patents
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Y字型流体混合装置は、第1流体100が流される第1流入口101と第2流体110が流される第2流入口111が合流部120で合流して混合し、第1流体100と第2流体110の混合物が取り出し口130から取り出される構成である。
そこで、第1流体と第2流体をより均一に混合するために、外部からのエネルギーを用いて、第1流体と第2流体の取り出し口への流入を機械的に制御し、均一に混合する方法がある。より具体的には、図7に示すように、第1流体と第2流体を交互に取り出し口に流入するようにする。この交互に流入させる流体の量をより少なくすることにより、第1流体と第2流体をより均一に混合することが可能となる。
ナノ粒子のアプリケーションとしては、種々の分野に渡る多種多様な用途が検討さており、近年、例えば、反応、コーティング、焼結、粉砕、混練、造粒、打錠および成形など、各層材料プロセスの工程にナノ粒子を利用する技術が注目を集めている。
とりわけ、ナノ粒子の生成から混合までを一体のドライプロセスで行うことがでいる技術の開発に大きな注目が集められている。
山本圭治郎、野本明、川島忠雄、中土宣明:同軸対向衝突噴流の発振現象、油圧と空気圧(1975)pp68−77
第1噴き出し口と第2噴き出し口は同じ略矩形形状であり、第1噴き出し口から第1流体を噴き出し、第2噴き出し口から第2流体を噴き出して、第1噴き出し口と第2噴き出し口の間の空間において第1流体と第2流体とを混合する。
また、好適には、前記第1混合ノズルと前記第2混合ノズルのノズル間距離が、前記略矩形形状の短辺の長さの4〜35倍の距離である。
さらに好適には、前記一対の仕切り板の間の距離が、前記略矩形形状の長辺の長さと略等しい。
図1(a)は本実施形態に係る流体混合装置の模式構成図である。
第1混合ノズル10の第1噴き出し口11と、第2混合ノズル20の第2噴き出し口21が同軸上に対向して配置されている。
第1噴き出し口11と第2噴き出し口21は同じ略矩形形状であり、第1噴き出し口11から第1流体を第1噴流12として噴き出し、第2噴き出し口21から第2流体を第2噴流22として噴き出して、第1噴き出し口11と第2噴き出し口21の間の空間(混合領域MR)において、第1流体と第2流体とを混合する。
これらの図面において、相対的に高圧である領域を実線で囲み、相対的に低圧である領域を破線で囲んで示している。
このとき、第1噴き出し口11と第2噴き出し口21の間の空間において、第1噴流12と第2噴流22が噴流となって衝突する。
この第1噴流12と第2噴流22が衝突することにより、第1噴き出し口11と第2噴き出し口21の間の空間の中心部に高圧PMの領域が生じ、この結果、第1噴流12と第2噴流22の流れが不安定となる。
第1噴流12および第2噴流22の偏向が大きくなると、双方の噴流は互いにすれ違う。このすれ違い面は双方の噴流の巻き込みにより低圧となる。
また、第1混合ノズルと第2混合ノズルのノズル間距離は、略矩形形状の短辺の長さの4〜35倍の距離であることが好ましい。この距離が4倍未満あるいは35倍を越えると、第1噴流12と第2噴流22の混合が不均一になりやすくなり、好ましくない。
上記の仕切り板を設けることにより、衝突した噴流が発振しやすくなって、より均一に混合することができるが、この場合の均一に混合可能なアスペクト比の範囲は上記の範囲よりも広がり、1.4以上となる。この場合でも、さらに好ましくは、アスペクト比が2.9以上、またさらに好ましくは4〜6である。
またさらに、一対の仕切り板(30,31)の間の距離は、略矩形形状の長辺の長さと略等しいことがさらに好ましい。これにより第1流体の第1噴流12と第2流体の第2噴流22が、各噴き出し口の略矩形形状の長辺方向に拡散していくのが防止され、発振しやすくする効果を高めることができる。
また、μ−TAS(micro−Total Analysis System)のマイクロフルイディクス素子として活用することも可能である。
本実施形態は、第1実施形態に係る流体混合装置をより具体的にした流体混合装置である。
図2(a)は、本実施形態に係る流体混合装置の模式構成図である。また、図2(b)は、図2(a)に示す流体混合装置の構造を示すために部分毎に分解して示した模式図である。
また、図3(a)は図2(a)の流体混合装置のA方向からの側面図であり、図3(b)はB方向からの正面図である。
また、図4(a)は図2(a)の流体混合装置のC−C’における断面図であり、図4(b)は平面Dにおける断面図である。
第1噴き出し口11と第2噴き出し口21の間の空間が、第1流体の第1噴流と第2流体の第2噴流を混合させる混合領域MRとなる。
また、第1混合ノズル10の第1噴き出し口11と第2混合ノズル20の第2噴き出し口21の間のノズル間距離cは、混合させる流体の種類など例えば第1噴き出し口11および第2噴き出し口21の略矩形形状の短辺aの長さの4〜35倍の距離であることが前述のように好ましい。
例えば、2つの気体の流体に含まれるナノ粒子などの粉体の混合させる場合には、第1噴き出し口11および第2噴き出し口21の略矩形形状の短辺の長さaと長辺の長さbのアスペクト比(b/a)が4、ノズル間距離が略矩形形状の短辺aの長さの16倍程度と設定することができる。
例えば、第1混合ノズル10の混合領域MRと反対側の面に、第1流体供給管40を接続し、一方、第2混合ノズル20の混合領域MRと反対側に面に、第2流体供給管41を接続する。
ここで、第1流体供給管40から第1流体を供給し、第2流体供給管41から第2流体を供給する。第1流体は第1噴流12となって第1噴き出し口11から混合領域MRへと噴き出し、また、第2流体は第2噴流22となって第2噴き出し口21から混合領域MRへと噴き出し、同軸対向衝突噴流の発振現象により、第1流体と第2流体が混合領域MRで混合する。
混合した流体(50,51)は、混合領域MRに臨む開口部(32,33)から混合領域MRの外部へと流れだし、例えば混合した流体(50,51)がさらに合流した流体52として流れていき、所望の目的に利用される。
例えば、各流体を噴き出す前の混合領域の圧力を大気圧(0.1MPa)とする場合、第1流体供給管40および第2流体供給管41で供給する流体の圧力を1.1MPa、噴き出し口の上流と下流における圧力比を11と設定することができる。
また、例えば、各流体を噴き出す前の混合領域の圧力を大気圧より減圧する場合には、第1流体供給管40および第2流体供給管41で供給する流体の圧力を60〜90kPa、各流体を噴き出す前の混合領域の圧力を0.5〜2kPaとし、噴き出し口の上流と下流における圧力比を例えば45程度に設定することができる。
また、超音速フリージェットPVD装置において蒸発源から得た異種ナノ粒子を混合する装置として用いるような場合には、成膜された蒸着膜の均一性を測定することで、第1流体と第2流体の混合の状況を確認することができる。
図6(a)は本実施形態に係る流体混合装置の模式構成図であり、図6(b)は模式断面図である。
第1混合ノズル10および第2混合ノズル20が、第1噴き出し口11および第2噴き出し口21の近傍において、第1噴き出し口11および第2噴き出し口21へと向かって第1流体および第2流体が流れる空間の広さが、それぞれ、第1噴き出し口11および第2噴き出し口21に近い下流側よりも第1噴き出し口11および第2噴き出し口21から遠い上流側ほど広いテーパー形状となっている部分を有しており、これ以外は第1実施形態に係る流体混合装置と同様の構成である。
例えば、第1流体と第2流体が混合領域から各噴き出し口の略矩形形状の長辺方向に拡散していくのを防止する一対の仕切り板は、設けられている方が好ましいが、必ずしもなくてもよい。
混合する流体は、気体同士、液体同士あるいは固気二相流同士など、種々の流体に適用することができる。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
11…第1噴き出し口
12…第1噴流
20…第2混合ノズル
21…第2噴き出し口
22…第2噴流
30,31…仕切り板
32,33…開口部
40…第1流体供給管
41…第2流体供給管
50,51…混合した流体
52…合流した流体
100…第1流体
101…第1流入口
110…第2流体
111…第2流入口
120…合流部
130…取り出し口
MR…混合領域
Claims (5)
- 略矩形形状の第1噴き出し口を有する第1混合ノズルと、
前記第1噴き出し口と同じ形状の第2噴き出し口を有し、前記第1混合ノズルと同軸上に対向して設けられた第2混合ノズルと
を有し、
第1噴き出し口から第1流体を噴き出し、前記第2噴き出し口から第2流体を噴き出し、前記第1噴き出し口と前記第2噴き出し口の間の空間において前記第1流体と前記第2流体とを混合し、
前記第1噴き出し口と前記第2噴き出し口の間の空間を挟んで対向するように、前記略矩形形状の長辺方向に配置され、前記第1流体と前記第2流体が前記略矩形形状の長辺方向に拡散していくのを防止する一対の仕切り板を有し、
前記略矩形形状の短辺の長さaと長辺の長さbのアスペクト比(b/a)が1.4以上である
流体混合装置。 - 前記略矩形形状の短辺の長さaと長辺の長さbのアスペクト比(b/a)が2.9以上である
請求項1に記載の流体混合装置。 - 前記第1混合ノズルと前記第2混合ノズルのノズル間距離が、前記略矩形形状の短辺の長さの4〜35倍の距離である
請求項1に記載の流体混合装置。 - 前記第1混合ノズルは、前記第1噴き出し口の近傍において、前記第1噴き出し口へと向かって前記第1流体が流れる空間の広さが、前記第1噴き出し口に近い下流側よりも前記第1噴き出し口から遠い上流側ほど広いテーパー形状となっている部分を有し、
前記第2混合ノズルは、前記第2噴き出し口の近傍において、前記第2噴き出し口へと向かって前記第2流体が流れる空間の広さが、前記第2噴き出し口に近い下流側よりも前記第2噴き出し口から遠い上流側ほど広いテーパー形状となっている部分を有する
請求項1に記載の流体混合装置。 - 前記一対の仕切り板の間の距離が、前記略矩形形状の長辺の長さと略等しい
請求項1に記載の流体混合装置。
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