JP4533246B2 - チャックテーブル - Google Patents
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吸引プレートと支持プレートとがバネによってあそびがある状態で締結されることが好ましい。
(1)粒径50〜100μm程度の炭化珪素粒子をポリビニールアルコール等で造粒して吸引領域30に相当する円盤を形成する。
(2)粒径1μm以下の炭化珪素粒子をポリビニールアルコール等で造粒して外周領域31に相当する枠体を形成する。
(3)上記円盤と枠体とを合体させ、2000°Cの高温で1時間焼結する。
(4)枠体の片面にテーパ加工を施してテーパ部32を形成すると共に、切り欠き33を形成する。
2:支持プレート
20:凹部 21:吸引孔 22:収容孔 23:凹部
3:吸引プレート
30:吸引領域 31:外周領域 32:テーパ部 33:切り欠き
4:締結部
40:リング状部材 41:ボルト収容孔 42:ボルト 43:ナット
44:バネ 45:係合部
5:ベーステーブル
50:ベース
500:流路 501:温度センサ
51:ヒータ
510:伝達路 511:センサ収容部
6:チャックテーブル
W:ウェーハ T:保護テープ F:ボンディング用フィルム
Claims (2)
- 表面に複数のデバイスが形成されたウェーハの裏面にボンディング用フィルムを貼着するのに用いるチャックテーブルであって、
ウェーハを吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルを加熱するためのヒータを備えたベーステーブルとから構成され、
該保持テーブルは、ウェーハを吸引する吸引領域と該吸引領域を囲繞する外周領域と該外周領域に形成されたテーパ部とから構成される吸引プレートと、該吸引プレートを支持して吸引力を該吸引プレートに伝達する金属製の支持プレートと、該吸引プレートと該支持プレートとをあそびがある状態で締結する締結部とから構成され、
該吸引プレートは、炭化珪素の焼結体で形成されるチャックテーブル。 - 前記締結部は、前記テーパ部に係合する係合部と、該係合部を該支持プレートに固定する固定部とから構成され、
該固定部は、ボルトとナット及び該ボルトと該ナットとの間に介在するバネで構成され、
吸引プレートと該支持プレートとが該バネによってあそびがある状態で締結される請求項1に記載のチャックテーブル。
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JP2005161276A JP4533246B2 (ja) | 2005-06-01 | 2005-06-01 | チャックテーブル |
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- 2005-06-01 JP JP2005161276A patent/JP4533246B2/ja active Active
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