JP4517865B2 - カーボンナノチューブ電極の製造方法 - Google Patents
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Description
11 テープ状剥離物質
12 テープ状剥離物質
21 電極用基板
22 軟質金属薄膜
23 加圧用基板
31 CNT集合体膜
32 CNT集合体剥離膜
Claims (2)
- 電極用基板上に、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法のいずれかの成膜方法により、モース硬度2以下の軟質金属または合金の薄膜を成膜した後、該電極用基板と前記軟質金属または合金よりも硬質な加圧用基板との間に、
複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブ集合体膜を配置してこれら2枚の基板にて挟みつけ加圧することを特徴とする、電極基板上にモース硬度2以下の軟質金属または合金の薄膜とカーボンナノチューブ集合体膜とが接着されたカーボンナノチューブ電極の製造方法 - 前記軟質金属または合金がインジウムを主成分とすることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブ電極の製造方法
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