JP4464758B2 - 渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ - Google Patents

Description

この発明は、コイルによる磁束変化を与えたときに導電部材に生じる過電流の変化から検査対象面の傷を検出する渦流探傷装置に関し、特に、検査効率を高めるために複数の探傷コイルを用いる渦流探傷装置のマルチコイル式プローブに関する。

この種のマルチコイル式プローブを用いた傷の検出においては、検査対象面の傷の検出を精度よく行うために、各探傷コイルと検査対象面との間隔（リフトオフ量）を一定に保持する必要がある。したがって、航空機の外装部品や各種プラントのパイプ等のように、湾曲した表面や凹凸を有する表面が検査対象面となる場合には、湾曲した検査対象面に各探傷コイルを追従させる必要がある。
そこで、従来では、これに対処するものとして、可撓性を有するフィルム基板の表面に複数の探傷コイルのパターンを印刷配線により形成したマルチコイル式プローブがある（例えば、特許文献１参照。）。また、上記のフィルム基板を円柱状の軸体に巻き付け、軸受を介してこの軸体を支持軸に回転可能に支持したマルチコイル式プローブがある（例えば、特許文献２参照。）。

さらに、従来では、導線を巻回した探傷コイルをマルチコイル式プローブの厚さ方向に重ねたものもある（例えば、特許文献３参照）。このマルチコイル式プローブでは、一方の探傷コイル（以下、励磁コイルと呼ぶ）において交流磁場を発生させ、この交流磁場により検査対象面に過電流を発生させる。そして、マルチコイル式プローブの表面側に配された他方の探傷コイル（以下、検出コイルと呼ぶ）において前記過電流を検知し、隣り合う検出コイルの相互間に生じる電圧差に基づいて傷を検出する。この構成においては、傷の検出に対する斜めリフトオフの影響を無くすことができる。なお、斜めリフトオフとは、検査対象面に対して、これに対向するマルチコイル式プローブの表面が傾斜した状態を示している。すなわち、探傷コイルと検査対象面との距離が探傷コイル毎に異なることを示している。
また、従来では、複数の探傷コイルと各探傷コイルに対応する距離センサとをプリント基板に設けたマルチコイル式プローブがあり（例えば、特許文献４参照）、距離センサからの距離信号に基づいて検出コイルの探傷信号を補正することにより、傷の検出に対する斜めリフトオフの影響を無くしている。
特開平１１−５１９０５号公報 特開平１１−１８３４４１号公報 特許第３３４３８６０号公報 特開２００１−５６３１７号公報

しかしながら、特許文献１，２に記載のマルチコイル式プローブにおいては、プリント基板の表面に探傷コイルのパターンを形成するため、導線を巻回するタイプの探傷コイルと比較して、検査対象の表面形状や材質に応じた探傷コイルの設計変更が困難であるという問題がある。そして、プリント基板に探傷コイルのパターンをエッチング等により形成する構成の場合には、探傷コイルの設計変更を行う毎に上記パターン用の型を作成する必要があるため、マルチコイル式プローブの製造コストが増加するという問題がある。
さらに、プリント基板に探傷コイルのパターンを形成する場合には、分解能が高く、高い感度を有する探傷コイルを形成することが困難であるという問題もある。また、プリント基板を利用した構成の場合には、相互に隣り合う探傷コイルのパターンの影響によってノイズが発生する虞もある。

また、特許文献３，４に記載のマルチコイル式プローブにおいては、過電流に基づいて隣り合う検出コイルの相互間に生じる電圧差や、距離センサからの距離信号に基づいて検出コイルの探傷信号の補正によって斜めリフトオフの影響を無くすように構成されているが、検査対象面の曲率が大きい場合や、検査対象面の形状が複雑である場合には、リフトオフ量が大きくなって検査感度が低下するという問題がある。
さらに、特許文献４に記載のマルチコイル式プローブにおいては、別途距離センサを設けているため、マルチコイル式プローブを構成する部材点数が多くなり、その製造コストが高くなるという問題がある。
この発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、導線を巻回するタイプの探傷コイルを用いて安価に製造でき、かつ、各探傷コイルと検査対象面との間隔のばらつきを無くして検査精度の向上を図れる渦流探傷装置のマルチコイル式プローブの提供を目的としている。

上記目的を達成するために、この発明は、導線を巻回してなる複数の探傷コイルと、前記複数の探傷コイルの端面を検査対象面に対向する前面側に向けた状態で前記複数の探傷コイルを自身の厚さの範囲内に支持する保持部と、を有するコイルユニットと、前記検査対象面に前記コイルユニットを接触させる際に把持する固定部と、前記保持部を押圧して前記複数の探傷コイルを前記固定部から離間させる方向に付勢する付勢手段を有し、前記コイルユニットと前記固定部とを連結する連結部とを備え、前記保持部は、弾性変形可能な弾性材料を用いて可撓性を有するように形成され、前記複数の探傷コイルは、前記コイルユニットが前記検査対象面に接触したときに、前記検査対象面と非接触状態を保持するように配置されていることを特徴とする渦流探傷装置のマルチコイル式プローブを提供する。

この発明に係るマルチコイル式プローブによれば、この発明に係るマルチコイル式プローブにより検査対象面の傷を検出する際には、例えば、固定部を手で把持して保持部の前面を検査対象面に接触させる。ここで、保持部は可撓性を有しているため、検査対象面が曲面に形成されていても、保持部を湾曲させて保持部の前面と検査対象面との間に隙間ができることを防止できる。したがって、保持部に支持された各探傷コイルの端面と検査対象面とのリフトオフ量を一定に保持できると共に、斜めリフトオフの発生も防止できる。
また、この傷の検出の際には、手で把持しない保持部が湾曲し、手で把持する固定部はこの湾曲に追従することがないため、容易に保持部を検査対象面に追従させることができる。

また、この発明に係るマルチコイル式プローブによれば、検査対象面が曲面に形成されていても、弾性材料からなる保持部を弾性変形させることにより、保持部の前面と検査対象面とを容易に密着させることができる。

さらに、固定部を把持してコイルユニットを検査対象面に押さえつけた際に、付勢手段によって探傷コイルが検査対象面に付勢されるため、探傷コイルを検査対象面に確実に追従させることができる。特に、付勢手段により保持部を押圧する場合には、付勢手段の付勢力により保持部を湾曲させることができるため、保持部を検査対象面に容易に追従させることができる。

また、前記保持部が、前記探傷コイルの端面側に配され、かつ前記検査対象面に接触させるシート状のコーティング層を有し、前記付勢手段が、前記探傷コイルに直接接続されてもよい。
この場合、付勢手段により探傷コイルを直接押圧する場合には、探傷コイルを保持部の内部に埋める必要が無くなるため、コーティング層を湾曲させた際に各探傷コイルに発生する応力を抑制することができる。また、各探傷コイルを付勢手段により直接押圧しているため、検査対象面に向けて各探傷コイルを確実に押し付けることができる。

また、前記付勢手段が、前記端面の反対側に位置する前記探傷コイルの裏面に当接する押圧部と、該押圧部と前記固定部との間に設けられ、前記固定部に対して前記押圧部及び前記探傷コイルを前記裏面に沿う基準軸線回りに揺動可能とする揺動部とを備えてもよい。
この場合、揺動部により固定部に対する探傷コイルの向きを変更させることができるため、各探傷コイルの端面を確実に検査対象面に追従させることができる。

さらに、前記押圧部及び前記揺動部が一体的に形成されてもよい。この場合、押圧部と揺動部との連結を省くことができるため、付勢手段の組み上げ工程を簡略化してマルチコイル式プローブの製造効率を向上させることができる。

また、前記付勢手段が、導電性を有し、前記各探傷コイルから引き出される一対の導線に電気接続される一対の配線部を備えてもよい。
この場合、付勢手段は、各探傷コイルを押圧すると共に探傷コイルに電力を供給する役割を果たすため、探傷コイルに電力を供給するための別途配線が不要となる。したがって、マルチコイル式プローブの構成部品を減らしてその製造効率を向上させることができる。

さらに、前記固定部が、前記連結部を介して前記コイルユニットに接続される第１のハウジングと、前記第１のハウジング及び前記保持部の配列方向に略直交する直交軸線を中心として、前記第１のハウジングに対して揺動可能に連結される第２のハウジングとを備えてもよい。

この場合、第２のハウジングを手で把持した状態で、保持部を検査対象面に接触させてマルチコイル式プローブを直交軸線の直交方向に移動させる。この際には、マルチコイル式プローブの移動方向前方に位置する検査対象面に大きな凹凸を有する湾曲面があっても、第２のハウジングに対して第１のハウジングが揺動するため、第２のハウジングの向きを前記湾曲面に合わせて変化させることなく、保持部を前記湾曲面に追従させることができる。すなわち、第２のハウジングを把持する手の向きを湾曲面に合わせて変化させる必要が無いため、容易に傷の検出を行うことができる。

また、前記直交軸線を中心とする前記２つのハウジングの相対回転位置が所定位置に向かうように、前記２つのハウジングを相互に前記直交軸線回りに付勢する回転付勢手段を備えてもよい。
この場合、保持部を検査対象面に接触させる前の状態においては、回転付勢手段により２つのハウジングの相対回転位置を所定位置に保持できるため、第１のハウジングを把持しなくても、安定した状態で保持部を検査対象面に接触させることができる。

さらに、前記２つのハウジングの相対距離を変更可能に連結すると共に、これら２つのハウジングを相互に離間させる方向に付勢するハウジング付勢手段を備えてもよい。
この場合、ハウジング付勢手段により２つのハウジングの相対距離を変化させることができるため、連結部の付勢手段により吸収しきれない大きな湾曲面が検査対象面に存在しても、手で把持する第２のハウジングをこの湾曲面に追従させることなく、第１のハウジング及び保持部を検査対象面に確実に追従させることができる。

さらに、前記保持部のうち、少なくとも前記前面に沿う一方向について相互に隣り合う前記探傷コイルの間に、弾性変形可能な易変形部が形成されてもよい。
また、前記易変形部が、少なくとも前記保持部の前面、若しくは該前面とは反対側に位置する背面から窪んで形成された切欠部からなるものでもよい。

これらの場合、検査対象面に沿うように保持部を湾曲させる際には、各易変形部を弾性変形させればよいため、探傷コイルに応力が発生することを抑制し、保持部を容易に湾曲させることができる。また、易変形部を切欠部から形成した場合には、探傷コイルに応力が発生することを確実に防止できる。

本発明のマルチコイル式プローブによれば、保持部に支持された各探傷コイルの端面と検査対象面とのリフトオフ量を一定に保持できると共に、斜めリフトオフの発生も防止できるため、探傷の検査感度の低下を防止できる。また、固定部を把持した状態で容易に保持部を検査対象面に追従させることができるため、傷の検査を容易に行うことが可能となる。
さらに、マルチコイル式プローブは導線を巻回するタイプの探傷コイルにより構成されているため、マルチコイル式プローブを安価に製造することができる。

以下、本発明による第１の実施形態について図１〜６を参照して詳細に説明する。
図１に示すように、この実施の形態に係るマルチコイル式プローブ１は、電源回路及び制御部を内蔵する探傷装置本体３と、マルチコイル式プローブ１及び探傷装置本体３を相互に接続するケーブル５と共に渦流探傷装置７を構成するものである。探傷装置本体３には、電源スイッチ等の各種操作スイッチ４が設けられると共に、表示装置である液晶モニター６が設けられている。
マルチコイル式プローブ１は、図２に示すように、検査対象面Ｔ１に接触させるコイルユニット９、ケーブル５に接続される固定部１１及び、これらコイルユニット９と固定部１１とを相互に連結する連結部１３とを備えている。

コイルユニット９は、導線を巻回してなる複数の探傷コイル１５と、検査対象面Ｔ１に対向する前面１７ａ側に各探傷コイル１５の端面１５ａを向けた状態で探傷コイル１５を支持する保持部１７とを備えている。各探傷コイル１５は、ドーナツ型の空芯コイルによって構成されており、その空芯コイルは、例えばスピンドル型自動巻線機によって巻かれている。これら探傷コイル１５は、前述したケーブル５にそれぞれ電気的に接続されている。

保持部１７は、シリコンゴムやテフロン（登録商標）等の弾性変形可能な樹脂からなるコイルホルダ本体１９と、探傷コイル１５の端面１５ａ側に配されたコーティング層２１とを備えている。
コイルホルダ本体１９には、厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通する略円筒状の収容孔２３が複数形成されており、これら収容孔２３に各々探傷コイル１５が収容されている。これら収容孔２３は、図３に示すように、コイルホルダ本体１９の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って２列に、かつ各列の収容孔２３がオフセットするように配置されている。なお、各探傷コイル１５は、図２に示すように、その周縁部を収容孔２３の内周面に接着剤Ｇで固定することによりコイルホルダ本体１９に対して固定されている。ここで使用する接着剤Ｇとしては、例えば、ＵＶ接着剤、瞬間接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコン系接着剤等、硬化後に適度な弾性を有するものが挙げられる。

また、コイルホルダ本体１９は、その表面１９ａから裏面（背面）１９ｂ側に向けて幅方向（Ｙ軸方向）の寸法が漸次大きくなるように形成されている。すなわち、コイルホルダ本体１９の幅方向の端部に位置する表面１９ａには、テーパ状に形成されたテーパ部２７が設けられている。
コーティング層２１は、シリコンゴムやテフロン（登録商標）等の弾性変形可能な樹脂をシート状に形成したものであり、コイルホルダ本体１９に形成された断面視略矩形状の凹部２５に接着して固定されている。このコーティング層２１の表面２１ａはコイルホルダ本体１９の表面１９ａと共に、検査対象面Ｔ１に対向する保持部１７の前面１７ａを構成している。また、このコーティング層２１の裏面２１ｂは、コイルホルダ本体１９の収容孔２３に収容された探傷コイル１５の端面１５ａにも接触している。

このコイルユニット９は、以下のように製造される。
はじめに、図３に示すように、収容孔２３、凹部２５及びテーパ部２７を有するコイルホルダ本体１９を形成しておく。この収容孔２３の内径は、探傷コイル１５の外径寸法よりも大きく形成されている。次いで、平坦面に形成された表面３１ａから突出する段部２９を備えた治具３１を用意し、前記表面３１ａと平行な平坦面に形成された段部２９の搭載面２９ａから突出する複数の位置決めピン３３にそれぞれ探傷コイル１５を取り付ける。これら位置決めピン３３は、コイルホルダ本体１９の収容孔２３と同様に、段部２９の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って２列に、かつ各列の位置決めピン３３がオフセットする位置に配されている。
各位置決めピン３３の外径は、探傷コイル１５の内径よりも微少に小さく形成されている。すなわち、例えば、探傷コイル１５の内径が１．０８ｍｍの場合には位置決めピン３３の外径を１．０６ｍｍとしておく。したがって、各探傷コイル１５をそれぞれの位置決めピン３３に取り付けることにより、隣り合う探傷コイル１５を等間隔に保持できる。

治具３１に対する探傷コイル１５の位置決めが終了した後には、図４に示すように、凹部２５の底面２５ａが段部２９の搭載面２９ａに接触するように、かつ、コイルホルダ本体１９の表面１９ａが治具３１の表面３１ａに接触するように、コイルホルダ本体１９を治具３１に載置する。すなわち、コイルホルダ本体１９の凹部２５の寸法は、治具３１の段部２９の寸法と略一致している。この状態においては、探傷コイル１５が各収容孔２３に収容されることになる。また、この状態においては、探傷コイル１５及びコイルホルダ本体１９が共に治具３１に固定されるため、探傷コイル１５とコイルホルダ本体１９との相対的な位置が決定される。
そして、この状態において、接着剤Ｇにより各探傷コイル１５とコイルホルダ本体１９とを固定する。ここで、コイルホルダ本体１９は弾性を有しているため、接着の際には各探傷コイル１５を搭載面２９ａに押し付けながら行うことが好ましい。これにより、Ｚ方向に関して複数ある探傷コイル１５の端面１５ａの位置を確実に揃えることができる。
最後に、探傷コイル１５を固定したコイルホルダ本体１９を治具３１から取り外し、図２に示すように、コーティング層２１を凹部２５に接着することによりコイルユニット９の製造が終了する。
なお、この製造の際には、コイルホルダ本体１９を治具３１に載置した後に、探傷コイル１５を位置決めピン３３に取り付けるとしても構わない。

固定部１１は、図２，５に示すように、直方体状に形成されたアルミ製のハウジング３５と、ハウジング３５の内部に配され、各探傷コイル１５及びケーブル５の配線を電気的に接続するコイル基板３７とを備えている。ハウジング３５の下端側には開口部３９が形成されており、この開口部３９に後述する連結部１３のベローズ部（被覆部）４１が接続されている。

連結部１３は、コイルユニット９及び固定部１１の間に配されており、略直方体状のベローズ部４１と、コイルユニット９と固定部１１とを相互に引き離す方向（Ｚ軸方向）に付勢する付勢手段４３とを備えている。
ベローズ部４１には、その伸縮方向（Ｚ軸方向）の両端に開口する平面視略矩形状の開口部４１ａ，４１ｂが設けられている。一方の開口部４１ａは固定部１１の開口部３９に取り付けられ、他方の開口部４１ｂはコイルユニット９に取り付けられている。ここで、他方の開口部４１ｂは、コイルユニット９により閉塞されているため、固定部１１及びベローズ部４１の内方空間は外方に露出しない状態となる。

付勢手段４３は、複数のコイルスプリング４５と、各コイルスプリング４５に挿通されたピン４７とを備えている。複数のコイルスプリング４５は、その長手方向の一端が固定部１１側に配され、他端がコイルユニット９側に配されている。各コイルスプリング４５の他端は、コイルホルダ本体１９の裏面１９ａの周縁部にワッシャ４６を介して配されている。
各ピン４７は、ベローズ部４１の一方の開口部４１ａに固定された板状部材４８に取り付けられている。すなわち、板状部材４８にはその厚さ方向に貫通する挿通孔４８ａが形成されており、各ピン４７がこの挿通孔４８に挿通している。これにより、各ピン４７は、板状部材４８や固定部１１に対してＺ軸方向のみに移動可能となっている。
なお、各コイルスプリング４５の一端は、この板状部材４８の表面４８ｂに配されているため、コイルスプリング４５は板状部材４８とコイルホルダ本体１９とをＺ軸方向に引き離すように付勢することになる。また、この板状部材４８の中央部分には、その厚さ方向に貫通する略矩形状の孔４８ｃが形成されており、この孔４８ｃを介してコイル基板３７と各探傷コイル１５との電気接続用の配線を通すことができる。

各ピン４７の一端は、コイルホルダ本体１９の内部に設けられたボールジョイント４９に固定されている。このボールジョイント４９は、コイルホルダ本体１９に対してその裏面１９ｂに沿う軸線回りに揺動可能となっており、ベローズ部４１や付勢手段４３と共に連結部１３を構成している。
また、固定部１１の内方空間に配される各ピン４７の他端には、板状部材４８の挿通孔４８ａの径よりも大きいフランジ部４７ａが形成されており、ピン４７が挿通孔４８ａから抜け出ることを防止している。
なお、このピン４７は、コイルスプリング４５に挿通させているため、コイルスプリング４５をＺ軸方向のみに伸縮させるようになっている。

このマルチコイル式プローブ１により、検査対象面Ｔ１の傷の検出を行う際には、固定部１１を手で把持し、図２（ｂ），（ｃ）に示すように、検査対象面Ｔ１に保持部１７の前面１７ａを接触させた状態で、コイルホルダ本体１９の幅方向（Ｙ軸方向）にマルチコイル式プローブ１を移動させる。この際には、マルチコイル式プローブ１の移動方向の前方に検査対象面Ｔ１から突出する突起等の障害物が存在していても、障害物がテーパ部２７に接触するため、テーパ部２７によって保持部１７の前面１７ａまで滑らかに案内されることになる。また、この際に、固定部１１を検査対象面Ｔ１に向けて押さえつけても、この押圧力はコイルスプリング４５の弾性変形により吸収されるため、各探傷コイル１５に過剰な負荷がかかることを防止できる。
なお、検査対象面Ｔ１が平坦面である場合には、保持部１７を弾性変形させることなく、その前面１７ａ全体を検査対象面Ｔ１に接触させることができる。

図６（ａ）に示すように、凸状の曲面に形成された検査対象面Ｔ１の傷の検出を行う際には、固定部１１を検査対象面Ｔ１に向けて押さえつける。この際には、コイルスプリング４５の付勢力によって保持部１７の前面１７ａが凹状となるように保持部１７が弾性変形することになる。このため、保持部１７の前面１７ａ全体を検査対象面Ｔ１に接触させることができる。
また、この際には、保持部１７の裏面１９ｂが凸状となるため、Ｘ軸方向に関する保持部１７の中途部が、保持部１７の両端部よりも固定部１１側に近づくことになる。すなわち、保持部１７の中途部に配されたコイルスプリング４５は、両端部に配されたコイルスプリング４５よりも縮められることになる。

また、図６（ｂ）に示すように、凹状の曲面に形成された検査対象面Ｔ１の傷の検出を行う場合にも、前述と同様に、固定部を検査対象面に向けて押さえつける。この際には、コイルスプリング４５の付勢力によって、保持部１７の前面１７ａ側が凸状となるように保持部１７が弾性変形することになる。このため、その前面１７ａ全体を検査対象面Ｔ１に接触させることができる。
また、この際には、保持部１７の裏面１９ｂが凹状となるため、Ｘ軸方向に関する保持部１７の両端部が、保持部１７の中途部よりも固定部１１側に近づくことになる。すなわち、保持部１７の両端部に配されたコイルスプリング４５は、中途部に配されたコイルスプリング４５よりも縮められることになる。

なお、図６においては、保持部１７の移動方向に垂直な方向、すなわち保持部１７の長手方向（Ｘ軸方向）にわたって保持部１７が湾曲する状態を示しているが、保持部１７は前記移動方向に沿う方向、すなわち保持部１７の幅方向にわたって同様に湾曲することも可能である。

以上のように、傷の検出を行う際には、検査対象面Ｔ１の湾曲の有無にかかわらず、全ての探傷コイル１５のリフトオフ量をコーティング層２１の厚さ寸法に相当する所定量に保持することができる。また、マルチコイル式プローブ１のうち、手で把持しない部分となる保持部１７が湾曲するため、手で保持部１７を弾性変形させることなく、容易に保持部１７を検査対象面Ｔ１に追従させることができる。
なお、この傷の検出の際に、コイルスプリング４５が縮んだ場合には、ピン４７がコイルスプリング４５の縮み量に合わせて固定部１１側に移動することになる。さらに、この際に、ピン４７と保持部１７との相対的な向きに変化が発生した場合には、この変化に合わせてボールジョイント４９が保持部１７の内部で揺動する。

上記のように、本実施形態のマルチコイル式プローブ１によれば、検査対象面Ｔ１の湾曲の有無にかかわらず、全ての探傷コイル１５のリフトオフ量を一定に保持できると共に、斜めリフトオフの発生も防止できるため、探傷の検査感度の低下を防止できる。また、固定部１１を把持した状態で容易に保持部１７を検査対象面Ｔ１に追従させることができるため、傷の検査を容易に行うことが可能となる。

さらに、マルチコイル式プローブ１は導線を巻回するタイプの探傷コイル１５により構成されているため、マルチコイル式プローブ１を安価に製造することができる。
また、検査対象面Ｔ１が曲面に形成されていても、コイルスプリング４５の付勢力により保持部１７を弾性変形させると共に、探傷コイル１５を検査対象面Ｔ１に押さえつけることができるため、保持部１７の前面１７ａと検査対象面Ｔ１とを容易に且つ確実に密着させることができ、探傷コイル１５を検査対象面Ｔ１に確実に追従させることができる。

さらに、コーティング層２１を検査対象面Ｔ１に接触させた状態で保持部１７を移動させるため、傷の検出の際に探傷コイル１５の端面１５ａが検査対象面Ｔ１に接触することを防止して探傷コイル１５の保護を図ることもできる。
また、保持部１７の移動方向の前方に検査対象面Ｔ１から突出する突起等の障害物が存在しても、テーパ部２７によって保持部１７の前面１７ａまで滑らかに案内されるため、障害物の有無にかかわらず保持部１７を検査対象面Ｔ１に対して滑らかに移動させることができる。
さらに、連結部１３のベローズ部４１によって、付勢手段を配した固定部１１とコイルユニット９との隙間空間、及び固定部１１の内方空間が、外方に対して覆い隠されるため、これらの空間内に塵埃が侵入することを防止して、探傷コイル１５、コイル基板３７及びこれらを相互に接続する配線の保護を図ることができる。

なお、上記の第１の実施形態において、コーティング層２１は弾性変形可能な樹脂をシート状に形成したものとしたが、これに限ることはなく、少なくともシート状の弾性体から形成されていればよい。ただし、コーティング層２１は、傷の検出を行う際に検査対象面Ｔ１に対して直接擦れるため、耐摩耗性に優れる材料から形成されることが好ましい。
さらに、コーティング層２１は、コイルホルダ本体１９に接着固定する構成としたが、これに限ることはなく、例えば、コイルホルダ本体１９と同じ材料で一体的に形成するとしても構わない。

また、コーティング層２１は、コイルホルダ本体１９の凹部２５に接着固定されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、シリコン樹脂やウレタン樹脂、テフロン（登録商標）樹脂を凹部２５に充填して形成されるとしても構わない。
さらに、コイルホルダ本体１９は、シリコンゴムやテフロン（登録商標）等の弾性変形可能な樹脂から形成されるとしたが、これに限ることはなく、少なくとも弾性変形可能な弾性材料から形成されていればよい。すなわち、コイルホルダ本体１９は、例えば、ポリウレタンから形成されるとしても構わない。
また、探傷コイル１５は、ドーナツ型の空芯コイルによって構成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、多角形型や８の字型の空芯コイルによって構成されるとしても構わない。

さらに、探傷コイル１５は、スピンドル型自動巻線機によって巻かれるとしたが、これに限らず、例えば、手巻きで巻かれるとしても良い。
また、探傷コイル１５は空芯コイルによって構成されるとしたが、これに限ることはなく、芯を有する構成であっても構わない。

次に、本発明による第２の実施形態について図７，８を参照して説明する。なお、この第２の実施形態に係るマルチコイル式プローブは、第１の実施形態と付勢手段の構成について異なっている。ここでは、付勢手段のみについて説明し、マルチコイル式プローブ１の構成要素と同一の部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
図７に示すように、マルチコイル式プローブ５１の付勢手段５３は、その両端をそれぞれ保持部１７の裏面１９ａと板状部材４８の表面４８ｂとに接着等により取り付けられた弾性体５５を備えている。この弾性体５５は、ゴム等の樹脂材料からなり、図８（ａ）に示すように、その両端と比較して中途部５５ａが細く形成された、所謂くびれを有する略円柱形状に形成されている。

このマルチコイル式プローブ５１により、検査対象面Ｔ１の傷の検出を行う際には、主として中途部５５ａがＺ軸方向に縮む。また、検査対象面Ｔ１が湾曲している場合には、この中途部５５ａにおいて屈曲するように弾性変形するため、保持部１７を検査対象面Ｔ１に追従させることができる。
このマルチコイル式プローブ５１では、第１の実施形態と同様の効果を奏する。また、付勢手段５３を弾性体５５のみで構成することができるため、ピンやボールジョイント等、付勢手段５３に要する部品点数を少なくして、マルチコイル式プローブ５１の製造の工程数や製造コストの削減を図ることができる。

なお、この第２の実施形態においては、弾性体５５がくびれを有する形状に形成されているとしたが、少なくとも弾性変形可能な材料から形成されていればよい。すなわち、例えば、図８（ｂ）に示すように、弾性体５５Ｂが、その外観形状が前述の弾性体５５と同様に形成することに加え、その長手方向に貫通する孔５５ｃを形成して略円筒形状をなすとしてもよい。
また、例えば、図８（ｃ）に示すように、弾性体５５Ｅは、その両端と比較して中途部５５ｆを太く形成すると共に、その長手方向に貫通する孔５５ｇを形成して略円筒形状をなすとしても構わない。なお、中途部５５ｆにおける孔５５ｇの内径は、両端における孔５５ｇの内径よりも大きく形成されている。
これら構成の場合には、弾性体５５Ｂ，５５Ｅの中途部５５ｄ，５５ｆの肉厚が薄くなるため、中途部５５ｄ，５５ｆを容易に変形させることが可能となる。

また、付勢手段５３は、弾性体５５，５５Ｂ，５５Ｅのみから構成されることに限らず、例えば、図８（ｄ）に示すように、弾性体５５Ｂと同様の弾性体５５Ｈの孔５５ｉにピン５６を挿通させて付勢手段５３Ａを構成するとしてもよい。なお、このピン５６は第１の実施形態において示したピン４７のように、板状部材４８やコイルホルダ本体１９に接続する必要はなく、少なくとも孔５５ｉの一端から他端に到達するように配されていればよい。また、ピン５６と孔５５ｉとの間には隙間を設けておくことが好ましい。これは、弾性体５５Ｈの中途部５５ｊにおける弾性変形を過度に妨げないためである。

さらに、上述した２つの実施形態において、付勢手段４３，５３は、コイルスプリング４５や弾性体５１から構成されるとしたが、これに限ることはなく、少なくとも固定部１１と保持部１７とを相互に離間する方向に付勢するものであればよい。すなわち、付勢手段は、例えば、空圧シリンダ等の空気の圧縮力を利用したものから構成されるとしてもよい。

次に、本発明による第３の実施形態について図９，１０を参照して説明する。なお、この第３の実施形態に係るマルチコイル式プローブは、第１の実施形態と保持部及び連結部の構成について異なっている。ここでは、保持部及び連結部のみについて説明し、マルチコイル式プローブ１の構成要素と同一の部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
図９に示すように、マルチコイル式プローブの連結部６３は、第１の実施形態において示したベローズ部４１の代わりに、保持部６５と一体的に形成されたカバー部（被覆部）６７を備えている。すなわち、カバー部６７は、保持部６５と同じ弾性変形可能な樹脂材料から形成されている。このカバー部６７は、保持部６５側に配された撓み部６９と、固定部１１側に配された接続部７１とを備えている。
接続部７１は、固定部１１のハウジング３５に取り付けるように構成されており、その肉厚は撓み部６９よりも厚く形成されている。すなわち、接続部７１は、撓み部６９と比較して弾性変形し難い形状となっているため、カバー部６７をハウジング３５に対して容易に取り付けることができる。

この構成において、図１０（ａ）に示すように、凸状の曲面に形成された検査対象面Ｔ１の傷の検出を行う際には、手で把持した固定部１１を検査対象面Ｔ１に向けて押さえつける。この際には、付勢手段４３の付勢力により保持部６５の前面６５ａが凹状となるように保持部６５及び撓み部６９が弾性変形する。また、図１０（ｂ）に示すように、凹状の曲面に形成された検査対象面Ｔ１の傷の検出を行う際にも、前述と同様に、付勢手段４３の付勢力により保持部６５の前面６５ａが凸状となるように保持部６５及び撓み部６９が弾性変形する。なお、上述のように保持部６５及び撓み部６９が弾性変形しても、接続部７１が弾性変形することはない。
このマルチコイル式プローブによれば、第１の実施形態と同様の効果を奏する。また、連結部６３のカバー部６７を保持部６５と一体的に形成することにより、保持部６５に対するカバー部６７の取付工程が不要となるため、マルチコイル式プローブの製造工程を簡略化して、製造効率の向上を図ることができる。

次に、本発明による第４の実施形態について図１１を参照して説明する。なお、この第４の実施形態に係るマルチコイル式プローブは、第１の実施形態と保持部の構成について異なっている。ここでは、保持部のみについて説明し、マルチコイル式プローブ１の構成要素と同一の部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
このマルチコイル式プローブ７１の保持部７３は、図１１（ａ）に示すように、その前面７３ａを保持部７３の長手方向（Ｘ軸方向）に湾曲する凸状の曲面に形成して、構成されている。このマルチコイル式プローブ７１では、保持部７３を凹状の曲面からなる検査対象面Ｔ１に接触させる際に、保持部７３の弾性変形の量を少なくできるため、保持部７３の前面７３ａと検査対象面Ｔ１とをさらに容易に密着させることができる。

ただし、図１１（ｂ），（ｃ）に示すように、この保持部７３を平坦面や凸状の曲面からなる検査対象面Ｔ１に接触させる際には、前面７３ａを検査対象面Ｔ１に近づける方向に保持部１７を弾性変形させる必要がある。したがって、保持部７３は、検査頻度の高い検査対象面Ｔ１の形状に合わせた形状に形成することが好ましい。すなわち、例えば、検査対象面Ｔ１が凹状の曲面からなる場合には、保持部の前面を凹状の曲面に形成しておくことが好ましい。

なお、上述した３つの実施形態に加えて、例えば、図１２に示すように、相互に隣り合う探傷コイル１５の間に位置する保持部１７，６５，７１の前面１７ａ，６５ａ，７３ａ及び裏面１９ｂ，６５ｂ，７３ｂから窪んで形成された切欠部（易変形部）７５〜７８を形成するとしてもよい。これら切欠部７５〜７８は、保持部１７，６５，７１の幅方向及び長手方向にわたってそれぞれ形成されている。また、幅方向に延びる切欠部７５，７６は、長手方向にわたって延びる切欠部７７，７８に対して直交しないように交差している。
この構成の場合には、検査対象面Ｔ１に沿うように保持部１７を湾曲させる際に、各切欠部７５〜７８を弾性変形させればよいため、探傷コイル１５に応力が発生することを抑制し、保持部１７，６５，７１を容易に湾曲させることができる。

なお、上記の切欠部７５〜７８は、各列の探傷コイル１５がオフセットする位置に配されている場合のものであるが、各列の探傷コイル１５を保持部１７，６５，７１の幅方向に並べて配する場合には、例えば、図１３に示すように、保持部１７，６５，７１の幅方向に延びる切欠部（易変形部）７７，７８を保持部１７の長手方向にわたって延びる切欠部７５，７６に対して直交するように形成してもよい。この構成の場合にも、前述と同様に、探傷コイル１５に応力が発生することを抑制し、保持部１７，６５，７１を容易に湾曲させることができる。

また、上記のように、切欠部７５，７６を保持部１７，６５，７１の幅方向及び長手方向にわたってそれぞれ形成することに限らず、少なくとも保持部１７，６５，７１の前面１７ａ，６５ａ，７１ａに沿う一方向について相互に隣り合う探傷コイル１５の間のみに切欠部を形成すればよい。すなわち、例えば、図１４に示すように、保持部１７，６５，７１の長手方向に隣り合う探傷コイル１５の間のみに切欠部７７，７８を保持部１７，６５，７１の幅方向にわたって形成するとしてもよい。この構成の場合には、保持部１７，６５，７１を湾曲させる際に、保持部１７，６５，７１をその長手方向に容易に湾曲させることができる。
なお、上述した切欠部７５〜７８は、保持部１１７，６５，７１の前面１７ａ，６５ａ，７１ａ及び背面１３ｂに形成されるとしたが、これに限ることはなく、前面１７ａ，６５ａ，７１ａ若しくは裏面１９ｂ，６５ｂ，７３ｂのいずれか一方に形成されるとしても構わない。

また、上述した３つの実施形態に加えて、例えば、図１５に示すように、相互に隣り合う各探傷コイル１５の間に、保持部１７，６５，７１の湾曲を検出する曲げセンサ７９を設けるとしても構わない。この曲げセンサ７９は、保持部１７，６５，７１の裏面１９ｂ，６５ｂ，７３ｂに接着固定されており、保持部１７，６５，７１の裏面１９ｂ，６５ｂ，７３ｂと共に伸び縮みすることで保持部１７，６５，７１の湾曲を検出するものである。この曲げセンサの検出結果は、探傷コイル１５からの検出信号の補正に利用される。
この構成においては、検査対象面Ｔ１に沿って保持部１７，６５，７１を湾曲して相互に隣り合う探傷コイル１５の間隔が変化しても、曲げセンサ７９の検出結果に基づいて探傷コイル１５からの検出信号を補正することにより、検査対象面Ｔ１の実際の傷と探傷コイル１５において検出した傷の情報との間で生じる微少な差をなくすことができ、より正確な傷の検出を行うことができる。

すなわち、例えば、図１６（ａ）に示すように、保持部１７，６５，７１の前面１７ａ，６５ａ，７３ａが平坦となる状態から、図１６（ｂ）に示すように、保持部１７，６５，７１の前面１７ａ，６５ａ，７３ａが凹状となった場合には、前面１７ａ，６５ａ，７３ａにおいて隣接する探傷コイル１５間の距離Ｌが短くなる。この状態においては、曲げセンサ７９が、裏面１９ｂ，６５ｂ，７３ｂと共に凸状に伸び、前述の距離Ｌが短くなったことを検出する。そして、曲げセンサ７９の検出結果に基づいて各探傷コイル１５からの検出信号を補正する。
また、例えば、図１６（ｃ）に示すように、保持部１７，６５，７１の前面１７ａが凸状となった場合には、前面１７ａにおいて隣接する探傷コイル１５間の距離Ｌが長くなる。この状態においては、曲げセンサ７９が、裏面１９ｂ，６５ｂ，７３ｂと共に凹状に縮み、前述の距離Ｌが長くなったことを検出する。そして、曲げセンサ７９の検出結果に基づいて各探傷コイル１５からの検出信号を補正する。

なお、上述した３つの実施形態において、保持部１７，６５，７１は、弾性変形可能な弾性材料からなるとしたが、これに限ることはなく、少なくとも可撓性を有するものであればよい。すなわち、保持部１７，６５，７１は、例えば、塑性変形可能な材料から構成されるとしてもよい。

次に、本発明による第５の実施形態について図１７〜１９を参照して説明する。なお、この第５の実施形態に係るマルチコイル式プローブは、第１の実施形態と保持部及び付勢手段の構成について異なっている。ここでは、保持部及び付勢手段のみについて説明し、マルチコイル式プローブ１の構成要素と同一の部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
図１７に示すように、マルチコイル式プローブ８１の保持部８３は、探傷コイル１５の端面１５ａ側に配されたシート状のコーティング層８５を備えている。このコーティング層８５は、傷の検査時にその前面８５ａが検査対象面Ｔ１に直接接触するようになっている。すなわち、保持部８３は、第１の実施形態において示したコイルホルダ本体１９を含まない構成となっている。各探傷コイル１５は、前記前面８５ａとは反対側に位置するコーティング層８５の裏面（背面）８５ｂに接着剤等により固定されている。

また、この実施形態の付勢手段８７は、各探傷コイル１５をコーティング層８５の厚さ方向に直接押圧するものであり、探傷コイル１５と同数のコイルスプリング８９、各コイルスプリング８９に挿通されたピン９１と、端面１５ａの反対側に位置する探傷コイル１５の裏面１５ｂに当接する中間部材（押圧部）９３と、ピン９１と中間部材９３とを連結するボールジョイント（揺動部）９５とを備えている。
コイルスプリング８９は、その長手方向の一端が固定部１１側に配され、他端が探傷コイル１５の裏面１５ｂ側に配されており、ピン９１、中間部材９３、ボールジョイント９５及び探傷コイル１５を固定部１１から離間する方向に付勢している。なお、ピン９１の一端は、第１の実施形態と同じ板状部材４８に取り付けられている。
ボールジョイント９５は、ピン９１を中間部材９３に対して探傷コイル１５の裏面１５ｂに沿う軸線回りに揺動可能とするものである。すなわち、探傷コイル１５は、このボールジョイント９５により固定部１１に対して前記軸線回りに揺動可能となっている。

中間部材９３は、絶縁材料から形成されており、図１８（ａ），（ｂ）に示すように、探傷コイル１５の裏面１５ｂに当接する円板部９６と、円板部９６の端面から突出する突出部９７とを備えている。
円板部９６の外縁部には切欠部９６ａが形成されており、探傷コイル１５の導線１５ｃはこの切欠部９６ａを介しての外方に引き出すことができるように構成されている。
突出部９７は、その外径と略同じ内径寸法を有する探傷コイル１５の孔１５ｄに挿入されており、少なくとも探傷コイル１５とピン９１やボールジョイント９５との相対的な位置決めをできるようになっている。また、突出部９７の先端部９７ａはコーティング層８５の裏面８５ｂに当接しているため、コーティング層８５に対するピン９１やボールジョイント９５の位置決めを容易に行うことができる。

図１９に示すように、このマルチコイル式プローブ８１により、湾曲した検査対象面Ｔ１の傷の検出を行う際には、コイルスプリング８９の付勢力によってコーティング層８５の前面８５ａ全体が検査対象面Ｔ１に接触するようにコーティング層８５が湾曲する。また、この際には、ピン９１と探傷コイル１５との相対的な向きに変化が発生するため、ボールジョイント９５によってこれらピン９１及び探傷コイル１５が相互に揺動した状態となる。

このマルチコイル式プローブ８１では、第１の実施形態と同様の効果を奏する。また、コイルスプリング８９により各探傷コイル１５を直接押圧する構成とし、探傷コイル１５が保持部８３の内部に埋める必要を無くしているため、コーティング層８５を湾曲させた際に各探傷コイル１５に発生する応力を抑制することができる。
また、各探傷コイル１５をコイルスプリング８９により直接押圧しているため、検査対象面Ｔ１に向けて各探傷コイル１５を確実に押し付けることができる。
さらに、ボールジョイント９５により固定部１１に対する探傷コイル１５の向きを変更させることができるため、各探傷コイル１５の端面１５ａを確実に検査対象面Ｔ１に追従させることができる。

なお、上述した第５の実施形態において、中間部材９３の突出部９７はコーティング層８５に当接するとしたが、これに限ることはなく、少なくとも探傷コイル１５とピン９１やボールジョイント９５との相対的な位置決めを容易にできる形状に形成されていればよい。すなわち、中間部材９３は、例えば、図１８（ｃ）に示すように、突出部９７の長さが探傷コイル１５の長手方向の長さよりも短い、すなわち、突出部９７の先端部９７ａがコーティング層８５の裏面８５ｂに接触しないように構成されるとしてもよい。
また、付勢手段８７は、コイルスプリング８９、ピン９１、中間部材９３及びボールジョイント９５を備えるとしたが、これに限ることはなく、少なくとも各付勢手段８７が探傷コイル１５に直接接続されていればよい。すなわち、付勢手段８７は、例えば、空圧シリンダ等の空気の圧縮力を利用したものから構成されるとしてもよい。
さらに、付勢手段８７は、例えば、図２０に示すように、ゴム等の樹脂材料からなる弾性体（揺動部）９９と、弾性体９９及び探傷コイル１５の間に配された中間部材（押圧部）１０１とを備えるとしても良い。

この弾性体９９の両端は、それぞれ中間部材１０１と板状部材４８とに接着等により取り付けられている。この弾性体９９は、第２の実施形態の弾性体５５と同様のくびれを有しているため、そのくびれた中途部９９ａが前述したコイルスプリング８９及びボールジョイント９５の役割を果たすことになる。なお、第２の実施形態において示した弾性体５５，５５Ｂ，５５Ｅ，５５Ｈ（図８参照）と同様の形状を有するとしても構わない。
また、この弾性体９９に接続される中間部材１０１としては、前述と同様に、図２１（ａ）に示すように、突出部１０３の長さが探傷コイル１５の長さよりも短く形成されたものでもよい。

さらに、中間部材１０１は、図２１（ｂ）に示すように、突出部１０３の長さが探傷コイル１５の長さよりも長く形成されたものでも構わない。さらに、中間部材１０１は、図２１（ｃ）に示すように、円板部１０２をコーティング層８５の裏面８５ｂと探傷コイル１５の端面１５ａとの間に挟み込み、突出部１０３を探傷コイル１５の長さよりも長く形成して、その先端部１０３ａを弾性体９９に接続するように構成しても構わない。
これらの構成の中間部材１０１では、突出部１０３の長さが探傷コイル１５の長さよりも長いため、探傷コイル１５の長手方向の長さ寸法にばらつきがあっても、弾性体９９、中間部材１０１の長さ寸法の精度に応じて、固定部１１に対するコーティング層８５の表面８５ａの位置出しを容易に行うことができる。すなわち、コーティング層８５の表面８５ａを容易に平坦面に形成することができる。なお、図２１（ａ）〜（ｃ）に示した中間部材１０１の形状は、第５の実施形態の中間部材９３に適用しても構わない。

また、弾性体９９に接続される中間部材１０１は、探傷コイル１５のコアを構成するとしても構わない。すなわち、中間部材１０１は、例えば図２１（ｄ）に示すように、円板部１０２及び突出部１０３と、円板部１０２の表面の周縁部から突出部１０３と同じ方向に突出し探傷コイル１５の外径と略同じ内径寸法を有する円筒部１０４とを備えた所謂つぼ型コアを構成するとしてもよい。また、中間部材１０１は、例えば図２１（ｅ）に示すように、上述のつぼ型コアから円板部１０２及び突出部１０３を除いた所謂カップコアを構成するとしても構わない。これらの中間部材１０１は導電性材料から形成されている。

次に、本発明による第６の実施形態について図２２，２３を参照して説明する。なお、この第６の実施形態に係るマルチコイル式プローブは、第５の実施形態と付勢手段の構成について異なっている。ここでは、付勢手段のみについて説明し、マルチコイル式プローブ８１の構成要素と同一の部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
図２２，２３に示すように、マルチコイル式プローブ１１１の付勢手段１１３は、固定部１１側に固定された支持部１１５と、支持部１１５から突出する複数のアーム部１１７とを備えている。

支持部１１５は、固定部１１の幅方向（Ｙ軸方向）の一端部に配され、固定部１１の長手方向（Ｘ軸方向）にわたって形成されている。各アーム部１１７は、各探傷コイル１５を固定部１１からコーティング層８５に向けて付勢する板バネの役割を果たしている。このアーム部１１７は、第５の実施形態と同様の中間部材（押圧部）１２３を介して探傷コイル１５の裏面１５ｂ側に固定される先端部１１９と、先端部１１９と支持部１３３とを相互に連結する連接部（揺動部）１２１とから構成されている。連接部１２１は、支持部１３３から先端部１１９まで略直線状に形成されており、支持部１１５に対してＸ軸方向に沿う軸線回りに撓む弾性変形や、連接部１２１の長手方向に沿う軸線回りに捻れる弾性変形ができるように構成されている。これら支持部１１５、先端部１１９及び連接部１２１は、ベリリウム鋼等の弾性材料により一体的に形成されている。

このマルチコイル式プローブ１１１では、第５の実施形態と同様の効果を奏する。特に、連接部１２１の撓みや捻れにより固定部１１に対する探傷コイル１５の向きを変更させることができるため、各探傷コイル１５の端面１５ａを確実に検査対象面Ｔ１に追従させることができる。また、１つの部材により付勢手段１１３が構成されるため、マルチコイル式プローブ１１１の構成部品を減らしてその製造効率を向上させることができる。

なお、この第６の実施形態においては、第５の実施形態と同様の中間部材１２３を用いるとしたが、これに限ることはなく、例えば、図２４（ａ）に示すように、円板部１２５から突出する突出部１２７の長さを探傷コイル１５の長さよりも長く形成された中間部材１２３を用いても構わない。また、例えば、図２４（ｂ）に示すように、円板部１２５をコーティング層８５と探傷コイル１５との間に挟み込むと共に、突出部１２７を探傷コイル１５の長さよりも長く形成して、その先端部１２７ａを先端部１１９に接続するように中間部材１２３を構成しても構わない。これらの構成の場合には、探傷コイル１５の長さ寸法に関係なく、固定部１１に対するコーティング層８５の位置を決めることができる。

また、この実施形態において、板バネの付勢力を利用する付勢手段１１３としては、上述したものの他に、例えば、図２５に示すように、平面視略矩形状に形成され、固定部１１の外縁にわたって配された支持枠部１２９と、支持枠部から各探傷コイル１５に向けて突出する複数のアーム部１３１とを備えたものとしてもよい。なお、各アーム部１３１の構成は、前述した第６の実施形態のアーム部１１７と同様の先端部１１９及び連接部１２１を備えている。また、この先端部１１９は、前述と同様の中間部材（不図示）に接着固定されている。

さらに、付勢手段１１３のアーム部１１７，１３１は、支持部１３３や支持枠部１２９から先端部１１９まで略直線状に形成された連接部１２１を備えるとしたが、これに限ることはなく、少なくとも支持部１３３や支持枠部１２９と先端部１１９とを相互に連結していればよい。
したがって、連接部１２１は、例えば、図２６，２７に示すように、Ｕ字状やＳ字状に湾曲していても構わないし、図２８に示すように、螺旋状に形成されていてもよい。
このように連接部１２１を形成した場合には、湾曲した部分や螺旋状に形成した部分において容易に弾性変形できるため、各探傷コイル１５の端面１５ａをより確実に検査対象面Ｔ１に追従させることができる。

また、板バネの付勢力を利用した付勢手段１１３としては、例えば、図２９に示すように、固定部１１の長手方向の両端部に固定された一対の支持部１３３と、各支持部１３３からコーティング層８５に延びる一対の延出部１３５と、コーティング層８５の長手方向に延びて一対の延出部１３５の先端を相互に連結する梁部１３７と、梁部１３７から延びて各探傷コイル１５の裏面１５ｂ側に設けられる複数の揺動部１３９とを備えたものとしてもよい。これら支持部１３３、延出部１３５、梁部１３７及び揺動部１３９は、ベリリウム鋼等の弾性材料により一体的に形成されている。

この構成において、各探傷コイル１５は、延出部１３５の撓みによってコーティング層８５側に付勢されている。また、梁部１３７側に位置する揺動部１３９の基端部は、捻れたり撓んだりする弾性変形ができ、各探傷コイル１５をその裏面１５ｂに沿う軸線回りに揺動させるように構成されている。
なお、上述した実施形態において、アーム部１１７，１３１の先端部１１９，１３９は中間部材に接着等により固定されるとしたが、これに限ることはなく、中間部材に当接するのみとしてもよい。

また、板バネの付勢力を利用した付勢手段１１３としては、例えば、図３０に示すように、前述と同様の中間部材（不図示）を介して探傷コイル１５の裏面１５ｂ側に設けられた円板部１４１と、円板部１４１を探傷コイル１５の裏面１５ｂに沿う軸線回りに揺動可能とする揺動ユニット１４３と、該揺動ユニット１４３を固定部１１に対して支持する一対の支持部１４５とを備えたものとしてもよい。

揺動ユニット１４３は、一対の支持部１４５から探傷コイル１５に向けてコーティング層８５の幅方向（Ｙ軸方向）に延びる一対の第１の揺動部１４７と、円板部１４１の周囲に配される平面視略矩形状の矩形枠部１４９と、円板部１４１の周縁からコーティング層８５の長手方向（Ｘ軸方向）に延びて矩形枠部に連結された一対の第２の揺動部１５１とを備えている。なお、矩形枠部１４９の幅方向の両端部は第１の揺動部１４７に連結されている。また、これら支持部１４５、第１の揺動部１４７、矩形枠部１４９、第２の揺動部１５１及び円板部１４１は、ベリリウム鋼等の弾性材料により一体的に形成されている。

なお、揺動ユニット１４３は上述のものに限らず、例えば、図３１に示すように、各第１の揺動部１４７と第２の揺動部１５１とを屈曲した一対の連接部１５３により連結したものとしてもよい。
これら構成の場合には、第１の揺動部１４７及び第２の揺動部１５１の撓みによって探傷コイル１５が、円板部１４１と共にコーティング層８５に向かう方向（Ｚ軸方向）に付勢されることになる。また、第１の揺動部１４７が捻れることにより、探傷コイル１５が、円板部１４１や第２の揺動部１５１と共にＹ軸を中心として揺動することになる。さらに、第２の揺動部１５１が捻れることにより、探傷コイル１５が、円板部１４１と共にＸ軸を中心として揺動することになる。

なお、板バネの付勢力を利用した付勢手段１１３を用いて各探傷コイル１５に給電するとしても構わない。すなわち、付勢手段１１３は、例えば、図３２に示すように、コーティング層８５の幅方向の両端部に配された探傷コイル１５と同数の信号用配線１５５と、コーティング層８５の幅方向中央部にその長手方向にわたって配されたグランド用配線１５７と、これら各信号用配線１５５及びグランド用配線１５７からそれぞれ各探傷コイル１５に向けて延びる接続端部１５９とを備えた構成としてもよい。

ここで、各信号用配線１５５及び各接続端部１５９、グランド用配線１５７及び複数の接続端部１５９は、それぞれ導電性を有する材料からエッチングにより一体的に形成されている。また、固定部１１に向けて延びる信号用配線１５５及びグランド用配線１５７の各端部は、固定部１１に設けられたコイル基板（不図示）に電気的に接続されている。
これら信号用配線１５５及びこれに連結される接続端部１５９と、グランド用配線１５７及び連結される接続端部１５９とにより、各探傷コイル１５から引き出される一対の導線１５ｃに電気接続される一対の配線部が構成されている。

各接続端部１５９は、信号用配線１５５やグランド用配線１５７に接続され、探傷コイル１５に向けてＹ軸方向に延びる第１の揺動部１６１と、Ｘ軸方向に延びて中間部材（不図示）を介して探傷コイル１５の裏面１５ｂ側に当接する第２の揺動部１６３と、これら第１の揺動部１６１と第２の揺動部１６３とを相互に連結する連接部１６５とを備えている。
第１及び第２の揺動部１６１，１６３は、その撓みにより各探傷コイル１５をコーティング層８５に向けて付勢するように構成されている。また、第１の揺動部１６１は、その捩れによってＹ軸を中心として探傷コイル１５を揺動させるように、第２の揺動部１６３は、その捩れによってＸ軸を中心として探傷コイル１５を揺動させるように、それぞれ構成されている。

信号用配線１５５及びグランド用配線１５７から同一の探傷コイル１５に向けて配された一対の接続端部１５９は、探傷コイル１５の一対の導線１５ｃにそれぞれ接続されている。すなわち、図３３に示すように、探傷コイル１５の各導線１５ｃは、中間部材（押圧部）１６７を当接させた探傷コイル１５の裏面１５ｂ側に引き出されており、第２の揺動部１６３には、探傷コイル１５の導線１５ｃを取り付ける鉤状の取付部１６３ａが形成されている。そして、探傷コイル１５の導線１５ｃは、この第２の揺動部１５の取付部１６３ａに巻き付けられて固定されている。
なお、ここに示す中間部材１６７は、第２の揺動部１６３との接触によって探傷コイル１５が傷つくことを防止しており、また、探傷コイル１５と第２の揺動部１６３とが接触して電気的に短絡することを防止するために、絶縁材料から形成されている。

この構成の場合には、探傷コイル１５とコイル基板との電気接続と、付勢手段１１３の取り付けを同時に行うことができる、すなわち、探傷コイル１５に電力を供給するための別途配線が不要となるため、マルチコイル式プローブの構成部品を減らしてその製造効率の向上を図ることができる。
なお、上記の構成においては、各信号用配線１５５及び各接続端部１５９、グランド用配線１５７及び複数の接続端部１５９がエッチングにより形成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、固定部１１に対してインサート成形されるとしてもよい。

次に、本発明による第７の実施形態について図３４〜３８を参照して説明する。なお、この第７の実施形態に係るマルチコイル式プローブは、第１の実施形態と固定部の構成について異なっている。ここでは、固定部のみについて説明し、マルチコイル式プローブ１の構成要素と同一の部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
図３４，３５に示すように、マルチコイル式プローブ１７１の固定部１７３は、連結部１３を介してコイルユニット９に接続されるアルミ製の第１のハウジング１７５と、第１のハウジング１７５及びコイルユニット９の配列方向（Ｚ軸方向）に直交する直交軸線Ｌ１を中心として、第１のハウジング１７５に対して揺動可能に連結された第２のハウジング１７７とを備えている。

第１のハウジング１７５は、第１の実施形態のハウジング３５（図２参照）と同様に、直方体状に形成され、その内部にはコイル基板（不図示）が配されている。また、第１のハウジング１７５の上端面１７５ａからは、前述のコイル基板をケーブル５に電気接続するためのケーブル１８１が延びている。さらに、第１のハウジング１７５の長手方向の両端部には、一対の軸体１８０が突出して設けられている。これら軸体１８０の軸線（直交軸線）Ｌ１は、第１のハウジング１７５とコイルユニット９の配列方向（Ｚ軸方向）に直交している。各軸体１８０の基端側の周面には、撓む弾性変形が可能な板バネ１８２が設けられ、軸体１８０の半径方向に突出して取り付けられている。
なお、この第１のハウジング１７５の開口部１７６と連結部１３のベローズ部４１や板状部材４８との間には、開口部１７６の周縁に配される矩形環状のシール部材１７４が挟み込まれるようになっている。このシール部材１７４によって第１のハウジング１７５と連結部１３との隙間を確実に埋めることができる。

第２のハウジング１７７は、略コ字状の門型に形成されており、第１のハウジング１７５の長手方向（Ｘ軸方向）の両端部から上方（Ｚ軸方向）に延びる一対のアーム部１８３と、これらアーム部１８３の上端を相互に固定する板状の梁部材１８５とを備えている。
梁部材１８５の長手方向（Ｘ軸方向）の中央には、マルチコイル式プローブ１７１を操作する際に手で把持するハンドル部１８４が設けられており、このハンドル部１８４の先端部にケーブル５の端部が取り付けられている。また、このハンドル部１８４の内部にはその長手方向にケーブル５の配線が挿通されており、梁部材１８５の厚さ方向に貫通する孔１８５ａを介してケーブル５の配線と第１のハウジング１７５から延びるケーブル１８１とが相互に接続されている。

アーム部１８３は、第１のハウジング１７５の軸体１８０側に配された板状のレール部材１８７と、レール部材１８７に対してＺ軸方向に移動可能に取り付けられた軸受部１８９と、軸受部１８９をレール部材１８７の下端側に付勢するコイルばね１９１と、軸受部１８９をレール部材１８７と共にＸ軸方向に挟み込む保持部材１９３とを備えている。レール部材１８７には、その厚さ方向（Ｘ軸方向）に貫通し、Ｚ軸方向に拡がる長孔１８７ａが形成されており、この長孔１８７ａの内面には、Ｚ軸方向に延びる軌道１８７ｂが形成されている。
軸受部１８９は、レール部材１８７の長孔１８７ａに対して、Ｚ軸方向に移動可能に取り付けられる摺動部材１９５と、摺動部材１９５に形成された孔１９５ａに取り付けられた軸受１９７とを備えている。

摺動部材１９５には、軌道１８７ｂに係合する段部１９５ｃが形成されている。この摺動部材１９５は、レール部材１８７と保持部材１９３とにより挟み込まれた状態において、軌道１８７ｂに沿ってＺ軸方向のみに移動可能となり、レール部材１８７の長孔１８７ａから抜け出ないようになっている。すなわち、保持部材１９３は、レール部材１８７の軌道１８７ａと共に摺動部材１９５がレール部材１８７から外れることを防止する役割を果たしている。

コイルばね１９１は、その一端を摺動部材１９５の上端面に固定すると共に、その他端を前記上端面に対向する長孔１８７ａの内面に固定した状態で、レール部材１８７の長孔１８７ａに配されている。なお、コイルばね１９１は、一対のアーム部１８３にそれぞれ設けられており、互いに独立して各摺動部材１９５を付勢するようになっている。
これらレール部材１８７、摺動部材１９５及びコイルばね１９１により、２つのハウジング１７５，１７７の相対距離を変更可能に連結すると共に、これら２つのハウジング１７５，１７７を相互に離間させる方向に付勢するハウジング付勢手段１９２が構成されている。

すなわち、摺動部材１９５の孔１９５ａは、Ｘ軸方向に貫通しており、軸体１８０を挿入できるように構成されている。したがって、軸体１８０をこの孔１９５ａに挿入した状態においては、摺動部材１９５が第１のハウジング１７５と共に、第２のハウジング１７７に対してＺ軸方向に移動させることができる。また、この状態においては、摺動部材１９５と共に第１のハウジング１７５がコイルばね１９１の付勢力によって第２のハウジング１７７の梁部材１８５から離れる方向に付勢されることになる

レール部材１８７側に位置する摺動部材１９５の表面には、孔１９５ａの内周面から半径方向に延びるスリット状の溝１９５ｂが形成されている。この溝１９５ｂには、軸体１８０の板バネ１８２が挿入されるようになっている。
この板バネ１８２及び軸体１８０をそれぞれ溝１９５ｂや孔１９５ａに挿入した状態で軸体１８０をその軸線Ｌ１回りの一方向に回転させた際には、板バネ１８２の基端部が溝１９５ｂから孔１９５ａ側に出て撓むことになる。板バネ１８２がこのように撓んだ状態においては、板バネ１８２にその基端部を溝１９５ｂに収容させる方向に付勢力が働くため、軸体１８０は、前記一方向とは逆方向に回転して元の所定位置に戻ることになる。
これら軸体１８０の板バネ１８２及び摺動部材１９５の溝１９５ｂにより、２つのハウジング１７５，１７７の相対回転位置が所定位置に向かうように、２つのハウジング１７５，１７７を相互に軸線Ｌ１回りに付勢する回転付勢手段１９４が構成されている。

円筒状の軸受１９７は、摺動部材１９５に軸体１８０を挿入した状態において、軸体１８０の先端部を嵌め込むように配されており、この状態においては、軸受１９７に対して軸体１８０がその軸線Ｌ１回りに回転可能となる。
すなわち、この軸受１９７は、図３６に示すように、内輪１９７ａ及び外輪１９７ｂの間に玉１９７ｃを設けた所謂玉軸受からなり、軸体１８０を内輪１９７ａと共に外輪１９７ｂに対して軸線Ｌ１回りに回転させることができる。また、玉１９７ｃに接触する内輪１９７ａの外周面１９７ｄは、内輪１９７ａの厚さ方向にわたって凸曲面をなしており、外輪１９７ｂの中心軸線に対して内輪１９７ａ及び軸体１８０を揺動させることができるようになっている。なお、特に図示はしていないが、この軸受１９７には、玉１９７ｃを内輪１９７ａと外輪１９７ｂとの間に保持する保持器が設けられている。
上記のように軸受１９７を構成しておくことにより、第１のハウジング１７５の両端に配された摺動部材１９５がそれぞれ独立してレール部材１８７の軌道１８７ｂ上を移動して、各アーム部１８３に対する軸体１８０の直交軸線Ｌ１の向きが変わっても、軸受１９７の内輪１９７ａを軸体１８０の向きに追従させることができる。

このマルチコイル式プローブ１７１により検査対象面Ｔ１の傷を検出する場合には、第２のハウジング１７５のハンドル部１８４を手で把持した状態で、図３７に示すように、コイルユニット９を検査対象面Ｔ１に接触させてマルチコイル式プローブ１７１を直交軸線Ｌ１の直交方向（Ｙ軸方向）に移動させる。この際には、マルチコイル式プローブ１７１の移動方向前方に位置する検査対象面Ｔ１に大きな凹凸を有する湾曲面があっても、第２のハウジング１７７に対して第１のハウジング１７５が揺動するため、第２のハウジング１７７の向きを前記湾曲面に合わせて変化させることなく、コイルユニット９を前記湾曲面に追従させることができる。すなわち、第２のハウジング１７７を把持する手の向きを湾曲面に合わせて大きく変化させる必要が無い。

このマルチコイル式プローブ１７１では、第１の実施形態と同様の効果を奏する。また、第２のハウジング１７７を把持する手の向きを湾曲した検査対象面Ｔ１に合わせて変化させる必要が無いため、容易に傷の検出を行うことができる。
また、コイルユニット９を検査対象面Ｔ１に接触させる前の状態においては、回転付勢手段１９４により２つのハウジング１７５，１７７の相対回転位置を所定位置に保持できるため、第１のハウジング１７５を把持しなくても、安定した状態でコイルユニット９を検査対象面Ｔ１に接触させることができる。

さらに、ハウジング付勢手段１９２により２つのハウジング１７５，１７７の相対距離を変化させる、連結部１３の付勢手段４３により吸収しきれない大きな湾曲面が検査対象面Ｔ１に存在しても、手で把持する第２のハウジング１７７をこの湾曲面に追従させることなく、第１のハウジング１７５及びコイルユニットを検査対象面Ｔ１に確実に追従させることができる。
特に、ハウジング付勢手段１９２の各コイルばね１９１により第１のハウジング１７５の両端がそれぞれ独立して付勢されているため、図３８に示すように、検査対象面Ｔ１が前述の移動方向に直交するコイルユニット９の長手方向に大きく湾曲していても、第２のハウジング１７７に対して第１のハウジング１７５を傾斜させてコイルユニット９を検査対象面Ｔ１に確実に追従させることができる。したがって、手で把持する第２のハウジング１７７をこの湾曲した検査対象面Ｔ１に追従させることなく、容易に傷の検査を行うことができる。

なお、この第７の実施形態において、軸受１９７は所謂玉軸受からなるとしたが、これに限ることはなく、少なくとも第２のハウジング１７７に対して第１のハウジング１７５を傾斜させるように、軸体１８０の向きに追従させることができるように構成されていればよい。すなわち、軸受は、例えば、図３９に示すように、レール部材１８７に対する摺動部材１９５の移動方向（Ｚ軸方向）及び軸線Ｌ１に直交する軸線Ｌ２回りに、摺動部材１９５に対して回転可能に取り付けられるブッシュ１９８から構成されるとしてもよい。

このブッシュ１９８は、軸体１８０を嵌め込む環状のリング部１９８ａと、リング部１９８ａの外周面から半径方向外方に相互に逆向きに突出する一対の突出部１９８ｂとを備えている。各突出部１９８ｂは、摺動部材１９５に形成された軸線Ｌ２を中心軸線とする孔１９５ｄに回転可能に挿入されており、このように構成することで、軸体１８０がリング部１９８ａと共に摺動部材１９５に対して軸線Ｌ２回りに揺動することができる。
また、コイルユニット９及び連結部１３の構成は第１の実施形態と同じとしたが、これに限ることはなく、第２実施形態から第６実施形態を含め、前述した内容のいずれであっても構わない。

次に、本発明による第８の実施形態について図４０〜４４を参照して説明する。なお、第１の実施形態のマルチコイル式プローブ１の構成要素と同一の部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施の形態に係るマルチコイル式プローブ２０１は、第１の実施形態と同様に渦流探傷装置７にケーブル５を介して接続されるものであり、図４０，４１に示すように、コイルユニット２０３と、略コ字状の門型に形成された把持部（固定部）２０５と、把持部２０５に対してコイルユニット２０３をその中心軸線Ｌ３回りに回転可能に連結する連結部２０７とを備えている。

コイルユニット２０３は、中心軸線Ｌ３を中心とした円筒状に形成された保持部２０９と、保持部２０９に設けられた複数の探傷コイル１５とを備えており、各探傷コイル１５は、その端面１５ａを検査対象面Ｔ１に接触させる保持部２０９の外周面（前面）２０９ａ側に向けた状態で保持部２０９に支持されている。保持部２０９は、シリコンゴムやテフロン（登録商標）等の弾性変形可能な樹脂からなるコイルホルダ本体２１１と、探傷コイル１５の端面１５ａ側に配されたコーティング層２１３とを備えている。

コイルホルダ本体２１１には、その径方向に貫通する略円筒状の収容孔２１５が複数形成されており、これら収容孔２１５に各々探傷コイル１５が収容されている。これら収容孔２１５は、コイルホルダ本体２１１の周方向にわたって複数列配置されており、各列の収容孔２１５は中心軸線Ｌ３方向に並べられている。また、周方向に隣り合う収容孔２１５の列は、互いにオフセットするように配置されている。なお、各探傷コイル１５は、第１の実施形態と同様に、硬化後に適度な弾性を有する接着剤を用いて収容孔２１５に固定される。

コーティング層２１３は、シリコンゴムやテフロン（登録商標）等の弾性変形可能な樹脂をシート状に形成したものであり、コイルホルダ本体２１１の外周面２１１ａ上に複数重ねて巻き付けられている。これらコーティング層２１３は、一層ずつ取り外すことができるようになっている。そして、コイルホルダ本体２１１の外周面２１１ａには、最下層のコーティング層２１３が接着して固定されている。なお、各探傷コイル１５の端面１５ａも、この最下層のコーティング層２１３に当接している。

このコイルユニット２０３は、以下のように製造される。
はじめに、図４２に示すように、複数の収容孔２１５を有する円筒状のコイルホルダ本体２１１を形成しておく。この収容孔２１５の内径は、探傷コイル１５の外径寸法よりも大きく形成されている。次いで、コイルホルダ本体２１１の外周面２１１ａに対応する凹面２０４と、この凹面２０４から突出する複数の位置決めピン２０６を備えた治具２０８を用意し、各収容孔２１５内に位置決めピン２０６が配されるようにコイルホルダ本体２１１を凹面２０４に配する。そして、各探傷コイル１５の孔に位置決めピン２０６を挿通させるように、各収容孔２１５にそれぞれ探傷コイル１５を収容する。
ここで、これら位置決めピン２０６は、収容孔２１５と同様に、凹面２０４の周方向にわたって等しい間隔をおいて複数列配置されており、各列の位置決めピン２０６は凹面２０４の長手方向に等間隔に並べられている。また、周方向に隣り合う位置決めピン２０６の列は、互いにオフセットするように配置されている。したがって、探傷コイル１５を各位置決めピン２０６に取り付けることにより、隣り合う探傷コイル１５を等間隔に保持できる。

治具２０８に対する探傷コイル１５の位置決めが終了した後には、一対の押圧部材２１０をコイルホルダ本体２１１の長手方向の両端部に取り付ける。各押圧部材２１０は、コイルホルダ本体２１１の長手方向の端面に固定する円環状の固定リング２１２と、固定リング２１２の内周縁からコイルホルダ本体２１１の内部に突出する複数のバネ部２１４とを備えている。なお、一対の押圧部材２１０のバネ部２１４の総数は、探傷コイル１５の数と同じとなっている。
この押圧部材２１０を取り付けた状態においては、図４３に示すように、バネ部２１４の先端が探傷コイル１５の裏面１５ｂに当接し、このバネ部２１４の付勢力によって各探傷コイル１５が、治具２０８の凹面２０４に押し付けられることになる。その後、この押圧部材２１０による探傷コイル１５の押し付けを保持したままで、接着剤により各探傷コイル１５とコイルホルダ本体２１１とを固定する。なお、押圧部材２１０による押し付けを行う際には、バネ部２１４の先端と探傷コイル１５の裏面１５ｂとの間に板状の中間部材を配して、探傷コイル１５の保護を図ることが好ましい。

最後に、探傷コイル１５を固定したコイルホルダ本体２１１を治具２０８から取り外し、図４１に示すように、コーティング層２１３をコイルホルダ本体２１１の外周面２１１ａに接着することによりコイルユニット２０３の製造が終了する。
このコイルユニット２０３を製造する際に、押圧部材２１０を用いて各探傷コイル１５をコイルホルダ本体２１１に固定する場合には、全ての探傷コイル１５を同時に凹面２０４に押し付けることができるため、コイルユニット２０３の製造時間を短縮できる。

把持部２０５は、図４０，４４に示すように、コイルユニット２０３に対向して中心軸線Ｌ３に沿って配された把持部本体２１７と、把持部本体２１７の両端部から中心軸線Ｌ３まで延びる一対のアーム部２１９とを備えている。
連結部２０７は、コイルユニット２０３の長手方向（中心軸線Ｌ３方向）の両端部に設けられた一対の軸体２２１と、各軸体２２１をアーム部材２１９に対して中心軸線Ｌ３回りに回転可能に連結する軸受２２３とを備えている。

軸体２２１の軸方向の中途部にはフランジ部２２５が形成されており、その外径寸法はコイルホルダ本体２１１の外径寸法と略等しくなっている。このフランジ部２２５は、コイルホルダ本体２１１の端面２１１ｂに固定され、軸方向端部におけるコイルホルダ本体２１１を円形状に保持する役割を果たしている。軸受２２３は、所謂ボールベアリングから構成されており、アーム部２１９の先端部に形成された貫通孔２１９ａに取り付けられている。
一方の軸体２１１は、一方のアーム部２１９の先端部に固定された読取部２２７と共に検査対象面Ｔ１に概ね対向して配された複数の探傷コイル１５に電力を供給したり、これら探傷コイル１５からの信号を取得してケーブル５から探傷装置本体３に伝達するロータリトランス２２９を構成している。

すなわち、一方の軸体２２１は、コイルユニット２０３の内方に収容される第１の円柱部２３１を備えており、第１の円柱部２３１の周面には、周方向にわたって各探傷コイル１５の導線１５ｃと電気的に接続する複数の端子２３１ａが設けられている。また、一方の軸体２２１は、第１の円柱部２３１の反対側に突出し、軸受２２３に取り付けられる第２の円柱部２３３とを備えており、第２の円柱部２３３は筒状に形成された読取部２２７に挿通されている。読取部２２７にはケーブル５の端部が固定されており、検査対象面Ｔ１に概ね対向する複数の探傷コイル１５とケーブル５とが電気的に接続されるように構成されている。
このように構成された一方の軸体２２１と読取部２２７とを相対的に回転させた際には、第２の円柱部２３３と読取部２２７との間で、検査対象面Ｔ１に対向する複数の探傷コイル１５に供給する電力や、探傷コイル１５から出力される信号の伝達が行われる。

このマルチコイル式プローブ２０１により検査対象面Ｔ１の傷を検出する場合には、把持部２０５の把持部本体２１７を手で把持して、図４１に示すように、保持部２０９の外周面２０９ａを検査対象面Ｔ１に接触させる。そして、マルチコイル式プローブ２０１を中心軸線Ｌ３の直交方向に移動させる。この際には、保持部２０９が中心軸線Ｌ３を中心に検査対象面Ｔ１上を転がって、周方向に並べて配された探傷コイル１５が順に検査対象面Ｔ１に対向する位置を通過する。
そして、この際には、マルチコイル式プローブ２０１の移動方向前方に位置する検査対象面Ｔ１に大きな湾曲面が存在しても、保持部２０９が検査対象面Ｔ１上を転がるため、保持部２０９の外周面２０９ａを確実にこの湾曲面に追従させることができる。

さらに、図４５に示すように、マルチコイル式プローブ２０１の移動方向に直交する方向、すなわち、中心軸線Ｌ３に沿う方向に検査対象面Ｔ１が湾曲している場合には、保持部２０９を検査対象面Ｔ１の形状に合わせて弾性変形させることができるため、保持部２０９の外周面２０９ａを湾曲した検査対象面Ｔ１に確実に追従させることができる。
なお、外方に露出するコーティング層２１３の外周面２０９ａが上述した傷の検査で摩耗してその厚さ寸法が不均一になった場合、すなわち、検査対象面Ｔ１からの距離が探傷コイル１５毎に異なった場合に、このコーティング層２１３を取り外すことにより、別のコーティング層２１３が新たに外方に露出することになる。この状態においては、各探傷コイル１５と検査対象面Ｔ１との距離が等しくなる。

このマルチコイル式プローブ２０１によれば、第１の実施形態と同様に、保持部２０９に支持された各探傷コイル１５の端面１５ａと検査対象面Ｔ１とのリフトオフ量を一定に保持できると共に、斜めリフトオフの発生も防止できるため、探傷の検査感度の低下を防止できる。また、把持部２０５を把持した状態で保持部２０９を検査対象面Ｔ１に追従させることができるため、傷の検査を容易に行うことが可能となる。
さらに、導線を巻回するタイプの探傷コイル１５を用いているため、マルチコイル式プローブ２０１を安価に製造することができる。

また、検査対象面Ｔ１に概ね対向する複数の探傷コイル１５のみがケーブル５と電気的に接続され、同時に全ての探傷コイル１５に電力を供給することがないため、マルチコイル式プローブ２０１の省電力化を図ることができる。
さらに、複数のコーティング層２１３は、中心軸線Ｌ３回りに重ねて巻き付けられ、一層ずつ取り外し可能となっているため、長時間にわたって検査対象面Ｔ１と各探傷コイル１５との距離を容易に均一に保つことができる。

なお、この第８の実施形態においては、保持部２０９は、断面視で円形状に形成されるとしたが、これに限ることはなく、少なくとも筒状に形成されていればよい。すなわち、保持部２０９は、例えば、断面視で六角形状や八角形状等の多面体形状に形成されるとしても構わない。この構成の場合には、保持部２０９のうち、多面体の相互に隣り合う面の角部を弾性変形させることにより、保持部２０９を検査対象面Ｔ１に追従させることができる。
また、傷の検査に際してコーティング層２１３が摩耗することが少ない場合には、コーティング層２１３を複数重ねて巻き付ける必要はなく、一層だけコイルホルダ本体２１１の外周面２１１ａに巻き付けるとしても構わない。

さらに、軸受２２３は、所謂ボールベアリングから構成されるとしたが、これに限ることはなく、少なくとも軸体２２１を把持部２０５に対して中心軸線Ｌ３回りに回転可能とするものであればよい。すなわち、軸受２２３は、例えば、ブッシュから構成されるとしても構わない。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。

この発明の第１の実施形態に係るマルチコイル式プローブを用いて構成される渦流探傷装置を示す斜視図である。 この発明の第１の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示しており、（ａ）は斜視図、（ｂ）はＸ軸方向から見た断面図、（ｃ）はＹ軸方向から見た概略断面図である。 図２のマルチコイル式プローブにおいて、コイルユニットの製造工程を示す斜視図である。 図２のマルチコイル式プローブにおいて、コイルユニットの製造工程を示す断面図である。 図２のマルチコイル式プローブを示す分解斜視図である。 図２のマルチコイル式プローブを検査対象面に配した状態を示しており、（ａ）は検査対象面が凸状の曲面である場合の概略断面図、（ｂ）は検査対象面が凹状の曲面である場合の概略断面図である。 この発明の第２の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す断面図である。 この発明の第２の実施形態に係るマルチコイル式プローブに使用する弾性体を示す斜視図である。 この発明の第３の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す概略断面図である。 図３のマルチコイル式プローブを検査対象面に配した状態を示しており、（ａ）は検査対象面が凸状の曲面である場合の概略断面図、（ｂ）は検査対象面が凹状の曲面である場合の概略断面図である。 この発明の第４の実施形態に係るマルチコイル式プローブを検査対象面に配した状態を示しており、（ａ）は検査対象面が凹状の曲面である場合の概略断面図、（ｂ）は検査対象面が平坦面である場合の概略断面図、（ｃ）は検査対象面が凸状の曲面である場合の概略断面図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す斜視図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す斜視図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す斜視図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す概略断面図である。 図１５のマルチコイル式プローブにおいて、隣接する２つの探傷コイルの間隔を示しており、（ａ）は保持部の前面が平坦となる場合の要部断面図、（ｂ）は保持部の前面が凹状となる場合の要部断面図、（ｃ）は保持部の前面が凸状となる場合の要部断面図である。 この発明の第５の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す斜視図である。 図１７のマルチコイル式プローブにおいて、探傷コイルに取り付けられた中間部材を示しており、（ａ）は拡大斜視図、（ｂ）、（ｃ）は拡大断面図である。 図１７のマルチコイル式プローブを凸状の曲面に形成された検査対象面に配した状態を示す断面図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す断面図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブの弾性体を示す拡大断面図である。 この発明の第６の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す概略斜視図である。 図２２のマルチコイル式プローブのアーム部を示す要部拡大断面図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブの中間部材を示す要部拡大断面図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す概略斜視図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブの付勢手段を示す要部拡大斜視図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブの付勢手段を示す要部拡大斜視図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブの付勢手段を示す要部拡大斜視図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す概略斜視図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブの付勢手段を示す要部拡大斜視図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブの付勢手段を示す要部拡大斜視図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す概略斜視図である。 図３２のマルチコイル式プローブにおいて、探傷コイルと付勢手段との接続を示しており、（ａ）は要部拡大断面図であり、（ｂ）は要部拡大斜視図である。 この発明の第７の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す斜視図である。 図３４のマルチコイル式プローブを示す分解斜視図である。 図３４のマルチコイル式プローブにおいて、軸受及び軸体を示す拡大断面図である。 図３４のマルチコイル式プローブを検査対象面に沿って移動させる状態を示す側面図である。 図３４のマルチコイル式プローブのコイルユニットを検査対象面に接触させた状態を示す正面図である。 この発明の他の実施形態に係るマルチコイル式プローブの軸受を示す拡大断面図である。 この発明の第８の実施形態に係るマルチコイル式プローブを示す斜視図である。 図４０のマルチコイル式プローブを検査対象面に接触させた状態を示す測断面図である。 図４０のマルチコイル式プローブにおいて、コイルユニットの製造工程を示す概略斜視図である。 図４０のマルチコイル式プローブにおいて、コイルユニットの製造工程を示す断面図である。 図４０のマルチコイル式プローブを示す分解斜視図である。 図４０のマルチコイル式プローブを検査対象面に接触させた状態を示す正面図である。

符号の説明

１，５１，７１，８１，１１１，１７１，２０１ マルチコイル式プローブ
９，２０３ コイルユニット
１１，１７３ 固定部
１３，２０７ 連結部
１５ 探傷コイル
１５ａ 端面
１５ｂ 裏面
１５ｃ 導線
１７，６５，７３，８３，２０９ 保持部
１７ａ，６５ａ，７３ａ，８５ａ 前面
１９ｂ，６５ｂ，７３ｂ，８５ｂ 裏面（背面）
２１，８５，２１３ コーティング層
２７ テーパ部
４１ ベローズ部（被覆部）
４３，５３，８７，１１３， 付勢手段
６７ カバー部（被覆部）
７５〜７８ 切欠部（易変形部）
７９ 曲げセンサ
９３，１０１，１２３，１６７ 中間部材（押圧部）
９５ ボールジョイント（揺動部）
９９ 弾性体（揺動部）
１２１ 連接部（揺動部）
１３９ 揺動部
１４７，１６１ 第１の揺動部
１５１，１６３ 第２の揺動部
１７５ 第１のハウジング
１７７ 第２のハウジング
１９２ ハウジング付勢手段
１９４ 回転付勢手段
２０５ 把持部（固定部）
２０９ａ 外周面（前面）
２２３ 軸受
Ｌ１ 直交軸線
Ｔ１ 検査対象面

Claims (10)

1. 導線を巻回してなる複数の探傷コイルと、前記複数の探傷コイルの端面を検査対象面に対向する前面側に向けた状態で前記複数の探傷コイルを自身の厚さの範囲内に支持する保持部と、を有するコイルユニットと、
   前記検査対象面に前記コイルユニットを接触させる際に把持する固定部と、
   前記保持部を押圧して前記複数の探傷コイルを前記固定部から離間させる方向に付勢する付勢手段を有し、前記コイルユニットと前記固定部とを連結する連結部と、
   を備え、
   前記保持部は、弾性変形可能な弾性材料を用いて可撓性を有するように形成され、前記複数の探傷コイルは、前記コイルユニットが前記検査対象面に接触したときに、前記検査対象面と非接触状態を保持するように配置されていることを特徴とする渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
2. 前記保持部が、前記探傷コイルの端面側に配され、かつ前記検査対象面に接触させるシート状のコーティング層を有し、
   前記付勢手段が、前記探傷コイルに直接接続されていることを特徴とする請求項１に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
3. 前記付勢手段が、
   前記端面の反対側に位置する前記探傷コイルの裏面に当接する押圧部と、
   該押圧部と前記固定部との間に設けられ、前記固定部に対して前記押圧部及び前記探傷コイルを前記裏面に沿う基準軸線回りに揺動可能とする揺動部と、
   を備えることを特徴とする請求項２に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
4. 前記押圧部及び前記揺動部が一体的に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
5. 前記付勢手段が、導電性を有し、前記各探傷コイルから引き出される一対の導線に電気接続される一対の配線部を備えることを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか１項に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
6. 前記固定部が、
   前記連結部を介して前記コイルユニットに接続される第１のハウジングと、
   前記第１のハウジング及び前記保持部の配列方向に略直交する直交軸線を中心として、前記第１のハウジングに対して揺動可能に連結される第２のハウジングと、
   を備えることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
7. 前記直交軸線を中心とする前記２つのハウジングの相対回転位置が所定位置に向かうように、前記２つのハウジングを相互に前記直交軸線回りに付勢する回転付勢手段を備えることを特徴とする請求項６に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
8. 前記２つのハウジングの相対距離を変更可能に連結すると共に、これら２つのハウジングを相互に離間させる方向に付勢するハウジング付勢手段を備えることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
9. 前記保持部のうち、少なくとも前記前面に沿う一方向について相互に隣り合う前記探傷コイルの間に、弾性変形可能な易変形部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。
10. 前記易変形部が、少なくとも前記保持部の前面、若しくは該前面とは反対側に位置する背面から窪んで形成された切欠部からなることを特徴とする請求項９に記載の渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ。

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