JP4493154B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、真空処理装置、特に、基板の加熱及び基板への処理を独立した真空室内で行う真空処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、真空処理装置は半導体デバイスの製造等に利用されている。半導体デバイスの製造プロセスでは、例えば、様々なエピタキシャル成長技術が用いられており、膜の純度をあげるために、真空処理装置においても種々の技術が提案されている。
【0003】
文献I(特許2510340号)や文献II(実開昭60−140774号)には、基板汚染を低減させたエピタキシャル成長装置が開示されている。文献IやIIの装置では、成膜室及び加熱室が互いに独立して設けられており、加熱室内に設けられたヒータが成膜室内の基板を加熱する。これによりヒータに成膜用ガスを直接接触させることなく成膜することが可能となり、よって、成膜用ガスによるヒータの破損やヒータからの汚染ガスによる影響を防止できる。
【0004】
このような装置は、例えば、エピタキシャル成長プロセスに利用される。一般的に言うと、基板にはエピタキシャル成長プロセス前に予め基板表面のクリーニングが施される。
【0005】
シリコン基板のクリーニングプロセスでは、基板を高温(約850℃程度)に加熱しつつ、水素ガスをこの基板の被処理面に接触させる。また、シリコン酸化膜やシリコンゲルマニウム膜のエピタキシャル成長プロセスでは、基板を高温(約600℃程度)に加熱しつつ、ジシラン(Si2H6)ガスやゲルマン(一般的にはGeH4を指す。)ガスをこのようなシリコン基板の被処理面に接触させることによって成膜する。なお、以下においては、このような被処理面に接触させるべきガスを、処理用ガスと総称する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、文献Iや文献IIの従来の真空処理装置では、処理用ガスが成膜室全体に拡散してしまい、よって、ステンレス等で形成された真空室壁面に接触し、真空室壁面に吸着又は吸蔵されていた不純物ガス或いは真空室壁面から蒸発する金属不純物ガス(以下、これらを単に、不純物ガス、或いは壁面からの不純物ガスと称する。)と混ざり合い、その結果、基板に達する前に処理用ガスの純度が低下し、膜中にその不純物ガスが取り込まれてしまうことがあった。
【0007】
そこで提案されたのが、文献III(「UHV/CVD法によるSi低温エピタキシャル成長技術の検討」、信学技報 TECHNICAL REPORT OF IEICE. SDM94-134 PP.63-68)に開示されているような、真空室壁面を冷却する真空処理装置である。文献IIIの技術では、真空室壁面に壁面冷却用のサーマルオイルを循環させておくことにより、真空室壁面を低温に維持しつつ処理用ガスを真空室内に導入することができる。よって、この装置によれば、処理用ガスが真空室壁面に接触しても、壁面での成膜反応を抑制でき、また、ある程度は壁面からの不純物ガスの発生を抑制することができる。
【0008】
ところが、文献IIIの装置では、装置の構造上の理由により、真空室の壁面全体を網羅するようにはサーマルオイルの循環路を設けることができなかった。具体的に言うと、構造的に、例えば、真空処理装置の真空室及びその蓋等の間のフランジには循環路を設置することは困難であった。そのため、冷却できない壁面の温度は、成膜反応を抑制できる程度に低下されるが、不純物ガスの発生を抑制できる程度には低下できなかった。従って、この従来の装置では、処理用ガスの純度が低下してしまい、その結果、基板の汚染や膜の結晶性の低下が生じる危惧があった。
【0009】
半導体デバイスの微細化や高機能化が進んだ現在においては、僅かな基板の汚染や結晶性の低下をも抑制できることが望まれており、従って、真空処理装置、特にエピタキシャル成長装置において、真空室壁面からの不純物ガスによる処理用ガスの純度低下を抑制できる真空処理装置の出現が望まれていた。
【0010】
【課題を解決するための手段】
そこで、この発明の真空処理装置では、加熱系を有しかつ第1排気系に接続された第1真空室と、被処理面を有する基板を保持すると共に加熱系からこの基板へ熱を導く基板保持系及びこの被処理面にガスを供給するガス供給系を有し、かつ、第1排気系とは独立した第2排気系に接続された第2真空室とを具えた真空処理装置において、
ガス供給系が、ガスを導入するガス導入手段と、基板の被処理面を覆う構造であって、かつ、このガス導入手段から導入されたガスを、当該ガスが第2真空室内に拡散してしまう前に、被処理面へ導く構造のガス流制限手段とを具えたことを特徴とする。
【0011】
この発明の構成によれば、加熱系を第1真空室に設けてあるので、第2真空室に導入される処理用ガスが加熱系に接触するのを抑制できる。また、第2真空室内のガス供給系を、上記構造の構造体で構成してあるので、処理用ガスが第2真空室壁面に接触しその結果純度が低下してしまう前に、処理用ガスを被処理面に導くことができる。従って、被処理面に供給される処理用ガスの純度低下を抑制することができる。
【0012】
また、この発明の実施に当たり、例えば、ガス供給系は、ガス流制限手段の位置を調整する位置調整手段を有する。
【0013】
このようにすれば、ガス流制限手段を移動可能とすることができるので、クラスター方式或いはインライン方式等のごとく連続的な処理が行われる真空処理装置において、基板交換等を円滑に行うことができ、しかも所望のガス流が得られるようにガス流制限手段の位置を調節できる。また、この好適例を、例えば後述のように主処理空間を形成する形態に適用することにより、第2真空室と主処理室との間の差圧調整が容易となる。
【0014】
また、この発明の実施に当たり、ガス流制限手段が、椀を伏せた状態に被処理面を囲い込む椀状構造体を有し、この椀状構造体は、ガス導入時には伏せられた状態で基板を含む空間である主処理空間を形成する。
【0015】
なお、この椀状構造体とは、開口を有する容器状の構造体を意味し、例えば漏斗状や皿状等の構造体である。
【0016】
このように椀状構造体によりガス流の方向を制限すると、基板の被処理面に処理用ガスを効率良く供給でき、よって、基板の被処理面に供給される処理用ガスの純度をより確実に保つことができる。
【0017】
また、この発明の実施に当たり、好ましくは、主処理空間内の圧力を、第2真空室からのガスの逆拡散が生じない程度に、この第2真空室内の圧力よりも高く設定するのが望ましい。
【0018】
このようにすれば、第2真空室から主処理空間への不純物ガスの拡散現象、すなわち不純物ガスが主処理空間へ逆流してしまう現象を実質的に防止でき、従って、基板の被処理面に供給される処理用ガスの純度低下を更に抑制できる。
【0019】
また、これらの圧力については、例えば、この主処理空間及び第2真空室の間の圧力差を、最小でも300Paに設定するのが好ましい。
【0020】
また、主処理空間を形成する真空処理装置においては、例えば、椀状構造体の底部にはガス導入手段を結合し、この椀状構造体が基板保持系に組み合わされて主処理空間を形成し、この椀状構造体の縁部及びこの基板保持系間には狭い間隙を形成することにより、基板の中心から外周へ向かうガス流を得る。
【0021】
或いは、主処理空間を形成する真空処理装置においては、椀状構造体の底部にはガス導入手段を結合し、該椀状構造体が前記基板保持系に組み合わされて前記主処理空間を形成し、この椀状構造体の縁部近傍の基板保持系には外部と連通する細孔を設けることにより、基板の中心から外周へ向かうガス流を得る。
【0022】
若しくは、主処理空間を形成する真空処理装置において、椀状構造体の底部にはガス導入手段を結合し、この椀状構造体の縁部には細孔を設けることにより、基板の中心から外周へ向かうガス流を得るのが好適である。
【0023】
これら主処理空間を形成する真空処理装置では、椀状構造体の底部にガス導入手段を設けると共に、椀状構造体の縁部或いはその近傍に細孔或いは間隙を形成することにより、基板の中心から基板の外周へ向かうガス流を得ることができる。よって、被処理面には、当該被処理面内の位置に依らず均一な流れの処理用ガスを供給することができる。また、例えば、前述のごとく第2真空室及び主処理空間の間に所定の圧力差を設定する場合には、その圧力差の維持が容易になる。
【0024】
また、椀状構造体を有する真空処理装置の実施に当たり、好ましくは、ガス流制限手段は、前記ガス導入手段から導入されたガスが前記被処理面に均一に導かれるように、前記椀状構造体内に拡散させる拡散手段を有するのが望ましい。
【0025】
このようにすれば、ガス導入手段から導入されたガスが拡散手段を介して被処理面に供給されるので、被処理面内において均一なガス流を実現することができる。
【0026】
また、この発明の実施に当たり、好ましくは、ガス供給系のうち、ガス導入時にガス(処理用ガス)に接触する部分の一部または全部を、石英或いは炭化ケイ素で形成してあるのが良い。
【0027】
このようにすれば、純度が高くかつ蒸気圧が低いという石英材や炭化ケイ素材の性質を利用して、ガス供給系からの不純物ガスの発生を抑制することができる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照して、この発明の真空処理装置の実施の形態につき説明する。なお、この説明に用いる各図は、この発明を理解できる程度に各構成成分の形状、大きさ及び配置関係を概略的に示してあるに過ぎない。また、各図において同様な構成成分については、同一の番号を付して示し、その重複する説明を省略することがある。言うまでもなく、以下に示す形成材料、構成成分の形状、詳細な構造、実施される処理、処理に供するガス、及び、数値条件等は、この発明の一形態に過ぎず、この発明はこれらのみに何ら限定されるものではない。
【0029】
図1は、実施の形態の真空処理装置の概略的な構成を示す断面図である。以下、図1を参照して実施の形態の真空処理装置の概略的な構成につき説明する。
【0030】
図1に示すように、この真空処理装置11は、互いに隔離された第1真空室13及び第2真空室15を具える。図1に示す構成例では、この第2真空室15は、真空フランジ11aと、この真空フランジ11aに気密に取り付けられた第1隔壁11bとで形成される。一方、第1真空室13は、第2真空室15内に設けられており、すなわち、真空フランジ11aとこの真空フランジ11aに気密に取り付けられた第2隔壁21とで形成される。更に、この第1真空室13が加熱系17を有し、第2真空室15が基板保持系21a及びガス供給系23を有する。
【0031】
第1真空室13及び第2真空室15は、互いに独立した排気系である第1排気系19及び第2排気系25に接続されている。例えば、第1及び第2排気系19及び25は、ターボ分子ポンプや拡散ポンプ等であり、第1真空室13及び第2真空室15内を高真空に維持する機能を有する。
【0032】
基板保持系21aは、被処理面27aを有する基板27を保持すると共に加熱系17から基板27へ熱を導く機能を有している。図示例の基板保持系21aは、第1真空室13及び第2真空室15間の第2隔壁21の一部を構成している。この例では、基板保持系21aは、真空フランジ11aと平行で第2真空室15側の隔壁21の部分に形成されており、その具体的構成については後述する。ここではこの第2隔壁21の材料を石英とするが、勿論、これに限定されるものではない。なお、図示せずも、この第2隔壁21を含む第2真空室壁面全体は、文献IIIの装置と同様に水冷されている。
【0033】
この真空処理装置11は、例えば、ガスソースを導入することにより、酸化、成膜、クリーニングの処理等を行うガスソースエピタキシャル装置として実施される。
【0034】
この真空処理装置11では、ガス供給系23が、ガス導入手段29と、ガス流制限手段31を具える点に特徴がある。このガス導入手段29は、処理用ガス供給源(図示せず)からの処理用ガスをガス流制限手段31に流入させる機能を有する。
【0035】
特に、図1に示す例では、ガス流制限手段31が、椀を伏せた状態に基板27の被処理面27aを囲い込む椀状構造体33を有しており、この椀状構造体33は、第2真空室15内においてガス導入時には伏せられた状態で基板27を含む空間である主処理空間35を形成する。特に、図示例の椀状構造体33の底部(即ち、図1中ではドーム状の構造体33の頂上部に相当する。)にはガス導入手段29が結合されていて、この手段29を介して主処理空間35内に処理用ガスが導入される。なお、この場合、この椀状構造体33の縁部と第2隔壁21との間には間隙が形成されていて、第2真空室15と主処理空間35とが連通している。従って、使用済ガスは主処理空間35から第2真空室15を通り、第2排気系25へと排気される。
【0036】
ただし、この発明の概念では、ガス流制限手段31は、このような椀状構造体を有するものに限られず、基板27の被処理面27aを覆う構造であって、ガス導入手段29から導入された処理用ガスを、当該処理用ガスが第2真空室15内に拡散してしまう前に、被処理面27aに導く構造であればよい。
【0037】
また、図1に示すガス流制限手段31は、ガス導入手段29から導入されたガスが被処理面27aに均一に導かれるように、椀状構造体33内に拡散させる拡散手段33aを有する。このように構成してあるので、ガス導入手段29から導入された処理用ガスが拡散手段33aを介して被処理面27aに供給されるので、被処理面27a内において均一なガス流が得られる。
【0038】
例えば、この拡散手段33aとしては、ガス導入手段29からの処理用ガス流の方向に対して略垂直に設けられた板状体、或いは、ガス導入手段29からの処理用ガスを互いに異なる方向に噴出させる複数の噴出口を有する構造体を利用することができる。
【0039】
図1には、インライン方式或いはクラスタ方式等の連続的な処理が行われる真空処理装置11を例示している。ただし、これらの方式に限定されず、単独に真空処理を行うバッチ式処理装置でも良い。すなわち、この真空処理装置11では、第2真空室15が、ゲートバルブ37を介してロードロック室39に接続されている。ロードロック室39は、図示しないアームを具え、このアームによって基板保持系21aとの間で、基板27の搬送(すなわち搬入及び搬出)を行う。この点の詳細については後述する。
【0040】
また、基板27の搬送を容易に行うため、図示例の真空処理装置11は、ガス流制限手段31の位置を調整する位置調整手段41を有している。
【0041】
図示例において、位置調整手段41は、真空処理装置11本体側に固定された下部フランジ43aと、ガス導入手段29に一体化されて上下動する上部フランジ43bと、下部フランジ43a及び上部フランジ43b間の気密を維持する伸縮自在なベローズ45とで構成されている。これにより、この真空処理装置11が連続的な処理を行うものであっても、基板交換等を円滑に行うことができ、しかも好適なガス流が得られるようにガス流制限手段31の位置を調節できる。
【0042】
この位置調整手段41は、例えば、下部フランジ43a及び上部フランジ43b間の距離を左右非対称に調節する等により、ガス流制限手段31の位置は、基板保持系21aの延在面に平行な面内において調整可能である。
【0043】
なお、図1に示す例においては、ガス導入手段29と、ガス流制限手段31(すなわち椀状構造体33及び拡散手段33a)とを石英からなる構造体としてある。石英や炭化ケイ素は、不純物の量が少なくまた蒸気圧が低い材料でありかつ耐熱性にも優れているため、ガス導入手段29及びガス流制限手段31の壁面が加熱されても不純物の放出を抑制できると共にこれらの壁面成分の蒸発を抑制できる。
【0044】
図2は、加熱系の要部の具体的な構成例を模式的に示す分解斜視図である。また、図3は、基板保持系の説明に供する図であり、図3(A)は基板保持系の具体的な構成を模式的に示す斜視図であり、図3(B)はその要部の縦断面図であり、図3(C)は石英性均熱板及び炭化ケイ素シールド板を上方から見た平面図である。以下、図2及び図3を参照して、実施の形態の真空処理装置11の各部の動作及び詳細な構造につき説明していく。
【0045】
図2に示すように、加熱系17は、好ましくは、例えば、円板状のメインヒータ51a及び平面リング状のサブヒータ51bが三枚の石英板53a、53b及び53cによってサンドウィッチ状に挟まれた構造を有するヒータであり、これにより、基板27(一般に円板状のウェハである。)の中心付近及び外周付近の温度を別々に制御できるよう図られている。なお、これらの二つのヒータは、図示せずも独立な電源に接続される。これによって、基板面内の温度を均一にすることができるので、特別な工夫を施すことをしなくても基板面内の処理を均一に行うことができる。
【0046】
図2に示す加熱系17としては、例えば、PBN基板上に熱CVD法により炭素膜を形成してなる抵抗加熱型カーボンヒータ等が用いられる。このようなカーボンヒータは、薄型である点で好ましい。勿論、カーボンヒータに限らず、一般的な抵抗加熱ヒータやその他の公知の加熱手段を用いても良い。この加熱系17は、基板保持系21aに隣接する位置に設けられており、第2隔壁21を介して、加熱系17からの輻射熱及び伝導熱を効率良く、基板保持系21aに保持された基板27に伝達できる。例えば、円板状ヒータの発熱主面と、基板27の裏面とが平行に対向するように当該ヒータを設けるのが好ましい。
【0047】
次に、図1、図3(A)、図3(B)及び図3(C)を参照して詳細に説明すると、基板保持系21aは、好ましくは、第1真空室13及び第2真空室15間の第2隔壁21に、基板27を載置するサセプタ55と、石英製均熱板57とを設けた構造となっている。この均熱板57は、基板27の周辺部の温度低下を抑制する機能を有している。なお、この例では、第2隔壁21は、これに何ら限定されないが、フランジ付円筒形隔壁として示してある。
【0048】
図3(B)に示すように、サセプタ55は、例えば円板状の基板27用の炭化ケイ素コートグラファイト製リング状サセプタであり、基板27が直接第2隔壁21を構成する石英に接触しないように、第2隔壁21から離間させることを目的とする。このサセプタ55は、第2隔壁21の上座部21bに設けられていて、サセプタ55と上座部21bとで基板保持系を形成している。このように、石英よりも不純物ガスを発生させにくい炭化ケイ素を基板との接触部材として用いると、不純物ガスによる影響は極めて抑制される。
【0049】
図3(A)の斜視図や図3(C)の平面図に示すように、この均熱板57は、サセプタ55及びサセプタ55に搭載されるべき基板27の周囲を囲むように設けられている。そして、この均熱板57は、主として、板状の複数のセクタ部分で構成されている。すなわち、均熱板57は、円周に沿って分割されてなる均熱板可動部57aと、均熱板固定部571b及び572bとで構成され、これら全体で円形の基板27よりも僅かに大きい略リング形の形状を形成する。
【0050】
図3(C)に示すように、この均熱板可動部57a及び均熱板固定部57bには、処理用ガスに直接接触する側に炭化ケイ素シールド板59が設けられている。図3(C)に示すように、炭化ケイ素シールド板59は、均熱板可動部57a上の炭化ケイ素シールド板591a、592a及び593aと、均熱板固定部571b上の炭化ケイ素シールド板591bと、均熱板固定部572b上の炭化ケイ素シールド板592bとに分割された状態に取り付けられている。各均熱板57a、571b及び572bは互いに隙間無く接している。炭化ケイ素シールド板591a〜593a、591b及び592bは互いに隙間無く接している。なお、後述するように、これら炭化ケイ素シールド板591a〜593a、591b及び592bは、僅かな隙間を有するように互いに離間して設けられてもよい。
【0051】
この均熱板固定部571b及び572bは、第2隔壁21の上座部21bに固定されている。一方、均熱板可動部57aは、上下動が可能であり、均熱板可動部57aの略リング形の内側には、基板27の搬送を行う際に円板状の基板27を載せるためのつば57c(図3(B)参照)を設けてある。なお、つば57cは、均熱板57の内周部に溝を形成し、このとき残存した突出部に相当する。例えば、図4に示すように、伸縮するロッド65(図3(A)中では省略してある。)等により、均熱板可動部57aを上下動させればよい。なお、ロッド65は上下動のごとく物理的動作を伴うために成膜されてしまうと発塵源となってしまう。このため、例えば、このロッド65を均熱板可動部57aに対して自在に分離結合できるようにしておくと、成膜時にロッド65は高温とはならず、ロッド65への成膜を抑制できる。
【0052】
図4は、基板保持系及びロードロック室間の基板搬送の説明に供する図である。図4に示すように、ロードロック室39(図1参照)に格納されているアーム61は、例えば、搬送される基板27を載置するステージ61aを有する。
【0053】
図4に示すように、第2真空室15に基板27を搬入する際には、ロードロック室39内を荒引きして所定の圧力(〜10-4Pa)が得られてから、ゲートバルブ37を開く。その後、基板27をステージ61aに載せたアーム61が、サセプタ55の直上の位置であって、均熱板可動部57aよりも上側の位置に移動する。これらの均熱板可動部57aは全体でU字状の形状を形成し(図3(C)参照)、一方ステージ61aは当該U字状形状の内側に合致する略矩形形状である。次に、ロッド65が上昇して均熱板可動部57aを押し上げ、この均熱板可動部57aに基板27が搭載される。
【0054】
しかる後、アーム61はステージ61aと共にロードロック室39に格納され、ゲートバルブ37は閉ざされる。一方、基板27を載せた均熱板可動部57aが降下し、基板27は、均熱板可動部57aと、均熱板固定部57b(571bおよび572b)とに囲まれた状態で、サセプタ55に載置される。その後、プロセスに必要なバックグラウンドの圧力(〜10-7Pa)まで排気されてから、成膜等の処理が開始される。
【0055】
図1に示す半導体処理装置11は、椀状構造体33が基板保持系21aに組み合わされて主処理空間35を形成している。
【0056】
このとき、図1を参照して既に説明したように、この椀状構造体33の縁部及び基板保持系21a間には狭い間隙を形成することにより、基板27の中心から外周へ向かうガス流(図中の矢印)を得るのが好ましい。このようにすれば、被処理面27aには、当該被処理面27a内の位置に依らず均一な流れの処理用ガスを供給することができる。なお、この間隙は、前述した位置調整手段41で以て椀状構造体33等の位置を調整することにより、自在に広く或いは狭くすることが可能である。
【0057】
このように均一な処理用ガスを得るには、図1に示す構成例以外にも、様々な方法が考えられる。例えば、椀状構造体33の縁部近傍の基板保持系21aに外部と連通する細孔を設けることにより、或いは、この椀状構造体33それ自体の縁部に細孔を設けることにより、基板27の中心から外周へ向かうガス流を得ることができる。
【0058】
例えば、基板保持系21aに外部と連通する細孔を設けるには、図3(特に図3(C))に示すよう均熱板57上の各炭化ケイ素シールド板59(即ち、591a、592a、593a及び591b)の間隙を利用すればよい。すなわち、各炭化ケイ素シールド板591a、592a、593a及び591bの間に敢えて間隙を設けることにより、この間隙から外部(ここでは第2真空室内)へ向かう処理用ガスのガス流が実現できる。
【0059】
以上説明した第1の実施の形態の真空処理装置11では、例えば、主処理空間35内の圧力を、主処理空間35以外の第2真空室15からの処理用ガスの逆拡散が生じない程度に、第2真空室15内の圧力よりも高く設定するのが好ましい。
【0060】
第1の実施の形態の真空処理装置11において、主処理空間35及び第2真空室15間の圧力差は、処理用ガスの導入量等を調節するか若しくは椀状構造体33の位置を調整することで、容易に所定値に維持することができる。
【0061】
また、ガス流量等のパラメータにより若干変化する可能性があるが、経験的に言うと、主処理空間35及び第2真空室15の間の圧力差を、最小でも300Pa(すなわち300Paか若しくはそれ以上)に設定すれば、第2真空室15から主処理空間35へのガスの逆拡散を、十分に抑制できると考えられる。例えば、この圧力差は、図1中に示す第2排気系25の圧力計63aと、ガス導入系23の圧力計63bとにより得られる値である。
【0062】
以上説明した実施の形態の真空処理装置11によれば、処理用ガスが第2真空室15壁面からの不純物ガスに接触し混ざり合う前に、処理用ガスを基板27の被処理面27aに導くことができる。従って、広く行われているように真空室壁面をステンレス等で形成した場合でも、壁面からの不純物ガスにより被処理面27aに供給される処理用ガスの純度が低下するのを抑制することができる。従って、この真空処理装置11をエピタキシャル膜成長プロセスに用いた場合には、基板の汚染や膜の結晶性の低下を抑制することができる。この真空処理装置11は、特に、膜特性の劣化の大きな原因となる基板及び膜の重金属汚染を低減させることができる点で好ましい。
【0063】
ここで、実施の形態の真空処理装置を用いて、シリコン基板の水素ガスクリーニングの実験を行ったので、以下にその結果を示す。この実験においては、上述したガス流制限手段を有する真空処理装置(実施例装置)と、ガス流制限手段を取り外した同一の真空処理装置(比較例装置)との比較を行った。真空室の壁面は水冷チャネルを有するステンレスである。
【0064】
実施例及び比較例の装置には、処理用ガスとして850℃に加熱した水素ガスを4L/minの流量で導入した。ただし、実施例の装置では、椀状構造体33及び基板保持系21a間の間隙を0.5mm程度とすることにより、第2真空室内の圧力を1000Pa及び主処理空間内の圧力を1300Paとし、両者の間で300Paの圧力差を維持させた。
【0065】
クリーニング処理を行った後、全反射蛍光X線分析法によってシリコン基板の重金属汚染量(Cu汚染量について測定)を測定した。この結果を表1に示す。
【0066】
【表1】
【0067】
表1に示すように、Cu汚染量は、実施例の真空処理装置において5×1010atoms/cm2となり、比較例の真空処理装置において5×1012atoms/cm2となった。すなわち、実施例の真空処理装置の方が、Cu汚染量を二桁程度小さくでき、従って、基板の重金属汚染を抑制できる結果が示された。
【0068】
【発明の効果】
上述した説明から明らかなように、この発明の真空処理装置によれば、第2真空室内のガス供給系にガス流制限手段を設けてあるので、処理用ガスが第2真空室壁面に接触しその結果純度が低下してしまう前に、処理用ガスを被処理面に導くことができる。従って、被処理面に供給される処理用ガスの純度低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態の真空処理装置の概略的な構成を示す断面図である。
【図2】加熱系の要部の具体的な構成例を模式的に示す分解斜視図である。
【図3】基板保持系の説明に供する図であり、図3(A)は基板保持系の要部の具体的な構成を模式的に示す斜視図、及び、図3(B)は基板保持系の要部の縦断面図であり、図3(C)は均熱板及び炭化ケイ素シールド板の正面図である。
【図4】基板保持系及びロードロック室間の基板搬送の説明に供する図である。
【符号の説明】
11:真空処理装置
11a:真空フランジ
11b:第1隔壁
13:第1真空室
15:第2真空室
17:加熱系
19:第1排気系
21:第2隔壁
21a:基板保持系
21b:上座部
23:ガス供給系
25:第2排気系
27:基板
27a:被処理面
29:ガス導入手段
31:ガス流制限手段
33:椀状構造体
35:主処理空間
37:ゲートバルブ
39:ロードロック室
41:位置調整手段
43a:下部フランジ
43b:上部フランジ
45:ベローズ
51a:メインヒータ
51b:サブヒータ
53a、53b、53c:石英板
55:サセプタ
57:石英製均熱板
57a:均熱板可動部
57b、571b、572b:均熱板固定部
57c:つば
59:炭化ケイ素シールド板
61:アーム
63a、63b:圧力計
65:ロッド
Claims (8)
- 加熱系を有しかつ第1排気系に接続された第1真空室と、
被処理面を有する基板を保持すると共に前記加熱系から該基板へ熱を導く基板保持系及び該被処理面にガスを供給するガス供給系を有し、かつ、前記第1排気系とは独立した第2排気系に接続された第2真空室と
を具えた真空処理装置において、
前記ガス供給系が、ガスを導入するガス導入手段と、前記基板の前記被処理面を覆う構造であって、かつ、該ガス導入手段から導入されたガスを、当該ガスが前記第2真空室内に拡散してしまう前に、前記被処理面へ導く構造のガス流制限手段とを具え、
前記ガス流制限手段が、椀を伏せた状態に前記被処理面を囲い込む椀状構造体を有し、該椀状構造体は、ガス導入時には伏せられた状態で前記基板を含む空間である主処理空間を形成し、
前記椀状構造体の底部には前記ガス導入手段を結合し、該椀状構造体が前記基板保持系に組み合わされて前記主処理空間を形成し、該椀状構造体の縁部近傍の該基板保持系には外部と連通する細孔を設けることにより、前記基板の中心から外周へ向かうガス流を得ることを特徴とする真空処理装置。 - 加熱系を有しかつ第1排気系に接続された第1真空室と、
被処理面を有する基板を保持すると共に前記加熱系から該基板へ熱を導く基板保持系及び該被処理面にガスを供給するガス供給系を有し、かつ、前記第1排気系とは独立した第2排気系に接続された第2真空室と
を具えた真空処理装置において、
前記ガス供給系が、ガスを導入するガス導入手段と、前記基板の前記被処理面を覆う構造であって、かつ、該ガス導入手段から導入されたガスを、当該ガスが前記第2真空室内に拡散してしまう前に、前記被処理面へ導く構造のガス流制限手段とを具え、
前記ガス流制限手段が、椀を伏せた状態に前記被処理面を囲い込む椀状構造体を有し、該椀状構造体は、ガス導入時には伏せられた状態で前記基板を含む空間である主処理空間を形成し、
前記椀状構造体の底部には前記ガス導入手段を結合し、該椀状構造体の縁部には細孔を設けることにより、前記基板の中心から外周へ向かうガス流を得ることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1または2に記載の真空処理装置において、
前記ガス供給系は、前記ガス流制限手段の位置を調整する位置調整手段を有することを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の真空処理装置において、
前記主処理空間内の圧力を、前記第2真空室からの前記ガスの逆拡散が生じない程度に、該第2真空室内の圧力よりも高く設定することを特徴とする真空処理装置。 - 請求項4に記載の真空処理装置において、
前記主処理空間及び前記第2真空室の間の圧力差を、最小でも300Paに設定することを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の真空処理装置において、
前記椀状構造体の底部には前記ガス導入手段を結合し、該椀状構造体が前記基板保持系に組み合わされて前記主処理空間を形成し、該椀状構造体の縁部及び該基板保持系間には狭い間隙を形成することにより、前記基板の中心から外周へ向かうガス流を得ることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の真空処理装置において、
前記ガス流制限手段は、前記ガス導入手段から導入されたガスが前記被処理面に均一に導かれるように、前記椀状構造体内に拡散させる拡散手段を有することを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の真空処理装置において、
前記ガス供給系のうち、前記ガス導入時に該ガスに接触する部分の一部または全部を、石英或いは炭化ケイ素で形成してあることを特徴とする真空処理装置。
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