JP4501657B2 - 炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法 - Google Patents
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Description
図3は、本比較例による種結晶固定方法を示す工程図である。本比較例は従来の化学的手法によるものである。種結晶固定剤10は、本実施例の第2の接着剤として使用したものと同じ、フェノール樹脂とホルムアルデヒドを主成分とし、フルフリルアルコールを溶剤とした接着剤を用いた。図3aに示される種結晶台座2の種結晶載置面3に、種結晶固定剤10を塗布する。種結晶固定剤10を塗布した状態の図は、図3bに示されている。
2 種結晶台座
3 種結晶載置面
4 第1の接着剤
5 種結晶
6 第2の接着剤
7 坩堝
8 炭化珪素結晶粉末
9 炭化珪素単結晶
10 種結晶固定剤
11 線状貫通欠陥
Claims (13)
- 種結晶台座の種結晶載置面と炭化珪素単結晶からなる種結晶とを第1の接着剤を用いて接着する接着工程と、
前記種結晶の前記第1の接着剤で覆われていない部分と前記種結晶台座の側壁とを接続するように第2の接着剤を塗布する塗布工程と、
前記第2の接着剤を乾燥させる乾燥工程と、
前記第2の接着剤を所定の圧力を加えつつ300℃以下の温度で所定時間加熱して硬化させる熱硬化工程と、
前記第1の接着剤を500℃以上の温度で加熱して除去する分解除去工程からなる、
ことを特徴とする炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法。 - 前記種結晶載置面の面積は、前記種結晶載置面に接着する面の種結晶の面積よりも小なることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法。
- 前記接着工程では、前記種結晶載置面に接着する面の種結晶表面の中心と前記種結晶載置面の中心とが略一致するように配置されることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法。
- 前記第1の接着剤は、加熱分解除去の容易な有機物を主成分とすることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法。
- 前記加熱分解除去の容易な有機物は、ロジン、エチルセルロースの少なくとも1つであることを特徴とする請求項4に記載の炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法。
- 前記第2の接着剤は、熱硬化性樹脂からなることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法。
- 前記第2の接着剤は、耐熱性微粒子を含有していることを特徴とする請求項6に記載の炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法。
- 前記耐熱性微粒子は、黒鉛微粒子であることを特徴とする請求項7に記載の炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法。
- 前記熱硬化性樹脂は、フェノール樹脂あるいはノボラック樹脂の少なくとも1つを有していることを特徴とする請求項6に記載の炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法。
- 前記乾燥工程は、室温の大気圧下あるいは減圧下にて1時間以上放置することを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法。
- 前記熱硬化工程は、300℃以下の温度を3時間以上保持することを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法。
- 前記熱硬化工程において、前記種結晶は、前記種結晶台座との間で200g/cm2以上の力で加圧されることを特徴とする請求項11に記載の炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法。
- 前記分解除去工程は、減圧下の不活性ガス雰囲気中で行うことを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶成長用の種結晶固定方法。
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