JP4504553B2 - 相対位置を検出するためのエンコーダ - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、相対位置を検出するためのエンコーダに関し、特に直線上の位置を検出するためのアブソリュート形リニアエンコーダに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、直線運動機構を備えた測定機器や工作機械などにおいて、それらの可動部の位置の同定は、目盛線を有するスケールとその目盛を読み取る検出手段(直線位置検出器)を用いて行う場合が多い。こうした中で、近年、直線位置検出器の高精度・高分解能化、長尺化、高応答化、アブソリュート化などの要求が高まっている。
【0003】
このような要求に応じたものとして直線上の位置を検出するエンコーダがある。このエンコーダの1つにアブソリュート形リニアエンコーダ(absolute linear encoder)がある。このアブソリュート形リニアエンコーダ(以下、ABSリニアエンコーダ)は、例えば、マシニングセンタ、旋盤、フライス盤、ボール盤などのNC工作機械に組み込まれている。また、他にも三次元測定機などにABSリニアエンコーダが組み込まれている。
【0004】
図6は、従来のアブソリュート形リニアエンコーダの概略を示す概略平面図である。
【0005】
アブソリュート形リニアエンコーダ(以下、ABSリニアエンコーダ)1は、スケールを内部に有するスケールホルダ10、及びスケールを透過する光を検出する検出ヘッドやその検出ヘッドから出力された信号を処理する手段などが内蔵されたスライダ20などから構成されている。
【0006】
スライダ20は摺動機構(図示せず)により、スケールホルダ10に対して矢印A方向及びこれとは反対の方向(矢印B方向)に移動できる。また、スライダ20には信号処理手段によって処理された信号を情報処理装置など(図示せず)に伝送するためのケーブル30が取り付けられている。
【0007】
図7は、図6のABSリニアエンコーダ1の主要部の概略構成を示す概略図である。
【0008】
図7において、スケールホルダ10(図7に図示せず)のスケール40は測定機器や工作機械などのベース60に固定されている。一方、スライダ20(図7では図示せず)の検出器50は測定機器や工作機械などの可動部70に対して固定されている。
【0009】
スケールホルダ10は、スケール40を片側から照射する光源(図示せず)を内蔵している。スケール40はガラス板であり、一方の面には金属蒸着膜(黒く示した部分)によってスケールパターンが形成されている。スケールパターンは、スケール40の長手方向に直列に形成されたアブソリュートコード(absolute code)41とインクリメンタルコード(incremental
code)42とからなる。
【0010】
アブソリュートコード(以下、ABSコード)41は、スケール40の長手方向に直列に並べた直列コードによって位置情報を提供している。ABSコード41の語長は、例えば、4ビットである。ABSコード41は金属蒸着部分41aと非蒸着部分41bとから形成されている。
【0011】
インクリメンタルコード42は、金属蒸着部分42aと非蒸着部分42bとが交互に連続するトラックである。このインクリメンタルコード42は、スライダ20の移動を検出するためのものである。
【0012】
一方、スライダ20の検出器50は、光源から発射されてABSコード41の非蒸着部分41bを透過した光を検出するABSコード検出ヘッド(図示せず)とインクリメンタルコード42の非蒸着部分42bを透過した光を検出するマーカ検出ヘッド(図示せず)とを備えている。尚、これら検出ヘッドからの信号を処理する各種の回路(図示せず)がスライダ20に内蔵されている。
【0013】
検出器50は、ABSコード41及びインクリメンタルコード42に面する位置に配置されている。この検出器50は可動部70と共に移動しながらABSコード41及びインクリメンタルコード42から情報を取得する。検出器50がABSコード41から取得した位置情報はスライダ20に内蔵されている各種の回路によって処理され、アブソリュート信号として出力される。一方、検出器50がインクリメンタルコード42から取得した情報は、スライダ20に内蔵されている各種の回路によって処理され、インクリメンタル信号として出力される。
【0014】
これらアブソリュート信号とインクリメンタル信号とはケーブル30を介して情報処理装置(図示せず)に伝送される。情報処理装置は受信した信号から、スライダ20の位置を算出する。
【0015】
以上のような構成のABSエンコーダ1では、通常、可動部70の可動ストロークに対応した長さのスケール40が用いられている。可動部70の可動ストロークが特別に長いために、対応する長さのスケール40がない場合は、スケール信号の位相が合うように複数のスケールを繋いで対応することもある。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、複数のスケールを繋いだ場合、温度などの使用環境の状態などによっては、スケールの繋ぎ部分でスケール信号の位相がずれることがある。従って、エンコーダの精度が低下したり、場合によっては信号検出ができなくなったりすることもあり得るという問題が生じる。
【0017】
また、高精度のスケールの素材物性には低い熱膨張率や高い経時安定性などが要求される。スケールの目盛面には高精度な平面加工や目盛加工が要求される。この平面加工や目盛加工を評価するための装置も高精度のものが必要になる。このため、高精度のスケールは製造コストがかかり高価である。このような高精度のスケールが長尺になると上述の素材物性への要求を満たす素材の入手が困難である。さらに、スケール長に応じた製造設備への投資が膨大になる。このように、長尺の高精度なスケールを用いるABSエンコーダには種々の問題がある。
【0018】
さらに、通常のABSエンコーダのスケールには、直線位置検出方向(スケールの長手方向)に平行な複数の目盛トラックから成るパラレルアブソリュートコードが形成されている。このパラレルアブソリュートコードを検出する検出手段は目盛トラックの数と同数の検出ヘッドを備えているので高価である。
【0019】
本発明の目的は、位置情報が記録された範囲であるスケールの有効長よりも長い距離に亘ってスケールの相対位置を高精度に検出できるエンコーダを提供することにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1の相対位置を検出するためのエンコーダは、位置情報を記録した位置情報パターンが長手方向に連続して形成された該長手方向に相対移動するスケールから、該スケールが位置する前記位置情報を検出して前記スケールの相対位置を検出するためのエンコーダにおいて、前記位置情報が記録された範囲であるスケールの有効長よりも短く、該有効長の1/2よりも長い間隔を開けて前記相対移動の方向に配置された、前記位置情報を検出する少なくとも2つの検出器と、前記少なくとも2つの検出器のうち、前記位置情報の検出が長く続いている方の検出器を選択すると共に該選択した検出器からの位置情報に基づいて前記スケールの位置を算出するための信号処理部とを備え、前記信号処理部は、連続する2つの前記検出器を前記スケールが相対的に通過したときに該2つの検出器の距離を記憶すると共に前記スケールの相対移動の方向に応じて前記距離を前記スケールの位置の算出の際に加減演算するものであることを特徴とする。
【0021】
請求項2記載の相対位置を検出するためのエンコーダは、請求項1に記載の相対位置を検出するためのエンコーダにおいて、前記スケールは、前記位置情報を検出可能な位置にある検出器か否かを前記検出器毎に判別するための検出器判別パターンが前記長手方向に連続して形成されたものであり、前記信号処理部は、前記検出器判別パターンを検出している前記検出器の中から前記選択を実行するものであることを特徴とする。
【0023】
請求項記載の相対位置を検出するためのエンコーダは、請求項1又は2に記載の相対位置を検出するためのエンコーダにおいて、前記位置情報は、前記長手方向に向かって形成された直列のアブソリュートコードであることを特徴とする。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る位置を検出するためのエンコーダを図面を参照しながら詳細に説明する。
【0025】
図1は、本発明の実施の形態における直線上の位置を検出するためのエンコーダの主要部の概略構成を示すブロック図である。なお、図7と同一の構成要素には同一の符号を付してある。
【0026】
本発明の実施の形態における位置を検出するためのエンコーダは、アブソリュート形リニアエンコーダ(absolute linear encoder)であり、直線運動機構を備えたNC工作機械や三次元測定機などに組み込まれるものである。
【0027】
図1において、アブソリュート形リニアエンコーダ(以下、ABSリニアエンコーダ)は、スケール140を内部に有するスケールホルダ(図示せず)、及びスケール140を透過する光を検出する第1の検出器151、第2の検出器152やそれらから出力された信号を処理するための信号処理部200などが内蔵されたスライダ(図示せず)などから構成されている。
【0028】
以下、三次元測定機などを構成するユニットのうち固定された不動のベース60にスライダが固定され、移動可能な可動部70には、スケール140を備えたスケールホルダ(図示せず)が固定されているものとして説明する。なお、ベース60、可動部70、スケール140、第1の検出器151、及び第2の検出器152の位置関係を明瞭に示すため、ベース60には第1の検出器151及び第2の検出器152のみが固定されているように図示してある。また、可動部70にはスケール140のみが固定されているように図示してある。
【0029】
スケールホルダは、スケール140を境にしてスライダの配置された側とは反対側に光源(図示せず)を内蔵している。この光源は例えば発光ダイオードであり、スケール140に光を照射するものである。
【0030】
スケール140は可動部70のストローク長よりも短いガラス板である。スケール140の一方の面には金属蒸着膜(黒く示した部分)などによってスケールパターンが形成されている。スケールパターンは、位置情報を記録したアブソリュートコードトラック(absolute code track)141(位置情報パターン)、スケール140の移動の向きを検出するためのマーカトラック142、及び第1の検出器151と第2の検出器152とがアブソリュートコードトラック(以下、ABSコードトラック)141から情報を取得できる状態にあるか否かを判別するための検出器判別トラック143(検出器判別パターン)である。
【0031】
アブソリュートコードトラック141は、位置情報を提供するABSコード(absolute code)がスケール140の長手方向に連続する1本のトラックである。ABSコードは所定の語長(例えば、4ビット)の直列コードである。このABSコードは光源からの光を遮る遮光部分141a(金属蒸着部分)と光を透過させる光透過部分141b(非蒸着部分)とによって形成されている。
【0032】
マーカトラック(marker track)142は、遮光部分142a(金属蒸着部分)と光透過部分142b(非蒸着部分)とがスケール140の長手方向に交互に短冊状に連続して形成されたインクリメンタルコードのトラックである。遮光部分142aと光透過部分142bとは同一サイズである。隣り合う1つの遮光部分142aと1つの光透過部分142bとを1組としたものの幅はABSコードトラック141における1ビット分の長さと同じである。
【0033】
このマーカトラック142は、スケール140の移動方向などを検出するためのものである。後述するようにスケール140が移動すると、検出器151,152がABSコードから位置情報を取得(検出)すると共にマーカトラック142からはスケール140の移動方向を検出する。
【0034】
検出器判別トラック143は、アブソリュートコードトラック141やマーカトラック142に平行に形成された帯状の遮光部分(金属蒸着部分)である。第1の検出器151や第2の検出器152が検出器判別トラック143を検出するか否かによって、第1の検出器151や第2の検出器152が位置情報の検出可能な位置に位置するか否かを判別できる。上記3種類のトラックの全長は等しく、それらの直線方向の両端の位置は同じである。
【0035】
一方、スライダは摺動機構(図示せず)を備えている。このためスライダに組み合わされたスケール140は、矢印C方向及びこれとは反対の方向いずれにも移動できる可動部70と共に移動する。第1の検出器151と第2の検出器152とは、スケール140の有効長よりも短く、有効長の1/2よりも長い間隔を開けて配置されている。ここで、スケール140の有効長とは、アブソリュートコードトラック141の全長のうち、第1の検出器151若しくは第2の検出器152がスケール140の位置情報を取得(検出)できる範囲の長さである。
【0036】
第1の検出器151と第2の検出器152とは、いずれも光源から発射されてABSコードトラック141の光透過部分141bを透過した光を検出するABSコード検出ヘッド(図示せず)と、光源から発射されてマーカトラック142の光透過部分142bを透過した光を検出するマーカ検出ヘッド(図示せず)とを備えている。これら検出ヘッドから出力された信号は、各種の回路などから成る信号処理部200で処理される。信号処理部200もスライダに内臓されている。ABSコード検出ヘッド及びマーカ検出ヘッドは、例えば、ホトダイオードやホトトランジスタなどの受光素子を備えている。
【0037】
ABSコード検出ヘッドはABSコードトラック141に面する位置に配置されており、光透過部分141bに面すると光透過部分141bを透過した光を検出する。一方、マーカ検出ヘッドはマーカトラック142に面する位置に配置されており、光透過部分142bに面すると光透過部分142bを透過した光を検出する。
【0038】
図2は、図1におけるマーカトラック142などを示す模式図である。
【0039】
図2において、マーカ検出ヘッドは図示したように配置された2つの受光素子153a,153bを備えている。この受光素子153a,153bは、ホトダイオード(又はホトトランジスタ)である。ホトダイオード153a,153bはスケール140が移動するに従って信号を出力する。
【0040】
図3は、図2におけるホトダイオード153a,153bが出力する信号を示す図である。
【0041】
図3において、信号300aは、ホトダイオード153aが出力する信号であり、一方、信号300bは、ホトダイオード153bが出力する信号である。ホトダイオード153a,153bはこのような位相差が90°でオン/オフ比率50%の2相の信号(増減マーカ信号)300a,300bを出力するように配置されている。これによって、スケール140の移動方向が矢印C方向であるのか矢印C方向とは反対の方向(矢印D方向)であるのかを検出できる。
【0042】
次に、スケール140が3つの異なる位置に位置する場合(ポジション1,2,3)の作用について説明する。
【0043】
図1に示すポジション1の状態では、第1の検出器151のみがABSコードトラック141、マーカトラック142、及び検出器判別トラック143に面する位置にある。第1の検出器151はABSコードトラック141からスケール140の位置情報T1を取得し、位置情報T1に基づく信号を信号処理部200に出力する。また、第1の検出器151はマーカトラック142を検出して増減マーカ信号を信号処理部200に出力する。信号処理部200はこれらの信号を処理してポジション1のスケール140の位置を算出する。
【0044】
図4は、図1における可動部70が矢印C方向に移動したときのエンコーダの主要部の概略構成を示すブロック図である。
【0045】
図4に示すポジション2の状態では、第1の検出器151及び第2の検出器152双方がABSコードトラック141、マーカトラック142、及び検出器判別トラック143に面する位置にある。第1の検出器151はABSコードトラック141からスケール140の位置情報T2を取得し、位置情報T2に基づく信号を信号処理部200に出力する。第2の検出器152はABSコードトラック141からスケール140の位置情報T3を取得し、位置情報T3に基づく信号を信号処理部200に出力する。この後、上記のようにスケール140の位置が算出される。この際、ポジション1の場合から引き続いてスケール140の位置情報を取得している第1の検出器151の検出した位置情報T2がスケール140の位置の算出に採用される。即ち、位置情報の検出が長く続いている方の検出器(第1の検出器151)の位置情報が採用される。
【0046】
また、第1の検出器151と第2の検出器152とは共に検出器判別トラック143を検出している。この場合、検出によって出力される信号に基づいて信号処理部200はT2−T3の差情報を演算してそのデータを記憶する。このデータは、第1の検出器151と第2の検出器152との間隔の大きさを示すものである。
【0047】
図5は、図4における可動部70が矢印C方向に移動したときのエンコーダの主要部の概略構成を示すブロック図である。
【0048】
図5に示すポジション3の状態では、第2の検出器152のみがABSコードトラック141、マーカトラック142、及び検出器判別トラック143に面する位置にある。第2の検出器152はABSコードトラック141からスケール140の位置情報T4を取得し、位置情報T4に基づく信号を信号処理部200に出力する。また、第2の検出器152はマーカトラック142を検出して増減マーカ信号を信号処理部に出力する。信号処理部はこれらの信号を処理してポジション1のスケール140の位置を算出する。
【0049】
尚、検出器を2つだけ図示して説明したが、3つ以上の検出器を配置してもよい。この場合、検出器どうしの間隔はスケール140の有効長よりも短く、有効長の1/2よりも長いので、同時に3つ以上の検出器がスケール140の位置情報を検出することはない。従って、検出器の数を増やしさえすればスケール140の相対移動の距離を必要なだけ長くできる。
【0050】
また、三次元測定機などを構成するユニットのうち固定された不動のベース60にスケール140を固定し、スケール140の有効長よりも短い間隔を開けて検出器が配置されたスライダを移動可能な可動部70に固定してもよい。
【0051】
また、信号処理部200の各種機能のうち2つの検出器の間の距離を記憶する機能やスケール140の位置を算出する機能は、信号処理部200とは異なる情報処理装置が代わって実行するようにしてもよい。
【0052】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明に係る相対位置を検出するためのエンコーダによれば、スケールが相対移動して1つの検出器を通過する以前に隣の検出器が位置情報を検出し始める。2つの検出器が位置情報を検出しているときは、位置情報の検出が最も長く続いている検出器を信号処理部が選択し、選択した検出器からの位置情報に基づいてスケールの位置を算出する。スケールの相対移動が続いて隣の検出器のみが位置情報を検出するときは、隣の検出器が検出した位置情報によってスケールの位置が算出される。したがって、スケールの有効長よりも長い距離に亘ってスケールの相対位置を高精度に検出できる。このとき、スケールが相対的に通過した2つ以上の検出器どうしの距離が記憶され、スケールの位置を算出する際にスケールの相対移動の方向に応じて記憶した距離を加減演算するので、スケールの相対位置を検出する距離が長くてもスケールの相対位置を高精度に検出することができる。
【0053】
また、本発明に係る相対位置を検出するためのエンコーダによれば、信号処理部が検出器判別パターンを検出している検出器の中から位置情報を検出可能な位置にある検出器を判別して選択し、選択した検出器が検出した位置情報に基づいてスケールの位置を算出できる。したがって、より的確にスケールの相対位置を検出できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態における直線上の位置を検出するためのエンコーダの主要部の概略構成を示すブロック図である。
【図2】図1におけるマーカトラック142などを示す模式図である。
【図3】図2におけるホトダイオード153a,153bが出力する信号を示す図である。
【図4】図1における可動部70が矢印C方向に移動したときのエンコーダの主要部の概略構成を示すブロック図である。
【図5】図4における可動部70が矢印C方向に移動したときのエンコーダの主要部の概略構成を示すブロック図である。
【図6】従来のアブソリュート形リニアエンコーダの概略を示す概略平面図である。
【図7】図6のABSリニアエンコーダ1の主要部の概略構成を示す概略図である。
【符号の説明】
141 ABSコードトラック(位置情報パターン)
140 スケール
141a 遮光部分
141b 光透過部分
142 マーカトラック
142a 遮光部分
142b 光透過部分
143 検出器判別トラック(検出器判別パターン)
151 第1の検出器
152 第2の検出器
200 信号処理部

Claims (3)

  1. 位置情報を記録した位置情報パターンが長手方向に連続して形成された該長手方向に相対移動するスケールから、該スケールが位置する前記位置情報を検出して前記スケールの相対位置を検出するためのエンコーダにおいて、
    前記位置情報が記録された範囲であるスケールの有効長よりも短く、該有効長の1/2よりも長い間隔を開けて前記相対移動の方向に配置された、前記位置情報を検出する少なくとも2つの検出器と、
    前記少なくとも2つの検出器のうち、前記位置情報の検出が長く続いている方の検出器を選択すると共に該選択した検出器からの位置情報に基づいて前記スケールの位置を算出するための信号処理部とを備え
    前記信号処理部は、連続する2つの前記検出器を前記スケールが相対的に通過したときに該2つの検出器の距離を記憶すると共に前記スケールの相対移動の方向に応じて前記距離を前記スケールの位置の算出の際に加減演算するものであることを特徴とする相対位置を検出するためのエンコーダ。
  2. 前記スケールは、前記位置情報を検出可能な位置にある検出器か否かを前記検出器毎に判別するための検出器判別パターンが前記長手方向に連続して形成されたものであり、前記信号処理部は、前記検出器判別パターンを検出している前記検出器の中から前記選択を実行するものであることを特徴とする請求項1に記載の相対位置を検出するためのエンコーダ。
  3. 前記位置情報は、前記長手方向に向かって形成された直列のアブソリュートコードであることを特徴とする請求項1又は2に記載の相対位置を検出するためのエンコーダ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10300918B4 (de) * 2003-01-13 2014-11-06 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen der Relativbewegung zweier relativ zueinander bewegbarer Maschinenteile
DK3430713T3 (da) * 2016-03-13 2022-04-25 Servosense Smc Ltd Positionskoder
WO2023148923A1 (ja) * 2022-02-04 2023-08-10 三菱電機株式会社 絶対位置検出装置および絶対位置検出方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63188711A (ja) * 1987-01-31 1988-08-04 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd 位置決め装置
JPH0264405A (ja) * 1988-08-31 1990-03-05 Okuma Mach Works Ltd リニアエンコーダ
JPH06235608A (ja) * 1993-02-09 1994-08-23 Toyota Auto Body Co Ltd リニアエンコーダ
JPH095116A (ja) * 1995-06-15 1997-01-10 Nikon Corp アブソリュートエンコーダ
JPH11160104A (ja) * 1997-12-01 1999-06-18 Toyota Auto Body Co Ltd リニヤエンコーダ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63188711A (ja) * 1987-01-31 1988-08-04 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd 位置決め装置
JPH0264405A (ja) * 1988-08-31 1990-03-05 Okuma Mach Works Ltd リニアエンコーダ
JPH06235608A (ja) * 1993-02-09 1994-08-23 Toyota Auto Body Co Ltd リニアエンコーダ
JPH095116A (ja) * 1995-06-15 1997-01-10 Nikon Corp アブソリュートエンコーダ
JPH11160104A (ja) * 1997-12-01 1999-06-18 Toyota Auto Body Co Ltd リニヤエンコーダ

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