JP4537829B2 - センサーパッケージおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
また、個々のセンサーを配線基板に実装する際に、センサーの端子と配線基板の配線とのワイヤボンディングが行われるため、面方向の広がりが必要であり、小型化に限界があり、また、製造の効率化にも限界があった。
本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、小型で信頼性の高いセンサーパッケージと、このようなセンサーパッケージを簡便に製造するための製造方法を提供することを目的とする。
本発明の他の態様として、空隙部を介して重ねられた状態の前記センサーと前記保護材の全厚みと、前記枠体の高さがほぼ等しいような構成とした。
本発明の他の態様として、前記保護材は前記アクティブ面の外側領域に位置する封止用リブを介して前記センサーに固着されているような構成とした。
本発明の他の態様として、外枠部材と、該外枠部材から内側方向に突設された複数のリード線を備えたリードフレームを形成し、トランスファー成型により前記リードフレームのリード線を挟持するように回廊形状の下部枠体と上部枠体を一体的に形成し、その後、前記リード線を切断して前記外枠部材を除去することにより前記枠体を作製するような構成とした。
本発明のセンサーパッケージの製造方法では、ウエハレベルでのセンサーの作製と、多面付けでの保護材とセンサーとの固着を行う一括アッセンブリーが工程中にあるため、全ての工程をセンサー個々のレベルで行うことに比べて、工程管理が容易で製造コストの低減が可能である。
[センサーパッケージ]
図1は本発明のセンサーパッケージの一実施形態を示す斜視図であり、図2は図1に示されるセンサーパッケージのA−A線での概略断面図である。図1及び図2において、本発明のセンサーパッケージ1は、センサー11と、このセンサー11の表面11aに封止用リブ17により固着された保護材21と、このセンサー11と保護材21の積層体を囲むように外側に位置する枠体31とを備えている。また、図3は、図1および図2に示されるセンサーパッケージ1を構成する枠体31の斜視図である。
上記のような保護材21を、センサー11の表面11aに所定の空隙部5を介して固着するための封止用リブ17、および封止部材7,9は、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等を用いることができる。
枠体31に設けられたリード線32の材質は、銅、銅合金、鉄、鉄合金(ニッケル含有量:36%のアンバー、42%の42合金や426合金、50%の50合金等)、ステンレス等とすることができる。このリード線32の長さは、例えば、1.2〜3.8mmの範囲で設定することができ、太さは80〜200μmの範囲で設定することができる。尚、リード線32の内部端子32a、外部端子32bは、例えば、Niめっき層、Auめっき層の積層を備えるものであってもよい。
上述のセンサーパッケージは、例示であり、例えば、センサーの端子13の数、リード線32の数、これらの配設位置は、図示例では煩雑さを避けるために簡便に示しているが、これに限定されるものではない。また、枠体31の形状等の上述の実施形態に限定されるものではない。
次に、本発明のセンサーパッケージの製造方法について説明する。
図4及び図5は、本発明のセンサーパッケージの製造方法の一実施形態を、上述の図1〜図3に示すセンサーパッケージ1を例として示す工程図である。
まず、シリコンウエハ41を多面付けに区画し、各面付け41A毎にセンサー11を作製する(図4(A))。センサー11は、例えば、MEMS(Micro Electromechanical System)手法等を用いて作製する。作製したセンサー11は、表面にアクティブ面12を有し、このアクティブ面12の外側の領域に複数の端子13を有するものである。
次に、多面付けのシリコンウエハ41をダイシングし、得られた各センサー11を保護材51上に位置決めして載置する(図4(C))。保護材51は、多面付けに区画され、各面付け51A毎に引き出し配線22を形成したものである。各センサー11は、封止用リブ17を介して保護材51に固着され、同時に、バンプ15が引き出し配線22に接続される(図4(D))。
次いで、保護材21の引き出し配線22と、リード線32の内部端子32aとをワイヤ25で電気的に接続する(図5(B))。
尚、上述の枠体31の作製は、例えば、以下のようにして行うことができる。まず、図6(A)に示されるような、外枠部材62と、この外枠部材62から内側方向に同一平面をなすように突設された複数のリード線63を備えたリードフレーム61を作製する。このようなリードフレーム61は、例えば、銅、銅合金、鉄、鉄合金(ニッケル含有量:36%のアンバー、42%の42合金や426合金、50%の50合金等)、ステンレス等の材質からなる板材の両面に、所望のレジストパターンを形成し、両面からエッチング液を用いてエッチングすることにより形成することができる。
その後、所望の長さの外部端子32bを残すようにリード線63を切断して外枠部材62を除去することにより、複数のリード32を備えた枠体31を得ることができる。
尚、上述の本発明のセンサーパッケージの製造方法は例示であり、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。
まず、厚み625μmのシリコンウエハを準備し、一辺5mmである正方形で多面付けに区画した。上記のシリコンウエハのXY方向(シリコンウエハの表面に平行な平面)の熱膨張係数は3ppmであった。
次いで、このシリコンウエハの各面付け毎に、従来の手法によりセンサー(アクティブ面寸法:4000μm×4000μm)を作製した。各センサーは、アクティブ面の周囲に20個(1辺5個)の端子を備えるものであった。
次に、多面付けのシリコンウエハをダイシングして、5mm×5mmのセンサーチップを得た。
次に、ガラス基板の各面付け毎に、センサーチップを、封止用リブがガラス基板面に当接し、バンプが引き出し配線に接続されるように位置合せして固着した。
次に、熱硬化性エポキシ樹脂(日東電工(株)製)を使用し、トランスファー成型により、リードフレームの複数のリード線を挟持するように、方形状の内側開口を有する下部枠体と上部枠体を一体的に形成した。その後、リードフレームの外枠部材近傍のリード線を切断して外枠部材を除去することにより、枠体を作製した。この枠体は、上部枠体から内側に長さ0.7mmの内部端子が突出し、外側に長さ1.75mmの外部端子が突出するものであった。また、方形状の内側開口を有する下部枠体は、内側開口が7.4mm×7.4mmの正方形であり、高さ0.7mm、幅1.3mmであった。同じく方形状の内側開口を有する上部枠体は、内側開口が8.8mm×8.8mmの正方形であり、高さ0.5mm、幅0.6mmであった。
次いで、上記のセンサーとガラス基板(保護材)との積層体を定盤上に載置し、この積層体の外側を囲むように上述の枠体を定盤上に載置した。そして、封止材料として液状封止樹脂(住友ベークライト(株)製 CRP)を枠体とガラス基板との隙間に流し込み硬化させて両者を固定した。その後、枠体の内部端子と、ガラス基板上の引き出し配線をAu線により結線した。
5…空隙部
7,9…封止部材
11…センサー
12…アクティブ面
13…端子
15…バンプ
17…封止用リブ
21…保護材
22…引き出し配線
25…ワイヤ
31…枠体
32…リード線
32a…内部端子
32b…外部端子
41…シリコンウエハ
51…保護材
Claims (7)
- センサーと、該センサーの表面のアクティブ面に空隙部を介して対向するようにセンサー表面に固着された保護材と、該保護材およびセンサーの外側に位置する枠体と、を備え、
前記センサーは、表面の前記アクティブ面の外側領域に複数の端子を有し、
前記保護材は、前記センサーのアクティブ面の外側領域に対向する面に複数の引き出し配線を有し、各引き出し配線はバンプを介して前記センサーの端子に接続されており、
前記枠体は内側から外側に貫通する複数のリード線を有し、各リード線は枠体の内側を内部端子とし、枠体の外側を外部端子とし、各内部端子はワイヤを介して前記保護材の引き出し配線に接続され、前記枠体の端面は前記保護材の前記引き出し配線を有する面の反対側の面と同一面をなしており、
前記ワイヤを被覆し、かつ、前記センサーおよび前記保護材と前記枠体との隙間のみに位置する封止部材を備えていることを特徴とするセンサーパッケージ。 - 前記保護材は、赤外線カットフィルターであることを特徴とする請求項1に記載のセンサーパッケージ。
- 空隙部を介して重ねられた状態の前記センサーと前記保護材の全厚みと、前記枠体の高さがほぼ等しいことを特徴する請求項1または請求項2に記載のセンサーパッケージ。
- 前記保護材は前記アクティブ面の外側領域に位置する封止用リブを介して前記センサーに固着されていることを特徴する請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のセンサーパッケージ。
- ウエハを多面付けに区画し、各面付け毎にセンサーを作製する工程と、
多面付けの前記ウエハをダイシングする工程と、
多面付けに区画された保護材の各面付け毎に複数の引き出し配線を形成し、ダイシングされた各センサーを、センサーのアクティブ面が前記保護材と空隙を介して対向するように、各面付け毎に保護材に固着するとともに、前記引き出し配線にバンプを介して前記センサの端子を接続する工程と、
多面付けの前記保護材をダイシングする工程と、
方形状の内側開口を有し、内側から外側に貫通する複数のリード線を有する枠体を作製する工程と、
前記枠体の内側に、前記保護材とセンサーとの積層体を、前記保護材の前記引き出し配線を有する面の反対側の面が前記枠体の端面と同一面をなすように配置して固定し、前記保護材の引き出し配線と前記リード線の内部端子とをワイヤで接続する工程と、
前記ワイヤを被覆するように、前記保護材、センサーと前記枠体との隙間のみに封止部材を配設する工程と、を有することを特徴とするセンサーパッケージの製造方法。 - 前記センサー表面のアクティブ面の外側領域に封止用リブを設け、該封止用リブを介してセンサーを保護材に固着することを特徴とする請求項5に記載のセンサーパッケージの製造方法。
- 外枠部材と、該外枠部材から内側方向に突設された複数のリード線を備えたリードフレームを形成し、トランスファー成型により前記リードフレームのリード線を挟持するように方形状の内側開口を有する下部枠体と上部枠体を一体的に形成し、その後、前記リード線を切断して前記外枠部材を除去することにより前記枠体を作製することを特徴とする請求項5または請求項6に記載のセンサーパッケージの製造方法。
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