JP4461491B2 - 光学位相調整板 - Google Patents
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Description
(1)チップヒータへの配線は、細銅線等で空中を通して電力を供給する必要がある。光の経路を通らずに配線するためには、パッケージ内で配線する空間の確保や、配線がゆれないように固定する突起物等の信頼性を確保する機構が必要であり、パッケージ内の構造が煩雑となり、コストアップの要因となる。
チップヒータの体積分だけ熱容量が大きくなり、位相調整の応答性が悪くなり、消費電力が大きくなる。
(1)熱光学効果により透過光に対する屈折率を変化させることができる光学基板にヒータを貼り付け、その熱応答で前記透過光の光路長を調整する光学位相調整板において、
前記光学基板の面上に形成された薄膜ヒータと、
前記光学基板の面に対して略直交する面に配置された、前記薄膜ヒータへの配線部材と、
前記光学基板と前記配線部材との間に配置され、直交して隣り合う第1面と第2面が金属メッキされた角型の中継部材と、
前記薄膜ヒータと略同一平面にある前記中継部材の第1面とを結合する第1ワイヤーボンディングと、
前記配線部材と略同一平面にある前記中継部材の第2面とを結合する第2ワイヤーボンディングと、
を備えることを特徴とする光学位相調整板。
(1)薄膜ヒータを用いることで、ヒータ機能の体積をほとんど無視することができるため、低消費電力で調整可能な光学位相調整板を実現することができる。
4a 光学基板取り付け部
5,6 光学部品
8 ヒータ電流入力端子
100 光学基板
200 薄膜ヒータ
300 配線部材
400 中継部材
B1,B2 ワイヤーボンディング
Claims (8)
- 熱光学効果により透過光に対する屈折率を変化させることができる光学基板にヒータを貼り付け、その熱応答で前記透過光の光路長を調整する光学位相調整板において、
前記光学基板の面上に形成された薄膜ヒータと、
前記光学基板の面に対して略直交する面に配置された、前記薄膜ヒータへの配線部材と、
前記光学基板と前記配線部材との間に配置され、直交して隣り合う第1面と第2面が金属メッキされた角型の中継部材と、
前記薄膜ヒータと略同一平面にある前記中継部材の第1面とを結合する第1ワイヤーボンディングと、
前記配線部材と略同一平面にある前記中継部材の第2面とを結合する第2ワイヤーボンディングと、
を備えることを特徴とする光学位相調整板。 - 前記光学基板は、前記透過光の入射面及び出射面に反射防止膜を備えることを特徴とする請求項1に記載の光学位相調整板。
- 前記配線部材及び前記中継部材は、コバール材によるパッケージに固定配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光学位相調整板。
- 前記配線部材は、金メッキされたアルミナ材により形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光学位相調整板。
- 前記中継部材は、直交する隣り合う前記第1面及び第2面が金メッキされたアルミナ材により形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光学位相調整板。
- 前記薄膜ヒータは、前記光学基板の面上において前記透過光の入出射位置よりシフトした所定面積を囲んで形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の光学位相調整板。
- 前記薄膜ヒータは、前記光学基板の面上において前記透過光の入出射位置よりシフトした周縁部を囲んで形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の光学位相調整板。
- 前記光学基板は、マイケルソン型干渉計またはマッハツェンダー型干渉計の位相調整手段であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の光学位相調整板。
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