JP4540830B2 - 基板加熱機構付シャッタを有する成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板加熱機構付シャッタを有する成膜装置及び成膜方法に係り、特に、基板加熱時の脱ガスに起因する成膜雰囲気の汚染を防止し、高品質の薄膜を形成可能とする成膜装置及び成膜方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の成膜方法をスパッタ法について説明する。
プラズマ放電によってターゲット物質を基板に堆積するスパッタ装置においては、ターゲット表面には残留ガスが吸着した層、あるいは複数ターゲットを備えた成膜室の場合には、他のターゲットから飛来した物質などの本来成膜したいものとは異なる物質(以降汚染物と記す)が存在する。従って、基板上への堆積前に、これら汚染物質を除去する必要がある。このため、従来から基板を保持する基板ホルダをシャッタで覆い、汚染物が除去されるまでターゲットをスパッタリングするいわゆるプリスパッタが行なわれる。
【0003】
一方、基板に関しては、大気から成膜室に直接持ち込まれるために、その表面には大気中の水分が付着したり、大気成分ガスが吸着している。これらは、堆積する薄膜との密着性を悪くするだけでなく、ターゲットの材質によっては、化学変化を起こし、膜質を低下させる原因となる。従って、成膜前に、これら汚染物を除去する基板加熱処理が行われる。
基板加熱処理の方法としては、成膜室内で基板ホルダに配設されたヒータにより基板を加熱して処理する方法や、成膜室とは別の真空室(加熱室)で予め基板を加熱処理し、その後成膜室に搬送する方法が用いられる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、基板ホルダのヒータにより基板を加熱すると、基板ホルダ自体も加熱されるため、基板ホルダからの脱ガスにより成膜雰囲気が汚染されてしまうという問題がある。特に、複数基板を同時処理する場合は、基板ホルダ全体が大型化し、熱容量も増大して、基板ホルダのみならず成膜室内壁等からの脱ガスも問題となる。さらに、基板回転機構を有する装置ではその傾向は一層顕著となり、また、加熱機構が複雑化して装置コストを引き上げるという問題もある。
【0005】
そこで、特に、複数基板を同時処理する生産性の高い装置や膜厚均一性の高い薄膜を得るために基板回転機構を設けた装置では、別途加熱室を設け、そこで基板加熱処理を行い、これをロボット等で成膜室の基板ホルダ上に搬送し、シャッタで基板を覆った状態で所定時間プリスパッタを行い、その後シャッタを開けて成膜を行う方法が用いられる。この方法は装置全体が大型化するという欠点はあるものの、ある程度良質の膜が生産性良くで得ることができるため、主に量産装置に採用されてきた。
【0006】
しかしながら、電子デバイスや半導体デバイスの高密度化・高性能化に伴い、構成薄膜の一層の高品質化・薄層化が要求されてくると、種々の問題があることが明らかになってきた。即ち、この方法は、基板クリーニング後に基板を搬送する構成としたため、搬送中の不純物の再付着、ロボット等との接触による汚染の問題がある。
また、基板加熱処理を行った後にプリスパッタを行うと、ターゲットに吸着した汚染物が回り込んで基板上に付着してしまうという問題がある。これを避けるため、基板加熱を行っている間に成膜室でプリスパッタを同時に行うと、基板を搬送する際に、加熱室の雰囲気ガスが成膜室に入り込み、ターゲット表面を再び汚染するという問題もある。
【0007】
さらに、高品質膜を得るために基板を所定の温度に加熱して成膜する必要がある場合には、搬送中の温度低下を見込んで成膜温度よりも高い温度に加熱して搬送するが、この場合、最初に搬送される基板と最後に搬送される基板では成膜時の温度が異なり、高品質膜が得られる成膜温度範囲からはずれてしまう場合がある。
【0008】
なお、ターゲット表面の水分を除去するため、プリスパッタの代わりにシャッタ等に配設した加熱機構を用いるスパッタ装置が特開平5−51734号公報に開示されているが、このターゲット処理方法は変質層等を除去できないためターゲット材料に制約がある。また、基板表面のクリーニングに関しては上記の事情と変わるところはなく、同様の問題がある。
【0009】
本発明はこのような問題を解決するためになされたものであり、基板表面及び薄膜材料源のクリーニングを効果的に行うとともに、クリーニング時の脱ガスに起因する成膜空間の汚染を防止して、密着性が高くかつ高品質の薄膜を形成可能な成膜装置及び成膜方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
従来の成膜装置にかかる問題点を解決し、上記目的を解決するために、本発明の成膜装置は、基板を保持する基板ホルダと、薄膜材料源と、該基板ホルダと薄膜材料源との間に退避可能に配置されるシャッタと、が成膜室内に配置された成膜装置において、前記シャッタの前記基板ホルダに対向する側に基板加熱用の面状ヒータを設置し、かつ、前記シャッタは、冷媒流路となる冷媒流通空間が形成されたシャッタベース板と、該シャッタベース板とともに前記冷媒流路を形成するシャッタ蓋板と、該シャッタ蓋板に固定部材を介して取り外し可能に取り付けられたシールド板とを有し、前記シャッタベース板に前記面状ヒータが固定されていることを特徴とする。
【0011】
このように基板加熱用のヒータをシャッタに取り付け、しかも基板と1対1に対応した面状ヒータとしたため、基板表面全体を均一に加熱することができるとともに、基板以外の基板ホルダ等の温度上昇が抑えられ、脱ガスの発生を大幅に減少させることが可能となる。しかも、薄膜材料源のクリーニングと基板クリーニングとを同時に行うことができるため、各々の表面に付着した汚染物質等がシャッタを回り込んで他の表面に再付着することはなく、基板及び薄膜材料源を清浄にした状態で基板上への成膜を開始することができる。
さらに、複数の基板に同時成膜する場合も、各基板について成膜中の基板温度を所望の温度に維持することが容易となり、基板ごとに膜質のバラツキがない高品質薄膜を形成することが可能となる。
【0012】
本発明の成膜装置において、前記面状ヒータの周辺に冷媒流路を設け、前記面状ヒータ以外のシャッタ構成部材を冷却する構成とするのが好ましい。このような冷却機構を設けることにより、基板加熱及び薄膜材料源のクリーニング時のシャッタの温度上昇が抑えられ、脱ガスの発生をより効果的に抑制することが可能となる。
さらに、前記面状ヒータは、絶縁性基板上に所定の形状の通電抵抗体を形成したものとするのが好ましい。このような構成とすることにより、ヒータを薄く形成することができ、ヒータの熱容量は小さくなるため、脱ガスをより少なくすることができる。
【0013】
以上の装置構成はスパッタ装置や蒸着装置等に適用できるが、特に、基板ホルダが自公転する構成としたスパッタ装置に好適に適用される。基板ホルダを自公転させる複雑な基板ホルダ構成であっても、複雑な加熱機構は必要とせず、しかも脱ガスの発生を抑えて高品質、高密着性の薄膜形成が可能となるとともに、極めて膜厚均一性の高い薄膜を形成することが可能となる。
【0014】
本発明の成膜方法は、上記成膜装置の成膜室内に基板を搬入し、シャッタを前記基板と前記薄膜材料源との間に挿入し、前記面状ヒータにより基板を面加熱して該基板表面に付着した汚染物を除去する工程と、プラズマ又は熱により前記薄膜材料源表面の汚染物を除去する工程とを同時に行い、その後前記シャッタを退避させて前記基板上に成膜を行うことを特徴とする。また、前記基板加熱を行う工程において、前記シャッタの前記面状ヒータ以外の部分に冷媒を循環させて冷却するのが好ましい。上述したように、薄膜材料源のクリーニングと基板クリーニングとを同時に行うことにより、各々の表面に付着した汚染物質等を効果的に除去し、また、基板ホルダ等から脱ガスを抑えることができ、高清浄な雰囲気で成膜を行うことが可能となる。その結果、密着性に優れた高品質の薄膜を複数の基板上に形成することが可能となる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1はマグネトロンスパッタによる成膜装置の概略構成を示す模式的側面断面図であり、図2及び3は、それぞれシャッタ及び面状ヒータの構成を示す模式的断面図及び底面図である。
図1に示すように、成膜室1には、ターゲット3を取り付けたマグネトロンカソード2と、基板16を保持し自公転する複数の基板ホルダ7と、ターゲット3及び基板ホルダ7の間の空間に挿入・退避可能なシャッタ5と、が配置されている。
【0016】
基板ホルダの自公転機構は例えば特願2000−6542号、特願2000−317642号に記載されたものが好適に用いられる。図1はその一例である。
各基板ホルダ7はベアリング15を介してパレット6に保持され、パレット6は磁性流体シール11により成膜室1のベース板に支持される回転軸10に連結されている。パレット回転軸10には固定ギア8が取り付けられ、これと噛合するように基板ホルダ回転軸14に遊星ギア9が取り付けられている。従って、モータ(不図示)の回転によりパレット6は回転し、基板ホルダ7は自公転することになる。この結果、基板16上に膜厚均一性に優れた薄膜形成が可能となる。
【0017】
シャッタ5は、その端部には回転軸12が取り付けられて、シャッタ回転軸12は磁性流体シール13を介して成膜室1のベース板に支持され、モータ(不図示)により回転する。図1の破線で表した状態は、シャッタが成膜空間から退避した状態を示し、基板16上への薄膜形成を行う際のシャッタ位置を示している。
シャッタ5は、図2に示すように、冷媒流通空間24が形成されたシャッタベース板21と、シャッタ蓋板22と、シールド板23とからなり、シャッタベース板21とシャッタ蓋板22とは、冷媒をシールするため溶接又はOリングを介して固定されている。冷媒はシャッタ回転軸12中のSUS製冷媒導入配管及び排出配管を通って冷媒流通空間に導入・排出され、シャッタは所定の温度に冷却される。なお、冷却媒体流通空間24には、冷媒の流れを淀みなくスムーズとし、シャッタ全体を均一に冷却できるように、適当な形状の仕切り板が取り付けられている。
【0018】
シャッタベース板21には、面状ヒータ30を嵌め込む窪みが形成され、窪みの中心部に面状ヒータ30を固定するための貫通口が形成されている。この面状ヒータ30としては、例えば図3に示す構造のものが用いられる。これは、熱分解窒化ホウ素(PBN)のような絶縁性基板31上に熱分解グラファイト(PG)のような抵抗体が所定のパターンに形成されたもので、抵抗体32の両端に電流導入部33、及びその中心部にネジ止め用の貫通口34が形成されている。
【0019】
この面状ヒータ30は、例えば次のようにして作製する。まず、カーボン基板上に、熱分解CVD法によって、熱分解窒化ホウ素(PBN)31を0.5〜2mm、続いて熱分解グラファイト(PG)を50μm程度形成する。次に、機械加工等によって、PG膜を所望の形状としてのヒーター部(PG)32を形成するとともに、貫通孔34を穿孔する。その後電流導入部(33)をマスクして再び熱CVD法によりPBNの保護膜を形成する。なお、カーボン基板とPBNとの熱膨張係数の差異からカーボン基板は簡単に取り外すことができる。必要により洗浄処理して面状ヒータは完成する。
【0020】
面状ヒータは、アルミナ、PBN等からなる2つの絶縁性ブロック25と共にモリブデン(Mo)製ネジ26により両側から挟み込むように、シャッタベース板21に固定される。ここで、PG抵抗体(電流導入部33)との接触部にはカーボン製ワッシャ、他端部(電流導入端子27)にはモリブデン(Mo)製ワッシャを介在させて、Mo製ナットで固定する。なお、面状ヒータは、シャッタベース板21に直接接触しないようにするのが好ましく、また、絶縁性ブロック25も熱伝導性の小さな材料を用いるのが好ましい。ネジの上部の電流導入端子27は、電流導入線により端子台29に接続され、端子台は電流導入線により成膜室外部の電流供給部と接続される。
【0021】
ここで、面状ヒータの大きさは、基板を均一に加熱し、かつ基板以外の部分は加熱しないように、基板と同程度又は若干大きく(10mm径程度)するのが良い。本発明の面状ヒータとしては、図3に示した構成のものが、薄く、熱容量を小さくすることができ、ガス放出も少ないため最適であるが、抵抗体の代わりにタングステン等の高融点ワイヤーを用いたものや、場合によってはランプヒータを面状に配置したものも用いることができる。
【0022】
シャッタ蓋板22の上部には、電流導入端子等に膜が付着するのを防止するために蓋板を覆うようにシールド板23が固定部材28を介して取り外し可能に取り付けられている。シールド板23は、シャッタ蓋板22との熱伝導により冷却されるため、プリスパッタ時の温度上昇が抑えられ、シールド板23からのガス放出が回避できる。なお、シールド板は定期的に取り外し、付着した膜を化学的又は物理的方法により除去する。
【0023】
なお、図2において、冷媒流通空間をシャッタベース板21とシャッタ蓋板22とで形成する構成としたが、これに限らず、例えばシャッタ蓋板を省き、冷媒用の配管をシャッタベース板に取り付ける構成としても良い。また、面状ヒータの固定方法も、図2に示した構成に限ることはなく、電流をヒータに供給できるものであればどのような構成あっても良い。
シャッタの材質は、通常SUSやAl等が用いられるが、ターゲット材質や冷却媒体に応じて選択してもよい。なお、冷却媒体としては、水やフロリナート(3M製)などが使用される。
また、シャッタの開閉を回転軸中心の回転動作によって行なっているが、併進直線動作によるスライド式のシャッタを用いても良い。
【0024】
次に、図1の成膜装置を用い、SAWフィルタの電極膜の成膜方法を説明する。
まず、不図示の基板収納室からゲートバルブ4を通して基板を搬送し、成膜室1内のパレット6に連結した、例えば5つの基板ホルダ7に順次搭載する。次に、シャッタ回転軸12を回転して、シャッタ5を基板16上に移動させ、5つの基板16と5つの面状ヒータ30をそれぞれ対向させる。
面状ヒータ30に通電し、基板を100℃程度に加熱して基板16の表面クリーニングを行う。シャッタ5には、予め冷媒が導入され、シャッタベース板21、シャッタ蓋板22及びシールド板23は冷却されている。
【0025】
上記基板クリーニング開始とほぼ同時にプリスパッタを行いターゲット3のクリーニングを行う。即ち、Arガスを導入し、0.15Paの圧力になったところでAl−Cuターゲットに1KWの電力を供給して放電を開始し、プリスパッタを行なう。
このクリーニングの際に発生する放出ガスは、基板が加熱されているために基板表面には吸着しない。また、基板はシャッタで覆われているために、ターゲットから飛来する好ましくないターゲット物質が付着することはない。また、プリスパッタ中に起こるArイオン衝撃によるシールド板の温度上昇は、シャッタの冷却による熱伝導によって回避でき、シールドからのガス放出を低減することができる。
基板の加熱処理及びターゲットのプリスパッタを1分間程度行なった後、ヒータへの通電を停止するとともにモーターを回転させて基板16を自公転させる。
同時にシャッタ5を開いて、基板上に所定時間成膜を行う。
【0026】
なお、ハードディスク用の磁性膜(CoCrTa)を成膜する場合には、成膜時の基板温度を210℃程度に維持する必要があるが、ターゲット及び基板クリーニング後、210℃程度まで基板を加熱し、シャッタを開いて成膜を行なう。
あるいは、基板クリーニングを成膜温度で行っても良い。
【0027】
以上、本発明をマグネトロンスパッタ装置について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、イオンビームスパッタ、電子ビーム蒸着等にも適用可能である。
【0028】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、基板クリーニング及び成膜のための基板加熱をシャッタに取り付けた面状ヒータにより行う構成としたため、加熱に伴う基板ホルダその他からの脱ガスを低減でき、成膜空間をより清浄に保つことができる。また、ターゲットのプリスパッタと基板加熱とを同時に行うことにより、効果的なクリーニングが行え、清浄な表面状態で成膜を開始することができる。このため、密着性が高く、均一な特性の高品質薄膜を再現性良く製造することが可能となる。
また、基板回転機構等を複数有する複雑な構造の基板ホルダを備えた成膜装置であっても、従来の装置のように加熱室を設ける必要がないため、装置の小型化を達成でき、コスト低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の成膜装置の概略断面図である。
【図2】本発明のシャッタの概略断面図である。
【図3】本発明の面状ヒータを示す概略底面図ある。
【符号の説明】
1 成膜室、
2 マグネトロンカソード、
3 ターゲット、
4 ゲートバルブ、
5 シャッタ、
6 パレット、
7 基板ホルダ、
8 固定ギア、
9 遊星ギア、
10 パレット回転軸、
11 磁性流体シール、
12 シャッタ回転軸、
13 磁性流体シール、
14 基板ホルダ回転軸、
15 ベアリング、
16 基板、
21 シャッタベース板、
22 シャッタ蓋板、
23 シールド板、
24 冷媒流通空間、
25 絶縁性ブロック、
26 ネジ、
27 電流導入端子、
28 端子台、
29 シールド板固定部材、
30 面状ヒータ、
31 絶縁体基板、
32 抵抗体、
33 電流導入部、
34 貫通口。
Claims (7)
- 基板を保持する基板ホルダと、薄膜材料源と、該基板ホルダと薄膜材料源との間に退避可能に配置されるシャッタと、が成膜室内に配置された成膜装置において、前記シャッタの前記基板ホルダに対向する側に基板加熱用の面状ヒータを設置し、かつ、前記シャッタは、冷媒流路となる冷媒流通空間が形成されたシャッタベース板と、該シャッタベース板とともに前記冷媒流路を形成するシャッタ蓋板と、該シャッタ蓋板に固定部材を介して取り外し可能に取り付けられたシールド板とを有し、前記シャッタベース板に前記面状ヒータが固定されていることを特徴とする成膜装置。
- 前記シャッタベース板に、前記面状ヒータを嵌め込む窪みが形成されており、該窪みには前記面状ヒータを固定するための貫通口が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- 前記面状ヒータは、絶縁性基板上に所定の形状の通電抵抗体を形成したものであることを特徴とする請求項1又は2に記載の成膜装置。
- 前記成膜装置はスパッタ装置であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記基板ホルダは、自公転する構成としたことを特徴とする請求項4に記載の成膜装置。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載の成膜装置の前記成膜室内に基板を搬入し、前記シャッタを前記基板と前記薄膜材料源との間に挿入し、前記面状ヒータにより基板を面加熱して該基板表面に付着した汚染物を除去する工程と、プラズマ又は熱により前記薄膜材料源表面の汚染物を除去する工程とを同時に行い、その後前記シャッタを退避させて前記基板上に成膜を行うことを特徴とする成膜方法。
- 前記基板を自公転させながら成膜することを特徴とする請求項6に記載の成膜方法。
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