JP2002139352A - 位置を検出するためのエンコーダ - Google Patents

位置を検出するためのエンコーダ

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JP2002139352A
JP2002139352A JP2000330360A JP2000330360A JP2002139352A JP 2002139352 A JP2002139352 A JP 2002139352A JP 2000330360 A JP2000330360 A JP 2000330360A JP 2000330360 A JP2000330360 A JP 2000330360A JP 2002139352 A JP2002139352 A JP 2002139352A
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scale
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JP2000330360A
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Nobuhisa Nishioki
暢久 西沖
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Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型軽量化が可能であり、且つ、スケールの
相対移動の方向によらず、スケール又はスライダの位置
を検出できるエンコーダを提供する。 【解決手段】 位置情報を記録したABSコードトラッ
ク171、及びマーカトラック172を形成したスケー
ル170を備え、スライダ180は、位置情報を取得す
るABS検出ヘッド181、スケール170の相対移動
を検出するマーカ検出ヘッド183、位置情報とダミー
情報を異なる方向から格納する第1の双方向シフトレジ
スタ184A、これとは反対の方向から位置情報とダミ
ー情報を格納する第2の双方向シフトレジスタ184
B、位置情報の格納を制御するシフトレジスタ制御信号
発生回路186、及び信号選択回路189を備える。信
号選択回路は、第1の双方向シフトレジスタに基づく第
1のアブソリュート信号又は第2の双方向シフトレジス
タに基づく第2のアブソリュート信号から正しい位置情
報に基づく信号を選択出力する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種装置の可動ユ
ニットの位置を検出するためのエンコーダに関し、特に
直線上の絶対位置を検出するためのアブソリュート形リ
ニアエンコーダに関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、直線上の絶対位置を検出する
絶対位置検出器の1つにアブソリュート形リニアエンコ
ーダ(absolute linear encode
r)がある。このアブソリュート形リニアエンコーダ
(以下、ABSリニアエンコーダ)は、位置情報を高精
度に且つ高速に取得する必要がある装置に組み込まれて
いる。そのような装置の例として、マシニングセンタ、
旋盤、フライス盤、ボール盤などのNC工作機械があ
る。また、他にも三次元測定機などにABSリニアエン
コーダが組み込まれている。
【0003】図8は、従来のABSリニアエンコーダの
概略を示す概略平面図である。
【0004】ABSリニアエンコーダ1は、スケールを
内部に有するスケールホルダ10、及びスケールを透過
する光を検出する検出ヘッドやその検出ヘッドから出力
された信号を処理する手段などが内蔵されたスライダ2
0などから構成されている。
【0005】スケールホルダ10は、スケールを片側か
ら照射する光源(図示せず)を内蔵している。
【0006】スライダ20は摺動機構(図示せず)によ
り、スケールホルダ10に対して矢印A方向及びこれと
は反対の方向(矢印B方向)に移動できる。また、スラ
イダ20には信号処理手段によって処理された信号を情
報処理装置など(図示せず)に伝送するためのケーブル
30が取り付けられている。
【0007】図9は、図8のABSリニアエンコーダ1
の主要部の概略構成を示すブロック図である。
【0008】図9において、スケール40はガラス板で
あり、一方の面には金属蒸着膜(黒く示した部分)によ
ってスケールパターンが形成されている。スケールパタ
ーンは、スケール40の長手方向に並列に形成されたア
ブソリュートコードトラック(absolute co
de track)41,42,43,44とマーカト
ラック(marker track)45とからなる。
【0009】アブソリュートコードトラック(以下、A
BSコードトラック)41,42,43,44は、位置
情報を提供するABSコード(absolute co
de)がスケール40の長手方向に連続するトラックで
ある。ABSコードは金属蒸着部分41a,42a,4
3a,44aと非蒸着部分41b,42b,43b,4
4bとから形成されている。
【0010】図示したABSコードの語長(ビット数)
は4ビットである。このため、4本のABSコードトラ
ック41,42,43,44が並列にABSコードトラ
ック列を形成している。4本のABSコードトラック4
1,42,43,44のうちスケール40の長手方向に
直交する方向(図9の紙面上縦方向)に並んだ1ビット
ずつのABSコードが1語を形成する。1語には1つの
位置情報が記録されている。
【0011】マーカトラック45は、金属蒸着部分45
aと非蒸着部分45bとが交互に連続するトラックであ
る。このマーカトラック45はスケール40(若しくは
スライダ20)の移動を検出するためのものである。
【0012】一方、スライダ20は、光源から発射され
てABSコードトラック41,42,43,44の非蒸
着部分41b,42b,43b,44bを透過した光を
検出する4つのABSコード検出ヘッド21,22,2
3,24、及び光源から発射されてマーカトラック45
の非蒸着部分45bを透過した光を検出するマーカ検出
ヘッド25を備えている。さらに、これら検出ヘッドか
らの信号を処理する各種の手段を内蔵している。
【0013】ABSコード検出ヘッド21はABSコー
ドトラック41に面する位置に配置されており、非蒸着
部分41bを透過した光を検出する。ABSコード検出
ヘッド22はABSコードトラック42に面する位置に
配置されており、非蒸着部分42bを透過した光を検出
する。同様に、ABSコード検出ヘッド23,24は夫
々ABSコードトラック43,44に面する位置に配置
されており、非蒸着部分43b,44bを透過した光を
検出する。ABSコード検出ヘッド21,22,23,
24が取得した位置情報は並列アブソリュートコード信
号としてアブソリュート信号発生手段26に出力され
る。
【0014】一方、マーカ検出ヘッド25はマーカトラ
ック45に面する位置に配置されており、非蒸着部分4
5bを透過した光を検出する。マーカ検出ヘッド25は
透過光を検出すると、増減マーカ信号をインクリメンタ
ル信号発生手段27及び検出同期信号発生手段28に出
力する。
【0015】増減マーカ信号を受信したインクリメンタ
ル信号発生手段27は増減マーカ信号に応じたインクリ
メンタル信号を出力する。一方、検出同期信号発生手段
28は検出同期信号をアブソリュート信号発生手段26
に出力する。並列アブソリュートコード信号と検出同期
信号を受信したアブソリュート信号発生手段26はアブ
ソリュート信号を出力する。
【0016】これらアブソリュート信号とインクリメン
タル信号とはケーブル30を介して情報処理装置(図示
せず)に伝送される。情報処理装置は受信した信号か
ら、スケール40(若しくはスライダ20)の位置を算
出する。
【0017】図10と図11とを参照して、ABSリニ
アエンコーダの他の例を説明する。
【0018】図10は、図9のABSリニアエンコーダ
1とは異なるABSリニアエンコーダの主要部の概略構
成を示すブロック図である。
【0019】図10のABSリニアエンコーダでは、直
列(シリアル)コードのトラックであるABSコードト
ラック51が1本だけスケール50に形成されている
点、スライダ60はABSコード検出ヘッド61を1つ
だけ備えている点などで図9のABSリニアエンコーダ
1とは異なる。また、このABSリニアエンコーダは検
出同期信号発生手段28を備えていない点、ABSリニ
アエンコーダ1には備えられていないシフトレジスタ6
3及びシフトレジスタ制御信号発生手段65を備えてい
る点なども図9のABSリニアエンコーダ1とは異な
る。
【0020】ABSコードトラック51はスケール50
の長手方向に直列に並べた4ビットの直列コードによっ
て位置情報を提供している。ABSコードは金属蒸着部
分51aと非蒸着部分51bとから形成されている。マ
ーカトラック52は、金属蒸着部分52aと非蒸着部分
52bとが交互に連続するトラックである。
【0021】ABSコード検出ヘッド61がABSコー
ドトラック51から取得した位置情報はシリアルアブソ
リュートコード信号としてシフトレジスタ63に出力さ
れる。このシフトレジスタ63は、後述する増減マーカ
信号を受信したシフトレジスタ制御信号発生手段65が
出力するシフトレジスタ制御信号を受信し、シリアルア
ブソリュートコード信号を直列コードに並べてアブソリ
ュート信号発生手段66にデータを出力する。シフトレ
ジスタ63に示した直列コードは「1010」である。
データを受信したアブソリュート信号発生手段66はR
OMテーブル等を用いてアブソリュート位置情報を生成
し、アブソリュート信号に変換して出力する。
【0022】一方、マーカ検出ヘッド62はマーカトラ
ック52の非蒸着部分52bを透過した光を検出する
と、インクリメンタル信号発生手段64及びシフトレジ
スタ制御信号発生手段65に増減マーカ信号を出力す
る。増減マーカ信号を受信したインクリメンタル信号発
生手段64はインクリメンタル信号を出力する。
【0023】これらインクリメンタル信号とアブソリュ
ート信号とは情報処理装置(図示せず)に伝送される。
情報処理装置は受信した信号から、スケール50(若し
くはスライダ60)の位置を算出する。
【0024】図11は、図10におけるスケール50が
スライダ60に対して相対的に矢印A方向に移動した場
合を示すブロック図である。
【0025】スケール50は、図10におけるスケール
50の位置よりも相対的に矢印A方向に最小単位の移動
をしている。ここで、「最小単位」とは、マーカトラッ
ク52における隣接する蒸着部分52aと非蒸着部分5
2bとの1組分の長さである。この移動に伴ってABS
コード検出ヘッド61が透過光を検出して出力したシリ
アルアブソリュートコード信号は、シフトレジスタ63
の最後尾(図11の紙面上左端)に格納される。すでに
格納されていたデータは先頭(紙面上右側)に向かって
一桁シフトする。この結果、シフトレジスタ63に示さ
れたデータは「1101」となる。移動に伴う新たなイ
ンクリメンタル信号とアブソリュート信号とが情報処理
装置に出力されて、移動後のスケール50の位置が算出
される。
【0026】このようなABSリニアエンコーダは、N
C工作機械など他の装置に装備される場合が多いので、
小型軽量であることが望ましい。
【0027】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ABS
コードに並列コードを用いたABSリニアエンコーダ
(図9参照)ではABSコードの語長(トラック数)と
同数の検出ヘッドが必要である。このため、この形態の
ABSリニアエンコーダは小型軽量化しにくく、コスト
もかかるという問題がある。
【0028】一方、図10と図11とに示したABSリ
ニアエンコーダでは、ABSコードのトラックは1本な
ので検出ヘッドの数は1つでよい。従って、この形態の
ABSリニアエンコーダによれば、小型軽量化と低コス
ト化が両立する。しかし、この形態のABSリニアエン
コーダには次のような問題が生じる。
【0029】図12は、図11のスライダ60に対して
スケール50が相対的に矢印B方向(矢印A方向とは反
対の方向)に移動した場合を示すブロック図である。
【0030】図12において、スケール50は図11に
示した位置から図10に示した位置に戻っている。この
移動に伴ってABSコード検出ヘッド61から出力され
たシリアルアブソリュート信号は、シフトレジスタ63
の最後尾に格納される。この結果、並列データは「11
10」になる。ところが、図10においては、同じ位置
の並列データが「1010」である。これは、スケール
50の相対移動の仕方によっては、同じ位置でも並列デ
ータが異なることを意味する。この結果、スケール50
の移動方向が一方向である場合でなければこの形態のA
BSリニアエンコーダは利用できないという大きな問題
点がある。
【0031】本発明の目的は、小型軽量化が可能であ
り、且つ、スケールの相対移動の方向によらず、スケー
ル又はスライダの位置を検出できるエンコーダを提供す
ることにある。
【0032】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載のエンコーダは、位置情報を直線方向
に連続して記録した位置情報パターン及び前記直線方向
に連続する連続パターン双方が形成されたスケールと、
前記位置情報パターンから前記スケールが位置する位置
の位置情報を検出すると共に前記直線方向に向いた前記
スケールの相対移動を前記連続パターンから検出するた
めのスライダとを備えた位置を検出するためのエンコー
ダにおいて、前記スライダは、前記位置情報パターンか
ら前記位置情報を検出する1つの位置情報検出手段と、
前記スケールの相対移動を前記連続パターンから検出す
る1つの移動検出手段と、前記相対移動の方向に応じて
前記位置情報を異なる格納場所に格納する格納手段と、
前記異なる格納場所に格納された前記位置情報に基づく
信号を前記スケールの相対移動に基づいて選択し、出力
する信号選択手段とを備えることを特徴とする。
【0033】上記目的を達成するために、請求項2記載
のエンコーダは、位置情報を直線方向に連続して記録し
た位置情報パターン及び前記直線方向に連続する連続パ
ターン双方が形成されたスケールと、前記位置情報パタ
ーンから前記スケールが位置する位置の位置情報を検出
すると共に前記直線方向に向いた前記スケールの相対移
動を前記連続パターンから検出するためのスライダとを
備えた位置を検出するためのエンコーダにおいて、前記
スライダは、前記位置情報パターンから前記位置情報を
検出する1つの位置情報検出手段と、前記スケールの相
対移動を前記連続パターンから検出する1つの移動検出
手段と、前記位置情報検出手段が検出した前記位置情報
を一方向から格納し、他方向からダミー情報を格納する
第1の格納手段と、前記一方向とは反対の方向から前記
位置情報と前記ダミー情報を格納する第2の格納手段
と、前記移動検出手段が検出した相対移動の向きに対応
して前記位置情報を前記第1の格納手段又は前記第2の
格納手段のいずれか一方が格納するように制御する格納
制御手段と、前記第1の格納手段に格納した前記位置情
報に基づいて出力される第1の信号又は前記第2の格納
手段に格納した前記位置情報に基づいて出力される第2
の信号のうち、位置情報に基づく信号を選択して出力す
る信号選択手段とを備えることを特徴とする。
【0034】請求項3記載のエンコーダは、請求項2記
載の位置を検出するためのエンコーダにおいて、前記第
1の格納手段及び前記第2の格納手段は、前記位置情報
を記録した前記位置情報パターンの語長の少なくとも2
倍のデータを格納するものであることを特徴とする。
【0035】請求項4記載のエンコーダは、請求項2又
は3記載の位置を検出するためのエンコーダにおいて、
前記信号選択手段は、前記相対移動の向きによって正若
しくは負に定まる計数を前記スケールの単位移動量に応
じて実行すると共に計数後の数値に基づいた計数信号を
出力する相対移動応答カウンタと、該計数信号に応じて
前記第1の信号及び前記第2の信号のいずれか一方を選
択して出力する信号選択回路とを備えるものであること
を特徴とする。
【0036】請求項5記載のエンコーダは、請求項4記
載の位置を検出するためのエンコーダにおいて、前記単
位移動量は、前記位置情報パターンの語長を形成する単
位の大きさに等しいことを特徴とする。
【0037】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
位置を検出するためのエンコーダを図面を参照しながら
詳細に説明する。
【0038】図1は、本発明の実施の形態における直線
上の位置を検出するためのエンコーダの主要部の概略構
成を示すブロック図である。
【0039】本発明の実施の形態における位置を検出す
るためのエンコーダは、アブソリュート形リニアエンコ
ーダ(absolute linear encode
r)100であり、NC工作機械や三次元測定機などに
組み込まれるものである。
【0040】図1において、アブソリュート形リニアエ
ンコーダ(以下、ABSリニアエンコーダ)100は、
スケール170を内部に有するスケールホルダ(図示せ
ず)、及びスケール170を透過する光を検出する検出
ヘッド(181,182,183)やその検出ヘッドか
ら出力された信号を処理するための手段(184,18
5,186,187)などが内蔵されたスライダ180
などから構成されている。以下、三次元測定機などを構
成するユニットのうち不動の不動ユニット(図示せず)
にスライダ180が固定され、移動可能な可動ユニット
(図示せず)にスケールホルダが固定されているものと
して説明する。
【0041】スケールホルダは、スケール170を境に
してスライダ180の配置された側とは反対側に光源
(図示せず)を内蔵している。この光源は例えば発光ダ
イオードであり、スケール170に光を照射するもので
ある。
【0042】スケール170はガラス板であり、一方の
面には金属蒸着膜(黒く示した部分)などによってスケ
ールパターンが形成されている。スケールパターンは、
位置情報を記録したアブソリュートコードトラック(a
bsolute codetrack)171(位置情
報パターン)と、スケール170の移動の向きを検出す
るためのマーカトラック172(連続パターン)であ
る。
【0043】アブソリュートコードトラック(以下、A
BSコードトラック)171は、位置情報を提供するA
BSコード(absolute code)がスケール
170の長手方向に連続する1本のトラックである。A
BSコードは4ビットの語長の直列コードである。この
ABSコードは光源からの光を遮る遮光部分171a
(金属蒸着部分)と光を透過させる光透過部分171b
(非蒸着部分)とによって形成されている。
【0044】マーカトラック(marker trac
k)172は、遮光部分172a(金属蒸着部分)と光
透過部分172b(非蒸着部分)とがスケール170の
長手方向に交互に短冊状に連続して形成されたものであ
る。遮光部分172aと光透過部分172bとは同一サ
イズである。隣り合う1つの遮光部分172aと1つの
光透過部分172bとを1組としたものの幅はABSコ
ードトラック171における1ビット分の長さと同じで
ある。このマーカトラック172は、スケール170の
移動方向などを検出するためのものである。後述するよ
うにABSコード検出ヘッド181(位置情報検出手
段)がABSコードから位置情報を取得(検出)すると
きに、マーカ検出ヘッド183(移動検出手段)はマー
カトラック172からスケール170の移動方向の情報
を取得する。
【0045】一方、スライダ180は摺動機構(図示せ
ず)を備えている。このためスライダ180に組み合わ
されたスケール170は、矢印C方向及びこれとは反対
の矢印D方向(図5参照)に移動する可動ユニットと共
に移動できる。スライダ180は、光源から発射されて
ABSコードトラック171の光透過部分171bを透
過した光を検出するABSコード検出ヘッド181(位
置情報検出手段)を1つと、光源から発射されてマーカ
トラック172の光透過部分172bを透過した光を検
出するマーカ検出ヘッド183(移動検出手段)を1つ
備えている。さらに、これら検出ヘッドからの信号を処
理する各種の回路などがスライダ180に内蔵されてい
る。ABSコード検出ヘッド181及びマーカ検出ヘッ
ド183は、例えば、ホトダイオードやホトトランジス
タなどの受光素子を備えている。
【0046】ABSコード検出ヘッド181はABSコ
ードトラック171に面する位置に配置されており、光
透過部分171bに面すると光透過部分171bを透過
した光を検出する。このABSコード検出ヘッド181
は取得した位置情報を後述する第1の双方向シフトレジ
スタ184A(第1の格納手段)及び第2の双方向シフ
トレジスタ184B(第2の格納手段)にシリアルアブ
ソリュートコード信号として出力する。
【0047】一方、マーカ検出ヘッド183はマーカト
ラック172に面する位置に配置されている。マーカ検
出ヘッド183は光透過部分172bに面すると光透過
部分172bを透過した光を検出する。
【0048】図2は、図1におけるマーカトラック17
2などを示す模式図である。
【0049】図2において、マーカ検出ヘッド183は
図示したように配置された2つの受光素子183a,1
83bを備えている。この受光素子183a,183b
は、ホトダイオード(又はホトトランジスタ)である。
ホトダイオード183a,183bはスケール170が
移動するに従って信号を出力する。
【0050】図3は、図2におけるホトダイオード18
3a,183bが出力する信号を示す図である。
【0051】図3において、信号300aは、ホトダイ
オード183aが出力する信号であり、一方、信号30
0bは、ホトダイオード183bが出力する信号であ
る。ホトダイオード183a,183bはこのような位
相差が90°でオン/オフ比率50%の2相の信号(増
減マーカ信号)300a,300bを出力するように配
置されている。これによって、スケール170の移動方
向が矢印C方向であるのか矢印D方向であるのかを検出
できる。
【0052】図1に示すように、マーカ検出ヘッド18
3は透過光を検出すると、増減マーカ信号300a,3
00bをインクリメンタル信号発生回路185及びシフ
トレジスタ制御信号発生回路186(格納制御手段)に
出力する。増減マーカ信号300a,300bを受信し
たインクリメンタル信号発生回路185はインクリメン
タル信号を出力する。このインクリメンタル信号は不図
示の情報処理装置に送信される。また、インクリメンタ
ル信号は2n+1状態カウンタ188(相対移動応答カ
ウンタ)にも出力される。
【0053】2n+1状態カウンタ188は、桁上げ及
び桁下げがともに無い2n+1進のカウンタであり、最
大値と最小値で計数が飽和する形式のものである。ここ
で、nはコード長である。
【0054】本実施の形態においては、ABSコード長
が4ビットであるので、2n+1状態カウンタ188
は、最大値が+4、中央値が0、最小値が−4の9状カ
ウンタである。2n+1状態カウンタ(以下、9状カウ
ンタ)188は、後述する選択指令信号を信号選択回路
189に出力する。
【0055】一方、増減マーカ信号300a,300b
を受信したシフトレジスタ制御信号発生回路186(レ
ジスタ制御手段)はシフトレジスタ制御信号を第1の双
方向シフトレジスタ184A及び第2の双方向シフトレ
ジスタ184Bに出力する。
【0056】第1の双方向シフトレジスタ184A及び
第2の双方向シフトレジスタ184Bは、格納したデー
タを選択的に正負いずれの方向(図1の紙面上、左右の
いずれの方向)にも桁移動でき、新規のデータを選択的
に正負いずれの方向からでも格納できる可逆シフトレジ
スタである。データを正負いずれの方向から格納するか
は、後述するようにスケール170の移動方向によって
決まる。第1の双方向シフトレジスタ184A及び第2
の双方向シフトレジスタ184Bに格納できるデータ長
はABSコード長の2倍以上である。本実施の形態で
は、格納できるデータ長はいずれも8ビットである。
【0057】第1の双方向シフトレジスタ184Aは、
ABSコード検出ヘッド181から出力されたシリアル
アブソリュートコード信号を最後尾(図1の紙面上の左
端であり、正方向)から格納する一方で、先頭(図1の
紙面上の右端であり、負方向)からは無効なダミーデー
タ「0d」を格納する。これらの格納したデータはデジ
タルデータとして直列コードに並べられる。格納された
データのうち最後尾からABSコード長分(4ビット)
のデータを第1のアブソリュート信号発生器187Aが
参照し、ROMテーブル等を用いて第1のアブソリュー
ト信号(第1の信号)を生成する。
【0058】第2の双方向シフトレジスタ184Bは、
ABSコード検出ヘッド181から出力されたシリアル
アブソリュートコード信号を先頭から格納する一方で、
最後尾からは無効なダミーデータ「0d」を格納する。
これらの格納したデータはデジタルデータとして直列コ
ードに並べられる。格納されたデータのうち先頭からA
BSコード長分(4ビット)のデータを第2のアブソリ
ュート信号発生器187Bが参照し、ROMテーブル等
を用いて第2のアブソリュート信号(第2の信号)を生
成する。
【0059】尚、後述するように、ABSコード検出ヘ
ッド181から出力されたシリアルアブソリュートコー
ド信号が同時に第1の双方向シフトレジスタ184Aと
第2の双方向シフトレジスタ184Bとに格納されるこ
とはない。また、ダミーデータが同時に第1の双方向シ
フトレジスタ184Aと第2の双方向シフトレジスタ1
84Bとに格納されることもない。
【0060】第1のアブソリュート信号と第2のアブソ
リュート信号はいずれか一方が信号選択回路189によ
って選択されて情報処理装置に送信される。信号選択回
路189は、9状カウンタ188から受信した選択指令
信号によってこの選択を実行する。この選択はスケール
170の移動に基づいている。
【0061】スケール170が移動すると、上述のよう
にマーカ検出ヘッド183から増減マーカ信号300
a,300bが出力される。この増減マーカ信号300
a,300bを受信したインクリメンタル信号発生回路
185はインクリメンタル信号を出力する。このインク
リメンタル信号を9状カウンタ188が計数する。この
際、ABSリニアエンコーダ100の機動時に9状カウ
ンタ188の初期値を0にしておけば、後述する初期動
作時のスケール170の移動方向を問わずにすむ。
【0062】9状カウンタ188がインクリメンタル信
号を計数し、計数値が0から+1に変化したときは、信
号選択回路189が第1のアブソリュート信号を選択し
て出力するように選択指令信号を出力する。また、9状
カウンタ188がインクリメンタル信号を計数し、計数
値が0から−1に変化したときは、信号選択回路189
が第2のアブソリュート信号を選択して出力するように
選択指令信号を出力する。9状カウンタ188の計数値
の変化がこのパターン以外のときは、信号選択回路18
9による選択の変更は実行されず、それまでの選択状態
が継続される。
【0063】このようにして出力されたアブソリュート
信号と、上述したインクリメンタル信号とから情報処理
装置はスケール170の位置を算出する。
【0064】以下、スケール170の移動にともなうA
BSリニアエンコーダ100の動作について説明する。
【0065】ABSリニアエンコーダ100の機動時に
は、図1に示すように、第1の双方向シフトレジスタ1
84A及び第2の双方向シフトレジスタ184B双方と
もに位置情報が格納されていない。そこで、スケール1
70にABSコードの語長の2倍以上の距離を移動させ
る。例として、スケール170を正方向(図2における
矢印C方向)にABSコードの語長の2倍(8ビット)
だけ移動させた場合について説明する。
【0066】図4は、図1におけるスケール170を正
方向に移動したときのABSリニアエンコーダの概略を
示すブロック図である。図4において、スケール170
は正方向にABSコードの語長の2倍(8ビット)だけ
移動している。この移動によって9状カウンタ188は
インクリメンタル信号を8回カウントする。スケール1
70の移動は正方向であるので、増減マーカ信号300
a,300bは増加を示す。
【0067】この場合、第1の双方向シフトレジスタ1
84A及び第2の双方向シフトレジスタ184B双方と
もに格納データを正方向(矢印E方向)にシフトさせて
新しいデータを最後尾に格納する。このとき、第1の双
方向シフトレジスタ184AにはABSコード検出ヘッ
ド181からのデータが格納されるが、第2の双方向シ
フトレジスタ184Bにはダミーデータが格納される。
【0068】9状カウンタ188は最大値の+4までカ
ウントアップしている。このカウントの途中で計数値が
0から+1に変わっているので、正しいデータが格納さ
れている第1の双方向シフトレジスタ184Aの値から
生成された第1のアブソリュート信号が信号選択回路1
89によって選択される。従って、第1のアブソリュー
ト信号が信号選択回路189から出力される。なお、こ
の時点では、第2の双方向シフトレジスタ184Bには
ダミーデータのみが格納されている。
【0069】図5は、図4におけるスケール170が正
方向に移動したときのABSリニアエンコーダの概略を
示すブロック図である。
【0070】図5において、スケール170の移動は正
方向であるので、増減マーカ信号300a,300bは
増加を示す。移動は+1カウント分であるので、第1の
双方向シフトレジスタ184A及び第2の双方向シフト
レジスタ184B双方ともに格納データが正方向(矢印
E方向)に1桁シフトされ、新しいデータが各々の最後
尾に格納される。従って、ABSコード検出ヘッド18
1からのデータは第1の双方向シフトレジスタ184A
の最後尾に格納される。ABSコード検出ヘッド181
は光透過部分171bに面した位置にあるので光透過部
分171bを透過した光を検出する。従って、第1の双
方向シフトレジスタ184Aの最後尾にはデータ「1」
が格納されている。一方、第2の双方向シフトレジスタ
184Bの最後尾にはダミーデータ「0d」が格納され
ている。
【0071】9状カウンタ188は+1を計数するが、
既に最大値の+4までカウントアップしているので計数
値は変わらず、アブソリュート信号の選択状態も変更さ
れない。このため、第1のアブソリュート信号が引き続
き出力される。
【0072】図6は、図4におけるスケール170が負
方向に移動したときのABSリニアエンコーダの概略を
示すブロック図である。
【0073】図6において、スケール170の移動は負
方向(矢印D方向)であるので、増減マーカ信号300
a,300bは減少を示す。移動量は−1カウント分で
あるので、第1の双方向シフトレジスタ184A及び第
2の双方向シフトレジスタ184B双方ともに格納デー
タが負方向(矢印F方向)に1桁シフトされる。この場
合、スケール170が正方向に移動する場合とは逆に、
新しいデータは各々の先頭に格納される。
【0074】ABSコード検出ヘッド181からのデー
タは第2の双方向シフトレジスタ184Bの先頭に格納
される。ABSコード検出ヘッド181は遮光部分17
1aに面した位置にあるので、スケール170を透過す
る光は検出されない。従って、第2の双方向シフトレジ
スタ184Bの先頭にはデータ「0」が格納されてい
る。一方、第1の双方向シフトレジスタ184Aの先頭
にはダミーデータ「0d」が格納されている。
【0075】9状カウンタ188は+4から+3へ1つ
カウントダウンしているが、0から−1への計数値の変
化は無いので、アブソリュート信号の選択状態は変更さ
れない。このため、信号選択回路189からは第1のア
ブソリュート信号が引き続き出力される。
【0076】第1の双方向シフトレジスタ184Aを参
照すると、その先頭にはダミーデータ「0d」が格納さ
れている。しかしながら、第1のアブソリュート信号発
生器187Aが参照する最後尾から4桁分のデータは正
しいデータが格納されている。従って、第1のアブソリ
ュート信号は正しいデータから生成された信号である。
【0077】図7は、図6におけるスケール170が負
方向に移動したときのABSリニアエンコーダの概略を
示すブロック図である。
【0078】図7において、スケール170は図6にお
ける位置から更に負方向に4カウント分移動している。
スケール170の移動が負方向であるので、増減マーカ
信号300a,300bは減少を示す。移動は−4カウ
ント分であるので、第1の双方向シフトレジスタ184
A及び第2の双方向シフトレジスタ184B双方ともに
格納データが負方向(矢印F方向)に4桁シフトされ
る。4桁分の新しいデータが各々の先頭に順次に格納さ
れる。
【0079】図6の場合と同様に、ABSコード検出ヘ
ッド181からのデータは第2の双方向シフトレジスタ
184Bの先頭に格納される。一方、第1の双方向シフ
トレジスタ184Aの先頭には、ダミーデータ「0d」
が格納される。
【0080】9状カウンタ188は+4から−1の計数
を5回行う。5回目の計数で計数値が0から−1にな
る。この0から−1への変化があったときは、9状カウ
ンタ188から出力される選択指令信号に基づいて信号
選択回路189は出力するアブソリュート信号を第1の
アブソリュート信号から第2のアブソリュート信号に変
更する。
【0081】この場合、第1のアブソリュート信号発生
器187Aが参照する第1の双方向シフトレジスタ18
4Aの最後尾から4桁分のデータには最後尾から4桁目
にダミーデータが格納されている。従って、この4桁分
のデータから生成された第1のアブソリュート信号は正
しい位置情報を示していない。一方、第2の双方向シフ
トレジスタ184Bは先頭から5桁目まで正しいデータ
が格納されている。従って、第2のアブソリュート信号
発生器187Bが参照する先頭から4桁分のデータは正
しいので、第2のアブソリュート信号は正しい位置情報
を示している。これにより、信号選択回路189は正し
いデータから生成されたアブソリュート信号を出力す
る。
【0082】このように、信号選択回路189は正しい
データから生成されたアブソリュート信号を常に出力す
る。従って、スケール170の位置情報はスケール17
0の移動方向や移動量にかかわらず常に正しく出力でき
る。
【0083】上記のように、ABSコードからの位置情
報の取得は1つのABSコード検出ヘッド181だけで
できる、また、マーカトラック172からスケール17
0の移動方向の情報を取得するにはマーカ検出ヘッド1
83が1つあればよい。このため、ABSリニアエンコ
ーダ100は小型化できると共に低コスト化も可能にな
る。
【0084】なお、上記の例においては、三次元測定機
を構成するユニットのうち不動ユニットにスライダ18
0が固定され、可動ユニットにスケールホルダが固定さ
れている場合について説明したが、スケールホルダが不
動ユニットに固定され、可動ユニットに固定されたスラ
イダ180が可動ユニットと共に移動する場合であって
もよい。
【0085】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項1乃
至5に記載の位置を検出するためのエンコーダによれ
ば、スケールの相対移動の方向に応じて異なる格納場所
に格納した位置情報に基づく信号をスケールの相対移動
に基づいて信号選択手段が選択し、出力するので、スケ
ールの相対移動の方向によらず、スケール又はスライダ
の位置を正しく検出できる。また、位置情報検出手段及
び移動検出手段ともに1つでよいのでエンコーダは小型
軽量化できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るABSリニアエンコ
ーダの一例の概略を示すブロック図である。
【図2】図1におけるマーカトラック172などを示す
模式図である。
【図3】図2におけるホトダイオード183a,183
bが出力する信号を示す図である。
【図4】図1におけるスケール170を正方向に移動し
たときのABSリニアエンコーダの一例の概略を示すブ
ロック図である。
【図5】図4におけるスケール170が正方向に移動し
たときのABSリニアエンコーダの概略を示すブロック
図である。
【図6】図4におけるスケール170が負方向に移動し
たときのABSリニアエンコーダの概略を示すブロック
図である。
【図7】図6におけるスケール170が負方向に移動し
たときのABSリニアエンコーダの概略を示すブロック
図である。
【図8】従来のABSリニアエンコーダの一例の概略を
示す概略平面図である。
【図9】図8のABSリニアエンコーダ1の主要部の概
要を示すブロック図である。
【図10】図9のABSリニアエンコーダ1とは異なる
ABSリニアエンコーダの主要部の概要を示すブロック
図である。
【図11】図10におけるスケール50がスライダ60
に対して相対的に矢印A方向に移動した場合を示すブロ
ック図である。
【図12】図11のスライダ60に対してスケール50
が相対的に矢印B方向に移動した場合を示すブロック図
である。
【符号の説明】
100 エンコーダ 170 スケール 171 ABSコードトラック(位置情報パターン) 172 マーカトラック(連続パターン) 180 スライダ 181 ABSコード検出ヘッド(位置情報検出手段) 183 マーカ検出ヘッド(移動検出手段) 186 シフトレジスタ制御信号発生回路(格納制御手
段) 184A 第1の双方向シフトレジスタ(第1の格納手
段) 184B 第2の双方向シフトレジスタ(第2の格納手
段) 188 9状カウンタ(相対移動応答カウンタ) 189 信号選択回路 C,D 直線方向 23

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 位置情報を直線方向に連続して記録した
    位置情報パターン及び前記直線方向に連続する連続パタ
    ーン双方が形成されたスケールと、前記位置情報パター
    ンから前記スケールが位置する位置の位置情報を検出す
    ると共に前記直線方向に向いた前記スケールの相対移動
    を前記連続パターンから検出するためのスライダとを備
    えた位置を検出するためのエンコーダにおいて、前記ス
    ライダは、 前記位置情報パターンから前記位置情報を検出する1つ
    の位置情報検出手段と、 前記スケールの相対移動を前記連続パターンから検出す
    る1つの移動検出手段と、 前記相対移動の方向に応じて前記位置情報を異なる格納
    場所に格納する格納手段と、 前記異なる格納場所に格納された前記位置情報に基づく
    信号を前記スケールの相対移動に基づいて選択し、出力
    する信号選択手段とを備えることを特徴とする位置を検
    出するためのエンコーダ。
  2. 【請求項2】 位置情報を直線方向に連続して記録した
    位置情報パターン及び前記直線方向に連続する連続パタ
    ーン双方が形成されたスケールと、前記位置情報パター
    ンから前記スケールが位置する位置の位置情報を検出す
    ると共に前記直線方向に向いた前記スケールの相対移動
    を前記連続パターンから検出するためのスライダとを備
    えた位置を検出するためのエンコーダにおいて、前記ス
    ライダは、 前記位置情報パターンから前記位置情報を検出する1つ
    の位置情報検出手段と、 前記スケールの相対移動を前記連続パターンから検出す
    る1つの移動検出手段と、 前記位置情報検出手段が検出した前記位置情報を一方向
    から格納し、他方向からダミー情報を格納する第1の格
    納手段と、 前記一方向とは反対の方向から前記位置情報と前記ダミ
    ー情報を格納する第2の格納手段と、 前記移動検出手段が検出した相対移動の向きに対応して
    前記位置情報を前記第1の格納手段又は前記第2の格納
    手段のいずれか一方が格納するように制御する格納制御
    手段と、 前記第1の格納手段に格納した前記位置情報に基づいて
    出力される第1の信号又は前記第2の格納手段に格納し
    た前記位置情報に基づいて出力される第2の信号のう
    ち、位置情報に基づく信号を選択して出力する信号選択
    手段とを備えることを特徴とする位置を検出するための
    エンコーダ。
  3. 【請求項3】 前記第1の格納手段及び前記第2の格納
    手段は、前記位置情報を記録した前記位置情報パターン
    の語長の少なくとも2倍のデータを格納するものである
    ことを特徴とする請求項2記載の位置を検出するための
    エンコーダ。
  4. 【請求項4】 前記信号選択手段は、前記相対移動の向
    きによって正若しくは負に定まる計数を前記スケールの
    単位移動量に応じて実行すると共に計数後の数値に基づ
    いた計数信号を出力する相対移動応答カウンタと、該計
    数信号に応じて前記第1の信号及び前記第2の信号のい
    ずれか一方を選択して出力する信号選択回路とを備える
    ものであることを特徴とする請求項2又は3記載の位置
    を検出するためのエンコーダ。
  5. 【請求項5】 前記単位移動量は、前記位置情報パター
    ンの語長を形成する単位の大きさに等しいことを特徴と
    する請求項4記載の位置を検出するためのエンコーダ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009068978A (ja) * 2007-09-13 2009-04-02 Iai:Kk アブソリュート型リニアエンコーダとアクチュエータ
KR20210010515A (ko) * 2018-05-25 2021-01-27 젠자이테크 게엠베하 절대값 인코더

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