JP4481723B2 - 評価方法、マスクパターン補正方法、半導体装置の製造方法、及びプログラム - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施の形態に係るマスクパターン補正システムは、図2に示すように、入力装置30、出力装置31、及び外部メモリ32、設計情報データベース34、製造情報データベース38、検査情報データベース42、及び補正ユニット11等を備える。設計情報データベース34は、設計部36を管理する設計管理サーバ35に接続されている。製造情報データベース38は、製造部40を管理する製造管理サーバ39に接続されている。検査情報データベース42は、検査部44を管理する検査サーバ43に接続されている。補正ユニット11は、フレア情報入力部12、透過率算出部14、分布関数算出部16、設計情報入力部18、領域設定部20、フレア算出部22、パターン補正部24、データ出力部26、及び内部メモリ28等を有している。補正ユニット11、設計管理サーバ35、製造管理サーバ39、及び検査サーバ43等は、ローカルエーリアネットワーク(LAN)46等の通信網を介して互いに接続されている。
FM(x,y) = ∬I0(μ,ν)×P(x-μ,y-ν)dμdν (1)
分布関数P(x,y)は、例えば(2)式に示すようなガウス関数で表される。
P(x,y) = A × exp( -b × r2 ) (2)
ここで、rはモニタレジストパターン63の端部からの距離(x2+y2)1/2である。定数Aは、投影光学系4に入射した光束のうちのローカルフレアになる成分の割合を表し、0以上1以下である。定数bは、ローカルフレアの到達距離を表し、bが大きい場合はローカルフレアが近くまでしか広がらず、逆にbが小さい場合は遠方までローカルフレアが到達することになる。
P(x,y) = A × exp( -b × r ) (3)
P(x,y) = A / ( b2 + r2 ) (4)
分布関数P(x,y)を算出するためには、理想像I0(x,y)を求める必要がある。理想像I0(x,y)は、モニタマスクパターン53の光学像(aerial image)であるが、近似的には次の方法で求められる「実効透過率」を使用することができる。
I0(x.y) = TM (モニタレジストパターン内)
0 (モニタレジストパターン周囲) (5)
FM(x,y) = ∬TM × P(x-μ,y-ν)dμdν (6)
分布関数算出部16により、(6)式にローカルフレア測定データFM(x,y)をフィッティングすることにより、ローカルフレアの分布関数P(x,y)の定数A及びbが最小二乗法から求められる。ここで、(6)式のdμdνに関する積分範囲はモニターパターン内となる。したがって、(6)式の積分は、誤差関数等を用いて展開することができ、最小二乗法が容易に実行できる。
F(x,y) = ∬T × P(x-μ,y-ν)dμdν (7)
なお、ローカルフレアの強度分布F(x,y)の計算の簡略化のため、次の規則に従って処理が行われてもよい。
F(xi,yi)=T1×A×exp(-b×r1 2)+T2×A×exp(-b×r2 2)+・・・+Tk×A×exp(-b×rk 2) (8)
ここで、(8)式の右辺の1〜kは、新たに設定した単位領域DA1、DA2、DA3、・・・、DAkに対応している。フレア算出部22により、全ての単位領域UAi(i=1〜n)について(8)式の計算を行い、ローカルフレアの強度分布F(x,y)が算出される。
本発明の第2の実施の形態に係る評価方法に用いる検査フォトマスク1bには、図18に示すように、溶融石英等のマスク基板50の表面に堆積されたクロム(Cr)等の遮光膜82に、第1のマスクパターン83及び第2のマスクパターン87がそれぞれ配置されている。例えば、第1のマスクパターン83は一辺の寸法L1が約3mmの正方形である。また、第2のマスクパターン87は、遮光部86及び遮光部86の周囲に配置された開口部88を有する。遮光部86は、一辺の寸法L2が約3mmの正方形である。また、開口部88は、一辺の寸法L3が約15mmの正方形である。遮光部86は開口部88の中心の位置に配置されている。また、第1のマスクパターン83及び開口部88の間に設けられた遮光膜82は、2mm以上、例えば約8mmの幅を有する。なお、図示は省略しているが、検査フォトマスク1bには、図1に示した露光装置のマスクステージ8上での位置決めに用いられるアライメントマークも配置されている。二重露光法でアライメントマークを用いて、第1のマスクパターン83及び遮光部86を、基板ステージ9上の半導体基板10表面で互いに重ね合わせて投影することができる。
上記のように、本発明の第1及び第2の実施の形態を記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者にはさまざまな代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
1a〜1d 検査フォトマスク
10 半導体基板
11 補正ユニット
12 フレア情報入力部
14 透過率算出部
16 分布関数算出部
18 設計情報入力部
20 領域設定部
22 フレア算出部
24 パターン補正部
26 データ出力部
50 マスク基板
52、52a、72a、82 遮光膜
53 モニタマスクパターン
54a、64a、74a〜74e、84a〜84d、88 開口部
62、92、92a レジスト膜
62a、95a〜95g レジスト像
63 モニタレジストパターン
68 ローカルフレア像
70 マスクパターン領域
72b〜72e、86 遮光部
73a 周辺回路パターン
73b メモリセルアレイパターン
75 メモリ回路パターン領域
76 周辺回路領域
78 メモリセルアレイ領域
83 第1のマスクパターン
85a〜85g 半透明膜
87 第2のマスクパターン
93 レジストパターン
94a〜94g、98、98a、98b レジスト開口部
Claims (9)
- 露光装置を用いてフォトマスクのマスクパターンが投影された半導体基板上のローカルフレア分布を評価する評価方法であって、
検査フォトマスクの遮光膜で囲まれたモニタマスクパターンを半導体基板に投影して投影光強度分布を測定し、
前記モニタマスクパターンの照明光強度と、前記モニタマスクパターンに基づいて算出される前記半導体基板上の第1の投影光強度との第1の比率及び前記投影光強度分布に基づいて前記モニタマスクパターンのマスクパターン被覆率に依存して生じるローカルフレアの分布関数を算出し、
対象フォトマスクの設計マスクパターンを複数の単位領域に分割し、前記複数の単位領域のそれぞれにおける前記照明光強度と前記設計マスクパターンに基づいて算出される前記半導体基板上の第2の投影光強度との第2の比率及び前記分布関数に基づいて前記複数の単位領域のそれぞれでローカルフレア強度を算出する
ことを含むことを特徴とする評価方法。 - 前記分布関数が、前記投影光強度の前記ローカルフレアになる成分の割合を表す定数と、前記ローカルフレアの到達距離を表す定数により表わされることを特徴とする請求項1に記載の評価方法。
- 露光装置を用いてフォトマスクのマスクパターンが投影されて形成されたレジスト像の寸法変動のマスクパターン被覆率依存性を評価する評価方法であって、
検査フォトマスクの遮光膜に形成された周期パターンの第1のマスクパターンを半導体基板上のレジスト膜に投影し、
前記遮光膜に形成された遮光部及び前記遮光部の周囲に形成された開口部を有する第2のマスクパターンを、前記第1のマスクパターンが投影された前記レジスト膜の領域を前記遮光部で覆うようにして前記レジスト膜に投影し、
前記周期パターンに対応する複数のレジスト像を形成し、
前記複数のレジスト像の周期方向の線幅をそれぞれ測定し、
前記線幅の中央部の平均値に対する端部の前記線幅の変動量、及び前記線幅が前記端部から前記中央部での前記線幅のばらつき範囲に至るまでの変動距離を測定する
ことを含むことを特徴とする評価方法。 - 前記線幅が、前記第1のマスクパターンのマスク寸法誤差に基づいて補正された数値であることを特徴とする請求項3に記載の評価方法。
- 前記レジスト膜が、前記第1及び第2のマスクパターンが投影される複数の露光領域を有していることを特徴とする請求項3又は4に記載の評価方法。
- 検査フォトマスクの遮光膜で囲まれたモニタマスクパターンを半導体基板に投影して投影光強度分布を測定し、
前記モニタマスクパターンの照明光強度と、前記モニタマスクパターンに基づいて算出される前記半導体基板上の第1の投影光強度との第1の比率及び前記投影光強度分布に基づいて前記モニタマスクパターンのマスクパターン被覆率に依存して生じるローカルフレアの分布関数を算出し、
対象フォトマスクの設計マスクパターンを複数の単位領域に分割し、前記複数の単位領域のそれぞれにおける前記照明光強度と前記設計マスクパターンに基づいて算出される前記半導体基板上の第2の投影光強度との第2の比率及び前記分布関数に基づいて前記複数の単位領域のそれぞれでローカルフレア強度を算出し、
前記ローカルフレア強度の前記半導体基板表面での強度分布に基づいて前記設計マスクパターンの転写レジストパターンの寸法変動を算出し、
前記寸法変動を用いて前記設計マスクパターンを補正する
ことを含むことを特徴とするマスクパターン補正方法。 - 検査フォトマスクの遮光膜で囲まれたモニタマスクパターンを半導体基板に投影して投影光強度分布を測定し、前記モニタマスクパターンの照明光強度と、前記モニタマスクパターンに基づいて算出される前記半導体基板上の第1の投影光強度との第1の比率及び前記投影光強度分布に基づいて前記モニタマスクパターンのマスクパターン被覆率に依存して生じるローカルフレアの分布関数を算出し、対象フォトマスクの設計マスクパターンを複数の単位領域に分割し、前記複数の単位領域のそれぞれにおける前記照明光強度と前記設計マスクパターンに基づいて算出される前記半導体基板上の第2の投影光強度との第2の比率及び前記分布関数に基づいて前記複数の単位領域のそれぞれでローカルフレア強度を算出し、前記ローカルフレア強度の前記半導体基板表面での強度分布に基づいて前記設計マスクパターンの転写レジストパターンの寸法変動を算出して、前記設計マスクパターンを補正した補正マスクパターンデータを用いて前記対象フォトマスクを作製し、
レジスト膜を塗布した半導体基板を露光装置に装着し、
前記対象フォトマスクを前記半導体基板に投影し、前記レジスト膜に前記補正マスクパターンを転写し、対象レジストパターンを形成し、
前記対象レジストパターンをマスクとして前記半導体基板を加工する
ことを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 検査フォトマスクの遮光膜に形成された周期パターンの第1のマスクパターンを半導体基板上のレジスト膜に投影し、前記遮光膜に形成された遮光部及び前記遮光部の周囲に形成された開口部を有する第2のマスクパターンを、前記第1のマスクパターンが投影された前記レジスト膜の領域を前記遮光部で覆うようにして前記レジスト膜に投影し、前記周期パターンに対応する複数のレジスト像を形成し、前記複数のレジスト像の周期方向の線幅をそれぞれ測定し、前記線幅の中央部の平均値に対する端部の前記線幅の変動量及び前記線幅が前記端部から前記中央部での前記線幅のばらつき範囲に至るまでの変動距離を複数の露光装置についてそれぞれ求め、前記変動量及び前記変動距離により前記複数の露光装置を分類し、
分類された前記露光装置から対象となるリソグラフィ工程で使用可能な製造用露光装置を選択し、
前記製造用露光装置を用いて前記リソグラフィ工程を実施する
ことを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 検査フォトマスクの遮光膜で囲まれたモニタマスクパターンを半導体基板に投影して投影光強度分布を測定する命令と、
前記モニタマスクパターンの照明光強度と、前記モニタマスクパターンに基づいて算出される前記半導体基板上の第1の投影光強度との第1の比率及び前記投影光強度分布に基づいて前記モニタマスクパターンのマスクパターン被覆率に依存して生じるローカルフレアの分布関数を算出する命令と、
対象フォトマスクの設計マスクパターンを複数の単位領域に分割し、前記複数の単位領域のそれぞれにおける前記照明光強度と前記設計マスクパターンに基づいて算出される前記半導体基板上の第2の投影光強度との第2の比率及び前記分布関数に基づいて前記複数の単位領域のそれぞれでローカルフレア強度を算出する命令
とをコンピュータに実行させるためのプログラム。
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