JP2006112938A - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 制御部17にて被検物体像3aが撮像され画像メモリ2aへ転送される。ここで、同一箇所のリファレンス画像3bが画像メモリ2bへ転送され、フィルタリング処理部4に渡される。フィルタリング処理部4においては、画像メモリ2aと画像メモリ2b上の画像を、画素単位で、RGBの値から、H(色相)、S(彩度),I(明度)成分を求め、被検物体像6a、リファレンス画像6bを生成する。欠陥検出処理部7においては、欠陥判別条件ファイル8に設定されている検出諧調閾値を基に、空間要素に分解した被検物体像6aとリファレンス画像6bの画素値単位に相違を求め、欠陥を検出する。
【選択図】 図1
Description
Claims (8)
- 被検物体に照明光を照射する照射手段と、前記被検物体からの反射光を対物レンズを介して集光し、像面上に前記被検物体の像を結像する結像手段と、前記結像手段で結像された前記被検物体の像を、少なくとも3種の検出色毎に電気信号に変換する光電変換手段と、前記電気信号に基づいて前記被検物体上の欠陥を検出する検出手段とを備え、
前記検出手段は、前記被検物体像の各画素毎に、前記検出色毎の電気信号に基づいて、前記被検物体像を所定の色空間要素に分解して、各色空間要素の強度を求め、前記色空間要素の強度の変化に基づいて欠陥を検出するものであることを特徴とする欠陥検査装置。 - 被検物体に照明光を照射する照射手段と、前記被検物体からの反射光を対物レンズを介して集光し、像面上に前記被検物体の像を結像する結像手段と、前記結像手段で結像された前記被検物体の像を、少なくとも3種の検出色毎に電気信号に変換する光電変換手段と、前記電気信号に基づいて前記被検物体上の欠陥を検出する検出手段とを備え、
前記検出手段は、前記被検物体像の各画素毎に、前記検出色毎の電気信号に基づいて、色相、彩度、明度の少なくとも一つを求め、求められた色相、彩度、明度の少なくとも一つの強度の変化に基づいて欠陥を検出するものであることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の欠陥検査装置であって、前記検出手段により検出した欠陥を、予め定められた条件により特定する選別手段と、特定された欠陥の種別を決定する分類手段と、分類された欠陥を結果出力形式に集結し変換する変換手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1又は請求項2に記載の欠陥検査装置であって、欠陥を求めるためのリファレンス画像を取得する手段を有し、求められたリファレンス画像と前記被検物体の画像との差異に基づいて前記被検物体上の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1又は請求項2に記載の欠陥検査装置であって、色空間要素に分解した画像とリファレンス画像とを順次前記検出手段に入力する手段と、その入力時に色空間要素ごとに二つの画像間の強度分布差から検出可否を判断する手段と、検出可能な範囲において、色空間要素に分解した画像の強度分布をリファレンス画像の強度分布に変換する手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項3に記載の欠陥検査装置であって、前記検出手段にて求めた色空間要素ごとの欠陥について物体を構成する色、形状、大きさの少なくとも1つによって定義された判別条件とそれを照合する手段を有し、さらに、照合した結果欠陥として選別された画像を順次前記分類手段に入力する手段を有することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項3に記載の欠陥検査装置であって、前記選別手段により求めた色空間要素ごとの欠陥について、構成する色、形状、大きさの少なくとも1つによって定義された分類条件とそれを照合する手段と、照合した結果を順次前記変換手段に入力する手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項3に記載の欠陥検査装置であって、前記選別手段にて求めた色空間要素ごとの欠陥と種類を、一つの画像上の位置が重複する場合はより分け、複数存在する場合は一つの画像上に集結する手段と、集結した結果を特定の出力形式に集結し変換する手段と、検査結果を出力する手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。
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