JP4520752B2 - 容量型力学量センサの製造方法 - Google Patents
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Description
2 シリコン基板
3 下部硝子基板
4 梁
5 錘
6、7 微小隙間
8 貫通穴
9 導電性材料
10 励起用固定電極
11 検出用固定電極
401 半導体基板
103 管
104 シール材
404、304 エッチングマスク
405 開口部
501、601、701、801 開口部
502、602、702、802 マスクパターン
503 梁
703、803 マスク補正部
91 半導体基板
92 錘
93 梁
94 硝子基板
101 ウエハ
102 反応室
103 管
104 シール材
105 クランプ
Claims (2)
- 半導体基板の表面に形成したマスクパターンの開口部をエッチングすることにより、外部より加わる力学量により変位する可動部である錘と前記錘を弾性的に支持する梁を形成する容量型力学量センサの製造方法であって、
前記エッチングは前記半導体基板を深掘りするドライエッチングであり、前記錘および前記梁の前記マスクパターンの寸法は変えずに、前記半導体基板における前記表面内の温度分布により生じるエッチングレートの差に応じて前記開口部の幅を一定量だけ狭めるように配置されたマスク補正部を有する前記マスクパターンを用いることで前記開口部の深さ方向のばらつきを抑えてエッチングすることを特徴とする容量型力学量センサの製造方法。 - 前記半導体ウエハの中心から外周に向かって、前記マスクパターンの開口部の幅を狭める請求項1に記載の容量型力学量センサの製造方法。
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2004
- 2004-02-12 JP JP2004035556A patent/JP4520752B2/ja not_active Expired - Fee Related
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