JP4496719B2 - 回路パターンの転写型およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、転写型から基板の表面に回路パターンを転写して回路基板を製造する技術に関連する。
【0002】
【従来の技術】
ファインピッチの回路基板を量産する方法の1つとして、転写型を用いて転写した導電性のペーストを硬化させて回路パターンを形成する転写方式が提案さている。
【0003】
図1(a)ないし(d)は、転写方式による回路パターン形成方法の典型例を示す図である。まず、図1(a)に示す転写型91が準備され、図1(b)に示すように転写型91の溝92に導電性のペースト93が充填される。次に、図1(c)に示すように、転写型91を反転させて転写型91を基板94に密着させ、図1(d)に示すように、転写型91を基板94から離して溝92に充填されていたペースト93を基板94に転写する。そして、ペースト93を硬化させることにより、基板94上に所定の回路パターンが形成された回路基板95が得られる。
【0004】
ここで、転写型の製造方法に関するものとして、特許文献1には、別途製作された型の凹凸を転写して転写型の一例である樹脂製凹版を製作する技術が開示されている。特許文献1に記載の技術では、まず、フォトマスク上にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層を露光し、現像することによりパターンを形成し、さらに、パターン上に離型層を形成して転写型を製造するための原型が製作される。その後、原型に熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂を塗布し、その上にガラス基板を張り合わせて熱硬化性または光硬化性樹脂を硬化させた後、原型から剥離して樹脂製凹版が完成する。
【0005】
また、特許文献2には、エッチングにより溝を形成し、さらにカップリング剤の塗布および焼成によりに離型層が形成された凹版が記載されている。
【0006】
【特許文献1】
特開平4−327939号公報
【特許文献2】
特開平4−240792号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献1に記載の技術により製作された転写型により、精度の高い微細パターンを形成することが可能となる。しかしながら、さらに微細でかつ高アスペクト比の回路パターンを形成する場合、原型から転写型を剥離する際の剥離性の向上が望まれる。
【0008】
また、微細で高アスペクト比の回路パターンを形成する場合には、転写型から導電性のペーストを基板へと転写する際の転写型とペーストとの剥離性(すなわち、離型性)も向上する必要がある。剥離性が低い場合、図1(d)に例示するように溝92に充填したペースト93の一部931が転写後に溝92に残り、回路パターンに不良が発生する可能性がある。その結果、回路基板95の歩留りが低下し、回路基板95の製造コストを低減することが困難となる。
【0009】
一方、特許文献2では剥離層が形成された転写型である凹版が開示されているが、転写型は摩耗するためある程度の量産性が求められる。したがって、転写型を製造する度にエッチングおよび剥離層の形成を行うことは回路基板の製造コストの増大を招くこととなる。
【0010】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、転写方式にて回路基板を製造する際に用いられる転写型を簡単な手法で製造し、さらに、低コストにて転写効率の高い転写型を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、回路パターンの転写型であって、ベース層と、前記ベース層上に形成され、前記回路パターンの凹凸に対応した凹凸をもつ変形層と、前記変形層の前記凹凸の表面を覆う離型層とを備え、前記ベース層、前記変形層および前記離型層は、積層されたフィルムの層である。
【0013】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の回路パターンの転写型であって、前記変形層は熱可塑性樹脂で形成されている。
【0014】
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の回路パターンの転写型であって、前記変形層の前記凹凸が、前記熱可塑性樹脂の軟化点温度以上に加熱した状態で、表面に前記回路パターンの前記凹凸に対応する凹凸が形成されたマスター型と前記フィルムの前記離型層とを圧接することにより形成される。
【0015】
請求項4に記載の発明は、請求項2または3に記載の回路パターンの転写型であって、前記熱可塑性樹脂は、ポリオレフィン系変性体である。
【0016】
請求項5に記載の発明は、回路パターンの転写型の製造方法であって、ベース層、前記ベース層上に形成された変形層、および前記変形層の表面を覆う離型層が順に積層されたフィルムの前記離型層を、表面に前記回路パターンの凹凸に対応する凹凸が形成されたマスター型に対向させる工程と、前記フィルムの前記離型層と前記マスター型とを圧接し、前記変形層および前記離型層に前記マスター型の前記凹凸を転写する工程と、前記変形層を硬化させる工程と、前記変形層を硬化させた後、前記フィルムを前記マスター型から剥離する工程とを備える。
【0017】
請求項6に記載の発明は、請求項5に記載の回路パターンの転写型の製造方法であって、前記変形層は、熱可塑性樹脂で形成され、前記転写する工程の前に、前記フィルムを前記熱可塑性樹脂の軟化点温度以上に加熱する工程をさらに備える。
【0018】
【発明の実施の形態】
図2は、本発明の一の実施の形態に係る転写型1の構成を示す断面図である。転写型1は、転写方式により回路パターンを形成する際に、基板の表面に導電性ペーストの回路パターンを転写するために使用される。
【0019】
転写型1は、ベース層2と、凹凸を有する変形層3と、変形層3の凹凸の表面を覆う離型層4とを順に積層した構造を有する。
【0020】
ベース層2は、例えばPET(ポリエチレンテレフタレート)などの耐熱性に優れた樹脂、ポリイミドなどの熱硬化性樹脂などの樹脂フィルム、あるいは、金属フィルムなど、後述する工程における加熱に耐える材料で形成されている。変形層3は、例えばポリエチレンやポリプロピレンの変性体など、ポリオレフィン系変性体の熱可塑性樹脂で形成されている。離型層4は、変形層の表面に改質処理を施して離型性(ペーストとの間の剥離性)を向上させた層、または、変形層3に重ね合わされた離型性に優れた薄膜である。
【0021】
転写型1は、これらのベース層2、変形層3および離型層4が予め積層されたフィルムから製造されることが好ましく、このような3層のフィルムとして、例えば、商品名「スミライト(登録商標)」、CLEシリーズ(住友ベークライト社製)などの共押出多層フィルムを使用することができる。このような積層フィルムを使用することにより、転写型1の原材料費を削減することが可能となる。
【0022】
転写型1の表面に形成された溝5(凹部)は、転写方式により形成される回路基板の回路パターン(凸部)に対応し、溝5には後述する回路形成工程において回路形成材料であるペーストが充填される。すなわち、転写型1の表面の凹凸は、転写方式により形成される回路パターンの凹凸とは逆の凹凸のパターンになっている。
【0023】
次に、転写型1の製造方法について、図3および図4を参照しつつ説明する。図3は転写型1の製造工程の流れを示す図であり、図4(a)ないし(c)は転写型1が製造される様子を示す図である。
【0024】
まず、図4(a)に示すように、ベース層2、(変形前の)変形層3および離型層4を備えた3層のフィルム6を、ベース層2側から熱プレスヘッド7により吸着保持し、離型層4側をマスター型8に対向させる(ステップS11)。なお、マスター型8には予め回路パターンの凹凸に対応した凹凸(以下、「転写パターン(の凹凸)」という。)が形成されている。熱プレスヘッド7にはヒータが内蔵されており、ステップS11に並行してまたはその後に、変形層3の軟化点温度以上(例えば、250℃以上)にフィルム6が加熱され、変形層3が軟化する(ステップS12)。
【0025】
そして、図4(b)に示すように、フィルム6の離型層4とマスター型8とが圧接するようにフィルム6を所定の圧力で所定時間だけ押圧(熱プレス)し、変形層3および離型層4にマスター型8の転写パターンの凹凸を転写する(ステップS13)。その後、フィルム6を冷却して変形層3を硬化させ(ステップS14)、図4(c)に示すように、フィルム6をマスター型8から剥離する(ステップS15)。これにより、フィルム6の変形層3および離型層4には、マスター型8の表面の凹凸とは逆の凹凸のパターン、具体的には、図4(a)および(b)に示すマスター型8の凸部9に対応する溝5が転写される。
【0026】
以上のように、転写型1はベース層2、変形層3および離型層4を順に積層したフィルム6をマスター型8に押圧することにより製造される。このとき、離型層4とマスター型8とが当接するため、ステップS15における剥離を確実に行うことができる。その結果、微細な回路パターン用の転写型1を低コストにて容易に製造することが実現される。さらに、剥離の容易さから、転写型1の溝の幅に対して深さを深くする(いわゆる、アスペクト比を大きくする)ことも実現される。
【0027】
次に、マスター型8について説明する。本実施の形態では、マスター型8として、絶縁性樹脂の表面に金属膜による導電性の回路パターンが形成されたFPC(フレキシブル回路基板)が用いられる。FPCは、図4(b)に示す熱プレス工程において、加熱されたフィルム6を押し付けても変形量が非常に小さく、マスター型8に適している。また、FPCをマスター型8として用いる場合、既存の技術により、ピッチが狭く、かつ、アスペクト比の高い転写パターン(すなわち、FPCの回路パターン)を有するマスター型を低コストで製造することが可能となる。その結果、マスター型8のコスト低減が可能となり、転写方式により製造される回路基板の製造コストをさらに低減することができる。
【0028】
次に、上記転写型1を用いた転写方式による回路パターン形成方法について、図5および図6を参照しつつ説明する。図5は、回路パターン形成工程の流れを示す図であり、図6(a)ないし(c)は回路パターンが形成される様子を示す図である。
【0029】
まず、基板と転写される導電性のペーストとの密着性を高めるために、基板に表面処理(例えば、改質処理)が施される(ステップS21)。これにより、未処理の場合と比較してペーストと基板との間の付着性(すなわち、転写の際の転写率)が向上され、少なくとも、ペーストの基板への付着性が、離型層4への付着性よりも高くされる。
【0030】
表面改質処理としては、基板の表面に接着剤やカップリング剤(例えば、シランカップリング剤)などのを塗布が行われる。他の表面改質処理として、基板の表面にプラズマやコロナ放電を用いて不純物の除去が行われてもよい。基板の表面改質処理の代わりに、または、表面改質処理と共に、ペーストにカップリング剤が混入されてもよい。
【0031】
なお、ペーストの基板への付着性が転写型1に対する付着性よりも十分に高い場合、ステップS21は省略されてよい。
【0032】
次に、図6(a)に示すように、転写型1をその表面の凹凸(変形層3および離型層4に形成された凹凸)が上向きとなるようにベース層2側から保持し、転写型1の溝5にペースト10が充填される(ステップS22)。ペースト10は熱硬化性を有し、少なくとも硬化後に導電性を有する導電性材料であり、例えばAg、Cu、Ni、Pd、Auなどのフレーク状または球状の微小な金属フィラーを、熱収縮性を有する熱硬化性樹脂中に充填して拡散したものが用いられる。なお、ペースト10は他の種類の導電性材料であってもよく、さらには、抵抗材料や誘電体材料のペーストであってもよい。すなわち、ペースト10として様々な特性を有する回路形成材料が使用されてよい。ただし、ペースト10の硬化温度は、転写型1の変形層3の軟化点温度未満である。
【0033】
ペースト10が溝5に充填されると、図6(b)に示すように、熱プレスヘッド11により、転写型1がベース層2側から吸着保持され、ペースト10が充填された溝5を基板12に対向させて転写型1が基板12上に載置される(ステップS23)。この状態で、熱プレスヘッド11により転写型1をベース層2側(背面)から所定の圧力で押圧しながら、所定時間だけペースト10の硬化温度以上(例えば、150℃以上200℃以下)に加熱してペースト10を硬化させる(ステップS24)。なお、既述のように、転写型1の変形層3の軟化点温度の方がペースト10の硬化温度よりも高いことから、転写に際して転写型1の形状が保たれる。
【0034】
導電性のペースト10を加熱して硬化させることにより、熱硬化性樹脂が収縮し、ペースト10内の金属フィラー同士が接触してペースト10が導電性を有する配線パターンとなる。また、加熱時に転写型1が基板12に向けて押圧されて転写型1が僅かに変形することから、ペースト10が硬化により収縮しても基板12に確実に付着した状態とされる。
【0035】
ペースト10の硬化後、熱プレスヘッド11が上昇し、転写型1が基板12から剥離(すなわち、離型)される(ステップS25)。これにより、図6(c)に示すように、基板12上に硬化したペースト10による回路パターンが形成された回路基板13が得られる。既述のように、マスター型8の表面の凹凸は、転写により形成される回路パターンの凹凸と同じパターンとされており、マスター型8の表面の凹凸が一旦反転されて転写型1の表面に転写され、転写型1の表面の溝5(凹部)に充填されたペースト10がステップS13〜S15により基板12の表面に回路パターンとして凸状に転写される。したがって、上記工程により、マスター型8の表面の転写パターンと同じ凹凸の回路パターンを有する回路基板13が形成されることとなる。
【0036】
このとき、転写型1は離型層4により硬化したペースト10との間の剥離性に優れ、さらに、加熱プレスにより硬化したペースト10が基板12に強く密着しているため、ペースト10の転写率を非常に高くすることがてき、回路基板製造の歩留りを向上することができる。なお、ペースト10の熱硬化性樹脂の収縮により硬化物が溝5の形状よりも若干収縮しているため、離型層4に対する硬化したペースト10の剥離性がさらに高められる。
【0037】
以上に説明したように、転写型1は、離型層4を有するフィルム6から製造されるため、転写型1を製造する際に転写型1をマスター型8から容易に分離することができ、転写型1の製造歩留りを高めることができる。また、フィルム6から容易に製造することができ、転写型1の製造コストも削減することができる。
【0038】
また、凹凸の表面に設けられた離型層4により回路パターンの形成時においてもペースト10から容易に分離することができるためペースト10の硬化物が溝5の内周面に残留することはほとんどなく、ペースト10の転写率が高められて基板12上に転写された回路パターンに不良がほとんど生じず、回路基板の歩留りを向上することができる。さらに、転写率が高いことから、次の回路基板を製造するために転写型1を洗浄することが不要となり、容易に再利用することができる。
【0039】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【0040】
転写型1の材料は、上記のような3層のフィルム6に限定されるものではなく、少なくともベース層2、変形層3および離型層4を有していればよく、その他の層をさらに有していてもよい。
【0041】
また、ベース層2、変形層3および離型層4の材料は、上記説明において例示したものに限定されず、同等の機能を有する他の材料が用いられてもよい。例えば、ベース層はフィルム状である必要はなく、板状であってもよい。また、変形層3は熱硬化性樹脂であってもよい。この場合、変形層3をマスター型8に圧接した状態で加熱することにより硬化し、転写型1が製造される。離型層4は転写型1の凹凸の少なくとも凹部に設けられるのであれば、凹凸全体に設けられる必要はない。
【0042】
上記実施の形態では、コスト削減のためにマスター型8としてFPCが用いられるが、転写型1に転写された凹凸の寸法誤差を許容範囲内とすることができるのであれば、他の型がマスター型8として用いられてよい。例えば、SUS(ステンレス鋼)などの金属材料の表面に、ケミカルエッチングやプラズマエッチングにより回路パターンの凹凸と同じ凹凸の転写パターンを形成したものやセラミックス材料にプラズマエッチングにより転写パターンを形成したものであってもよい。あるいは、基板上の感光性レジストにフォトマスクを介して紫外線を照射したり、レーザビームを照射する等して露光を行い、その後現像して表面に感光性レジストの凹凸のパターンを形成した基板をマスター型8として用いることも可能である。
【0043】
また、転写が行われる基板は、絶縁性の板状の樹脂基板には限定されず、フィルム状の樹脂基板、ガラス基板、さらには、既に回路パターンが形成された基板(この場合、回路パターン形成により多層基板が製造される。)等であってもよく、微細な回路パターンが形成される様々な回路基板の製造に上述の転写型1や回路パターン形成方法を利用することができる。
【0044】
【発明の効果】
本発明によれば、転写型の製造に際して、ベース層、変形層および離型層を有するフィルムを用いることにより、転写型の製造コストを削減することができるとともに、転写効率を向上することができる。さらに、マスター型として安価な回路基板を用いることも可能となる。
また、本発明によれば、フィルムにマスター型を押圧する際、フィルムの変形層のみが圧縮されて変形し、その他の部分(離型層)は圧縮変形することなく、単に変形層の圧縮変形の形状に追随して変形する。さらに、フィルムの離型層を介してマスター型の凹凸を転写するため、マスター型の剥離が容易で、かつ確実に行うことができる。その結果、転写型の溝の幅に対して深さの深い、いわゆるアスペクト比の大きな転写型を容易に実現できる。
また、フィルム状の離型層は、圧縮変形を生じにくいので、マスター型の圧接時、厚みを均質に保ち、マスター型の凹凸のパターンが反映されたコーナー部において途切れなどが発生しない。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の転写方式による回路パターンの形成方法を示す工程図
【図2】転写型の構成を示す断面図
【図3】転写型の製造工程を示す流れ図
【図4】(a)ないし(c)は、転写型が製造される様子を示す図
【図5】回路パターン形成工程を示す流れ図
【図6】(a)ないし(c)は、回路パターンが形成される様子を示す図
【符号の説明】
1 転写型
2 ベース層
3 変形層
4 離型層
5 溝(凹部)
6 フィルム
8 マスター型
10 ペースト
12 基板
13 回路基板
S11〜S15 ステップ
Claims (6)
- 回路パターンの転写型であって、
ベース層と、
前記ベース層上に形成され、前記回路パターンの凹凸に対応した凹凸をもつ変形層と、
前記変形層の前記凹凸の表面を覆う離型層と、
を備え、
前記ベース層、前記変形層および前記離型層は、積層されたフィルムの層であることを特徴とする回路パターンの転写型。 - 請求項1に記載の回路パターンの転写型であって、
前記変形層は熱可塑性樹脂で形成されていることを特徴とする回路パターンの転写型。 - 請求項2に記載の回路パターンの転写型であって、
前記変形層の前記凹凸が、前記熱可塑性樹脂の軟化点温度以上に加熱した状態で、表面に前記回路パターンの前記凹凸に対応する凹凸が形成されたマスター型と前記フィルムの前記離型層とを圧接することにより形成されることを特徴とする回路パターンの転写型。 - 請求項2または3に記載の回路パターンの転写型であって、
前記熱可塑性樹脂は、ポリオレフィン系変性体であることを特徴とする回路パターンの転写型。 - 回路パターンの転写型の製造方法であって、
ベース層、前記ベース層上に形成された変形層、および前記変形層の表面を覆う離型層が順に積層されたフィルムの前記離型層を、表面に前記回路パターンの凹凸に対応する凹凸が形成されたマスター型に対向させる工程と、
前記フィルムの前記離型層と前記マスター型とを圧接し、前記変形層および前記離型層に前記マスター型の前記凹凸を転写する工程と、
前記変形層を硬化させる工程と、
前記変形層を硬化させた後、前記フィルムを前記マスター型から剥離する工程と、
を備えることを特徴とする回路パターンの転写型の製造方法。 - 請求項5に記載の回路パターンの転写型の製造方法であって、
前記変形層は、熱可塑性樹脂で形成され、
前記転写する工程の前に、前記フィルムを前記熱可塑性樹脂の軟化点温度以上に加熱する工程を、さらに備えることを特徴とする回路パターンの転写型の製造方法。
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