JP4519541B2 - 超音波洗浄装置 - Google Patents
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Description
(5) 超音波付与ヘッドにより被洗浄物の被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与して、上記被洗浄面を超音波洗浄する超音波洗浄装置において、上記超音波付与ヘッドは、一定の長さを有する直線状に構成され、一端である第1の面と、上記第1の面と反対側の他端に位置する第2の面とを有し、上記第1の面に、その一幅方向の中心部に行くにつれて突出するように設けられた曲面を備える超音波伝達手段と、上記超音波伝達手段の第2の面に設けられ、上記超音波伝達手段を介して上記被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与する超音波振動子と、を具備し、上記超音波伝達手段の内部には、その幅方向の中心部に沿って、長穴状の空間部が形成されていて、かつ上記空間部は、上記第1の面の曲面の径方向中心部が、上記被洗浄物の被洗浄面に対向するようにして、上記超音波付与ヘッドが上記被洗浄物の上方に配置されたときに、上記超音波伝達手段の上方に位置する上記超音波振動子と、上記被洗浄物の被洗浄面との間に位置することを特徴とする。
(6) 超音波付与ヘッドにより被洗浄物の被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与して、上記被洗浄面を超音波洗浄する超音波洗浄装置において、上記超音波付与ヘッドは、一定の長さを有する直線状に構成され、一端である第1の面と、上記第1の面と反対側の他端に位置する第2の面とを有し、上記第1の面に、その一幅方向の中心部に行くにつれて突出するように設けられた曲面を備える超音波伝達手段と、上記超音波伝達手段の第2の面に設けられ、上記超音波伝達手段を介して上記被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与する超音波振動子と、を具備し、上記超音波伝達手段には、その幅方向の中心部に沿って、超音波を吸収する材料が埋め込まれていて、かつ上記材料は、上記第1の面の曲面の径方向中心部が、上記被洗浄物の被洗浄面に対向するようにして、上記超音波付与ヘッドが上記被洗浄物の上方に配置されたときに、上記超音波伝達手段の上方に位置する上記超音波振動子と、上記被洗浄物の被洗浄面との間に位置することを特徴とする。
洗浄液:脱気水、
超音波振動子25に供給する電力:15[W]、
超音波の出力波形:連続波。
洗浄液:脱気水、
超音波振動子25に供給する電力15[W]、
測定範囲:50[mm]×50[mm]の正方形内。
洗浄液:脱気水、
測定位置:超音波振動子の中心部、
サンプリング:1[sec]。
洗浄液:脱気水、
超音波振動子25に供給する電力:20[W]、
測定位置:超音波振動子25の中心部、
サンプリング:1[sec]。
Claims (6)
- 超音波付与ヘッドにより被洗浄物の被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与して、上記被洗浄面を超音波洗浄する超音波洗浄装置において、
上記超音波付与ヘッドは、
一端である第1の面と、上記第1の面と反対側の他端に位置する第2の面とを有し、上記第1の面に、その径方向中心部に行くにつれて突出するように設けられた曲面を備える超音波伝達手段と、
上記超音波伝達手段の第2の面に設けられ、上記超音波伝達手段を介して上記被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与する超音波振動子と、を具備し、
上記超音波伝達手段の径方向中心部には、切欠き部が形成されていて、かつ上記切欠き部は、上記第1の面の曲面の径方向中心部が、上記被洗浄物の被洗浄面に対向するようにして、上記超音波付与ヘッドが上記被洗浄物の上方に配置されたときに、上記超音波伝達手段の上方に位置する上記超音波振動子と、上記被洗浄物の被洗浄面との間に位置することを特徴とする超音波洗浄装置。 - 超音波付与ヘッドにより被洗浄物の被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与して、上記被洗浄面を超音波洗浄する超音波洗浄装置において、
上記超音波付与ヘッドは、
一端である第1の面と、上記第1の面と反対側の他端に位置する第2の面とを有し、上記第1の面に、その径方向中心部に行くにつれて突出するように設けられた曲面を備える超音波伝達手段と、
上記超音波伝達手段の第2の面に設けられ、上記超音波伝達手段を介して上記被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与する超音波振動子と、を具備し、
上記超音波伝達手段の内部には、上記第1の面の径方向中心部を通る軸心線上の位置に空間部が形成されていて、かつ上記空間部は、上記第1の面の曲面の径方向中心部が、上記被洗浄物の被洗浄面に対向するようにして、上記超音波付与ヘッドが上記被洗浄物の上方に配置されたときに、上記超音波伝達手段の上方に位置する上記超音波振動子と、上記被洗浄物の被洗浄面との間に位置することを特徴とする超音波洗浄装置。 - 超音波付与ヘッドにより被洗浄物の被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与して、上記被洗浄面を超音波洗浄する超音波洗浄装置において、
上記超音波付与ヘッドは、
一端である第1の面と、上記第1の面と反対側の他端に位置する第2の面とを有し、上記第1の面に、その径方向中心部に行くにつれて突出するように設けられた曲面を備える超音波伝達手段と、
上記超音波伝達手段の第2の面に設けられ、上記超音波伝達手段を介して上記被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与する超音波振動子と、を具備し、
上記超音波伝達手段には、上記第1の面の径方向中心部を通る軸心線上に超音波を吸収する材料が埋め込まれていて、かつ上記材料は、上記第1の面の曲面の径方向中心部が、上記被洗浄物の被洗浄面に対向するようにして、上記超音波付与ヘッドが上記被洗浄物の上方に配置されたときに、上記超音波伝達手段の上方に位置する上記超音波振動子と、上記被洗浄物の被洗浄面との間に位置することを特徴とする超音波洗浄装置。 - 超音波付与ヘッドにより被洗浄物の被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与して、上記被洗浄面を超音波洗浄する超音波洗浄装置において、
上記超音波付与ヘッドは、
一定の長さを有する直線状に構成され、一端である第1の面と、上記第1の面と反対側の他端に位置する第2の面とを有し、上記第1の面に、その一幅方向の中心部に行くにつれて突出するように設けられた曲面を備える超音波伝達手段と、
上記超音波伝達手段の第2の面に設けられ、上記超音波伝達手段を介して上記被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与する超音波振動子と、を具備し、
上記超音波伝達手段の幅方向の中心部に沿って、線状の切欠き部が形成されていて、かつ上記切欠き部は、上記第1の面の曲面の径方向中心部が、上記被洗浄物の被洗浄面に対向するようにして、上記超音波付与ヘッドが上記被洗浄物の上方に配置されたときに、上記超音波伝達手段の上方に位置する上記超音波振動子と、上記被洗浄物の被洗浄面との間に位置することを特徴とする超音波洗浄装置。 - 超音波付与ヘッドにより被洗浄物の被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与して、上記被洗浄面を超音波洗浄する超音波洗浄装置において、
上記超音波付与ヘッドは、
一定の長さを有する直線状に構成され、一端である第1の面と、上記第1の面と反対側の他端に位置する第2の面とを有し、上記第1の面に、その一幅方向の中心部に行くにつれて突出するように設けられた曲面を備える超音波伝達手段と、
上記超音波伝達手段の第2の面に設けられ、上記超音波伝達手段を介して上記被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与する超音波振動子と、を具備し、
上記超音波伝達手段の内部には、その幅方向の中心部に沿って、長穴状の空間部が形成されていて、かつ上記空間部は、上記第1の面の曲面の径方向中心部が、上記被洗浄物の被洗浄面に対向するようにして、上記超音波付与ヘッドが上記被洗浄物の上方に配置されたときに、上記超音波伝達手段の上方に位置する上記超音波振動子と、上記被洗浄物の被洗浄面との間に位置することを特徴とする超音波洗浄装置。 - 超音波付与ヘッドにより被洗浄物の被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与して、上記被洗浄面を超音波洗浄する超音波洗浄装置において、
上記超音波付与ヘッドは、
一定の長さを有する直線状に構成され、一端である第1の面と、上記第1の面と反対側の他端に位置する第2の面とを有し、上記第1の面に、その一幅方向の中心部に行くにつれて突出するように設けられた曲面を備える超音波伝達手段と、
上記超音波伝達手段の第2の面に設けられ、上記超音波伝達手段を介して上記被洗浄面上の洗浄液に超音波を付与する超音波振動子と、を具備し、
上記超音波伝達手段には、その幅方向の中心部に沿って、超音波を吸収する材料が埋め込まれていて、かつ上記材料は、上記第1の面の曲面の径方向中心部が、上記被洗浄物の被洗浄面に対向するようにして、上記超音波付与ヘッドが上記被洗浄物の上方に配置されたときに、上記超音波伝達手段の上方に位置する上記超音波振動子と、上記被洗浄物の被洗浄面との間に位置することを特徴とする超音波洗浄装置。
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