JP4548086B2 - 欠陥検査装置 - Google Patents
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- 被検物体に照明光を照射する照射手段と、前記被検物体からの反射光を対物レンズを介して集光し、像面上に前記被検物体の像を結像する結像手段と、前記結像手段で結像された前記被検物体の像を、少なくとも3種の検出色毎に電気信号に変換する光電変換手段と、前記電気信号に基づいて前記被検物体上の欠陥を検出する検出手段とを備え、
前記検出手段は、前記被検物体像の各画素毎に、前記検出色毎の電気信号に基づいて、色空間情報をなす色相、彩度、明度の少なくとも一つを求め、求められた色相、彩度、明度の少なくとも一つの強度の変化に基づいて欠陥を検出するものであり、
前記検出手段により検出した欠陥を、色空間情報ごとに特定する選別手段と、特定された欠陥の種別を決定する分類手段と、
前記選別手段によって特定された色空間情報ごとの欠陥を、異なる色空間情報で検出した同一箇所の欠陥を重複して記録しないようにより分けながら、色空間画像ごとの欠陥検出画像を合成した画像を生成する変換処理手段と、検査結果を出力する手段とをさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1に記載の欠陥検査装置であって、欠陥を求めるためのリファレンス画像を取得する手段を有し、求められたリファレンス画像と前記被検物体の画像との差異に基づいて前記被検物体上の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1に記載の欠陥検査装置であって、色空間情報に分解した画像とリファレンス画像とを順次前記検出手段に入力する手段と、その入力時に色空間情報ごとに二つの画像間の強度分布差から検出可否を判断する手段と、検出可能な範囲において、色空間情報に分解した画像の強度分布をリファレンス画像の強度分布に変換する手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1に記載の欠陥検査装置であって、前記検出手段にて求めた色空間情報ごとの欠陥について物体を構成する色、形状、大きさの少なくとも1つによって定義された判別条件とそれを照合する手段を有し、さらに、照合した結果欠陥として選別された画像を順次前記分類手段に入力する手段を有することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1に記載の欠陥検査装置であって、前記選別手段により求めた色空間情報ごとの欠陥について、構成する色、形状、大きさの少なくとも1つによって定義された分類条件とそれを照合する手段と、照合した結果を順次前記変換処理手段に入力する手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。
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