JP4525097B2 - エッチング方法およびこれを利用した圧電デバイスと圧電振動片の製造方法、ならびに電喰抑制パターンの構造 - Google Patents

エッチング方法およびこれを利用した圧電デバイスと圧電振動片の製造方法、ならびに電喰抑制パターンの構造 Download PDF

Info

Publication number
JP4525097B2
JP4525097B2 JP2004031001A JP2004031001A JP4525097B2 JP 4525097 B2 JP4525097 B2 JP 4525097B2 JP 2004031001 A JP2004031001 A JP 2004031001A JP 2004031001 A JP2004031001 A JP 2004031001A JP 4525097 B2 JP4525097 B2 JP 4525097B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pattern
metal
corrosion
etching
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2004031001A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2005223719A5 (enExample
JP2005223719A (ja
Inventor
茂 白石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2004031001A priority Critical patent/JP4525097B2/ja
Publication of JP2005223719A publication Critical patent/JP2005223719A/ja
Publication of JP2005223719A5 publication Critical patent/JP2005223719A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4525097B2 publication Critical patent/JP4525097B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
JP2004031001A 2004-02-06 2004-02-06 エッチング方法およびこれを利用した圧電デバイスと圧電振動片の製造方法、ならびに電喰抑制パターンの構造 Expired - Fee Related JP4525097B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004031001A JP4525097B2 (ja) 2004-02-06 2004-02-06 エッチング方法およびこれを利用した圧電デバイスと圧電振動片の製造方法、ならびに電喰抑制パターンの構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004031001A JP4525097B2 (ja) 2004-02-06 2004-02-06 エッチング方法およびこれを利用した圧電デバイスと圧電振動片の製造方法、ならびに電喰抑制パターンの構造

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2005223719A JP2005223719A (ja) 2005-08-18
JP2005223719A5 JP2005223719A5 (enExample) 2007-03-29
JP4525097B2 true JP4525097B2 (ja) 2010-08-18

Family

ID=34999007

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004031001A Expired - Fee Related JP4525097B2 (ja) 2004-02-06 2004-02-06 エッチング方法およびこれを利用した圧電デバイスと圧電振動片の製造方法、ならびに電喰抑制パターンの構造

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4525097B2 (enExample)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5165855B2 (ja) * 2006-04-26 2013-03-21 京セラクリスタルデバイス株式会社 圧電素子形成方法
JP5133730B2 (ja) * 2008-02-19 2013-01-30 セイコーインスツル株式会社 圧電振動片の製造方法
JP5162387B2 (ja) * 2008-09-16 2013-03-13 シチズンファインテックミヨタ株式会社 圧電振動片の製造方法
JP4809447B2 (ja) * 2009-01-30 2011-11-09 日本電波工業株式会社 水晶振動子の製造方法
JP5600011B2 (ja) * 2010-02-08 2014-10-01 川崎重工業株式会社 水素ガス製造方法
JP2011178609A (ja) * 2010-03-02 2011-09-15 Kawasaki Heavy Ind Ltd 水素ガス製造方法
JP6163404B2 (ja) * 2013-10-09 2017-07-12 京セラ株式会社 圧電素子の製造方法
JP6617928B2 (ja) * 2016-11-18 2019-12-11 株式会社村田製作所 圧電振動素子の製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5132289A (ja) * 1974-09-13 1976-03-18 Citizen Watch Co Ltd Usuitachokogatasuishoshindohen no seizoho
JPS5728415A (en) * 1980-07-29 1982-02-16 Citizen Watch Co Ltd Electrode film construction of quartz oscillator
JPS5961210A (ja) * 1982-09-29 1984-04-07 Kinseki Kk 水晶振動子の金属膜構造
JPH02257635A (ja) * 1989-03-30 1990-10-18 Toshiba Corp パターン形成方法
JP3157634B2 (ja) * 1993-01-12 2001-04-16 鹿児島日本電気株式会社 ウェットエッチング方法
JP3731540B2 (ja) * 2002-01-08 2006-01-05 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片の製造方法
JP2003347885A (ja) * 2002-05-29 2003-12-05 Seiko Epson Corp 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005223719A (ja) 2005-08-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4329492B2 (ja) 圧電振動片と圧電デバイスおよびこれらの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
US9231184B2 (en) Piezoelectric resonator element and piezoelectric resonator
JP5216288B2 (ja) 圧電振動片の製造方法、圧電デバイスの製造方法
US7535159B2 (en) Tuning fork crystal oscillation plate and method of manufacturing the same
JP4714770B2 (ja) 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法
JP4292825B2 (ja) 水晶振動片の製造方法
JP4763769B2 (ja) 圧電デバイスの製造方法
CN101316097A (zh) 音叉型振动片以及音叉型振子
JP4525097B2 (ja) エッチング方法およびこれを利用した圧電デバイスと圧電振動片の製造方法、ならびに電喰抑制パターンの構造
JP2005151423A (ja) 圧電振動片と圧電デバイスおよびこれらの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
JP4241022B2 (ja) 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器
JP2003347885A (ja) 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電デバイス
JP4513304B2 (ja) エッチング方法およびこれを利用した圧電デバイスと圧電振動片の製造方法。
US7518296B2 (en) Piezoelectric resonator with short-circuits preventing means
JP4636170B2 (ja) 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器
JP2007329879A (ja) 音叉型屈曲水晶振動片とその製造方法
JP4400651B2 (ja) 音叉型振動片の製造方法
JP2009152989A (ja) 圧電振動片及び圧電デバイス
US20220278668A1 (en) Electronic component and method of manufacturing electronic component
JP3731540B2 (ja) 圧電振動片の製造方法
JP4019990B2 (ja) 圧電振動片と圧電デバイスの製造方法
JP2010088054A (ja) 音叉型圧電振動片および圧電デバイス
JP2005210185A (ja) 圧電振動片および圧電デバイスの製造方法
JP4692619B2 (ja) 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器
JP4548077B2 (ja) 水晶振動片および水晶振動子の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070130

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070209

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20070507

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20070509

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070514

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091224

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100105

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100224

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100511

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100524

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees