JP4528406B2 - 回転切削刃の破損検出装置 - Google Patents

回転切削刃の破損検出装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は回転切削刃の破損検出装置に関し、さらに詳しく言えば、装置を停止させることなく、旋削加工中(インプロセス)において回転切削刃の破損を検出することができる回転切削刃の破損検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
回転切削刃は種々の機械加工に用いられているが、その破損は加工製品の不良発生の直接的な原因となるため、早期かつ確実な検出方法が求められている。しかしながら、旋削加工中の回転切削刃は高速で回転しており、近づくと危険でもあるため、その刃体(刃先)の状態を直接に監視することはきわめて難しいとされていた。
【0003】
そこで、従来においては、もっぱら間接的に刃体の破損を監視するようにしており、本発明にとって直近の2例について説明する。まず、第1の従来例においては、図10に示されているように、被加工物Wを回転切削刃1で旋削するにあたって、その被加工物Wの固定治具2に、振動もしくは音響をピックアップするセンサ3を取り付け、その検出信号をFFT(高速フーリエ変換)や音響解析器によって監視し、ピックアップされた振動や音が正常時とは異なる場合に、異常ありとして切削加工を停止させる。
【0004】
また、図11に示されている第2の従来例では、被加工物Wの旋削加工中の回転切削刃1を赤外線放射温度計4によって監視する。異常時には回転切削刃1の温度が上昇するため、これをコンパレータ5で判断して、所定の温度以上となった場合に異常ありとして切削加工を停止させる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
これらの従来技術によれば、確かに回転切削刃1の異常を検出できるが、まず、第1の課題としては、FFTや音響解析器などの解析手段によるにしても、また、赤外線放射温度計4によるにしても、高価な機器であるため、結局のところそのコストが被加工物Wに反映されることになる。
【0006】
また、第2の課題としては、比較基準パターンをや比較基準値(しきい値)を設定する必要があるが、これらの比較基準パターンをや比較基準値は被加工物Wによって異なるため、その都度設定作業を行なわなければならない。また、その設定が適正でないと、検出精度が不確かになってしまうため、かなりの時間と労力などを要する。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような課題を解決するためになされもので、その目的は、構成が簡単かつ安価でありながら、旋削加工中の回転切削刃の破損を直接的に監視することができるようにした回転切削刃の破損検出装置を提供することにある。
【0008】
上記目的を達成するため、本願の第1の発明は、回転駆動軸に固定された電気絶縁材からなる刃体を含む回転切削刃の破損検出装置において、上記回転駆動軸とともに回転するように上記回転駆動軸側に同軸的に保持された回転側の第1ループコイルと、上記第1ループコイルに対して同心的に配置された固定側の第2ループコイルとを備え、上記第1ループコイルには、上記刃体の切れ刃稜線に沿って形成された金属薄膜からなる破損検出スイッチと、水晶振動子を含むクロック信号発生手段とが接続されており、上記第2ループコイルには、上記クロック信号発生手段の共振周波数とほぼ同一の発振周波数を有する発振回路と、エコーバック検出手段とがスイッチ手段を介して交代的に接続されることを特徴としている。
【0009】
この第1の発明において、スイッチ手段を発振回路側に切り替えて第2ループコイルからクロック信号発生手段の共振周波数と同じ電波を送出すると、その電波が第1ループコイルにて受信され、クロック信号発生手段が共振する。クロック信号発生手段はその固有の特性から発振回路を第2ループコイルから切り離してもしばらくの間は振動を持続する。
【0010】
したがって、この持続振動を第2ループコイルからエコーバックとして検出することにより、刃体の破損の有無を検出することができる。ちなみに、刃体が破損した場合には、その金属薄膜も破壊され破損検出スイッチがオフとなり、第1ループコイルがオープンとなるため、エコーバックは検出されない。
【0011】
通常、この種の回転切削刃は複数個の刃体を備えている。したがって、その各々に設けられている破損検出スイッチを第1ループコイルに対して直列に接続することにより、刃体のいずれか一つにでも破損があれば、それを検出することができる。
【0012】
また、各刃体に設けられている破損検出スイッチを第1ループコイルに対して並列的に接続してもよい。この場合には、その各破損検出スイッチに互いに共振周波数が異なるクロック信号発生手段を直列に接続するとともに、発振回路の発振周波数を上記スイッチ手段が切り替えられるごとに、各クロック信号発生手段の共振周波数に順次切り替えるようにする。これによれば、どの刃体に破損が生じたかも検出することができる。
【0013】
本願の第2の発明は、回転駆動軸に固定された電気絶縁材からなる刃体を含む回転切削刃の破損検出装置において、上記回転駆動軸とともに回転するように上記回転駆動軸側に取り付けられた回転側の第1および第2コイルと、これらの各回転側コイルと対向するように固定側の支持手段に支持された交流信号源を有する駆動コイルおよび信号検出手段に接続された検出コイルとを含み、上記第1および第2コイルは、上記刃体の切れ刃稜線に沿って形成された金属薄膜からなる破損検出スイッチを介して互いに接続されていることを特徴としており、これによっても上記目的が達成される。
【0014】
この第2の発明によると、駆動コイルによりいずれか一方のコイル(受信コイル)に電流が誘起され、他方のコイルが発振コイルとなる。したがって、刃体に破損がない場合には、検出コイルから回転切削刃の回転に応じたパルス状の波形が検出される。刃体が破損した場合には、その金属薄膜も破壊され破損検出スイッチがオフとなるため、各コイルが電気的に切り離される。したがって、検出コイルからの出力が途絶え、これにより刃体の破損が検出される。
【0015】
この場合、第1および第2コイルは上記回転駆動軸を中心として対称的に配置され、駆動コイルおよび検出コイルも同じく上記回転駆動軸を中心として対称的に配置されていてもよいし、これに対して、第1および第2コイルは互いに重なる位置に配置され、駆動コイルおよび検出コイルも同じく互いに重なる位置に配置されていてもよい。
【0016】
また、本願の第3の発明は、回転駆動軸に固定された電気絶縁材からなる刃体を含む回転切削刃の破損検出装置において、上記回転駆動軸とともに回転するように上記回転駆動軸側に取り付けられた発電コイルおよび同発電コイルにより駆動される信号発生手段と、固定側の支持手段に上記発電コイルを囲むように支持された磁石および固定側の信号受信手段とを含み、上記発電コイルと上記信号発生手段との間には、上記刃体の切れ刃稜線に沿って形成された金属薄膜からなる破損検出スイッチが接続されていることを特徴としており、これによっても上記目的が達成される。
【0017】
すなわち、刃体に破損がない場合には、発電コイルにて生起された電力にて信号受信手段が駆動されるが、刃体が破損した場合には、その金属薄膜も破壊され破損検出スイッチがオフとなるため、発電コイルと信号受信手段が電気的に切り離され、これにより刃体の破損が検出される。
【0018】
この第3の発明において、信号発生手段が発光素子で、信号受信手段が受光素子であってよい。すなわち、フォトカプラであってよい。また、信号発生手段が無線信号発信回路で、信号受信手段が無線信号受信回路であってもよい。
【0019】
【発明の実施の形態】
次に、本発明のいくつかの好ましい実施例について説明する。図1には第1実施例の模式的な斜視図が示されている。この第1実施例の破損検出装置1Aにおいて、破損検出対象の回転切削刃10は、回転駆動軸11に取り付けられた基板12を有し、この基板12には複数、この例では4つの刃体13a〜13dが90度の間隔をもって固定されている。なお、回転駆動軸11は図示しないモータに連結されている。
【0020】
各刃体13a〜13dは、セラミックなどの電気絶縁材から形成されている。この実施例ではアルミナ系母材が用いられている。各刃体13a〜13dは同一構成であるため、特に個別的に説明する必要がない場合には、刃体の総称として参照符号13を用いる。
【0021】
図2に示されているように、刃体13は例えば三角形状を呈しており、その切れ刃稜線に沿って金属薄膜14が形成されている。この実施例において、金属薄膜14はTiN被膜よりなる。この金属薄膜14は刃体13の破損に伴なって切れ刃稜線から除去もしくは剥離するように形成されており、刃体13の破損検出スイッチとして機能する。なお、各刃体13a〜13dの金属薄膜14を個別的指すときには、金属薄膜14に同じサフィックスを付して金属薄膜14a〜14dとする。
【0022】
回転駆動軸11には円板体15が同軸的に固定されている。図3の回路図を併せて参照すると、円板体15には第1ループコイル(ループアンテナ)16が回転駆動軸11に対して同心的に設けられている。この第1ループコイル16の端子間には、所定の配線を介して水晶振動子を含むクロック信号発生器17と、刃体13の破損検出スイッチ18とが直列的に接続されている。
【0023】
この場合、破損検出スイッチ18は金属薄膜14a〜14dよりなるが、図3の回路図では、これらを破損検出スイッチ18a〜18dとしている。この第1実施例において、各破損検出スイッチ18a〜18dは直列に接続されている。
【0024】
上記回転切削刃10側の構成を回転側とすると、この破損検出装置1Aは、固定側の構成要素として第2ループコイル21を備えている。この第2ループコイル21は、上記第1ループコイル16に対して同心となるように支持アーム22に支持されている。この実施例において、第2ループコイル21は第1ループコイル16を囲むように配置されているが、第1ループコイル16と位置的に重なるように、その上方もしくは下方に配置されてもよい。
【0025】
第2ループコイル21には、発振回路24とエコーバック検出手段25とがスイッチ23を介して交代的に接続される。発振回路24は、クロック信号発生器17の共振周波数とほぼ同一周波数の信号を出力する。エコーバック検出手段25は、増幅器25a、A/D変換器25bおよび検出器本体としてのCPU(central processing unit)25cを備えている。
【0026】
次に、この第1実施例の動作について説明する。回転切削刃10がモータにより駆動され被加工物を旋削しているものとして、まず、スイッチ23を発振回路24側に切り替えて、第2ループコイル21からクロック信号発生器17の共振周波数と同じ電磁波を放出させる。
【0027】
その電磁波が第1ループコイル16にて受信されると、クロック信号発生器17は共振を始める。次に、スイッチ23を発振回路24からエコーバック検出手段25側に切り替える。このように、発振回路24を第2ループコイル21から切り離しても、クロック信号発生器17はその固有の特性により所定時間の間は振動を持続する。
【0028】
この持続振動は、エコーバックとして第2ループコイル21に現れる。このエコーバック信号は増幅器25aにて所定に増幅され、A/D変換器25bでディジタル信号に変換されてCPU25cに与えられる。CPU25cは、エコーバック信号の有無により刃体13を監視する。
【0029】
すなわち、スイッチ23の切り替えごとにエコーバック信号が得られれば、刃体13に破損がないと判断する。これに対して、エコーバック信号が検出されない場合には、破損検出スイッチ18a〜18dのいずれかがオフで、刃体13に破損ありと判断する。
【0030】
そして、再度スイッチ23をエコーバック検出手段25から発振回路24に切り替えることになるが、その切り替えタイミングは、エコーバック信号が消失する前の時点であることが好ましい。
【0031】
なお、図4の回路図に示されているように、第1実施例の変形例として、4つの破損検出スイッチ18a〜18dを第1ループコイル16に対して並列に接続してもよい。この場合には、各破損検出スイッチ18a〜18dに対してそれぞれ共振周波数が異なるクロック信号発生器17a〜17dを直列に接続する。
【0032】
また、発振回路24については可変周波数型とし、各クロック信号発生器17a〜17dの共振周波数とほぼ同一の周波数信号が出力させるようにする。そして、この変形例では、スイッチ23の切り替えごとに発振回路24の発振周波数を順次変更する。
【0033】
例えば、クロック信号発生器17aの共振周波数→クロック信号発生器17bの共振周波数→クロック信号発生器17cの共振周波数→クロック信号発生器17dの共振周波数…のように、発振回路24の発振周波数を順次切り替える。これによれば、エコーバック信号がないクロック信号発生器17を調べることにより、どの刃体13に破損(異常)が生じたかまでも検出することができる。
【0034】
次に、図5ないし図7により、本発明の第2実施例の破損検出装置1Bについて説明する。なお、この第2実施例において、上記第1実施例と同一もしくは同一と見なされてよい構成要素には、同じ参照符号が用いられている。
【0035】
この第2実施例によると、回転駆動軸11に固定されている円板体15に、一対のコイル31,32が設けられている。その配置は、回転駆動軸11を中心として対称的である。図6の回路図に示されているように、コイル31とコイル32との間には、破損検出スイッチ18が接続されている。破損検出スイッチ18は、上記第1実施例と同じく、金属薄膜14a〜14dよりなり、互いに直列に接続された4つの破損検出スイッチ18a〜18dを備えている。
【0036】
固定側の支持アーム22には、駆動コイル41と検出コイル42とが設けられている。この場合、駆動コイル41と検出コイル42は、コイル31,32と対向するように配置されており、その配置はコイル31,32と同じく、回転駆動軸11を中心として対称的である。駆動コイル41には、交流信号源43が接続されている。検出コイル42には、整流回路44aおよびその整流出力を所定に増幅する増幅器44bを含む信号検出手段44が接続されている。
【0037】
回転切削刃10の回転に伴なって、コイル31とコイル32は交代的に駆動コイル41と検出コイル42に対向し、駆動コイル41と対向する側の一方のコイルが受信コイルとなり、反対側の他方のコイルが送信コイルとなる。
【0038】
すなわち、交流信号源43より駆動コイル41に交流信号を流した状態で、回転切削刃10を回転させ、図6の回路図のように、一方のコイル31が駆動コイル41と対向し、他方のコイル32が検出コイル42と対向した時点を捉えると、一方のコイル31には駆動コイル41からの磁束により電流が誘起される。すなわち、一方のコイル31は受信コイルとして動作する。
【0039】
この電流は破損検出スイッチ18を経て他方のコイル32へと流れ、これにより他方のコイル32に磁束が発生する。すなわち、他方のコイル32は発振コイルとして動作する。したがって、このコイル32と対向する検出コイル42に電流が誘導され、この誘導電流が整流回路44aおよび増幅器44bを介して検出される。
【0040】
刃体13が正常であれば、回転切削刃10の回転に伴なって、信号検出手段44にはパルス状の出力が現れる。これに対して、刃体13の破損により破損検出スイッチ18a〜18dの少なくとも一つがオフとなると、コイル31とコイル32は電気的に切り離されるため、信号検出手段44からパルス状の出力が消失する。
【0041】
このようにして、第2実施例においても、上記第1実施例と同様に刃体13を直接的に監視することができる。なお、図7に示されているように、コイル31とコイル32を位置的に重なるように配置し、これに対応して、駆動コイル41と検出コイル42を同様に位置的に重なるように配置してもよい。図示されていないが、駆動コイル41と検出コイル42との間には磁気シールド手段が設けられる。
【0042】
次に、図8および図9により、本発明の第3実施例の破損検出装置1Cについて説明する。なお、この第3実施例においても、上記第1実施例と同一もしくは同一と見なされてよい構成要素には、同じ参照符号が用いられている。
【0043】
この第3実施例によると、回転駆動軸11に固定されている円板体15に、図9の回路図に示されている発電コイル51が設けられている。この発電コイル51には、整流平滑回路52および破損検出スイッチ18を介して信号発生手段53が接続されている。
【0044】
この第3実施例においても、破損検出スイッチ18は、上記各実施例と同じく、金属薄膜14a〜14dよりなり、互いに直列に接続された4つの破損検出スイッチ18a〜18dを備えている。信号発生手段53には、発光ダイオードが用いられている。
【0045】
固定側の支持アーム22には、回転側の発電コイル51を囲むように一対の永久磁石61a,61bが支持されている。永久磁石に代えて、電磁石を用いてもよい。また、支持アーム22には信号発生手段53の相手方としての信号受信手段62が設けられている。この例では、信号受信手段62はフォトトランジスタよりなる。すなわち、信号発生手段53と信号受信手段62は、一種のフォトカプラを構成している。
【0046】
この第3実施例によれば、回転切削刃10の回転に伴なって、発電コイル51より交流電力が発生される。この交流電力は、整流平滑回路52にて直流に変換され、破損検出スイッチ18を介して信号発生手段である発光ダイオード53に供給される。これにより、発光ダイオード53が回転切削刃10の回転に同期して点灯する。
【0047】
固定側において、この点灯信号が信号受信手段であるフォトトランジスタ62にて受光され、このフォトトランジスタ62から回転切削刃10の回転に同期したパルス出力が得られる。
【0048】
したがって、フォトトランジスタ62から定期的にパルス出力が得られている場合には、刃体13が正常であると判断される。これに対して、刃体13の破損により破損検出スイッチ18a〜18dの少なくとも一つがオフとなると、発電コイル51と発光ダイオード53とが電気的に切り離されるため、フォトトランジスタ62の出力が消失することになる。
【0049】
このようにして、第3実施例においても、上記第1および第2実施例と同様にして刃体13を直接的に監視することができる。なお、回転側の信号発生手段53と、固定側の信号受信手段62を無線による送受信手段に置き換えることは容易にでき、このような態様も本発明に含まれる。
【0050】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、刃体の切れ刃稜線に沿って形成された金属薄膜を破損検出スイッチとして利用したことにより、FFTや音響解析器などの解析手段や赤外線放射温度計などの高価な機器を用いることなく、旋削加工中の回転切削刃の破損を直接的に監視することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を模式的に示した斜視図。
【図2】本発明に用いられる刃体の一つを示した拡大斜視図。
【図3】上記第1実施例の回路図。
【図4】上記第1実施例の変形例を示した回路図。
【図5】本発明の第2実施例を模式的に示した斜視図。
【図6】上記第2実施例の回路図。
【図7】上記第2実施例の変形例を模式的に示した斜視図。
【図8】本発明の第3実施例を模式的に示した斜視図。
【図9】上記第3実施例の回路図。
【図10】第1従来例を模式的に示した斜視図。
【図11】第2従来例を模式的に示した斜視図。
【符号の説明】
1A,1B,1C 破損検出装置
10 回転切削刃
11 回転駆動軸
12 基板
13 刃体
14 金属薄膜
15 円板体
16 第1ループコイル
17 クロック信号発生器
18 破損検出スイッチ
21 第2ループコイル
22 支持アーム
23 スイッチ
24 発振回路
25 エコーバック検出手段
31,32 コイル
41 駆動コイル
42 検出コイル
43 交流信号源
44 信号検出手段
51 発電コイル
53 発信回路
61a,61b 磁石
62 受信回路

Claims (9)

  1. 回転駆動軸に固定された電気絶縁材からなる刃体を含む回転切削刃の破損検出装置において、
    上記回転駆動軸とともに回転するように上記回転駆動軸側に同軸的に保持された回転側の第1ループコイルと、上記第1ループコイルに対して同心的に配置された固定側の第2ループコイルとを備え、上記第1ループコイルには、上記刃体の切れ刃稜線に沿って形成された金属薄膜からなる破損検出スイッチと、水晶振動子を含むクロック信号発生手段とが接続されており、上記第2ループコイルには、上記クロック信号発生手段の共振周波数とほぼ同一の発振周波数を有する発振回路と、エコーバック検出手段とがスイッチ手段を介して交代的に接続されることを特徴とする回転切削刃の破損検出装置。
  2. 上記刃体が複数個である場合において、その各々に設けられている上記破損検出スイッチが上記第1ループコイルに対して直列に接続されている請求項1に記載の回転切削刃の破損検出装置。
  3. 上記刃体が複数個である場合において、その各々に設けられている上記破損検出スイッチが上記第1ループコイルに対して並列的に接続されているとともに、上記各破損検出スイッチには互いに共振周波数が異なる上記クロック信号発生手段が直列に接続されており、上記発振回路の発振周波数が上記スイッチ手段が切り替えられるごとに、上記各クロック信号発生手段の共振周波数に順次切り替えられる請求項1に記載の回転切削刃の破損検出装置。
  4. 回転駆動軸に固定された電気絶縁材からなる刃体を含む回転切削刃の破損検出装置において、
    上記回転駆動軸とともに回転するように上記回転駆動軸側に取り付けられた回転側の第1および第2コイルと、これらの各回転側コイルと対向するように固定側の支持手段に支持された交流信号源を有する駆動コイルおよび信号検出手段に接続された検出コイルとを含み、上記第1および第2コイルは、上記刃体の切れ刃稜線に沿って形成された金属薄膜からなる破損検出スイッチを介して互いに接続されていることを特徴とする回転切削刃の破損検出装置。
  5. 上記第1および第2コイルは上記回転駆動軸を中心として対称的に配置されているとともに、上記駆動コイルおよび上記検出コイルも同じく上記回転駆動軸を中心として対称的に配置されている請求項4に記載の回転切削刃の破損検出装置。
  6. 上記第1および第2コイルは互いに重なる位置に配置されているとともに、上記駆動コイルおよび上記検出コイルも同じく互いに重なる位置に配置されている請求項4に記載の回転切削刃の破損検出装置。
  7. 回転駆動軸に固定された電気絶縁材からなる刃体を含む回転切削刃の破損検出装置において、
    上記回転駆動軸とともに回転するように上記回転駆動軸側に取り付けられた発電コイルおよび同発電コイルにより駆動される信号発生手段と、固定側の支持手段に上記発電コイルを囲むように支持された磁石および固定側の信号受信手段とを含み、上記発電コイルと上記信号発生手段との間には、上記刃体の切れ刃稜線に沿って形成された金属薄膜からなる破損検出スイッチが接続されていることを特徴とする回転切削刃の破損検出装置。
  8. 上記信号発生手段が発光素子で、上記信号受信手段が受光素子からなる請求項7に記載の回転切削刃の破損検出装置。
  9. 上記信号発生手段が無線信号発信回路で、上記信号受信手段が無線信号受信回路からなる請求項7に記載の回転切削刃の破損検出装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4302959B2 (ja) * 2002-06-20 2009-07-29 国立大学法人広島大学 非接触式損耗検知システム、回転するスローアウェイチップの損耗検知方法およびフライス工具
CN115031831B (zh) * 2022-06-20 2023-04-07 清华大学 声共振开关装置

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51149490U (ja) * 1975-05-23 1976-11-30
JPS6225142U (ja) * 1985-07-26 1987-02-16
JPH03259702A (ja) * 1990-03-09 1991-11-19 Komatsu Ltd カッタビットの摩耗検出装置
JPH03120323U (ja) * 1990-03-20 1991-12-11
JPH06114688A (ja) * 1992-09-30 1994-04-26 Mazda Motor Corp 工具のトルク検出装置
JPH08108317A (ja) * 1994-10-12 1996-04-30 Kato Koki Kk タップホルダー
JPH0938846A (ja) * 1995-07-28 1997-02-10 Agency Of Ind Science & Technol 切削工具の摩耗量検知による工具寿命の自己診断方法
JPH1110408A (ja) * 1997-06-20 1999-01-19 Hitachi Ltd スローアウェイの切削工具とその切削加工方法
JPH1123382A (ja) * 1997-07-08 1999-01-29 Toshiba Mach Co Ltd 回転体上における温度等の計測方法およびその装置
JPH11347890A (ja) * 1998-06-08 1999-12-21 Nippei Toyama Corp 工具ホルダーの密着状態検知装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51149490U (ja) * 1975-05-23 1976-11-30
JPS6225142U (ja) * 1985-07-26 1987-02-16
JPH03259702A (ja) * 1990-03-09 1991-11-19 Komatsu Ltd カッタビットの摩耗検出装置
JPH03120323U (ja) * 1990-03-20 1991-12-11
JPH06114688A (ja) * 1992-09-30 1994-04-26 Mazda Motor Corp 工具のトルク検出装置
JPH08108317A (ja) * 1994-10-12 1996-04-30 Kato Koki Kk タップホルダー
JPH0938846A (ja) * 1995-07-28 1997-02-10 Agency Of Ind Science & Technol 切削工具の摩耗量検知による工具寿命の自己診断方法
JPH1110408A (ja) * 1997-06-20 1999-01-19 Hitachi Ltd スローアウェイの切削工具とその切削加工方法
JPH1123382A (ja) * 1997-07-08 1999-01-29 Toshiba Mach Co Ltd 回転体上における温度等の計測方法およびその装置
JPH11347890A (ja) * 1998-06-08 1999-12-21 Nippei Toyama Corp 工具ホルダーの密着状態検知装置

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