JP4539511B2

JP4539511B2 - 精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し冶具

Info

Publication number: JP4539511B2
Application number: JP2005277713A
Authority: JP
Inventors: 順也戸田
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2005-09-26
Filing date: 2005-09-26
Publication date: 2010-09-08
Anticipated expiration: 2025-09-26
Also published as: JP2007088350A

Description

シリコンや化合物あるいはガラスなどからなる各種半導体ウェーハ、フォトマスクガラス、アルミディスク等の精密基板を1又は複数枚収納する精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し冶具に関する。

従来の精密基板収納容器は、１又は複数枚の精密基板を整列収納する容器本体と、この容器本体の開口をシール可能に閉鎖する蓋体と、蓋体を容器本体に係止するための係止手段とを備えていて、容器本体の内側壁に設けられた支持部によって精密基板を支持し、蓋体内面に設けられたフロントリテーナによって精密基板が保持されるものが提案されている。こうした精密基板収納容器は、精密基板の生産工場から精密基板の加工工場まで安全に輸送するために使用され、精密基板の加工工場にて精密基板に各種の加工や処理がなされて半導体部品や半導体部品を加工するための部材が生産されていた。

こうした精密基板収納容器の外壁には、精密基板収納容器をハンドリングするための、マニュアルハンドルやサイドレールが左右の側壁に設けられていた。あるいは、精密基板収納容器の識別をするためのＲＦタグやバーコードラベルを保持したり、貼り付けたりするタグホルダ部品が、精密基板収納容器の底部や、精密基板収納容器の底部に取り付けられるボトムプレートに、係合用のフック部を精密基板収納容器の外壁部に設けられた突起又は係止部に係合させて取り付けられていた。
特開２０００−３０６９８８号公報特開２０００− ２１９６６号公報

従来は、前記したような付属部品を精密基板収納容器に取り付けたり、取り外したりする作業を、作業員が手動で付属部品の係合用のフック部を変形させて行っていた。そのため、付属部品の係合用のフック部が、精密基板収納容器の外壁部に設けられた突起又は係止部に完全に係合させないまま、作業を完了することがあった。こうした取り付け不良があると、客先での使用時に、精密基板収納容器をハンドリング中に落下させたり、衝撃を与えたりして、精密基板を破損させたり、汚染させる恐れがあった。

従来こうした取り付け取り外し作業は、手作業で行っていたが、係止部を反らせて、係合させたり、外したりする作業は、指先に負担となり、短い距離の間で反らせるために、力も必要であり、連続作業が難しかった。また、こうした付属部品の係合用のフック部を手動で変形させているので、作業員が必要以上に力を加えてしまうと、弾性変形ではなく、塑性変形や損傷してしまい、使用不能となってしまうことがあった。

このように、付属部品の係合用のフック部を変形させて、精密基板収納容器に取り付けるときの作業を標準化して、取り付けのミスを無くすとともに、フック部を変形させたり破損させたりすることを防止し、付属部品の取り付け、取り外し作業を効率よく行うことが望まれていた。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、精密基板を１又は複数枚収納可能な精密基板収納容器の外壁に取り付けられる付属部品の取り付け取り外し用の冶具であって、前記付属部品の取り付け取り外し用の冶具は、把持可能な本体部を有し、前記本体部の一端には、前記付属部品の係止部と係合する溝部が形成されていることを特徴とする精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し冶具であり、請求項１の発明は、前記本体部が、本体部の一端側の側面から斜めに延びる支柱部を有していることを特徴とする精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し冶具である。

請求項２の発明は、前記付属部品が、精密基板収納容器を搬送するために左右の側壁に設けられるハンドル部品であり、前記溝部が前記ハンドル部品の抜け防止部と係合することを特徴とする精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し冶具であり、請求項１の発明は、前記支柱部材が、本体部に対して２０°〜４０°の角度で交差するように形成され、付属部品の係止部と係合しこれを弾性変形させて、前記精密基板収納容器に取り付けるか又は取り外しするときに、前記支柱部が、前記精密基板収納容器の外壁に接触し、前記付属部品の係止部が塑性変形するのを防止するストッパーとなることを特徴とする精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し冶具である。

本発明は、精密基板収納容器に別部材からなる付属部品を、一定の力で正確に取り付け取り外しができるので、取り付けミスを防止でき、作業効率が良くなる。また、過度の力を加えて、付属部品部を破損させてしまうことを防止できる。

本発明の実施形態を図面を使って説明する。図１は本発明の精密基板収納容器１に付属部品４を取り付けたり、取り外したりするときに、使用される冶具の側面図である。本発明の実施形態の精密基板収納容器１の付属部品取り付け取り外し冶具２０は、本体部２１と本体部２１の一端に設けられる係止溝と、本体部２１の一端側側面から斜めに突出する支柱部２３とを有する。本体部２１は、角柱状又は円柱状に形成され、作業員が把持するのに適した長さ及び太さに設定される。ここで、角柱状に形成する場合、コーナー部にＲ加工しておくことが好ましい。

係止溝部２２は、精密基板収納容器１に取り付けられる付属部品４、たとえば左右の側壁に取り付けられるマニュアルハンドル５の係止部が、嵌まり込む大きさに形成され、開口部の一方の周縁には係合部２４が、開口部の幅寸法は、奥側の幅寸法よりも狭くなるように突出形成されている。この係合部２４によってマニュアルハンドル５の係止部をしっかりと保持することが可能となる。

こうした付属部品取り付け取り外し冶具２０は、アルミ、ＳＵＳと言った金属の他、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネートと言った熱可塑性樹脂および、これらに炭素繊維、金属繊維、ガラス繊維、タルク等のフィラーを添加したものが使用できる。

図２、図３は、上記した取り付け取り外し冶具２０が使用される付属部品４の取り付けられる精密基板収納容器１を表す側面図と背面図である。容器本体２は、正面に開口を有し、内側壁には向き合う１対の支持部が棚状に一定間隔で形成されていて、１又は複数枚の精密基板を水平状態で保持可能となる。正面開口周縁にはフランジ部と、蓋体３がはまり込む凹部が形成されていて、蓋体３側壁に設けられたシール部材とによってシールを形成して開口部を密閉状態に閉鎖する。蓋体３には、容器本体２に係止するための係合片が左右の側壁に設けられている。なお、蓋体３の係止はこれに限らず、外部から自動操作可能なラッチ機構が内蔵されたものも使用できる。

容器本体２は、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルテルケトンなどの樹脂あるいは、これらの樹脂やアロイ樹脂に、カーボンブラック、炭素繊維、カーボンナノチューブ、金属繊維、金属酸化物、導電性高分子などを添加して導電性が付与された樹脂から選択されたものを使用することができる。特には透明性の良好なポリカーボネートで形成することが好ましい。

本発明の実施形態の精密基板収納容器１の左右の外壁に取り付けられるマニュアルハンドル５には、台形状をした板状の基部１０と前記板状の基部１０に設けられる架設されるアーチ状の把持１１と、前記板状の基部１０の先端に設けられる抜け防止のための係止フック部１２とからなる。係止フック部１２は、基部１０から先端部に向かって逆Ｌ字状に立ち上がり、これの先端部には、かぎ状となるように突出形成されている。

一方、精密基板収納容器１の左右の外壁には、マニュアルハンドル５の板状の基部１０と係合し、これを取り付けるためのレール溝１３が、開口部から先端部にかけて幅が狭くなるように形成されている。また、先端部には、マニュアルハンドル５の抜け防止用のフックと係合する係止部１４が形成されている。

次に、本発明の実施形態の精密基板収納容器１の付属部品取り付け取り外し冶具２０を使った、マニュアルハンドル５の取り付け例を説明する。図は、本発明の実施形態の精密基板収納容器１の付属部品取り付け取り外し冶具２０の係止溝を、マニュアルハンドル５の係止部にはめ込んだ状態を説明する断面図である。このマニュアルハンドル５の係止部を精密基板収納容器１の外壁に設けられる係合部２４に噛み合わせるために、支柱部２３を使って僅かにこれを反らせて、フック部が係合部２４に噛み合う様に取り付ける。こうした冶具を使うことで、小さな力で各確実に、係止部を噛み合わせることができる。また、支柱部２３で、反り量を規制できるので、必要以上に力を加えすぎて、係止部を破損させることがなくなる。

支柱部２３は、本体部２１の長手方向に対して、２０°〜４０°の範囲に設定すると良い。２０°未満では、係止部を十分反らせることができず、４０°を超えると過度に反らし過ぎて、破損の恐れがあるので好ましくない。

付属部品４を取り外すときは、前記したのと逆の作業をするとよく、精密基板収納容器１の外壁に設けられる係合部２４に噛み合った状態のマニュアルハンドル５の係止部に、マニュアルハンドル５の係止部にはめ込み、支柱部２３を使ってこれを僅かに反らせて、フック部が係合部２４から外して、マニュアルハンドル５を精密基板収納容器１から無理なく外す事ができる。

本発明の実施形態の付属部品取り付け取り外し冶具２０は、マニュアルハンドル５に限らず、レール溝３３と係止部３４を使った係止フック３２を有するロボティックハンドル６等の取り付け取り外しにも同様に利用できる。また、レール溝４３と係止部４４を使った係止フック４２を有するサイドレール７の取り付け取り外しや，レール溝５３と係止部５４を使った係止フック５２を有するＩＤタグホルダ８の取り付け取り外しにも利用できる。このように精密基板収納容器１のオプション部品の取り付け取り外し作業が、確実に、容易にできるので、多品種対応も容易となる。

本発明の実施形態の精密基板収納容器の付属部品取り付け冶具表す側面図本発明の実施形態の精密基板収納容器の付属部品取り付け冶具表す底面図本発明の実施形態の精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し冶具が使用される精密基板収納容器の側面図本発明の実施形態の精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し冶具が使用される精密基板収納容器の背面図本発明の実施形態の精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し冶具を付属部品部材に係合させた状態を表す断面図本発明の実施形態の精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し冶具を使って付属部品部材を係合部に噛みあわせる状態を説明する断面図

符号の説明

１精密基板収納容器
２容器本体
３蓋体
４付属部品、
５マニュアルハンドル
６ロボティックハンドル
７サイドレール、
８ＩＤタグホルダ
９ボトムプレート
１０基部
１１把持部
１２、３２、４２、５２係止フック部
１３、３３、４３、５３レール溝
１４、３４、４４、５４係止部
２０付属部品取り付け取り外し冶具
２１本体部
２２係止溝部
２３支柱部
２４係合部

Claims

精密基板を１又は複数枚収納可能な精密基板収納容器の外壁に取り付けられる付属部品の取り付け取り外し用の冶具であって、前記付属部品の取り付け取り外し用の冶具は、把持可能な本体部を有し、前記本体部の一端には、前記付属部品の係止部と係合する溝部が形成されているとともに、前記本体部が、本体部の一端側の側面から斜めに延びる支柱部を有し、前記支柱部が、本体部に対して２０°〜４０°の角度で交差するように形成され、付属部品の係止部と係合しこれを弾性変形させて、前記精密基板収納容器に取り付けるか又は取り外しするときに、前記支柱部が、前記精密基板収納容器の外壁に接触し、前記付属部品の係止部が塑性変形するのを防止するストッパーとなることを特徴とする精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し冶具。
前記付属部品が、精密基板収納容器を搬送するために左右の側壁に設けられるハンドル部品であり、前記溝部が前記ハンドル部品の抜け防止部と係合することを特徴とする請求項1記載の精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し冶具。