JP4481070B2 - 薄板状金属リングの端縁研削方法及び研削装置 - Google Patents

薄板状金属リングの端縁研削方法及び研削装置 Download PDF

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本発明は、自動車の無段変速機等に用いられる薄板状金属リングの端縁研削方法及び研削装置に関するものである。
従来、自動車の無段変速機(CVT)等に用いられる薄板状金属リングは、矩形状の金属製薄板の両端縁同士を溶接接合して形成された円筒状体を所定幅に輪切り状に切断することにより製造されるが、該金属リングの端縁には、該円筒状体からの切断時にバリが形成されている。そこで、前記金属リングは、前記端縁にバリ取り、面取り等の研磨加工が施される。
前記金属リングの端縁に対するバリ取り、面取り等の研磨加工として、例えば、バレル研磨を行うことが知られている。しかし、前記金属リングにバレル研磨を施す場合、該金属リングの外周側端縁においてはメディアが十分に接触して研磨が施されるが、前記メディアが比較的接触しにくい内周側端縁においては研磨が不十分になる傾向がある。このため、前記金属リングの端縁全周に亘って、均一にバリ取り、面取りを行うことが困難になることがある。
また、前記バレル研磨は比較的長時間を要する上、前記金属リングの端縁以外の研磨不要の部分が研磨されたり、金属リングの外周部分が削られやすく、端部のRが外周側が大きく、内周側が小さいという不均一な形状になる。
一方、前記金属リングの端縁に対する研削加工として、該端縁を砥石により研削する方法も知られている。このような方法として、例えば、前記金属リングの内周面に保持部材を圧接し、一側端縁を露出させて該金属リングを保持する保持部材と、該端縁に対向配置された砥石とを設け、該保持部材を該砥石方向に前進させ該金属リングの端縁を該砥石に圧接させた状態で該砥石を該金属リングの周方向に沿って回転駆動することにより、該金属リングの端縁を研削する方法が知られている(例えば特許文献1参照)。この方法では、前記金属リングが前記砥石に圧接されたときに、ロードセルによりその荷重を検出して、該金属リングが該砥石に過剰に圧接されることを防止している。
また、前記金属リングの内周側に保持部材を圧接し、両端縁を露出させて該金属リングを保持する保持部材と、スプリングにより該端縁に圧接される砥石とを設け、該金属リングの両端縁に該砥石を圧接させた状態で該保持部材を回転駆動することにより、該金属リングの端縁を研削する方法も知られている(例えば特許文献2参照)。
前記金属リングの端縁を砥石により研削する方法によれば、前記金属リングの端縁以外の研削不要の部分が研削されることなく、該金属リングの端縁を確実に研削することができる。また、前記研削方法では、前記金属リング端縁の砥石に対する圧接力をロードセルの検出荷重により調整し、あるいは砥石をスプリングにより該端縁に圧接しているので、該端縁の形状に沿って前記研削を行うことができる。
しかしながら、前記研削方法では、前述のように円筒状体を所定幅毎に輪切り状に切断する際に該金属リングの板幅が均一になっていない場合に、板幅を均一に加工することが難しいという不都合がある。
特開2001−322058号公報 特開2003−236737号公報
本発明は、かかる不都合を解消して、薄板状金属リングの端縁に対する研削加工を行うと同時に、該薄板状金属リングの板幅が均一になっていない場合に、該板幅が均一になるように研削することができる薄板状金属リングの端縁研削方法を提供することを目的とする。
また、本発明の目的は、本発明の端縁研削方法を実施する端縁研削装置を提供することにもある。
かかる目的を達成するために、本発明は、薄板状ドラムを所定幅毎に裁断して得られた薄板状金属リングの端縁を研削する方法において、該薄板状金属リングを1対のテンションローラに掛け渡し、該薄板状金属リングの一方の端縁を両テンションローラ間に固設された端縁圧接部材に圧接させた状態で両テンションローラを回転駆動し、両テンションローラ間で該端縁圧接部材の該薄板状金属リングの端縁が圧接される面を基準面として該基準面との間に所定の間隔を存して設けられ、該薄板状金属リングの他方の端縁に接触する加工部を直線状に備える加工砥石に該薄板状金属リングの他方の端縁を摺接せしめ、該端縁を研削することを特徴とする。
本発明の方法では、前記薄板状金属リングを前記1対のテンションローラに掛け渡し、該薄板状金属リングの一方の端縁を前記端縁圧接部材に圧接した状態で両テンションローラを回転駆動させると、該薄板状金属リングの他方の端縁が両テンションローラ間に設けられた前記加工砥石の前記加工部に摺接されて研削される。このとき、前記端縁圧接部材は、両テンションローラ間に固定して設けられているので、該端縁圧接部材の該薄板状金属リングの端縁が圧接される面を基準面として、該基準面に所定の間隔を存して前記加工砥石を設けることにより、前記薄板状金属リングは該端縁圧接部材に圧接している側の端縁と該加工砥石に摺接する側の端縁との間の板幅が、該所定の間隔となるように研削される。
従って、本発明の方法によれば、薄板状ドラムを所定幅毎に裁断して得られた薄板状金属リングの板幅が均一になっていない場合でも、該板幅が均一に前記所定の間隔となるように研削することができる。また、本発明の方法によれば、前記薄板状金属リングの端縁のみが前記加工砥石の加工部に摺接して研削されるので、該端縁以外の研削不要の部分が研削されることなく、該端縁を確実に該加工部の形状に沿わせて研削することができる。
ところで、前記従来の技術のように、前記薄板状金属リングの内周面に保持部材を圧接して該薄板状金属リングを保持する場合には、該薄板状金属リングの端縁は、ほぼ真円形状となっている。そこで、前記薄板状金属リングの端縁に対向して加工砥石を設け、該薄板状金属リングと該加工砥石とのいずれか一方を回転させて、該薄板状金属リングの端縁を該加工砥石により研削するときには、該加工砥石に設けられる加工部を該薄板状金属リングの端縁形状に沿って円弧状にする必要がある。
これに対して、本発明の方法では、前記両テンションローラ間に掛け渡された前記薄板状金属リングの端縁は該両テンションローラ間でほぼ直線状となっているので、この部分に前記加工砥石を設けることにより、前記加工部を直線状とすることができ、該加工部の形成、整形を容易に行うことができる。
しかし、前記加工部を直線状としても、前記薄板状金属リングは周方向で歪みがあったり、硬度が不均一であったりすると、前記端縁が前記両テンションローラ間で直線状にならないことがある。このような場合には、前記端縁が前記直線状の加工部に対して適切に摺接できなくなり、前記薄板状金属リングの外周側と内周側とで該端縁の加工量が不均一になることがある。
そこで、本発明の方法は、前記薄板状金属リングの端縁が前記加工砥石に摺接される位置で、該薄板状金属リングの表面に沿って厚さ方向の両側に設けられた1対の挟持部材により該薄板状金属リングを厚さ方向の両面から挟持し、該薄板状金属リングの端縁が直線状になるように保持することが好ましい。
このようにするときには、前記薄板状金属リングの端縁が前記1対の挟持部材に挟持された部分で直線状となるので、該端縁を前記直線状の加工部に対して適切に摺接することができ、該薄板状金属リングの外周側と内周側とで該端縁の研削量を均一にすることができる。
本発明の方法は、薄板状ドラムを所定幅毎に裁断して得られた薄板状金属リングが掛け渡される1対のテンションローラと、両テンションローラ間に固設され該薄板状金属リングの一方の端縁が圧接される端縁圧接部材と、該薄板状金属リングの一方の端縁を該端縁圧接部材に押圧する押圧部材と、両テンションローラ間で該端縁圧接部材の該薄板状金属リングの端縁が圧接される面を基準面として該基準面との間に所定の間隔を存して設けられ、該薄板状金属リングの他方の端縁に接触する加工部を直線状に備え、該加工部に摺接される該端縁を研削加工する加工砥石と、該薄板状金属リングの端縁が該加工砥石に摺接される位置で、該薄板状金属リングの表面に沿って厚さ方向の両側に設けられ、該薄板状金属リングを厚さ方向の両面から挟持し、該薄板状金属リングの端縁が直線状になるように保持する1対の挟持部材とを備える装置により、有利に実施することができる。
次に、添付の図面を参照しながら本発明の実施の形態についてさらに詳しく説明する。図1は本実施形態の薄板状金属リングの研削装置の構成を示す平面図であり、図2は図1に示す装置に装着された前記薄板状金属リングの一方の直線部をA矢示方向から見た側面図、図3は図1に示す装置に装着された前記薄板状金属リングの他方の直線部をB矢示方向から見た側面図、図4は図1のIV−IV線断面図、図5は図4の要部を拡大して示す説明的断面図である。
図1、図2に示すように、本実施形態の研削装置1は、薄板状金属リングWが掛け渡されるテンションローラ2a,2bと、テンションローラ2a,2b間に掛け渡された薄板状金属リングWの直線部の一方の側に固設され薄板状金属リングWの一方の端縁Waが圧接される端縁圧接ローラ3a,3bと、端縁圧接ローラ3a,3bに端縁Waを押圧する押圧ローラ4とを備えている。テンションローラ2a,2bはいずれか一方が駆動ローラ、他方が従動ローラであり、例えばテンションローラ2aが駆動ローラ、テンションローラ2bが従動ローラとなっている。また、押圧ローラ4は、薄板状金属リングWの端縁Wb に接触した状態で、下方に付勢されるようになっている。
また、図1、図3に示すように、研削装置1は、テンションローラ2a,2b間に掛け渡された薄板状金属リングWの直線部の他方の側に、端縁Waが圧接されるバックアップローラ5と、バックアップローラ5に対向する加工砥石6とが備えられ、加工砥石6の上流側及び下流側にそれぞれ端縁Waをバックアップローラ5に押圧する押圧ローラ7a,7bが備えられている。押圧ローラ7a,7bは、薄板状金属リングWの端縁Wb に接触した状態で、下方に付勢されるようになっている。
ここで図4に示すように、バックアップローラ5は、前記のように固設されている端縁圧接ローラ3a,3bの端縁Waが圧接される面を基準面Sとして、端縁Waが圧接される面が基準面Sと同一レベルとなるように設けられており、加工砥石6は基準面Sとの間に所定の間隔を存して設けられている。加工砥石6は、薄板状金属リングWの一方の端縁Wbが摺接されて研削される加工部としての溝部8を周方向に沿って直線状に備えている。そして、基準面Sと溝部8との間隔は、例えば、薄板状金属リングWの板幅の設計値に一致するようにされている。
加工砥石6は、例えば、金属面に電着された他の金属により砥粒が固定されている電着砥石を用いることが好ましい。加工砥石6は、電着砥石からなることにより、薄板状金属リングWの研削を繰り返しても溝部8の摩耗が無く、位置制御を容易に行うことができる。
加工砥石6は、砥粒が金属等のバインダを介して結合されているボンド砥石を用いてもよい。しかし、この場合には薄板状金属リングWの研削を繰り返すと溝部8が摩耗するので、加工砥石6の直径をセンサ等により測定して、位置制御を行う必要がある。
また、図3、図4に示すように、端縁Wbが加工砥石6に摺接される位置には、薄板状金属リングWの内面側に平行に、ガイド部材9が備えられ、薄板状金属リングWの外面側に沿って押えローラ10a,10b,10cが備えられている。ガイド部材9と押えローラ10a,10b,10cとにより、薄板状金属リングWは厚さ方向で内外面両側から挟持され、加工砥石6に摺接される位置で、端縁Wa ,Wb が直線状に保持されるようになっている。ガイド部材9は、押えローラ10a,10b,10cとの間に薄板状金属リングWを挟持できる材料であればどのような材料であってもよいが、薄板状金属リングWを挟持する際に給油を必要としないことから、オイルレスメタルからなることが好ましい。
次に、本実施形態の研削装置1による薄板状金属リングWの端縁研削方法について説明する。
本実施形態では、まず、テンションローラ2a,2bを相互に近接する方向に移動させ、矩形状の金属製薄板の両端縁同士を溶接接合して形成された円筒状体を所定幅に輪切り状に切断することにより製造された薄板状金属リングWを、テンションローラ2a,2b間に掛け渡す。このとき、押圧ローラ4、7a,7bと加工砥石6とは薄板状金属リングWの上方に退避しており、押えローラ10a,10b,10cは薄板状金属リングWの外方に退避している。
次いで、テンションローラ2a,2bを相互に離間する方向に移動させて、薄板状金属リングWがテンションローラ2a,2bに装着され、所定の張力が付与されると、押圧ローラ4、7a,7bが下方に移動して、薄板状金属リングWの端縁Wb に接触する。このとき、押圧ローラ4、7a,7bは下方に付勢されており、端縁Wa が端縁圧接ローラ3a,3b、バックアップローラ5に押圧される。
一方、前記のように薄板状金属リングWがテンションローラ2a,2bに装着されると、押えローラ10a,10b,10cは薄板状金属リングWの方向に移動し、薄板状金属リングWをその外面側からガイド部材9に押圧し、ガイド部材9との間で薄板状金属リングWを挟持する。
次に、加工砥石6を下方に移動して、溝部8を薄板状金属リングWの端縁Wb に押圧する。そして、テンションローラ2aを回転駆動することにより、薄板状金属リングWをテンションローラ2a,2b間に周回せしめ、加工砥石6の溝部8により端縁Wb の研削加工を行う。
このとき、端縁圧接ローラ3a,3bは、前記のようにテンションローラ2a,2b間に固定されて設けられている。そこで、端縁圧接ローラ3a,3bの端縁Waが圧接される面を基準面Sとして、バックアップローラ5は端縁Waが圧接される面が基準面Sと同一レベルとなるように設けられ、加工砥石6はバックアップローラ5の端縁Waが圧接される面との間に所定の間隔を存して設けられていることにより、薄板状金属リングWは、溝部8により端縁Wb が端縁Waの形状に倣う形状となり、しかも、端縁Wa ,Wbの間隔がほぼ均一になるように研削される。
また、薄板状金属リングWは、ガイド部材9と押えローラ10a,10b,10cとにより内外両面から挟持されているので、端縁Wb が加工砥石6の溝部8に摺接される位置の前後でガイド部材9に沿って直線状に保持されている。この結果、図5に示すように、端縁Wb が溝部8に対して適切に摺接され、薄板状金属リングWの外周側と内周側とで端縁Wb の研削量を均一にすることができる。
本実施形態では、端縁Wb の研削が終了したならば、薄板状金属リングWを前記掛け渡し時の操作と全く逆の操作により、テンションローラ2a,2bから取り外す。そして、端縁Wa ,Wbの位置関係を反転させ、端縁Wa が溝部8に摺接するようにして、再び薄板状金属リングWをテンションローラ2a,2bに掛け渡し、前述の端縁Wb の研削と全く同一にして端縁Wa の研削を行う。このようにすることにより、今度は端縁Waが端縁Wb の形状に倣うように研削され、端縁Wa ,Wbの間隔がさらに均一になる。
次に、10本の薄板状金属リングW(試料1〜10)について本実施形態の方法により端縁Wa ,Wbの研削を行った。端縁Wa ,Wbの間隔の最大値と最小値との差を板幅のバラツキとし、研削加工の前後での板幅のバラツキを測定した。結果を表1に示す。
Figure 0004481070
表1から、本実施形態の端縁研削方法によれば、加工前に0.006〜0.04mmの範囲であった前記板幅のバラツキを、加工後には0.001〜0.003mmの範囲に縮小することができ、端縁Wa ,Wbの間隔を均一にすることできることが明らかである。
尚、本実施形態の装置では、加工砥石6が図3に示すように薄板状金属リングWの上方に、基準面Sとの間に所定の間隔を存して設けるようにされているが、薄板状金属リングWの下方に、基準面Sと同一レベルに設けられていてもよい。このようにするときには、バックアップローラ5は薄板状金属リングWの上方に、押圧ローラ7a,7bは薄板状金属リングWの下方に設けられる。そして、薄板状金属リングWの端縁Wa が基準面Sに沿って研削されることとなる。
また、本実施形態の装置では、テンションローラ2a,2b間に掛け渡された薄板状金属リングWの直線部の一方の側では、加工砥石6が図3に示すように薄板状金属リングWの上方に設けられ、他方の側では加工砥石6が薄板状金属リングWの下方に設けられるようにしてもよい。加工砥石6が薄板状金属リングWの下方に設けられるときには、前述のようにバックアップローラ5は薄板状金属リングWの上方に、押圧ローラ7a,7bは薄板状金属リングWの下方に設けられる。このようにすることにより、端縁Wa の研削と端縁Wb の研削とを同時に行うことができる。
さらに、本実施形態の装置では、薄板状金属リングWの端縁Wb が加工砥石6の溝部8に摺接される位置の前後で、薄板状金属リングWをガイド部材9と押えローラ10a,10b,10cとにより挟持するようにしているが、ガイド部材9に代えて複数のローラを、押えローラ10a,10b,10cに対向配置するようにしてもよい。
本発明の薄板状金属リングの端縁研削装置の一構成例を示す平面図。 図1に示す装置に装着された薄板状金属リングの一方の直線部をA矢示方向から見た側面図。 図1に示す装置に装着された薄板状金属リングの他方の直線部をB矢示方向から見た側面図。 図1のIV−IV線断面図。 図4の要部を拡大して示す説明的断面図。
符号の説明
1…端縁研削装置、 2a,2b…テンションローラ、 3a,3b…端縁圧接部材、 4…押圧部材、 6…加工砥石、 8…加工部、 9、10a,10b,10c…挟持部材、 S…基準面、 W…薄板状金属リング、 Wa ,Wb …端縁。

Claims (3)

  1. 薄板状ドラムを所定幅毎に裁断して得られた薄板状金属リングの端縁を研削する方法において、
    該薄板状金属リングを1対のテンションローラに掛け渡し、該薄板状金属リングの一方の端縁を両テンションローラ間に固設された端縁圧接部材に圧接させた状態で両テンションローラを回転駆動し、両テンションローラ間で該端縁圧接部材の該薄板状金属リングの端縁が圧接される面を基準面として該基準面との間に所定の間隔を存して設けられ、該薄板状金属リングの他方の端縁に接触する加工部を直線状に備える加工砥石に該薄板状金属リングの他方の端縁を摺接せしめ、該端縁を研削することを特徴とする薄板状金属リングの端縁研削方法。
  2. 前記薄板状金属リングの端縁が前記加工砥石に摺接される位置で、該薄板状金属リングの表面に沿って厚さ方向の両側に設けられた1対の挟持部材により該薄板状金属リングを厚さ方向の両面から挟持し、該薄板状金属リングの端縁が直線状になるように保持することを特徴とする請求項1記載の薄板状金属リングの端縁研削方法。
  3. 薄板状ドラムを所定幅毎に裁断して得られた薄板状金属リングが掛け渡される1対のテンションローラと、
    両テンションローラ間に固設され該薄板状金属リングの一方の端縁が圧接される端縁圧接部材と、
    該薄板状金属リングの一方の端縁を該端縁圧接部材に押圧する押圧部材と、
    両テンションローラ間で該端縁圧接部材の該薄板状金属リングの端縁が圧接される面を基準面として該基準面との間に所定の間隔を存して設けられ、該薄板状金属リングの他方の端縁に接触する加工部を直線状に備え、該加工部に摺接される該端縁を研削加工する加工砥石と、
    該薄板状金属リングの端縁が該加工砥石に摺接される位置で、該薄板状金属リングの表面に沿って厚さ方向の両側に設けられ、該薄板状金属リングを厚さ方向の両面から挟持し、該薄板状金属リングの端縁が直線状になるように保持する1対の挟持部材とを備えることを特徴とする薄板状金属リングの端縁研削装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5268242B2 (ja) * 2005-11-01 2013-08-21 株式会社東芝 医用画像表示システム及び医用画像表示プログラム
US8384729B2 (en) 2005-11-01 2013-02-26 Kabushiki Kaisha Toshiba Medical image display system, medical image display method, and medical image display program

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000117601A (ja) * 1998-10-19 2000-04-25 Tdk Corp 連続研削装置
JP2001239443A (ja) * 2000-02-28 2001-09-04 Bando Kiko Kk ガラス板を隅取りする方法及びその装置
JP2003236737A (ja) * 2002-02-19 2003-08-26 Honda Motor Co Ltd 金属リングの端縁加工装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000117601A (ja) * 1998-10-19 2000-04-25 Tdk Corp 連続研削装置
JP2001239443A (ja) * 2000-02-28 2001-09-04 Bando Kiko Kk ガラス板を隅取りする方法及びその装置
JP2003236737A (ja) * 2002-02-19 2003-08-26 Honda Motor Co Ltd 金属リングの端縁加工装置

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