KR20170041441A - 유동 제어 유닛을 가진 분사 노즐 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유동 제어 유닛을 가진 분사 노즐에 관한 것이고, 구체적으로 서로 다른 유체를 서로 다른 유로로 이송시켜 분사시키는 노즐에서 적어도 하나의 유로의 일부에서 유체의 유동을 제어하기 위한 제어 유닛을 가진 분사 노즐에 관한 것이다. 분사 노즐(10)은 동일 또는 서로 다른 유체의 이송을 위한 적어도 2개의 유로(P11, P21)가 형성된 유체 연결 유닛(11a, 11b); 상기 유체 연결 유닛(11a, 11b)으로부터 이송되는 상기 유체를 동일하거나 서로 다른 경로로 토출 홀(P241)로 유도하는 유도 유닛(13); 및 상기 유도 유닛(13)에 배치되어 상기 토출 홀(P241)로 토출되는 다른 유체의 토출의 물리적 특성을 변경시키도록 유체의 유동을 유도하는 유동 제어 유닛(16)을 포함한다.

Description

유동 제어 유닛을 가진 분사 노즐{Injection Nozzle Having Control Unit of Flow}

본 발명은 유동 제어 유닛을 가진 분사 노즐에 관한 것이고, 구체적으로 서로 다른 유체를 서로 다른 유로로 이송시켜 분사시키는 노즐에서 적어도 하나의 유로의 일부에서 유체의 유동을 제어하기 위한 제어 유닛을 가진 분사 노즐에 관한 것이다.

액체 또는 기체를 고속으로 자유 공간에 분출되도록 유로의 끝에 형성되는 관을 노즐이라고 한다. 그리고 분사 또는 분출은 유체가 관 또는 노즐로부터 외부로 배출되는 현상을 의미한다. 분사 노즐은 반도체, 디스플레이 또는 모바일 제품의 생산 공정에 적용될 수 있다. 반도체, 디스플레이 또는 모바일 제품은 진화하는 소재 분야의 기술과 융합되어 비-평면, 비구면 또는 3차원 형상으로 점차적으로 변화하고 있다. 그리고 이와 같은 변화에 대응하여 설비 및 공정기술 개발의 중요성이 대두되고 있다. 일반적으로 박막 코팅 기술은 진공 시스템에서 이루어지므로 진공장비 설치 및 제조 공정의 운영으로 인하여 많은 비용이 요구된다는 단점을 가진다. 이에 대한 대안으로 나노 물질을 이용한 상압 박막 코팅 기술이 개발되고 있지만 분사 미립에 따른 재료 사용의 효율 저하 및 표면 품질의 저하라는 문제가 해결될 필요가 있다. 종래의 분사 미립 방식의 노즐은 고압으로 가압된 액체를 하나의 미세한 토출 구멍을 통하여 토출시키면서 토출 전단력에 의하여 미립자를 생성하는 1 유체 노즐 방식과 각각의 통로를 통하여 공급되는 가압된 공기와 액체를 토출 구멍으로 토출시키면서 혼합 충돌에 의하여 미립자를 생성시키는 2 유체 노즐 방식으로 구분될 수 있다. 이와 같은 분사 기술은 원하는 미립자의 생성을 위하여 토출 구멍의 직경을 최대한 작아지도록 하여야 하므로 유체가 공급되는 통로가 좁아지고 이로 인하여 많은 에너지가 요구된다는 단점을 가진다. 또한 높은 점도를 가지는 유체에 적용되기 어렵고 노즐 막힘 현상이 빈번하게 발생하여 분사 미립자가 불균일하게 발생된다는 문제점을 가진다. 추가로 높은 압력에 의한 분사 미립 과정에서 과다 비산 및 충돌 되튀김 현상으로 인하여 코팅 표면 품질이 저하되고 그리고 도착 효율이 저하되는 현상이 발생할 수 있다는 문제점을 가진다. 이와 같은 문제점의 해결을 위하여 초음파 분사 노즐이 개발되어 20 ㎛ 정도의 물 분사 미립자 생성을 위하여 적용되고 있다. 그러나 초음파 분사 노즐은 낮은 점도의 물질에 적용되기 어렵고 초음파 발진 장치의 온도로 인하여 온도 민감성 화학 물질에 적합하지 않다는 단점을 가진다. 또한 초음파 분사 노즐은 작은 운동량을 가지지므로 분사 범위가 제한되고 이로 인하여 입자의 가압을 위한 별도의 시설이 요구된다는 단점을 가진다.

분사 노즐과 관련된 선행기술로 공개특허번호 제2005-0117416호 ‘2유체 분사 노즐’이 있다. 상기 선행기술은 미세하고 균일한 크기의 분무를 위하여 액체가 고정 벽면과 마찰에 의한 속도 구배를 이루지 않도록 액체와 고정 벽과 접촉을 회피할 수 있도록 하는 구조를 가진 2유체 분사 노즐에 관하여 개시한다. 상기 선행기술은 2유체 분사 노즐에 있어서, 하단부에 다수의 혼합구가 형성된 몸체를 이루는 하우징; 및 상기 하우징의 중심부에 내삽되어 하우징과 사이에 스페이서를 형성하고, 상기 스페이서에 압축 기체를 공급하는 기체 주입구와 상기 혼합구와 동일 축에 있고, 상기 혼합구로 액체를 공급하는 액체 주입구를 가지는 내부 구조체를 포함하는 2유체 분사 노즐에 대하여 개시한다. 제시된 선행기술은 분사 노즐에 이격 공간(spacer)이 형성되는 것에 의하여 분무 입자의 불균일성이 해소될 수 있지만 분사 범위가 작아질 수 있고 분사 노즐의 막힘 현상이 발생될 수 있다는 단점을 가진다.

분사 노즐과 관련된 다른 선행기술로 등록특허번호 제1363021호 ‘분사 노즐’이 있다. 상기 선행기술은 저압력에서 미립자를 생성하고 저비산 에어커튼 분사 기능을 가지는 분사 노즐을 제공하기 위한 것으로 제1 유체를 공급하는 제1 통로와 제2 유체를 공급하는 제2 통로 및 제3 유체를 공급하는 제3 통로를 가지는 매니폴드, 상기 매니폴드에 결합되어 내측으로 상기 제1 통로에 연결되어 제1 토출구를 형성하고, 상기 제1 토출구 외측으로 제1 와류 홈으로 제2 통로에 연결되는 제1 와류자, 상기 제1 와류자를 수용하여 상기 매니폴드에 결합되어 내측으로 상기 제2 통로에 연결되어 제2 토출구를 형성하고, 상기 제2 토출구 외측으로 제2 와류 홈으로 상기 제3 통로에 연결되는 제2 와류자 및 상기 제2 와류 홈에 접촉되어 상기 제2 와류자를 수용하여 상기 매니폴드에 결합되어 내측으로 상기 제3 통로에 연결되어 제3 토출구를 형성하는 토출 캡을 포함하는 분사 노즐에 대하여 개시한다. 제시된 선행기술은 분사 노즐의 막힘 현상 해소, 분사 미립자의 균일성 및 낮은 압력의 분사 구조를 가지지만 구조가 복잡하면서 장치의 모듈가 어렵다는 단점을 가진다.

본 발명은 공지의 선행기술이 가진 높은 비용, 낮은 품질 또는 낮은 효율의 문제를 해결하기 위한 새로운 분사 노즐을 제안하기 위한 것으로 아래의 같은 목적을 가진다.

선행문헌1: 공개특허번호 제2005-0117416호(한국 에너지 기술연구원, 2005년12월14일 공개) 2유체 분사 노즐 선행문헌2: 등록특허번호 제1363021호(이노비스 주식회사, 2014년02월14일 공개) 분사 노즐

본 발명의 목적은 입자 크기의 제어가 용이하면서 미립화의 수준이 향상될 수 있도록 하는 유동 제어 유닛을 가진 분사 노즐을 제공하는 것이다.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 분사 노즐은 동일 또는 서로 다른 유체의 이송을 위한 적어도 2개의 유로가 형성된 유체 연결 유닛; 상기 유체 연결 유닛으로부터 이송되는 상기 유체를 동일하거나 서로 다른 경로로 토출 홀로 유도하는 유도 유닛; 및 상기 유도 유닛에 배치되어 상기 토출 홀로 토출되는 다른 유체의 토출의 물리적 특성을 변경시키도록 유체의 유동을 유도하는 유동 제어 유닛을 포함한다.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 유동 제어 유닛은 와류 유도를 위한 적어도 하나의 와류 홈이 형성된 회전자가 된다.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 유동 제어 유닛은 중앙 부분에 형성된 관통 홀 및 관통 홀을 기준으로 나선 형상으로 연장되는 적어도 하나의 와류 홈을 포함한다.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 유동 제어 유닛을 고정하기 위한 유동 제한 유닛을 더 포함한다.

본 발명에 따른 분사 노즐은 30 ㎛ 이하의 직경을 갖는 노즐에서 작은 에너지 및 적은 비용으로 미립자가 균질하게 생성될 수 있도록 하면서 도착 효율이 향상되고 그리고 노즐 막힘의 방지가 가능하도록 한다는 장점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 분사 노즐은 낮은 점도에서 높은 점도에 이르는 넓은 영역의 유체 분사에 적용될 수 있어 광범위한 영역의 응용이 가능하도록 한다는 이점을 가진다.

도 1a, 도 1b 및 도 1c는 본 발명에 따른 분사 노즐의 실시 예에 대한 분해도, 단면도 및 결합 상태도를 각각 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 분사 노즐에 적용될 수 있는 유동 제어 유닛의 실시 예를 각각 도시한 것이다.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.

도 1a, 도 1b 및 도 1c는 본 발명에 따른 분사 노즐의 실시 예에 대한 분해도, 단면도 및 결합 상태도를 각각 도시한 것이다.

도 1a, 도 1b 및 도 1c를 참조하면, 본 발명에 따른 분사 노즐(10)은 동일 또는 서로 다른 유체의 이송을 위한 적어도 2개의 유로(P11, P21)가 형성된 유체 연결 유닛(11a, 11b); 상기 유체 연결 유닛(11a, 11b)으로부터 이송되는 상기 유체를 동일하거나 서로 다른 경로로 토출 홀(P241)로 유도하는 유도 유닛(13); 및 상기 유도 유닛(13)에 배치되어 상기 토출 홀(P241)로 토출되는 다른 유체의 토출의 물리적 특성을 변경시키도록 유체의 유동을 유도하는 유동 제어 유닛(16)을 포함한다.

분사 노즐(10)은 유체를 정해진 부위로 토출 또는 분출시키기 위한 목적을 가진 임의의 용도를 가진 토출 구조를 포함하고, 본 발명은 토출이 되는 유체의 종류, 유체의 용도 또는 토출되는 미립자의 종류에 의하여 제한되지 않는다. 토출되는 유체는 점성을 가진 액체가 될 수 있고 본 발명에 따른 분사 노즐(10)은 임의의 점성을 가진 유체에 적용될 수 있다.

유체 연결 유닛(11a, 11b)은 다른 유체 저장 장치로부터 공급된 유체를 분사 노즐(10)로 유도하는 기능을 가질 수 있고 내부에 유로(P11, P21)가 형성될 수 있다. 유체 연결 유닛(11a, 11b)은 적어도 2개가 될 수 있고 각각의 유체 연결 유닛(11a, 11b)의 한쪽 끝은 유체의 공급을 위한 관 또는 튜브에 형성된 커넥터와 같은 부품에 결합되는 적절한 구조를 가질 수 있다. 그리고 각각의 유체 연결 유닛(11a, 11b)의 다른 끝은 유체 유입 유닛(12)에 연결될 수 있다. 각각의 유체 연결 유닛(11a, 11b)은 동일하거나 서로 다른 종류의 유체를 분사 노즐(10)로 공급할 수 있고 그리고 동일하거나 또는 서로 다른 구조를 가질 수 있다. 또한 유체 유입 유닛(12)에 제1 유체 연결 유닛(11a)에 형성된 제1 유로(P11)와 제1 유도 유로(P13)를 연결하는 관통 유로(P12)가 형성될 수 있다. 도 1b에 도시된 것처럼, 제1 유체 연결 유닛(11a)으로 기체(A)가 제1 유로(P11)로 유입될 수 있고 그리고 제2 유체 연결 유닛(11b)으로 액체(A)가 제2 유로(P21)로 유입될 수 있다. 아래에서 설명되는 것처럼, 제1 유로(P11)로 유입되는 유체는 제2 유로(P21)로 유입되는 유체를 미립자로 형성하는 기능 또는 토출 범위를 확장시키는 기능을 가질 수 있다. 유체 연결 유닛(11a, 11b)의 개수는 예를 들어 적어도 2개가 될 수 있고 그리고 각각의 유체 연결 유닛(11a, 11b)은 유입되는 기체의 유도에 적합한 구조를 가질 수 있다.

각각의 유체 연결 유닛(11a, 11b)으로 유도된 유체(A, B)는 유체 유입 유닛(12)을 경유하여 유도 유닛(13)으로 이송될 수 있다. 유체 유입 유닛(12)은 서로 다른 연결 유닛(11a, 11b)에 형성된 유로(P11, P21)를 하나의 블록으로 유도하는 기능을 가지면서 이와 동시에 기체 연결 유닛(11a, 11b)과 유도 유닛(13)을 서로 연결시키는 커넥터의 기능을 가질 수 있다. 유체 유입 유닛(12)은 이 분야에서 공지된 임의의 구조를 가질 수 있고 본 발명은 유체 연결 유닛(12)의 구조에 의하여 제한되지 않는다. 예를 들어 유체 연결 유닛(12)은 T형 커넥터 구조를 가질 수 있다.

유체 연결 유닛(11a, 11b)을 통하여 유입된 각각의 유체(A, B)는 서로 다른 경로를 통하여 유도 유닛(13)에 형성된 서로 다른 유도 유로(P13, P22)로 각각 유입될 수 있다. 도 1a 및 도 1b에 도시된 것처럼, 제2 유도 유로(P22)는 유도 유닛(13)의 위쪽으로부터 아래쪽으로 일정한 크기의 직경으로 연장되는 속이 빈 실린더 형상을 가질 수 있다. 그리고 제1 유도 유로(P13)는 제2 유도 유로(P22)의 둘레를 따라 원형의 단면을 가지는 경로를 형성할 수 있다. 제2 유도 유로(P22)는 제2 유도 유로(P22)에 비하여 작은 직경으로 연장되는 중간 유로(P23)를 거처 토출 유로(P24)에 연결될 수 있다. 토출 유로(P24)의 끝 부분은 토출 홀(P241)을 형성하게 된다. 다른 한편으로 제1 유도 유로(P13)는 제2 유도 유로(P22), 중간 유로(P23)를 따라 점차로 경로의 폭이 좁아지는 형상으로 연장되면서 이와 동시에 토출 유로(P24)에 접근하는 경로를 형성할 수 있다. 그리고 제1 유도 유로(P13)의 끝 부분은 유동 제어 유닛(16)에 연결될 수 있다.

유동 제어 유닛(16)은 토출 유로(P24)의 둘레에 배치될 수 있고 구체적으로 토출 유로(P24)가 유동 제어 유닛(16)의 중간 부분을 관통하는 구조로 배치될 수 있다. 유동 제어 유닛(16)은 제1 유도 유로(13)로 전달된 유체의 경로를 제어하는 기능을 가질 수 있고 이로 인하여 에어 갭 또는 에어 홀(15a)을 통하여 분출되는 제1 유체(A)의 유동학적 성질 또는 물리적 성질이 변하도록 하는 기능을 가질 수 있다. 그리고 이와 같은 제1 유체(A)의 물리적 특성의 변화는 토출 홀(P241)을 통하여 배출되는 제2 유체(B)의 물리적 특성이 변화도록 한다. 유동 제어 유닛(16)은 제1 유도 유로(P13)를 통하여 이송되는 제1 유체(A)를 에어 홀(15a)로 유도하여 외부로 배출시키는 기능을 가질 수 있다. 그리고 유동 제어 유닛(16)은 제1 유체(A)의 배출 과정에서 제1 유체(A)의 이송 경로가 나선 형상이 되도록 하거나, 이송 경로의 폭을 조절하거나 또는 이송 길이를 연장하는 것에 의하여 유체의 압력, 전단력 또는 속도 벡터와 같은 제1 유체(A)의 유동학적 성질 또는 물리적 성질이 변하도록 만든다. 그리고 유동 제어 유닛(16)에 의하여 특성이 변한 유체가 에어 홀(15a)을 통하여 배출이 되면서 토출 홀(P241)을 통하여 배출되는 제2 유체(B)에 영향을 미쳐 물리적 특성이 변하도록 한다. 제2 유체(B)의 물리적 특성은 예를 들어 토출되는 입자의 직경, 각 방향의 분사 압력 또는 분포 성질과 같은 것이 될 수 있다. 구체적으로 제2 유체(B)의 미립화가 향상되고 그리고 입자의 분포 특성이 향상될 수 있다. 또한 분사 거리가 적절하게 조절될 수 있다.

도 1a 및 도 1b에 도시된 것처럼, 유동 제어 유닛(16)은 고정 캡(15)에 의하여 토출 유로(P24)의 주위에 고정될 수 있고 고정 캡(15)은 결합 너트와 같은 고정 수단(14)에 의하여 유도 유닛(13)에 고정될 수 있다. 고정 캡(15)의 한쪽 끝은 토출 홀(P241)을 둘러싸는 에어 홀(15a)을 형성하게 되고 에어 홀(15a)을 통하여 제1 유체(A)가 외부로 배출될 수 있다.

도 1a 및 도 1b에 도시된 것처럼, 유동 제어 유닛(16)은 토출 유로(P24)의 둘레 면에 배치되어 제2 유체(B)가 에어 홀(15a)을 통하여 배출되도록 하는 한편 위쪽 부분은 유동 제한 유닛(17)에 의하여 정해진 위치에 고정될 수 있다.

유동 제한 유닛(17)은 예를 들어 탄성 스프링 또는 오-링과 같이 신축성 또는 탄성을 가지는 소재로 만들어질 수 있고 이와 동시에 밀폐 기능을 가질 수 있다. 유동 제한 유닛(17)은 합성수지, 실리콘 또는 연성 합금과 같은 소재로 만들어질 수 있다. 이와 같은 소재의 특성으로 인하여 유체의 압력 또는 온도 변화에 따른 유동 제어 유닛(16)의 변형에 관계없이 유동 제한 유닛(17)에 의하여 유동 제어 유닛(16)이 정해진 위치에 고정될 수 있도록 한다.

유동 제어 유닛(16) 또는 유동 제한 유닛(17)은 다양한 구조로 만들어질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.

아래에서 유동 제어 유닛(16)의 실시 예에 대하여 설명된다.

도 2는 본 발명에 따른 분사 노즐에 적용될 수 있는 유동 제어 유닛(16)의 실시 예를 각각 도시한 것이다.

도 2를 참조하면, 유동 제어 유닛(16)은 회전자 구조를 가질 수 있다. 회전자 구조란 유체가 고속으로 회전이 되도록 하는 구조로 위에서 설명된 제1 유체가 회전력 및 분출압력을 동시에 가지도록 만드는 구조를 말한다. 회전력의 발생을 위하여 유동 제어 유닛(16)에 스파이럴 또는 나선 구조의 와류 홈(161)이 형성될 수 있다.

유동 제어 유닛(16)은 전체적으로 속이 빈 원통 형상이 될 수 있고 중앙 부분에 토출 유로가 관통될 수 있도록 하는 관통 홀(21)이 형성될 수 있다. 전면 또는 둘레 면을 따라 적어도 하나의 와류 홈(161)이 형성될 수 있다. 도 2에 도시된 것처럼, 관통 홀(21)을 중심으로 원형의 환형 홈(162)이 형성될 수 있고 환형 홈(162)을 연결하는 형상으로 와류 홈(161)이 둘레 면의 방향으로 연장될 수 있다. 구체적으로 환형 홈(162)의 한 지점으로 접선 또는 접선 유사 방향으로 와류 홈(161)이 연장될 수 있다. 와류 홈(161)은 적어도 하나가 될 수 있고 다수 개의 와류 홈(161)은 일정 간격으로 배치되거나 또는 서로 다른 간격으로 배치될 수 있다. 전면에서 접선 또는 접선 유사 방향으로 연장된 와류 홈(161)은 둘레 면에서 길이 방향을 따라 연장될 수 있지만 이에 제한되지 않고 와류 홈(161)은 다양한 형상으로 연장될 수 있다. 환형 홈(162) 또는 와류 홈(161)의 간격은 특별히 제한되지 않으며 예를 들어 와류 홈(161)은 둘레 면으로부터 관통 홀(21)은 향하는 방향으로 점차적으로 폭이 좁아지도록 형성될 수 있다.

도 2에 도시된 것처럼, 회전자 구조를 가지는 유동 제어 유닛(16)의 속이 빈 내부는 안정 공간(163)을 형성하게 된다. 또한 유동 제어 유닛(16)은 안정 공간(163)을 형성하면서 일정 길이로 연장되는 둘레 면 및 둘레 면으로부터 점차로 직경이 작아지면서 관통 홀(21)과 연결되는 경사면으로 이루어질 수 있다. 그리고 경사면의 중간 부분에 환형 홈(162)이 형성될 수 있다. 필요에 따라 환형 홈(162)은 형성되지 않을 수 있다.

제시된 구조에서 제2 유체(B)는 제2 유로(P21) 및 제2 유도 유로(P22)를 경유하여 토출 유로(P24)를 분출된다. 그리고 제1 유체(A)는 제1 유로(P11), 관통 유로(P12) 제1 유도 유로(P13)를 경유하여 유동 제어 유닛(16)으로 유입될 수 있다. 제1 유체(A)는 기체 그리고 제2 유체(B)는 액체가 될 수 있다.

제1 유체(A)는 유동 제어 유닛(16)의 형성된 와류 홈(161)을 통과하면서 고속의 회전력 및 분출 압력을 가지게 되고 그리고 안정 공간에서 안정화가 될 수 있다. 그리고 고정 캡(15)과 토출 유로(P24) 사이에 형성된 에어 홀(15a)을 통하여 고속으로 회전 전단력을 가지면서 분출된다. 이와 같이 분출되는 제1 유체(A)는 제2 유체(B)와 충돌하여 제2 유체(2)를 미세 미립자 형태로 토출 홀(P241)을 통하여 토출되도록 한다. 이와 같은 과정에서 발생되는 반발력 또는 다른 요인으로 인하여 발생될 수 있는 유동 제어 유닛(16)의 변형은 유동 제한 유닛(17)에 의하여 방지될 수 있다. 다양한 구조를 가지는 유동 제어 유닛(16)이 본 발명에 따른 분사 노즐에 적용될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.

본 발명에 따른 분사 노즐은 30 ㎛ 이하의 직경을 갖는 노즐에서 작은 에너지 및 적은 비용으로 미립자가 균질하게 생성될 수 있도록 하면서 도착 효율이 향상되고 그리고 노즐 막힘의 방지가 가능하도록 한다는 장점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 분사 노즐은 낮은 점도에서 높은 점도에 이르는 넓은 영역의 유체 분사에 적용될 수 있어 광범위한 영역의 응용이 가능하도록 한다는 이점을 가진다.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.

10: 분사 노즐 11a, 11b: 유체 연결 유닛
12: 유체 유입 유닛 13: 유도 유닛
14: 고정 수단 15: 고정 캡
15a: 에어 홀 16: 유동 제어 유닛
17: 유동 제한 유닛 21: 관통 홀
161: 와류 홈 162: 환형 홈
163: 안정 공간

Claims (2)

1. 동일 또는 서로 다른 유체의 이송을 위한 적어도 2개의 유로(P11, P21)가 형성된 유체 연결 유닛(11a, 11b);
   유체 연결 유닛(11a, 11b)으로부터 이송되는 상기 유체를 동일하거나 서로 다른 경로로 토출 홀(P241)로 유도하는 유도 유닛(13);
   유도 유닛(13)에 배치되어 상기 토출 홀(P241)로 토출되는 다른 유체의 토출의 물리적 특성을 변경시키도록 유체의 유동을 유도하는 유동 제어 유닛(16); 및
   유동 제어 유닛(16)을 정해진 위치에 고정하는 유동 제한 유닛(17);을 포함하고,
   상기 적어도 2개의 유로(P11, P21) 중 하나의 유로(P21)는 선형으로 연장되는 제2 유도 유로(P22), 제2 유도 유로(P22)에 비하여 작은 직경으로 연장되는 중간 유로(23) 및 중간 유로(23)에 비하여 작은 직경으로 연장되는 토출 유로(P24)를 경유하여 상기 토출 홀(P241)에 연결되고; 그리고
   상기 유동 제어 유닛(16)은 합성수지, 실리콘 또는 연성 합금 소재로 만들어진 유동 제한 유닛(17)에 의하여 유체의 압력 또는 온도 변화에 따른 변형에 관계없이 정해진 위치에 고정되는 것을 특징으로 하는 분사 노즐.
2. 청구항 1에 있어서, 상기 유동 제어 유닛(16)은 중앙 부분에 형성된 관통 홀(21) 및 관통 홀(21)을 기준으로 나선 형상으로 연장되는 적어도 하나의 와류 홈(161)을 포함하는 것을 특징으로 하는 분사 노즐.
   
   

Images