JPH05322792A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
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- JPH05322792A JPH05322792A JP4124968A JP12496892A JPH05322792A JP H05322792 A JPH05322792 A JP H05322792A JP 4124968 A JP4124968 A JP 4124968A JP 12496892 A JP12496892 A JP 12496892A JP H05322792 A JPH05322792 A JP H05322792A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 欠陥を検出するため映像信号に対して適正な
弁別レベルを設定する。 【構成】 撮像部１からの映像信号をＡ／Ｄコンバータ
２がＡ／Ｄ変換して階調データを階調データメモリ４に
出力するとともに、同じく映像信号を弁別部３が弁別レ
ベルに基づき２値化して２値データを出力する。２値デ
ータは、２値データメモリ５に格納される一方、欠陥検
出部６に取り込まれ、欠陥検出部６は、２値データに基
づき欠陥を検出した時、欠陥検出信号を階調データメモ
リ４及び２値データメモリ５に出力する。そして、欠陥
検出信号を受信した階調データメモリ４及び２値データ
メモリ５から階調データ及び２値データが表示制御部７
に出力され、両データに基づく欠陥の濃淡及び２値画像
がＣＲＴ８により同時に表示される。
弁別レベルを設定する。 【構成】 撮像部１からの映像信号をＡ／Ｄコンバータ
２がＡ／Ｄ変換して階調データを階調データメモリ４に
出力するとともに、同じく映像信号を弁別部３が弁別レ
ベルに基づき２値化して２値データを出力する。２値デ
ータは、２値データメモリ５に格納される一方、欠陥検
出部６に取り込まれ、欠陥検出部６は、２値データに基
づき欠陥を検出した時、欠陥検出信号を階調データメモ
リ４及び２値データメモリ５に出力する。そして、欠陥
検出信号を受信した階調データメモリ４及び２値データ
メモリ５から階調データ及び２値データが表示制御部７
に出力され、両データに基づく欠陥の濃淡及び２値画像
がＣＲＴ８により同時に表示される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検査対象物に存在する
欠陥の画像を表示する欠陥検査装置に関し、特に検査対
象物をシート材とする欠陥検査装置に関する。
欠陥の画像を表示する欠陥検査装置に関し、特に検査対
象物をシート材とする欠陥検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、シート材に存在する欠陥の検査
装置としては、シート材の表面を撮像するリニアＣＣＤ
カメラからの映像信号をＡ／Ｄ変換し、このＡ／Ｄ変換
後の階調データに基づいてＣＲＴが欠陥の濃淡画像を表
示するものがあり、ＣＲＴによる表示は、映像信号が予
め設定されたしきい値を越えるかどうかによって決定さ
れる。
装置としては、シート材の表面を撮像するリニアＣＣＤ
カメラからの映像信号をＡ／Ｄ変換し、このＡ／Ｄ変換
後の階調データに基づいてＣＲＴが欠陥の濃淡画像を表
示するものがあり、ＣＲＴによる表示は、映像信号が予
め設定されたしきい値を越えるかどうかによって決定さ
れる。
【０００３】ここで、しきい値とは、欠陥を検出するた
めに映像信号に対して設定されるものであり、図３の
（ａ）に示すように、しきい値を越えた映像信号の幅が
幅弁別設定値より大きい時に、欠陥を検出したと判定し
て検出された欠陥の濃淡画像が図３の（ｂ）に示すよう
にＣＲＴにより表示される。
めに映像信号に対して設定されるものであり、図３の
（ａ）に示すように、しきい値を越えた映像信号の幅が
幅弁別設定値より大きい時に、欠陥を検出したと判定し
て検出された欠陥の濃淡画像が図３の（ｂ）に示すよう
にＣＲＴにより表示される。
【０００４】一方、他の欠陥検査装置には、図４の
（ａ）に示すように、リニアＣＣＤカメラから出力され
た映像信号を予め設定された弁別レベルＶH で弁別し、
この弁別後の２値データに基づく欠陥の２値画像を図４
の（ｂ）に示すようにＣＲＴが表示するように構成され
たものがあり、この欠陥検査装置におけるＣＲＴの表示
も、先に述べた欠陥検査装置と同様にしきい値として設
定された弁別レベルＶH を映像信号が越えるかどうかに
よって決定される。
（ａ）に示すように、リニアＣＣＤカメラから出力され
た映像信号を予め設定された弁別レベルＶH で弁別し、
この弁別後の２値データに基づく欠陥の２値画像を図４
の（ｂ）に示すようにＣＲＴが表示するように構成され
たものがあり、この欠陥検査装置におけるＣＲＴの表示
も、先に述べた欠陥検査装置と同様にしきい値として設
定された弁別レベルＶH を映像信号が越えるかどうかに
よって決定される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記欠
陥の濃淡画像を表示する従来の欠陥検査装置では、欠陥
を検出するために映像信号に対して設定されたしきい値
は、結果としてどの程度の幅、長さの欠陥を検出してい
るのかがわからないので、映像信号に対して適正なしき
い値を設定することができない。
陥の濃淡画像を表示する従来の欠陥検査装置では、欠陥
を検出するために映像信号に対して設定されたしきい値
は、結果としてどの程度の幅、長さの欠陥を検出してい
るのかがわからないので、映像信号に対して適正なしき
い値を設定することができない。
【０００６】また、図３の（ｃ）に示すように欠陥が散
在する場合、中央付近に存在するＢの欠陥を検出するこ
とはできるが、リニアＣＣＤカメラからの映像信号によ
っては、端付近のＡの欠陥を検出することができない可
能性がある。
在する場合、中央付近に存在するＢの欠陥を検出するこ
とはできるが、リニアＣＣＤカメラからの映像信号によ
っては、端付近のＡの欠陥を検出することができない可
能性がある。
【０００７】他方、欠陥の２値画像を表示する従来の欠
陥検査装置では、弁別レベルＶH に基づいて弁別された
２値データにより欠陥の画像を表示するため、しきい値
である弁別レベルＶH が、どの程度の幅、長さの欠陥を
検出しているかを直接ＣＲＴの表示によって知ることが
できるが、真の欠陥の形状がＣＲＴにより表示されない
ため欠陥の詳細内容を把握することができず、上記問題
点と同様に適正なしきい値を設定することができない。
陥検査装置では、弁別レベルＶH に基づいて弁別された
２値データにより欠陥の画像を表示するため、しきい値
である弁別レベルＶH が、どの程度の幅、長さの欠陥を
検出しているかを直接ＣＲＴの表示によって知ることが
できるが、真の欠陥の形状がＣＲＴにより表示されない
ため欠陥の詳細内容を把握することができず、上記問題
点と同様に適正なしきい値を設定することができない。
【０００８】すなわち、図４の（ａ）に示すように、弁
別レベルＶH を弁別レベルＶL に変更すると、大きな欠
陥が表示されることとなり、弁別レベルの設定値によっ
ては表示される欠陥の大きさに変動が生じる。
別レベルＶH を弁別レベルＶL に変更すると、大きな欠
陥が表示されることとなり、弁別レベルの設定値によっ
ては表示される欠陥の大きさに変動が生じる。
【０００９】そこで、本発明は上記問題点に着目してな
されたもので、欠陥を検出するために映像信号に対して
適正なしきい値を設定することができるとともに、散在
する欠陥を確実に検出して表示することができる欠陥検
査装置を提供することを目的とする。
されたもので、欠陥を検出するために映像信号に対して
適正なしきい値を設定することができるとともに、散在
する欠陥を確実に検出して表示することができる欠陥検
査装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、検査対象物に存在する欠陥を撮像手段が撮
像するとともに、撮像手段からの映像信号に基づき表示
手段が上記欠陥の画像を表示する欠陥検査装置におい
て、上記撮像手段から出力される映像信号をＡ／Ｄ変換
するＡ／Ｄ変換手段と、上記撮像手段から出力される映
像信号を弁別レベルに基づき２値化する弁別手段と、上
記Ａ／Ｄ変換手段から出力される階調データを格納する
階調データ格納手段と、上記弁別手段から出力される２
値データを格納する２値データ格納手段と、上記弁別手
段から出力される２値データに基づき上記欠陥を検出す
る欠陥検出手段と、上記欠陥検出手段から出力される検
出信号に基づき上記階調データ格納手段、２値データ格
納手段それぞれに格納された階調データ及び２値データ
を取り込むとともに、取り込んだ両データに基づく上記
欠陥の画像を上記表示手段が同時に表示するように制御
する表示制御手段と、を備えることを特徴とする。
に本発明は、検査対象物に存在する欠陥を撮像手段が撮
像するとともに、撮像手段からの映像信号に基づき表示
手段が上記欠陥の画像を表示する欠陥検査装置におい
て、上記撮像手段から出力される映像信号をＡ／Ｄ変換
するＡ／Ｄ変換手段と、上記撮像手段から出力される映
像信号を弁別レベルに基づき２値化する弁別手段と、上
記Ａ／Ｄ変換手段から出力される階調データを格納する
階調データ格納手段と、上記弁別手段から出力される２
値データを格納する２値データ格納手段と、上記弁別手
段から出力される２値データに基づき上記欠陥を検出す
る欠陥検出手段と、上記欠陥検出手段から出力される検
出信号に基づき上記階調データ格納手段、２値データ格
納手段それぞれに格納された階調データ及び２値データ
を取り込むとともに、取り込んだ両データに基づく上記
欠陥の画像を上記表示手段が同時に表示するように制御
する表示制御手段と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明では、撮像手段から出力された映像信号
をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段が階調データを出力す
るとともに、同じく撮像手段から出力された映像信号を
弁別レベルに基づき２値化する弁別手段が２値データを
出力する。
をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段が階調データを出力す
るとともに、同じく撮像手段から出力された映像信号を
弁別レベルに基づき２値化する弁別手段が２値データを
出力する。
【００１２】そして、Ａ／Ｄ変換手段から出力された階
調データ、及び弁別手段から出力された２値データそれ
ぞれは、一旦階調データ格納手段及び２値データ格納手
段に格納されるとともに、欠陥検出手段が２値データに
基づき欠陥を検出した時、階調データ格納手段及び２値
データ格納手段それぞれに格納された階調データ及び２
値データが表示制御手段に取り込まれる。
調データ、及び弁別手段から出力された２値データそれ
ぞれは、一旦階調データ格納手段及び２値データ格納手
段に格納されるとともに、欠陥検出手段が２値データに
基づき欠陥を検出した時、階調データ格納手段及び２値
データ格納手段それぞれに格納された階調データ及び２
値データが表示制御手段に取り込まれる。
【００１３】この後、この表示制御手段に取り込まれた
両データに基づく欠陥の画像が表示手段により同時に表
示される。
両データに基づく欠陥の画像が表示手段により同時に表
示される。
【００１４】
【実施例】以下、本発明に係る欠陥検査装置の一実施例
を図面に基づき詳細に説明する。図１は、本発明に係る
欠陥検査装置の一実施例を示したブロック図である。
を図面に基づき詳細に説明する。図１は、本発明に係る
欠陥検査装置の一実施例を示したブロック図である。
【００１５】この図において、欠陥検査装置は、撮像部
１、Ａ／Ｄコンバータ２、弁別部３、階調データメモリ
４、２値データメモリ５、欠陥検出部６、表示制御部
７、及びＣＲＴ８を備えており、本実施例においては、
検査対象物をシート材とする欠陥検査装置が示されてい
る。
１、Ａ／Ｄコンバータ２、弁別部３、階調データメモリ
４、２値データメモリ５、欠陥検出部６、表示制御部
７、及びＣＲＴ８を備えており、本実施例においては、
検査対象物をシート材とする欠陥検査装置が示されてい
る。
【００１６】撮像部１は、シート材の表面を撮像するリ
ニアＣＣＤカメラにより構成されており、このリニアＣ
ＣＤカメラがスキャンを１回行う毎に、撮像部１からア
ナログの映像信号が出力される。
ニアＣＣＤカメラにより構成されており、このリニアＣ
ＣＤカメラがスキャンを１回行う毎に、撮像部１からア
ナログの映像信号が出力される。
【００１７】Ａ／Ｄコンバータ２は、撮像部１から出力
された映像信号をＡ／Ｄ変換することにより、欠陥の濃
淡画像の基となる階調データを出力する。
された映像信号をＡ／Ｄ変換することにより、欠陥の濃
淡画像の基となる階調データを出力する。
【００１８】弁別部３は、撮像部１から出力された映像
信号を予め設定した弁別レベルに基づき２値化すること
により、欠陥の２値画像の基となる２値データを出力す
る。なお、本実施例では、映像信号に対して２つの弁別
レベルが設定されている。階調データメモリ４は、新し
いデータの入力毎に古いデータを消去するスクロール機
能を有しており、Ａ／Ｄコンバータ２から出力された階
調データのうち、２次元画像に必要な複数スキャン分の
階調データが階調データメモリ４に一旦格納される。
信号を予め設定した弁別レベルに基づき２値化すること
により、欠陥の２値画像の基となる２値データを出力す
る。なお、本実施例では、映像信号に対して２つの弁別
レベルが設定されている。階調データメモリ４は、新し
いデータの入力毎に古いデータを消去するスクロール機
能を有しており、Ａ／Ｄコンバータ２から出力された階
調データのうち、２次元画像に必要な複数スキャン分の
階調データが階調データメモリ４に一旦格納される。
【００１９】２値データメモリ５は、上記階調データメ
モリ４と同様にスクロール機能を有しており、弁別部３
から出力された２値データのうち、２次元画像に必要な
複数スキャン分の２値データが２値データメモリ５に一
旦格納される。
モリ４と同様にスクロール機能を有しており、弁別部３
から出力された２値データのうち、２次元画像に必要な
複数スキャン分の２値データが２値データメモリ５に一
旦格納される。
【００２０】欠陥検出部６は、弁別部３から出力された
２値データに基づく欠陥の大きさを予め設定された欠陥
の幅、長さ等で判別することにより欠陥を検出するとと
もに、欠陥を検出した時、欠陥検出信号を上記階調デー
タメモリ４及び２値データメモリ５に出力する。
２値データに基づく欠陥の大きさを予め設定された欠陥
の幅、長さ等で判別することにより欠陥を検出するとと
もに、欠陥を検出した時、欠陥検出信号を上記階調デー
タメモリ４及び２値データメモリ５に出力する。
【００２１】この欠陥検出信号を階調データメモリ４及
び２値データメモリ５が受信した時、検出された欠陥の
画像を中央に表示するだけの複数スキャン分の階調デー
タ及び２値データがスクロール機能によって更新される
とともに、更新完了後、階調データメモリ４及び２値デ
ータメモリ５は、スクロール機能を中止するとともに、
後述するＣＲＴ８の表示画像の基となる階調データ及び
２値データをメモリ内に蓄積する。
び２値データメモリ５が受信した時、検出された欠陥の
画像を中央に表示するだけの複数スキャン分の階調デー
タ及び２値データがスクロール機能によって更新される
とともに、更新完了後、階調データメモリ４及び２値デ
ータメモリ５は、スクロール機能を中止するとともに、
後述するＣＲＴ８の表示画像の基となる階調データ及び
２値データをメモリ内に蓄積する。
【００２２】表示制御部７は、欠陥検出信号に基づき階
調データメモリ４及び２値データメモリ５に蓄積された
階調データ及び２値データを取り込むとともに、両デー
タに基づく欠陥の画像をＣＲＴ８に同時に表示させるた
め、ＣＲＴ８に両データを伝送する。
調データメモリ４及び２値データメモリ５に蓄積された
階調データ及び２値データを取り込むとともに、両デー
タに基づく欠陥の画像をＣＲＴ８に同時に表示させるた
め、ＣＲＴ８に両データを伝送する。
【００２３】この表示制御部７によるデータの取り込み
完了後、階調データメモリ４及び２値データメモリ５の
中断されていたスクロール機能が再び開始される。
完了後、階調データメモリ４及び２値データメモリ５の
中断されていたスクロール機能が再び開始される。
【００２４】ＣＲＴ８は、表示制御部７から出力された
階調データ及び２値データを取り込むとともに、取り込
んだ階調データに基づく欠陥の濃淡画像と、２値データ
に基づく欠陥の２値画像とを一画面中に分割して同時に
表示する。
階調データ及び２値データを取り込むとともに、取り込
んだ階調データに基づく欠陥の濃淡画像と、２値データ
に基づく欠陥の２値画像とを一画面中に分割して同時に
表示する。
【００２５】次に、本実施例における欠陥検査装置の動
作を説明する。
作を説明する。
【００２６】まず、リニアＣＣＤカメラがシート材表面
をスキャニングすると、撮像部１からＡ／Ｄコンバータ
２及び弁別部３に映像信号が出力される。
をスキャニングすると、撮像部１からＡ／Ｄコンバータ
２及び弁別部３に映像信号が出力される。
【００２７】そして、Ａ／Ｄコンバータ２は、映像信号
をＡ／Ｄ変換して階調データを出力するとともに、弁別
部３は、映像信号を２つの弁別レベルに基づき２値化し
た２値データを出力し、それぞれのデータが一旦階調デ
ータメモリ４及び２値データメモリ５に格納される。
をＡ／Ｄ変換して階調データを出力するとともに、弁別
部３は、映像信号を２つの弁別レベルに基づき２値化し
た２値データを出力し、それぞれのデータが一旦階調デ
ータメモリ４及び２値データメモリ５に格納される。
【００２８】一方、弁別部３から２値データメモリ５に
出力される２値データは、欠陥検出部６にも出力され、
この欠陥検出部６が２値データに基づき欠陥を検出した
時、欠陥検出信号を階調データメモリ４及び２値データ
メモリ５に出力するとともに、欠陥検出信号を受信した
階調データメモリ４及び２値データメモリ５それぞれ
が、欠陥の画像データを含んだ階調データ及び２値デー
タを表示制御部７に出力する。
出力される２値データは、欠陥検出部６にも出力され、
この欠陥検出部６が２値データに基づき欠陥を検出した
時、欠陥検出信号を階調データメモリ４及び２値データ
メモリ５に出力するとともに、欠陥検出信号を受信した
階調データメモリ４及び２値データメモリ５それぞれ
が、欠陥の画像データを含んだ階調データ及び２値デー
タを表示制御部７に出力する。
【００２９】さらに、階調データ及び２値データを取り
込んだ表示制御部７が、両データをＣＲＴ８に出力して
この両データに基づく欠陥の画像をＣＲＴ８に同時表示
させるとともに、ＣＲＴ８では、階調データに基づく欠
陥の濃淡画像と、２値データに基づく欠陥の２値画像が
左右に分割された画面に同時表示される。
込んだ表示制御部７が、両データをＣＲＴ８に出力して
この両データに基づく欠陥の画像をＣＲＴ８に同時表示
させるとともに、ＣＲＴ８では、階調データに基づく欠
陥の濃淡画像と、２値データに基づく欠陥の２値画像が
左右に分割された画面に同時表示される。
【００３０】図２の（ａ）は、弁別部３において設定さ
れた２つの弁別レベルＬ1 ，Ｌ2 に基づく欠陥の２値画
像を示した説明図、また（ｂ）は、欠陥の濃淡及び２値
画像の表示例を示した説明図、また（ｃ）は、欠陥の濃
淡及び２値画像の他の表示例を示した説明図である。
れた２つの弁別レベルＬ1 ，Ｌ2 に基づく欠陥の２値画
像を示した説明図、また（ｂ）は、欠陥の濃淡及び２値
画像の表示例を示した説明図、また（ｃ）は、欠陥の濃
淡及び２値画像の他の表示例を示した説明図である。
【００３１】図２の（ａ）に示すように、映像信号のレ
ベルに対して大きく設定された弁別レベルＬ1 では、欠
陥の２値画像は小さく表示されるが、映像信号のレベル
に対して小さく設定された弁別レベルＬ2 では、欠陥の
２値画像は大きく表示される。
ベルに対して大きく設定された弁別レベルＬ1 では、欠
陥の２値画像は小さく表示されるが、映像信号のレベル
に対して小さく設定された弁別レベルＬ2 では、欠陥の
２値画像は大きく表示される。
【００３２】そこで、図２の（ｂ）に示すような表示例
では、ＣＲＴ８の画面左側に欠陥の濃淡画像が表示され
るとともに、画面右側の上下に分割して弁別レベル
Ｌ1 ，Ｌ2 に基づく欠陥の２値画像が表示される。
では、ＣＲＴ８の画面左側に欠陥の濃淡画像が表示され
るとともに、画面右側の上下に分割して弁別レベル
Ｌ1 ，Ｌ2 に基づく欠陥の２値画像が表示される。
【００３３】一方、図２の（ｃ）に示すような他の表示
例では、ＣＲＴ８の画面左側に欠陥の濃淡画像が表示さ
れるとともに、画面右側には、弁別レベルＬ1 ，Ｌ2 毎
に異なる色の付された欠陥の２値画像が同一位置に表示
されている。
例では、ＣＲＴ８の画面左側に欠陥の濃淡画像が表示さ
れるとともに、画面右側には、弁別レベルＬ1 ，Ｌ2 毎
に異なる色の付された欠陥の２値画像が同一位置に表示
されている。
【００３４】したがって、本実施例による欠陥検査装置
によれば、欠陥の濃淡画像とともに、欠陥検出の基準と
なる弁別レベルに基づく欠陥の２値画像が、ＣＲＴ８に
より同時に表示されるので、これら濃淡画像と２値画像
を比較することによって欠陥を検出するための弁別レベ
ルが適正な値に設定されているかどうかを知ることがで
き、弁別レベルを適正な値に設定することができる。
によれば、欠陥の濃淡画像とともに、欠陥検出の基準と
なる弁別レベルに基づく欠陥の２値画像が、ＣＲＴ８に
より同時に表示されるので、これら濃淡画像と２値画像
を比較することによって欠陥を検出するための弁別レベ
ルが適正な値に設定されているかどうかを知ることがで
き、弁別レベルを適正な値に設定することができる。
【００３５】また、散在する欠陥であっても、この欠陥
をとらえた撮像部１からの映像信号を適正な弁別レベル
に基づいて弁別することにより、確実に欠陥を検出する
ことができる。
をとらえた撮像部１からの映像信号を適正な弁別レベル
に基づいて弁別することにより、確実に欠陥を検出する
ことができる。
【００３６】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、階調データに基づく欠陥の濃淡画像とともに
欠陥検出の基準となる２値データに基づく欠陥の２値画
像が、表示手段により同時に表示されるので、これら両
画像を比較することによって欠陥検出のために設定され
た弁別レベルの適正さを判断することができ、弁別レベ
ルを適正な値に設定することにより欠陥の検査精度が向
上する。
によれば、階調データに基づく欠陥の濃淡画像とともに
欠陥検出の基準となる２値データに基づく欠陥の２値画
像が、表示手段により同時に表示されるので、これら両
画像を比較することによって欠陥検出のために設定され
た弁別レベルの適正さを判断することができ、弁別レベ
ルを適正な値に設定することにより欠陥の検査精度が向
上する。
【００３７】また、散在する欠陥であっても、この欠陥
をとらえた撮像手段から出力される映像信号を適正な弁
別レベルに基づいて弁別することにより、確実に欠陥を
検出して表示することができる。
をとらえた撮像手段から出力される映像信号を適正な弁
別レベルに基づいて弁別することにより、確実に欠陥を
検出して表示することができる。
【図１】本発明に係る欠陥検査装置の一実施例を示した
ブロック図。
ブロック図。
【図２】（ａ）は、この実施例における弁別レベルに基
づく欠陥の２値画像を示した説明図、（ｂ）は、欠陥の
濃淡及び２値画像の表示例を示した説明図、（ｃ）は、
欠陥の濃淡及び２値画像の他の表示例を示した説明図。
づく欠陥の２値画像を示した説明図、（ｂ）は、欠陥の
濃淡及び２値画像の表示例を示した説明図、（ｃ）は、
欠陥の濃淡及び２値画像の他の表示例を示した説明図。
【図３】（ａ）は、従来例における欠陥検出のために設
定されるしきい値を示した説明図、（ｂ）は、その欠陥
の濃淡画像を示した説明図、（ｃ）は、散在する欠陥の
状態を示した説明図。
定されるしきい値を示した説明図、（ｂ）は、その欠陥
の濃淡画像を示した説明図、（ｃ）は、散在する欠陥の
状態を示した説明図。
【図４】（ａ）は、他の従来例における欠陥検出のため
に設定されるしきい値を示した説明図、（ｂ）は、その
欠陥の２値画像を示した説明図。
に設定されるしきい値を示した説明図、（ｂ）は、その
欠陥の２値画像を示した説明図。
１ 撮像部（撮像手段） ２ Ａ／Ｄコンバータ（Ａ／Ｄ変換手段） ３ 弁別部（弁別手段） ４ 階調データメモリ（階調データ格納手段） ５ ２値データメモリ（２値データ格納手段） ６ 欠陥検出部（欠陥検出手段） ７ 表示制御部（表示制御手段） ８ ＣＲＴ（表示手段）
Claims (1)
- 【請求項１】 検査対象物に存在する欠陥を撮像手段が
撮像するとともに、撮像手段からの映像信号に基づき表
示手段が上記欠陥の画像を表示する欠陥検査装置におい
て、 上記撮像手段から出力される映像信号をＡ／Ｄ変換する
Ａ／Ｄ変換手段と、 上記撮像手段から出力される映像信号を弁別レベルに基
づき２値化する弁別手段と、 上記Ａ／Ｄ変換手段から出力される階調データを格納す
る階調データ格納手段と、 上記弁別手段から出力される２値データを格納する２値
データ格納手段と、 上記弁別手段から出力される２値データに基づき上記欠
陥を検出する欠陥検出手段と、 上記欠陥検出手段から出力される検出信号に基づき上記
階調データ格納手段、２値データ格納手段それぞれに格
納された階調データ及び２値データを取り込むととも
に、取り込んだ両データに基づく上記欠陥の画像を上記
表示手段が同時に表示するように制御する表示制御手段
と、 を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4124968A JPH05322792A (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4124968A JPH05322792A (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322792A true JPH05322792A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=14898679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4124968A Withdrawn JPH05322792A (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05322792A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003246422A (ja) * | 2002-02-22 | 2003-09-02 | Fujitsu Ltd | 破損検出方法および破損検出プログラム |
| JP2006112938A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Nikon Corp | 欠陥検査装置 |
| JP2013205377A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Nisshin Steel Co Ltd | 表面検査装置の調整方法 |
| WO2016006039A1 (ja) * | 2014-07-08 | 2016-01-14 | 日産自動車株式会社 | 欠陥検査装置及び生産システム |
-
1992
- 1992-05-18 JP JP4124968A patent/JPH05322792A/ja not_active Withdrawn
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| JPWO2016006039A1 (ja) * | 2014-07-08 | 2017-04-27 | 日産自動車株式会社 | 欠陥検査装置及び生産システム |
| US9805457B2 (en) | 2014-07-08 | 2017-10-31 | Nissan Motor Co., Ltd. | Defect detection device and production system |
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