JP4504475B2 - 固体対象物上の炭素付着物を除去する装置 - Google Patents

固体対象物上の炭素付着物を除去する装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体処理の分野、より詳しくは固体上に付着した炭素付着物を完全にまたは部分的に除去することに関する。
炭素付着物の除去のために、酸化、空気、酸素、蒸気または二酸化炭素の気化が考えられる。
本発明は、特に、以下に示すように流動床において処理することができない対象物を目的としている。
【0002】
【従来の技術】
良く知られているように(Perry's chemical Engineer’S Handbook、第6版、9〜40頁、エネルギー利用、転化および原料保存、図9〜32、機械的ストッカーを参照されたい)、酸化および/または気化による固体対象物上の炭素付着物の除去は、図1に示すような輸送式火格子上の石炭燃焼操作と同じ方法で行うことができる。格納枠内に貯蔵された処理すべき原料1が、2つの回転シリンダー3上に乗せられた輸送式火格子2上に重量的に乗せられている。形成される層4は、通常、数cmの厚さである。これは、燃料油または天然ガスのような補助燃料を用いるバーナーであり得る放熱アーチ6上に乗せられた加熱手段5により加熱される。空気または気化剤が火格子2の下側で注入され、1または2以上の容器7のために、層4を流通する。各容器内での気体流速は、層の熱プロフィールを最良に調節し、原料の転化を最適化するように個々に調節することができる。処理された固体は、装置8から排出されるが、処理から生じる気体流出物は特定のラインを通って排出され、大部分の場合、ボイラーまたはエネルギー回収のための熱交換器に送られる。
【0003】
この良く知られたタイプの装置は、輸送式火格子およびダスト落下部を通過する誘導の問題故に所定の寸法(特徴的寸法は1cm超)の対象物しか処理することができない。
【0004】
処理温度は、熱交換が低く定められる形成層の固定された性質故に、制御が困難である。最後に、輸送式火格子2は、常に、機械的な汚染および粘着問題などを有する。
【0005】
これらの欠点の一部は、図2に示すような流動床システムを用いて除去することができる。この既知の概念によれば、処理され格納枠11内処理されるべき貯蔵原料は、重力的に流動床12内に供給される。当業者に知られている条件下に拡散器13を通して空気または気化剤を吹き込むことにより流動化媒体が得られる。処理された固体は、例えばライン14を通る溢流により排出されるが、気体流出物はパイプ15を介して装置を出、例えば回収ボイラー上の交換器に送られる。
【0006】
この装置は、例えば、空気または気化剤サーキット上に配された補助燃料のための燃焼チャンバーであり得る予備加熱手段16を必ず備えなくてはならない。
【0007】
流動化媒体において生成された熱量が大きい場合、媒体の温度を所定範囲に維持するように浸漬交換器17によりカロリーを排出することができる。
【0008】
このタイプの装置(流動床)は、正確な温度制御条件下に小さな寸法の対象物(数十ミクロン〜数mm)を処理することができる。しかしながら、これには幾つかの欠点がある:第1の欠点として、これは完全混合型反応器として機能し、そのために固体対象物の一部が入った直ぐ後にシステムを出る。従って、正確に処理されない。
【0009】
さらに、流動化媒体は、特に空気ラインの近くにおいて対象物の相互の摩擦故に非常に腐食的である。従って、機械的強度が制限された対象物を処理する場合は、そのようなシステムを用いることは避けられるべきである。
【0010】
これらの摩擦問題は、気体流出物を大気に排出する前に除去すべき、気体流出物中のダストの多量の存在も引き起こす。
【0011】
さらに、気体サーキット中の圧力低下は、輸送式火格子を用いるシステムにおけるよりも大きく、一部の場合において不利益であり得る。最後に、流動床技術は、通常、機械的観点からかなり複雑である、従って費用がかかる。
【0012】
さらに、仏国特許出願FR−2,634,187は、実質的凹状セクションの閉鎖トラフを有する振動床を開示している。
【0013】
さらに、仏国特許出願FR−2,702,392は、本出願人の名で、発煙脱硫において用いられる吸収剤の再生用の振動-昇降装置を開示している。しかしながら、この装置は、非常に粒径の小さな(20μ未満)「粘着性」生成物を適切に処理することができない。この文献は、バーナーまたは交換トラフを用いて装置を加熱および冷却するための種々の手段を記載している。
【0014】
さらに、本出願人の名で出願された仏国特許出願EN.97/02,658は、改質触媒の再生を意図した実質的に円筒形の螺旋形管からなる振動昇降反応器を開示している。
【0015】
前述の既知の装置はいずれも、1cm以上の寸法の固体上の炭素付着物を除去することはできない。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の装置は、前述の欠点を克服し、劣化させることなく対象物を処理するための等温条件を提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本発明は以下の発明および実施態様を包含する。
【0018】
(a) 処理すべき対象物のための入口(102)、加熱気体の供給路(104)および出口を有する前記対象物を加熱するための領域(101a)、気化流体の供給路(105)および出口(108)を有する酸化および/または気化により対象物を処理する領域(101b)、処理された対象物のための出口(118)を含んでなる固体対象物上の炭素付着物を除去する装置であって、
前記加熱領域(101a)および処理領域(101b)が単一の格納枠(100)内に配され、対象物の輸送を意図した実質的に平底の振動要素(101)を含み、前記底部が対象物を支持し、流体を前記対象物を通して拡散させ、振動を伝達させることを特徴とすると共に、さらに、格納枠(100)内の前記固体の移動方向に関して処理領域(101b)から下流側において前記格納枠(100)内に配される、前記固体を冷却するための領域(101c)を含み、格納枠(100)の外側に加熱手段(115、116)が提供されることを特徴とする装置。
【0019】
(b) さらに、加熱気体のための出口と冷却気体のための入口との間にライン(111)を含み、コンプレッサー(112)および弁(108)が前記ライン上に提供される(a)に記載の装置。
【0020】
(c) 加熱手段が燃焼チャンバー(115)に結合されたバーナー(116)を含み、バーナーの入口が冷却領域(101c)の出口に接続され、燃焼チャンバー(115)の出口が加熱領域(101a)の入口に接続されている(a)または(b)に記載の装置。
【0021】
(d) さらに、再加熱を必要としない場合に気体が流れる、加熱手段(115、116)を迂回するライン(114)を含む(c)に記載の装置。
【0022】
(e) 気化流体のための入口(105)が多枝分配器(106)を含む(a)〜(d)何れかに記載の装置。
【0023】
(f) 気化流体のための出口が多枝捕集器(108)を含む(a)〜(e)のいずれかに記載の装置。
【0024】
(g) 前記捕集器(108)が熱交換器(109)またはボイラーの入口に接続された単一の出口を含む(f)に記載の装置。
【0025】
(h) さらに、加熱領域(101a)と処理領域(101b)との間および処理領域(101b)と冷却領域(101c)との間の雰囲気を隔離するための手段(106)を含む(a)〜(g)のいずれかに記載の装置。
【0026】
(i) 前記処理領域(101b)が複数の分離要素を含む(a)〜(h)のいずれかに記載の装置。
【0027】
(j) 実質的に平底の振動要素(101)が、内径上の円筒ドラム(201)のような振動器に固定された螺旋形状のリムが設けられたトラフである(a)〜(i)のいずれかに記載の装置。
【0028】
(k) 実質的に平底の振動要素(101)が、加熱、処理および冷却領域に共通の台である(a)〜(i)のいずれかに記載の装置。
【0029】
(l) 種々の気体入口がトラフ(101)の平坦底部に配された有孔管(308)からなる(a)〜(k)のいずれかに記載の装置。
【0030】
(m) 平坦要素が気体供給容器(302)からなり、トラフの下側面が多孔質材料または有孔シートからなる(k)に記載の装置。
【0031】
【発明の実施の形態】
本発明は、さらに、容易に実行できる信頼性のあるエネルギー節約型解決法を提供する。
【0032】
本発明の顕著な他の利点は:
・種々の形状、寸法、特性を有する固体の処理、
・処理する固体の炭素含量に関する高度のフレキシビリティー、
・低い運転コスト、
・少ない投資、
・優れた簡潔性、
・処理速度に関して10倍変化し得る高度のフレキシビリティー、
・処理する対象物の小さな磨耗。
【0033】
処理される対象物は、異なる組成の気体雰囲気に付することができる。
【0034】
すなわち本発明の目的は、処理すべき対象物の入口、加熱気体の供給路および出口を有する前記対象物を加熱するための領域、気化流体の供経路および出口を有する酸化および/または気化により前記対象物を処理するための領域、処理された対象物のための出口を含んでなる固体対象物上の炭素付着物を除去するための装置である。
【0035】
本発明によれば、前記加熱領域および前記処理領域は、単一の格納枠内に配され、対象物の輸送を意図した実質的に平底の振動要素を含み、前記底部は、対象物を支持し、流体を前記対象物を通して拡散させ、振動を伝達させるものであり;本発明の装置は、さらに、格納枠内の前記固体の移動方向に関して処理領域から下流側において前記格納枠内に配される、前記固体を冷却するための領域を含み、格納枠の外側には加熱手段も提供される。
【0036】
本発明の一つの態様によれば、装置は、さらに、加熱気体のための出口と冷却気体のために入口との間のライン、コンプレッサー、および前記ライン上に提供された弁を含む。
【0037】
さらに、加熱手段は、燃焼チャンバーに結合されたバーナーを含み、バーナーの入口は冷却領域の出口に接続され、燃焼チャンバーの出口は加熱領域の入口に接続されている。
【0038】
本発明の特異的の特徴によれば、装置は、再加熱を必要としない場合に気体が流れる、加熱手段(115、116)を迂回するラインも含む。
【0039】
気化流体のための入口は特に多枝分配器を含む。
【0040】
さらに、気化流体のための出口は多枝捕集器を含む。
【0041】
この構造において、前記捕集器は例えば熱交換器またはボイラーの入口に接続された単一の出口を含む。
【0042】
本発明の特異的特徴によれば、装置は、有利に、加熱領域と処理領域との間および処理領域と冷却領域との間の雰囲気を隔離するための手段を含む。
【0043】
さらに、処理領域は複数の分離要素を含むことができる。
【0044】
本発明の一つの態様によれば、実質的に平底の振動要素は、内径上の円筒ドラムのような振動器に固定された螺旋形状のリムが設けられたトラフである。
【0045】
本発明のもう一つの態様によれば、実質的に平底のトラフは、加熱領域、処理領域および冷却領域に共通の台である。
【0046】
特に、種々の気体入口はトラフの底部に配された有孔管からなる。
【0047】
本発明の別の態様によれば、平坦要素は気体供給容器からなり、トラフの下側面は多孔質材料または有孔シートで形成することができる。
【0048】
図3は、本発明の一つの態様を図示するものである。この装置は、ライン102を通して処理すべき原料が供給される振動トラフ101を含む。
【0049】
振動トラフ101は、閉鎖された格納枠100内に含まれ、3つの領域に分割されており、そこで3つの異なる機能が気体流体の循環により満たされ;3つの領域は、手段103により互いに気体的に隔離されて各領域に異なる雰囲気を持たせることができる。
【0050】
3つの領域は包括的に以下のように定義される:
ライン104を通して導入される熱い気体からなる下降流、および処理される原料からなる上昇流が、加熱領域と呼ばれる領域101aを流通する。
【0051】
反応領域と呼ばれる領域101bには、ライン105を通して空気、酸素または気化流体が供給される。供給は、単一地点において、または図3に示すように複数地点において行うことができる。分配器106から、流動制御システム107が備えられたライン110を介して、振動トラフ101のコイル、半コイルまたは複数のコイルに供給される。処理からの気体生成物が捕集器108内に送られ、次にボイラーまたは熱交換器109内に送られてその中のエネルギーを得て、それらは最終的に、恐らくは煙成分の処理後に大気中に排出される(図示せず)。
【0052】
この装置により、気体−固体交流を形成することができ、ライン110を通過する要素気体流の各々を調節することにより転化または熱プロフィールを調節または最適化することができる。
【0053】
領域101cは、固体原料を冷却することを意図した領域である。それには、ライン111を通して冷却気体が供給され、この気体は下降垂直流としてそこを流通し、固体原料は上昇流として循環する。
【0054】
図3において見られるように、固体原料加熱および冷却サーキットを併せることができる。
【0055】
この場合、化学量論に近い燃焼煙のような比較的中性の流体であり得る気体または窒素が、加熱領域101aの出口の近くに配されたコンプレッサー112により冷却領域101c内に送られる。気体は、冷却領域101cを流通するとき、およびライン113を通ってそこから流れるときに次第に暖められる。これは、次に、図3において点線で示される迂回ライン114を通して固体原料加熱領域に直接送ることができる。より一般的には、気体は好ましくは燃焼チャンバー115内に送られることにより加熱される。このチャンバー115は、天然ガスのような燃料を用いるバーナー116または任意の等価手段を設けることができる。
【0056】
固体原料を加熱および冷却するための気体が煙成分からなる場合、前記気体と、バーナー116からの煙成分とを直接接触させることができる。反対の場合、2つの独立したサーキットが要求される。
【0057】
燃焼チャンバー115からの熱い気体は、ライン104を通して固体原料加熱領域に送られる。加熱領域101aの出口において、コンプレッサー112に入る前に、気体を図示しない交換器および/または凝縮器に送ることができる。装置が煙成分を用いて操作される場合、圧力はもちろん一定に維持されなくてはならず、それは外側ライン117を通る気体の部分的排出により行うことができる。
【0058】
処理された固体は、ライン118を通して格納枠100を出て、図示しない任意の貯蔵または補助処理領域に送られる。
【0059】
反応領域101bにおける温度または熱プロフィールは、反応気体流の調節により制御することができるが、この解決手段は、温度制御の問題を転化の問題に連動させる欠点がある。
【0060】
好ましい別法は、そこを気体流体が好ましく循環する管を、反応領域101bのトラフ101の全体または一部において浸漬して、かなり広範囲において冷却を制御および変化させることからなる。
【0061】
図4は、支持体121上に配されたトラフ120および、処理すべき固体の層内に埋め込まれた管122を有する可能な装置を図示する。
【0062】
特別の構造において、交換器109内で回収されたエネルギーの一部を、燃料消費が最少化されるように、バーナー116の燃焼空気の予備加熱のために用いることもできるが、このリンクは図3に示さない。
【0063】
領域101a、101bおよび101cの間の雰囲気を隔離するための手段は、図5に示すような装置であり得る。この図において、トラフ130が固体原料床131を支持する。雰囲気の隔離は、気体の流通の交差部分の全てを占め固体床に僅かに入る停止プレート132により達成される。プレート132は、上側トラフ上で自由に回転するように配することができる。
【0064】
図6は、もう一つの可能な単離手段を示す。この態様において、直ぐ下流に位置する固定プレート142に係わり固体144を沈殿させる不連続面141がトラフ140内に設けられる。
【0065】
空気−固体交差流の質の改良が望まれる場合、これらの隔離手段が反応領域101bも備え得ることを注目することができる。
【0066】
すなわち、本発明は、流動化媒体に近い媒体を形成させる振動固体床を得ることができる。その結果、この媒体中の材料および熱交換は強度であり、よって気体−固体接触を容易にすると共に正確な温度制御を容易にする。これは、固体床または移動床を用いて操作される全てのシステムに対する決定的利点を表す。
【0067】
さらに、本発明は、固相に関して殆ど完全なピストン流動条件を形成させる。
従って、所定の反応条件について、転化速度は、従来の流動床のような完全ミキサーを用いて得ることができるものより高い。
【0068】
さらに、本発明の装置は殆ど摩擦を発生させず、従って小さな機械的強度を有する対象物を処理することができる。
【0069】
処理すべき対象物の範囲は、数十ミクロン〜数cmの特徴的寸法を有するので広い。
【0070】
さらに、本発明によれば、固体のいかなる流動地点においても異なる等級の気体を導入および排出することができる。
【0071】
図7は、図3に示す本発明の態様による装置の構造の可能な一例を示す。
前記装置は、要すれば良く知られているように補強材202により強化される、実質的に垂直の円筒形ドラム201を有する。中心ドラム201が、ベースプレート上に乗せられるまたは吊るされ、サイレントブロックタイプ手段により環境から隔離される。1つまたは2つ以上の非均衡モーター(図示せず)が中心ドラムに固定される。平坦底部およびリムを含む振動ドラムは、保持装置205によりドラム201に固定されている支持体204自体に固定される。
【0072】
本発明の一つの態様によれば、トラフ101は、支持体204上で互いに結合している1/4円または1/2円の形状の要素からなる。これらのトラフ要素の一部は、捕集器に接続された交換管(図7に示さないが図4において見られる)を備えることができ、これらの捕集器は、好ましくは円筒形ドラム201に固定された分岐接続部を介して外側でつながっている。
【0073】
別の場合において、トラフ要素には、達成される流動方式を大きく妨げそうな完全な流動化状態に至ること無く、移動床を通過する気体の拡散のための火格子を設けることができる。
【0074】
本発明の装置における気体の放出または排出は、分岐接続部207により円筒形ドラムに固定されたライン206により行うことができる。前記円筒形ドラム201の外側とのフレキシブル接続を、これらの分岐接続部から設けることができる。
【0075】
外側からのトラフ101の隔離は、支持体204に固定されている外側支持体209自体に固定されている1/4円または1/2円の形状のシート208により提供することができる。
【0076】
そのような組み立て形式の利点は、平底トラフを用いて操作できることであるが、既知のシステムはむしろ円または長円形のセクションを利用する。平底トラフの利点は、固体のより均一な層を提供し、気相と固相とのより優れた接触を提供し、高い固体比率で操作でき、固体床中に冷却手段を直接配することができ、層はシステムのいかなる地点においても実質的に一定の厚さを有するので外挿操作を容易にすることができることである。さらに、平底トラフは、同じ容積において、管を用いるシステムよりも小型である。
【0077】
説明してきた態様は、システムの任意の地点で容易にアクセスする可能性も提供する。組み立ておよび取り外しは簡単であり、要すれば清浄化操作を容易に行うことができる。
【0078】
図8は、トラフ101が概して平坦である点で、図7のものと異なる本発明の態様に関する。
【0079】
トラフの底部は気体供給容器302からなり、気体は、容器302の下側に配された入口303を通って配達される。固体床304と接触している容器302の上側表面301は、気体を通過させる一方、固体を支持しそれに振動を伝える多孔質材料(金属フリットまたはセラミック)または有孔シートから形成される。
【0080】
固体底の上側の気体流を制御するために内側バッフル306を加えることができる。要素306の機能は、種々の領域(加熱領域101a、処理領域101bおよび冷却領域101c)を隔離することでもある。さらに、出口307の形状の気体排出システムが固体床の上側に設けられる。
【0081】
図9は、図8のものに近い構造を示す。相違は、トラフ101の底部に配された有孔管308により供給容器302が交換され、気体を容易に固体床304に直接供給させることにある。
【0082】
適当(加熱、処理または冷却)な流体を固体床内に輸送する1または2以上の有孔管308が、各領域101a、101b、101cに結合される。さらなる内側バッフル306を、処理領域101bそのもの内に設けることもできる。
【0083】
通常、本発明の装置を用いて、金属対象物上のポリマー被覆を除去することができる。これらの被覆は、対象物の僅かな体積%しか占めないことが多く、穏やかな温度条件、すなわち500〜600℃より低い温度での除去により機械的特徴を保存し再利用を容易にすることができる。
【0084】
本発明の装置のもう一つの可能な用途は、熱分解による第1の熱劣化を既に経ているポリマーで被覆および/またはポリマーもしくは有機生成物と混合された対象物に関する。再利用される材料を変化させないように、ここでも穏やかな温度条件下に除去されるべきコークス付着物が残っている。
【0085】
正確な実施例は、ポリマー被覆が熱分解により除去されている電気銅またはアルミニウムケーブルに関する。直接利用できる材料を回収するために、材料の酸化を防止しつつ炭素付着物を除去しなくてはならず、本発明は全体としてこれに適する。
【図面の簡単な説明】
【図1】輸送式火格子上の石炭燃焼操作を用いて除去する方法。
【図2】流動床システムを用いて除去する方法の図である。
【図3】本発明の一つの態様を示す図である。
【図4】図3の態様によるトラフの詳細を示す図である。
【図5】本発明による隔離手段の一つの態様を示す図である。
【図6】本発明による隔離手段のもう一つの態様を示す図である。
【図7】図3の態様の単純化された長手方向を示す図である。
【図8】本発明のもう一つの態様の概略図である。
【図9】図8の変形の概略図である。
【符号の説明】
1 原料
2 輸送式火格子
4 形成される層
5 加熱手段
6 放熱アーチ
7 容器
8 装置
11 格納枠
12 流動床
13 拡散器
14 ライン
15 出口
16 予備加熱手段
17 浸漬交換器
100 格納枠
101 対象物の輸送を意図した実質的に平底の振動要素またはトラフ
101a 出口を有する前記対象物を加熱するための領域
101b 酸化および/または気化により対象物を処理(反応)する領域
101c 固体を冷却するための領域
102 処理すべき対象物のための入口
103 互いに気体的に隔離されて各領域に異なる雰囲気を持たせるための手段。
104 加熱気体の供給路
105 気化流体の供給路
106 多枝分配器、または加熱領域(101a)と処理領域(101b)との間および処理領域(101b)と冷却領域(101c)との間の雰囲気を隔離するための手段
107 流動制御システム
108 気化流体の出口、弁または多枝捕集器
109 熱交換器
110 ライン
111 ライン
112 コンプレッサー
113 ライン
114 迂回ライン
115 格納枠の外側の加熱手段または燃焼チャンバー
116 格納枠の外側の加熱手段またはバーナー
117 ライン
118 ラインまたは処理された対象物のための出口
120 トラフ
121 支持体
122 処理すべき固体の層内に埋め込まれた管
130 トラフ
131 固体原料床
132 プレート
140 トラフ
141 不連続面
142 固定プレート
144 固体
201 ドラム
202 補強材
204 補強材
205 保持装置
206 ライン
207 分岐接続部
208 シート
209 外側支持体
301 容器の上側表面
302 気体供給容器
303 気体入口
304 固体床
306 バッフル
307 出口
308 有孔管

Claims (12)

  1. 処理すべき固体対象物のための入口(102)、加熱気体の供給路(104)および出口を有する前記固体対象物を加熱するための領域(101a)、気化流体の供給路(105)および出口(108)を有する酸化および/または気化により前記固体対象物を処理する領域(101b)、処理された固体対象物のための出口(118)を含んでなる固体対象物上の炭素付着物を除去する装置であって、
    前記加熱領域(101a)および処理領域(101b)が単一の格納枠(100)内に配され、固体対象物の輸送を意図した実質的に平底の振動要素(101)を含み、
    実質的に平底の振動要素(101)の底部が前記固体対象物を支持し、流体を前記固体対象物を通して拡散させ、振動を伝達させることを特徴とすると共に、
    さらに、格納枠(100)内の前記固体対象物の移動方向に関して処理領域(101b)から下流側において格納枠(100)内に配される、前記固体対象物を冷却するための領域(101c)を含み、
    格納枠(100)の外側に加熱手段(115、116)が提供されており、
    さらに、前記加熱気体のための出口と、冷却領域(101c)へ冷却気体を供給するための入口との間にライン(111)を有し、コンプレッサー(112)および弁がライン(111)上に提供される
    ことを特徴とする装置。
  2. 前記加熱手段が燃焼チャンバー(115)に結合されたバーナー(116)を含み、バーナーの入口が冷却領域(101c)の出口に接続され、燃焼チャンバー(115)の出口が加熱領域(101a)の入口に接続されている請求項1に記載の装置。
  3. さらに、再加熱を必要としない場合に気体が流れる、加熱手段(115、116)を迂回するライン(114)を含む請求項2に記載の装置。
  4. 気化流体の供給路(105)における気化流体のための入口が多枝分配器(106)を含む請求項1〜3の何れかに記載の装置。
  5. 気化流体のための出口が多枝捕集器(108)を含む請求項1〜4のいずれかに記載の装置。
  6. 多枝捕集器(108)が熱交換器(109)またはボイラーの入口に接続された単一の出口を含む請求項5に記載の装置。
  7. さらに、加熱領域(101a)と処理領域(101b)との間および処理領域(101b)と冷却領域(101c)との間の雰囲気を隔離するための手段(103)を含む請求項1〜6のいずれかに記載の装置。
  8. 処理領域(101b)が複数の分離要素を含む請求項1〜7のいずれかに記載の装置。
  9. 実質的に平底の振動要素(101)が、内径上の円筒ドラム(201)のような振動器に固定された螺旋形状のリムが設けられたトラフである請求項1〜8のいずれかに記載の装置。
  10. 実質的に平底の振動要素(101)が、前記加熱、処理および冷却領域に共通の台である請求項1〜8のいずれかに記載の装置。
  11. 種々の気体入口が、実質的に平底の振動要素(101)の平坦底部に配された有孔管(308)からなる請求項1〜10のいずれかに記載の装置。
  12. 実質的に平底の振動要素(101)の平坦底部が気体供給容器(302)からなり、実質的に平底の振動要素(101)の下側面(301)が多孔質材料または有孔シートからなる請求項10に記載の装置。
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