JP4505269B2 - 電子回路基板の配線補修方法 - Google Patents
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Description
すなわち、請求項1に係る電子回路基板の配線補修方法は、電子回路基板上に形成された配線の断線部の補修予定箇所にパルスレーザを照射して被覆膜を除去する予備加工を施した後に、沸点が60〜100℃である高揮発性溶媒と沸点が150〜350℃である低揮発性溶媒とを混合した溶媒に導電性を有する物質を含有させてなる導電性物質含有液体を塗布し、導電性物質含有液体中の高揮発性溶媒が揮発してから、前記導電性物質液体の塗布部に連続波レーザを照射して該導電性物質含有液体を加熱することにより、導電性を有する物質の薄膜を前記補修予定箇所に析出させて前記断線部を接続することを特徴としている。
したがって、前記塗布膜の焼き固め速度(描画速度)が向上させることができると共に、塗布膜がレーザ光の照射によって析出されて配線補修部に形成された導電性薄膜は導電性物質の密度が高くなって電気抵抗率が小さくなり、電子回路基板の配線の断線部の接続補修を良好に行うことができる。また、レーザ光が照射されずに電子回路基板上に残留した余剰の塗布膜は、洗浄液による除去、清浄を容易に行うことができる。
図1、図2は本発明の一実施の形態に係る電子回路基板の配線補修方法、例えば、電子回路基板として液晶表示装置のTFT基板1における配線の断線部を補修する配線補修方法の作業工程を示し、左側の図はTFT基板1の断面図であり、右側の図は同平面図である。
前記TFT基板(電子回路基板)1は、基板2の上にTFT配線(配線)3が形成され、該TFT配線3には被覆膜4が施されている。前記TFT配線3には、TFT基板1を製造する過程において断線部3aが生じている例である。
本発明の一実施の形態に係る電子回路基板の配線補修方法は、先ず、図1(a)に示すように、TFT基板1を配線補修装置のテーブル5の上に載置して固定する。
前記レーザ加工装置6は、パルスレーザ光Laと連続波レーザ光Lbをそれぞれ発振する2つの発振器を備え、それらの切換によって共通の光学系を通して前記TFT基板1上に所要のレーザ光を照射することができるようになっている。また、前記溶液塗布装置7としては、従来周知のインクジェット方式、ディスペンサ方式の吐出機構を有するものを使用することができる。
この後に、前記連続波レーザ光Lbが照射されずに前記TFT基板1の被覆膜4上に残留した導電性物質含有液体8の余剰塗布膜8bは、別途洗浄工程において洗浄液によって洗浄、除去され、これにより、TFT基板1の断線部3aの配線補修作業が終了する(図2(d)参照)。なお、洗浄液としては、水、アルカリ(NaOH、KOH等)水溶液、界面活性剤水溶液、エタノール、ブタノール等のアルコール類、エチレングリコール等の多価アルコール類、アセトン等のケトン類の低揮発性溶媒に対して親和性が高い溶液を、単独にあるいは二種類以上を混合して使用することができる。また、前記洗浄作業は、前記配線補修装置に洗浄装置を付設して行うようにしてもよい。その場合には、洗浄装置に乾燥装置を付設することにより、洗浄後に、必要に応じてTFT基板1上にエア等を吹き付けて洗浄液の蒸発、乾燥を促進するようにするとよい。
したがって、前記塗布膜8aの焼き固め速度(描画速度)が50μm/s以上に向上させることができると共に、該塗布膜8aが連続波レーザ光Lbの照射によって析出されて配線補修部に形成された導電性薄膜(補修配線)3bは導電性物質の密度が高くなって電気抵抗率が小さくなり、TFT配線3の断線部3aの接続補修を良好に行うことができる。また、連続波レーザ光Lbが照射されずにTFT基板1の被覆膜4上に残留した余剰塗布膜8bは、低揮発性溶媒のみの溶媒が存在するものであるから、洗浄液に溶解させて容易に除去することができ、TFT基板1を速やかに清浄にすることができる。
前記導電性物質含有液体8は、沸点が60〜100℃である高揮発性を有する低粘度の有機性溶媒(高揮発性溶媒)と、沸点が150〜350℃、20℃における蒸気圧が10hPa以下である低揮発性を有する有機性溶媒(低揮発性溶媒)とを混合した溶媒に、貴金属、銅、クロム等の金属、それらの化合物からなる金属粒子、炭素粒子等の導電性を有する物質(導電性物質)の粒子が溶媒液中に均一に分散した状態で存在させた溶液である。前記導電性物質粒子と高揮発性溶媒と低揮発性溶媒との混合割合(含有割合)は、導電性物質含有液体の全体を100wt%とした場合、導電性物質粒子を全体のうちの20〜50wt%、高揮発性溶媒を低揮発性溶媒に対して1/3〜3倍の割合で混合した溶媒を全体のうちの残りの比率(80〜50wt%)とするのが望ましい。
実施例2は、高揮発性溶媒であるエタノールと、低揮発性溶媒であるブチルセルソルブ(沸点170.2℃、蒸気圧0.8hPa・20℃)とを混合してなる溶媒(蒸気圧差58.2hPa)を使用した場合であり、配線補修部に銀薄膜の析出が良好に行われて補修配線3bが確実に形成されると共に、塗布膜4上に残留した導電性物質含有液体の余剰分の洗浄性も良い。
実施例3は、低揮発性溶媒であるブチルセルソルブのみからなる溶媒を使用した場合であり、配線補修部に銀薄膜の析出が良好に行われず、補修配線3bが確実に形成されない。塗布膜4上に残留した導電性物質含有液体の余剰分の洗浄性は良い。
実施例4は、高揮発性溶媒であるエタノールと、低揮発性溶媒であるγ−ブチロラクトン(沸点204℃、蒸気圧1.5hPa・20℃)とを混合してなる溶媒(蒸気圧差57.5hPa)を使用した場合であり、配線補修部に銀薄膜の析出が良好に行われて補修配線3bが確実に形成されると共に、塗布膜4上に残留した導電性物質含有液体の余剰分の洗浄性も良い。
実施例6は、高揮発性溶媒であるエタノールと、低揮発性溶媒であるポリエチレングリコール(沸点185℃)とを混合してなる溶媒を使用した場合であり、配線補修部に銀薄膜の析出が良好に行われて補修配線3bが確実に形成されると共に、塗布膜4上に残留した導電性物質含有液体の余剰分の洗浄性も良い。
前記実施例2,4,6の配線補修結果においては、前記補修配線3bの電気抵抗率ρは10−7Ω・mであり、導通性が極めて良好であった。これらのことから、高揮発性溶媒と低揮発性溶媒とを混合してなる溶媒に導電性を有する物質を含有させてなる導電性物質含有液体を使用して配線を補修した場合、配線補修部に導電薄膜の析出を良好に行えて、補修配線により断線部3aを有するTFT配線3の導通状態を確実に回復させることができると共に、配線補修後に、塗布膜4上に残留した導電性物質含有液体の余剰分を確実に除去してTFT基板1を清浄にすることができることが判明した。
2 基板
3 TFT配線(配線)
3a 断線部
3b 導電性を有する薄膜(導電性薄膜、補修配線)
4 被覆膜
4a,4b 配線補修結合用孔
5 テーブル
6 レーザ加工装置
7 溶液塗布装置
8 導電性物質含有液体
8a 塗布膜
8b 余剰塗布膜
La パルスレーザ光
Lb 連続波レーザ光
Claims (2)
- 電子回路基板上に形成された配線の断線部の補修予定箇所に、パルスレーザを照射して被覆膜を除去する予備加工を施した後に、沸点が60〜100℃である高揮発性溶媒と沸点が150〜350℃である低揮発性溶媒とを混合した溶媒に導電性を有する物質を含有させてなる導電性物質含有液体を塗布し、導電性物質含有液体中の高揮発性溶媒が揮発してから、前記導電性物質液体の塗布部に連続波レーザを照射して該導電性物質含有液体を加熱することにより、導電性を有する物質の薄膜を前記補修予定箇所に析出させて前記断線部を接続することを特徴とする電子回路基板の配線補修方法。
- 前記導電性物質含有液体に連続波レーザ光を照射した後に、電子回路基板上に残った導電性物質含有液体を洗浄液によって除去することを特徴とする請求項1に記載の電子回路基板の配線補修方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0219838A (ja) * | 1988-07-07 | 1990-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配線パターンの修正法 |
JPH11172169A (ja) * | 1997-12-11 | 1999-06-29 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成用ペースト及びパターン形成方法 |
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2004
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