JP4547730B2

JP4547730B2 - 電解コンデンサ用電極、電解コンデンサ及びこれらの製造法

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Publication number: JP4547730B2
Application number: JP17524599A
Authority: JP
Inventors: 隆二門田; 厚坂井; 雄司古田; 英樹大籏
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1999-06-22
Filing date: 1999-06-22
Publication date: 2010-09-22
Anticipated expiration: 2019-06-22
Also published as: JP2001006982A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電解コンデンサ用電極、該電極を用いた電解コンデンサ及びこれらの製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年電子機器の小型化、軽量化にともなって高周波領域でのインビーダンスが低く、小型で大容量のコンデンサが要求されるようになってきた。このような高周波用のコンデンサとしては、従来マイカコンデンサ、フイルムコンデンサ、セラミックコンデンサなどが使用されているが、これらのコンデンサはいずれも大容量化に適した物ではない。一般に小型で大容量のコンデンサとしては、アルミニウム電解コンデンサやタンタル電解コンデンサなどがある。
これらの電解コンデンサの電解質としては液状の電解質や固体の二酸化マンガンなどが用いられているが、最近固体電解質として有機半導体であるＴＣＮＱ（７，７，８，８−テトラシアノキノジメタン）錯塩を用いたコンデンサが提案された。
【０００３】
しかしこれは、ＴＣＮＱ錯塩を加熱・溶融して電極に含浸後、冷却・固化させて固体電解質を形成させるため、溶融時にＴＣＮＱ錯塩が分解、劣化しやすく、その製造工程が非常に繁雑となりコスト高となるなどの欠点があった。
これらの欠点を解決するために二酸化マンガンやＴＣＮＱ錯塩より高い電導度を有するピロ−ル、チオフェン、フランなどの複素五員環化合物の重合体を固体電解質として用いることが提案されている。この様な導電性重合体を用いた固体電解コンデンサは、導電性重合体が高い電導度を示すため、電解液を用いた電解コンデンサに比べて優れた周波数特性を持つ。
【０００４】
電極の化成皮膜（誘電体皮膜）の表面処理に関しては珪酸や珪酸塩を皮膜表面に存在させることで、高温、高湿下での容量、誘電損失の劣化を防ぐ方法が知られている（特開平５−２３４８２１号公報、特開平５−２３４８２２号公報）が、耐湿性に問題がある。
誘電体皮膜を形成した弁作用金属をシランカップリング剤溶液に含浸して表面処理した固体電解コンデンサ（特開平２−７４０２１号公報）が知られている。
シランカップリング剤は水溶液で用いられ、加水分解後シラノールを生成し、これが誘電体皮膜の水酸基と縮合反応して共有結合を形成するため、加熱を必要とする。また、フッ化炭素鎖を含有したクロロシラン系界面活性剤溶液に浸漬して表面処理した薄膜コンデンサ（特開平４−３６７２１０号公報）が知られている。これは化学的な反応基を有したシラン化合物を使用しており、非水溶媒系で誘電体皮膜の水酸基と化学結合することで表面改質を行っている。この方法ではＨＣｌが副生して誘電体皮膜を損傷するおそれがあり、試薬も高価で、水と反応し易く、経済性、安定性に問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
弁作用金属上の誘電体皮膜は無機物であり、一方その皮膜上に形成する電解質が有機物の導電性重合体である固体電解コンデンサの場合、相互の密着性が弱く、高温において導電性重合体が誘電体皮膜からたびたび剥離することが起こり、経時的に容量が低下する欠点があった。
本発明は好ましくは電解質として導電性重合体を用いた電解コンデンサにおいて、容量が大きくかつ高温での安定性が高い電解コンデンサに好適な電極を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の課題を解決するためになされたもので以下の各発明からなる。
（１）表面に微細孔誘電体皮膜を有する弁作用金属からなる電極上に［−Ｏ−Ｓｉ−Ｒ¹Ｒ²−］ｎ（Ｒ¹Ｒ²は共にＣＨ₃、ｎは７〜１６）、オクタメチルシクロテトラシロキサン、ヘキサメチルシクロトリシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサンから選ばれる少なくとも一種のシロキサン結合を有する化合物を付着してなる電解コンデンサ用電極。
（２）弁作用金属がアルミニウム、タンタル、ニオブ、チタンまたはこれらを主体とする合金のいずれかであるっ上記（１）に記載の電解コンデンサ用電極。
（３）表面に微細孔誘電体皮膜を有する弁作用金属からなる電極を上記（１）に記載のシロキサン結合を有する化合物溶液に浸漬または該溶液を前記電極に塗布することを特徴とする電解コンデンサ用電極の製造法。
（４）表面に微細孔誘電体皮膜を有する弁作用金属からなる電極を上記（１）に記載のシロキサン結合を有する化合物の雰囲気に曝露させて該化合物を表面に付着させることを特徴とする電解コンデンサ用電極の製造法。
（５）上記（１）又は（２）に記載の電解コンデンサ用電極上に導電性重合体からなる電解質を形成してなる固体電解コンデンサ。
（６）導電性重合体がポリピロール、ポリチオフェン、ポリフラン、ポリアニリンまたはこれらの置換誘導体の少なくとも１種からなる上記（５）記載の固体電解コンデンサ。
（７）ポリチオフェンが、ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）である上記（６）記載の固体電解コンデンサ。
（８）表面に微細孔誘電体皮膜を有する弁作用金属からなる電極の端部が陽極部とされ、電極の誘電体皮膜上に上記（１）に記載のシロキサン結合を有する化合物を付着する工程、該誘電体皮膜上に電解質、さらにその上に導電体層を順次形成し、これらを陰極部とするコンデンサ素子を形成する工程、陽極部及び陰極部にリードフレームを接合する工程を含むことを特徴とする電解コンデンサの製造法。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明の電解コンデンサ用電極は弁作用金属上に誘電体皮膜を形成した電極にシロキサン結合を有する化合物を付着させたことを特徴とし、固体電解コンデンサに好適であるが、液体電解質を用いた電解コンデンサにも使用は可能である。
弁作用金属には例えばアルミニウム、チタン、タンタル、ニオブあるいはこれらの１種または２種以上を主体とする合金等の弁作用金属が使用され、形状は箔、板、棒状等のいずれでもよい。タンタル及び／またはニオブ、それらの合金の場合はその粉末を成形、焼結したものでもよい。
弁作用金属は誘電体層の形成と比表面積を大きくする目的で公知の方法によってエッチング処理や化成処理が施され、弁作用金属上に微細孔誘電体皮膜が形成される。
【０００８】
この誘電体皮膜上にシロキサン結合を有する化合物（以下シロキサン化合物という。）を付着させる。本発明において、シロキサン化合物は分子中のシロキサン結合と誘電体皮膜上の酸化物表面の水酸基との間で分子間水素結合を作りやすく、親和性があり誘電体皮膜に密着保持される。本発明はこの作用を利用するものであり、したがってシロキサン化合物としては、シロキサン結合を含むものならば、何でもよく、好ましくは低分子量シロキサン（重量平均分子量が１０万以下の環状あるいは直鎖状の化合物）である。シロキサン化合物の製品としては例えば、シリコーンオイル、シリコーンゴム、シリコーン樹脂、シリコーンワニスなどを用いることができる。
以下シロキサン化合物の具体的な商品名を挙げる。
環状シロキサン
信越化学社製ＫＦ９９４、同ＫＦ９９５、ＧＥＬＥＳＴ社製ＳＩＯ６７０５、同ＳＩＴ７５３０、同ＳＩＴ７９００、同ＳＩＴ８７３７、同ＳＩＤ４６２５、同ＳＩＨ６１０５、１
有機変性シリコーンオイル
▲１▼アルキルシリコーンオイル
信越化学社製ＫＦ９６、同ＫＦ６９、同ＫＦ５４
▲２▼フロロシリコーンオイル
ＧＥＬＥＳＴ社製ＦＭＳ−１２３
▲３▼ポリアルキレンオキシド変性シリコーン
ＧＥＬＥＳＴ社製ＤＢＥ−７１２
▲４▼ヒドロキシ及びカチオンタイプシリコーン
ＧＥＬＥＳＴ社製ＣＭＳ６２６、信越化学社製ＫＦ９９
▲５▼シラノールシリコーン
ＧＥＬＥＳＴ社製ＤＭＳ−Ｓ１２
非反応性シリコーンオイル（いずれも信越化学社製）
ポリエーテル変性シリコーンとしてＫＦ３５２、同ＫＦ６０１２、メチルスチリル変性シリコーンとしてＫＦ４１０、アルキル変性シリコーンとしてＫＦ４１２、高級脂肪酸エステル変性シリコーンとしてＫＦ９１０、親水性特殊シリコーンとしてＫＦ９０５、高級アルコキシ変性シリコーンとしてＫＦ８５１、フッ素変性シリコーンとしてＫＦ１００。
反応性シリコーンオイル
▲１▼ビニルシリコーン
ＧＥＬＥＳＴ社製ＤＭＳ−Ｖ００
▲２▼アミノ変性シリコーン
信越化学社製ＫＦ３９３、同ＫＦ８６０、ＧＥＬＥＳＴ社製ＤＭＳ−Ａ１１、東レ・ダウコーニング社製ＳＦ−８４１７
▲３▼エポキシ変性シリコーン
信越化学社製ＫＦ１００１、同ＫＦ１０２、ＧＥＬＥＳＴ社製ＤＭＳ−Ｅ０１
▲４▼カルボキシル変性シリコーン
ＧＥＬＥＳＴ社製Ｘ−２２−３７１０、同ＤＭＳ−Ｂ１２、東レ・ダウコーニング社製ＳＦ−８４１１
▲５▼カルビノール変性シリコーン
信越化学社製ＫＦ６００１、ＧＥＬＥＳＴ社製ＤＭＳ−Ｃ１５
▲６▼メタクリル変性シリコーン
ＧＥＬＥＳＴ社製Ｘ−２２−２４０４、同ＤＭＳ−Ｒ０１
▲７▼メルカプト変性シリコーン
ＧＥＬＥＳＴ社製Ｘ−２２−９８０、同ＳＭＳ−０２２
これらのシロキサン化合物を誘電体皮膜の表面に付着させることにより、消泡性、耐熱性、絶縁性、耐薬品性、化学安定性などの特性に優れ、エッチング等で得られた誘電体皮膜の微細孔部への導電性重合体の形成を促進する働きによって、誘電体皮膜と導電性重合体との密着度を上昇させることができ、コンデンサ容量の増加、損失角の正接（ｔａｎδ）が小さくなる。
【０００９】
電極の誘電体皮膜上にシロキサン化合物を付着させる第一の方法はシロキサン化合物の溶液（分散液も含む）を皮膜上に塗布するか、あるいはシロキサン化合物含有溶液に電極を浸漬する方法である。溶液の溶媒としては例えばテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）やジオキサン、ジエチルエーテル等のエーテル類、あるいはジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）やアセトニトリル、ベンゾニトリル、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）等の非プロトン性極性溶媒、酢酸エチルや酢酸ブチル等のエステル類、クロロホルムや塩化メチレン等の非芳香族性の塩素系溶媒、ニトロメタンやニトロエタン、ニトロベンゼン等のニトロ化合物、あるいはメタノールやエタノール、プロパノール等のアルコール類、アセトン、水などが用いられる。溶媒中のシロキサン化合物の濃度は０．０００１〜１．０重量％の範囲で用いることができるが、好ましくは０．００１〜０．５重量％である。
【００１０】
シロキサン化合物を付着させる第二の方法は、電極をシロキサン化合物の雰囲気に曝露させて、該化合物を表面に付着させる方法である。温度は例えば０℃〜２００℃の範囲で行うことができる。この付着の場合、例えばシリコーンゴムを用いると付着後は実施例に示すようなシリコン数のシロキサン化合物となるが、シロキサン結合を有する限り支障はない。
上記のような方法で誘電体皮膜の微細孔部内にまでシロキサン化合物を実質的に付着させることができる。ここに実質的とは、例えば誘電体皮膜上に付着させるシロキサン化合物の付着量はＸ線光電子分光スペクトル（ＸＰＳ）により誘電体皮膜層の深さ方向、約１００Åにおいてシロキサン化合物が検出されるか、またはＡｕｇｅｒ電子分光スペクトル（ＡＥＳ）で検出できる程度のわずかの量でもよい。また、シロキサン化合物は均一に付着するだけでなく、不均一に付着してもよい。
【００１１】
次に上記の本発明の電極を用いた固体電解コンデンサについて説明する。図１に本発明の固体電解コンデンサの１例を示す。弁作用金属１の表面に誘電体皮膜３、微細孔２が形成されている。皮膜上には微細孔内部までシロキサン化合物４が付着している。
このような構成からなる本発明の電極上に導電性重合体５が形成される。導電性重合体には、複素五員環系導電性重合体であるポリピロール、ポリチオフェン、ポリフランや、ポリアニリンなど、及び、これらの置換誘導体などが用いられるが、特にポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）が好ましい。重合方法としては電解重合、化学重合のいずれでもよいが、重合体を構成するモノマーを溶解または分散した溶液に酸化剤を加え、化学重合することが好ましい。モノマーを溶解する溶媒としてはイソプロピルアルコールやシロキサン化合物を溶解または分散する上記の溶媒と同じ溶媒が用いられる。また化学重合に用いられる酸化剤として例えば、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム、過硫酸アンモニウムなどの過硫酸塩、過酸化水素などの過酸化物、塩化第二鉄、塩化アルミニウムなどの金属ハロゲン化物が用いられる。特に過硫酸アンモニウムが好ましい。
【００１２】
また固体電解コンデンサに使用される導電性重合体には一般的にドーパントが使用される。そして通常ドーパントの種類により導電性重合体の表面の平坦性、粗密性等が異なる結果となり、導電性重合体による誘電体皮膜の被覆状態が大きく異なる。一般に固体電解コンデンサに用いる導電性重合体にはアリールスルホン酸塩系ドーパントが使用される。例えばベンゼンスルホン酸、トルエンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸、アントラセンスルホン酸などのナトリウム塩を用いた場合、それぞれ生成する導電性重合体の電極への被覆状態が異なるため容量にも差がある。ところがシロキサン化合物を誘電体皮膜に付着させることで、重合体と誘電体皮膜の間で接着的な効果が現われ、ドーパントの種類による重合体の被覆状態の差異が減少し一様な重合体が得られる。
【００１３】
シロキサン化合物を付着させた誘電体皮膜上に導電性重合体を形成するには先ず導電性重合体のモノマーを単独あるいは溶媒に溶解または分散して皮膜上に塗布するかあるいは皮膜を溶液に浸漬することにより、誘電体皮膜上にモノマーを均一に分散させ、次いで酸化剤を例えば０．０１〜２モル／リットル及びドーパントを０．０１〜２モル／リットル含む溶液または分散液に浸漬することにより化学重合させる方法が用いられる。モノマーと酸化剤及びドーパントを含む溶液または分散液の塗布あるいは浸漬順序は逆でも、また、同時に１液でも、同様に化学重合による導電性重合体が形成できる。重合温度は一般的には−７０〜２５０℃の温度範囲で選ばれるが、望ましくは０〜１５０℃であり、さらに０〜１００℃の温度範囲が一層好ましい。
【００１４】
このようにして形成された導電性重合体上にさらに電気的接触をよくするために他の導電体層を設けることが好ましく、例えば公知のカーボンペースト、銀ペーストなどの導電性ペースト層またはメッキ、金属蒸着、導電樹脂フィルム等により導電体層６を形成する。さらに上記導電体層の上を樹脂モールドするとか、樹脂ケース、金属製のケース、樹脂ディッピング等による外装７を設け、これに接続用端子（陽極）８、接続用端子（陰極）９を設けることにより各種の用途に適した電解コンデンサ製品とすることができる。なお、図１は電解コンデンサの一構成単位を示すもので製品としては一般にこの構成単位（コンデンサ素子）のものが複数個積層したものが使用される。
【００１５】
【実施例】
以下、実施例及び比較例をあげて本発明を具体的に説明する。
（実施例１）
アルミニウム化成箔を１０ｗｔ％のアジピン酸アンモニウム水溶液に浸し１３Ｖで化成処理を行い、箔表面に誘電体皮膜を形成した。このアルミニウム化成箔（基板）を、高温加硫型シリコーンゴム（耐熱温度２５０℃）と一緒に約１８０℃の乾燥機（容積９１リットル）に入れ、約１時間保持してシロキサン化合物を皮膜上に付着した。このシロキサン化合物をガスクロマトグラフ質量分析（ＧＣ−ＭＳ）法で調べた結果、一般式［−Ｏ−ＳｉＲ¹ Ｒ² −］_n （Ｒ¹ 、Ｒ² は共にＣＨ₃ ）で表わされるシロキサン結合を有し、ｎが７〜１６の化合物が大部分であった。続いて、この化成箔を３，４−エチレンジオキシチオフェンの１．２モル／リットルのイソプロピルアルコール（以下ＩＰＡと略する）溶液に浸漬し、次いで過硫酸アンモニウム（以下、ＡＰＳと略する）が２モル／リットルおよびアントラキノン−２−スルホン酸ナトリウムが０．０７ｗｔ％となるように調製した水溶液に浸漬した。
【００１６】
この基板を取り出して約４０℃の大気中で約１０分放置することで酸化的重合を行い、この工程を２５回繰り返した。この重合反応処理後、洗浄工程を施した。
次いで、コンデンサ素子（重合反応部の面積３×４ｍｍ）に一般的な公知のカーボンペースト（黒鉛粉末＋エポキシ樹脂＋溶媒として酢酸エステル）と銀ペースト（銀粉末＋エポキシ樹脂＋溶媒として前記と同じ）を順に塗布後、４枚重ねてリードフレーム上に積載し、陰極リード端子に接着した。素子の陽極からの集電は基板のアルミニウム芯部を電極リード端子に溶接することによって行なった。最後にエポキシ樹脂で全体を封止して電解コンデンサを作製した。このようにして得られたコンデンサを１２５℃で定格電圧を印加して２時間エージングした後に初期特性を測定した。また、加速耐湿性試験においては、８５℃、８５％相対湿度（ＲＨ）の高温、高湿下に２４０時間放置して行った。
表１に示す初期特性のＣは容量を表し、ＤＦは損失角の正接（ｔａｎδ）を表し、いずれも１２０Ｈｚで測定したものである。ＬＣ（漏れ電流）及びショートの試験は、定格電圧（１３Ｖ）を印加して１分後に測定した。各測定値は、試料数が３０個の平均値であり、ＬＣについては１μＡ以上を不良品に、また１０μＡ以上をショート品として表示し、ショート品がある場合はこれを除いてＬＣの平均値を算出する。これらの結果を表１にまとめた。
【００１７】
（実施例２）
実施例１のアントラキノン−２−スルホン酸ナトリウムの代わりに、４−モルホリンプロパンスルホン酸ナトリウムを用いた以外は、実施例１と同様にしてコンデンサを作製し評価した。その結果を表１に示す。
【００１８】
（実施例３）
実施例１のアントラキノン−２−スルホン酸ナトリウムの代わりに、アントラセン−１−スルホン酸ナトリウムを用いた以外は、実施例１と同様にしてコンデンサを作製し評価した。その結果を表１に示す。
【００１９】
（実施例４）
実施例１のアントラキノン−２−スルホン酸ナトリウムの代わりに、１−ナフタレンスルホン酸ナトリウムを用い、３，４−エチレンジオキシチオフェンの代わりにピロールを用いた以外は、実施例１と同様にしてコンデンサを作製し評価した。その結果を表１に示す。
【００２０】
（実施例５）
実施例１で得られたアルミニウム化成箔（基板）を、オクタメチルシクロテトラシロキサン（アルドリッチ社製）６ｇを装入して４０℃で加熱した乾燥機内（容積９１リットル）に入れ、５分後に取り出した。
以下、実施例１と同様にして得たコンデンサを実施例１と同様に評価した。結果を表１に示す。
【００２１】
（実施例６）
実施例１で得られたアルミニウム化成箔（基板）を、ヘキサメチルシクロトリシロキサン（ＧＥＬＥＳＴ社製）６ｇを装入して２０℃で放置した乾燥機内に入れ、５分後に取り出した。
以下、実施例１と同様にして得たコンデンサを実施例１と同様に評価した。結果を表１に示す。
【００２２】
（実施例７）
実施例１で得られたアルミニウム化成箔（基板）を、アセトンに溶解した０．１ｗｔ％ヘキサメチルシクロトリシロキサン溶液に浸漬した後、５０℃１０分間乾燥した。この温度で乾燥してもヘキサメチルシクロトリシロキサンが残っているのは誘電体との間で分子間水素結合が生じているためと思われる。
以下、実施例１と同様にして得たコンデンサを実施例１と同様に評価した。結果を表１に示す。
【００２３】
（実施例８）
実施例１で得られたアルミニウム化成箔（基板）を、アセトンに溶解した０．００１ｗｔ％デカメチルシクロペンタシロキサン（チッソ（株）製）溶液に浸漬した後、５０℃１０分間乾燥した。
以下、実施例１と同様にして得たコンデンサを実施例１と同様に評価した。結果を表１に示す。
【００２４】
（実施例９）
この実施例は参考例として示す。
実施例１で得られたアルミニウム化成箔（基板）を、アセトンに溶解した０．１ｗｔ％ジメチルシリコーンオイル（信越シリコン社製、商品名ＫＦ−９６）溶液に浸漬した後、５０℃１０分間乾燥した。以下、実施例１と同様にして得たコンデンサを実施例１と同様に評価した。結果を表１に示す。
【００２５】
（比較例１）
実施例１のシリコーンゴムによるシロキサン化合物の付着をしない以外は実施例１と同様に処理して得たコンデンサを実施例１と同様に評価した。結果を表１に示す。
【００２６】
（比較例２）
実施例３のシリコーンゴムによるシロキサン化合物の付着をしない以外は実施例３と同様に処理して得たコンデンサを実施例３と同様に評価した。結果を表１に示す。
【００２７】
（比較例３）
実施例４のシリコーンゴムによるシロキサン化合物の付着をしない以外は実施例４と同様に処理して得たコンデンサを実施例４と同様に評価した。結果を表１に示す。
【００２８】
【表１】

【００２９】
【発明の効果】
本発明によれば、表面に微細孔誘電体皮膜を有する弁作用金属からなる電極上シロキサン結合を含む化合物を付着させることにより、電解コンデンサ、特に固体電解コンデンサにおいては誘電体皮膜と導電性重合体との密着性が向上し、高容量で、高温、高湿下での信頼性が高いものが得られる。
その他、高周波特性、ｔａｎδも向上し、低インピーダンスの小型で高性能の電解コンデンサが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電解コンデンサの１実施例の断面図。
【符号の説明】
１弁作用金属
２微細孔
３誘電体皮膜
４シロキサン化合物
５導電性重合体
６導電体層
７外装
８接続用端子（陽極）
９接続用端子（陰極）

Claims

表面に微細孔誘電体皮膜を有する弁作用金属からなる電極上に［−Ｏ−Ｓｉ−Ｒ¹Ｒ²−］ｎ（Ｒ¹Ｒ²は共にＣＨ₃、ｎは７〜１６）、オクタメチルシクロテトラシロキサン、ヘキサメチルシクロトリシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサンから選ばれる少なくとも一種のシロキサン結合を有する化合物を付着してなる電解コンデンサ用電極。
弁作用金属がアルミニウム、タンタル、ニオブ、チタンまたはこれらを主体とする合金のいずれかである請求項１に記載の電解コンデンサ用電極。
表面に微細孔誘電体皮膜を有する弁作用金属からなる電極を請求項１に記載のシロキサン結合を有する化合物溶液に浸漬または該溶液を前記電極に塗布することを特徴とする電解コンデンサ用電極の製造法。
表面に微細孔誘電体皮膜を有する弁作用金属からなる電極を請求項１に記載のシロキサン結合を有する化合物の雰囲気に曝露させて該化合物を表面に付着させることを特徴とする電解コンデンサ用電極の製造法。
請求項１又は２に記載の電解コンデンサ用電極上に導電性重合体からなる電解質を形成してなる固体電解コンデンサ。
導電性重合体がポリピロール、ポリチオフェン、ポリフラン、ポリアニリンまたはこれらの置換誘導体の少なくとも１種からなる請求項５記載の固体電解コンデンサ。
ポリチオフェンが、ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）である請求項６記載の固体電解コンデンサ。
表面に微細孔誘電体皮膜を有する弁作用金属からなる電極の端部が陽極部とされ、電極の誘電体皮膜上に請求項１に記載のシロキサン結合を有する化合物を付着する工程、該誘電体皮膜上に電解質、さらにその上に導電体層を順次形成し、これらを陰極部とするコンデンサ素子を形成する工程、陽極部及び陰極部にリードフレームを接合する工程を含むことを特徴とする電解コンデンサの製造法。