JP4460239B2 - SiC質構造体 - Google Patents

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本発明は、大型軽量化ミラーやステージなどに好適なSiC質構造体に関する。
SiCおよびSiC-Si複合材料は金属材料に比べて軽量であり、さらに耐熱性、耐摩耗性、耐食性などに優れていることから近年、高温耐食部材や耐摩耗部材として注目されている。さらに、高剛性、高ヤング率という物性にも注目され、寸法精度を高く維持・安定するようなミラーの台座や各種測定機器のステージとしての利用が期待されている。しかしながら、これら複合材料の比重は金属に比べて軽量ではあるものの3以上であり、さらなる軽量化が求められている。
そのため、構造的にさらなる軽量化を図ることができるハニカム構造体を利用することが試みられている。具体的には、SiCハニカム構造体の上下面に緻密なSiC表面板を持つ構造体が高剛性、高ヤング率という物性を有するものとして提案されており、その構造体の製造方法として、表面板とコア材のそれぞれについてSiC質前駆体を作製し、それぞれを一体化させた後、SiC質を反応生成させる方法が提案されている。
例えば、特許文献1には、まず、有機マトリックスと繊維強化材を備えるハニカム構造プリフォームを熱分解・炭化し、そのプリフォームの炭素をケイ化物化し、微孔質SiC中心材を得、その後浸透型のSiCの化学的蒸気相により強化し、次いで得られたハニカム構造体とフェルト型シートを一体化してSiCサンドイッチパネル構造体を製造する方法が提案されている。このようにSiCの化学的蒸気相により強化されたハニカム構造体には圧力が加えられ、フェルト型シートに圧入され、一体化したサンドイッチパネル構造体が得られる。
しかしながら上述の特許文献1の技術によって得られたサンドイッチパネルにおいては、表面板とコア材との接合部はケイ化物化工程時の生成物のみによって接合されており、それらの接合強度はハニカム構造を有するコア材と表面板の接点のみによって発現されているため、コア材と表面板の接合面積が小さく、接合強度は小さくならざるを得ない。特に肉厚の薄いコア材を用いた場合には表面板とコア材が剥離破損するという問題が発生する。
特開平8−310866号公報
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、ハニカム構造を有するコア材と、その少なくとも一方側に設けられた表面板とを有し、コア材と表面板とが剥離破損しにくいSiC質構造体を提供することを目的とする。
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究した結果、SiC質構造体のコア材と表面板との間にSiC粒子と金属Siの複合材料層を形成すればこれらの間の接合強度が十分に強く、その間で剥離破損が生じ難いことを見出した。
すなわち本発明は、SiC質材料で構成され、ハニカム構造を有するコア材と、このコア材の少なくとも一方側に設けられ、SiC質材料で構成された表面板とを有するSiC質構造体であって、前記コア材と前記表面板との間にSiC粒子と金属Siの複合材料層が形成され、前記複合材料層において、SiC粒子の割合が10体積%以上95体積%未満であり、SiC粒子の平均粒径が150μm以下であることを特徴とするSiC質構造体を提供する。
本発明によれば、SiC質材料からなるハニカム構造のコア材と表面板がSiC粒子と金属Siの複合材料層により強固に接着した構造のSiC質構造体が得られる。これにより、結果的に軽量でかつ高剛性、高ヤング率の構造体を得ることができる。
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1の(a)、(b)は本発明の実施の形態に係るSiC質構造体を示す側面図である。この中で(a)はハニカム構造を有するコア材1の一方側(ステージとして用いる場合には載置面側)のみに表面板2を設けた構造体とした例を示し、(b)はコア材1の両側に表面板2を設けてサンドイッチパネル状の構造体とした例を示す。これらコア材1および表面板2はいずれもSiC質材料で構成されている。SiC質材料としては、SiC単体でもSiC−Si複合材料であってもよい。上記構造体のうち構造的には(b)のほうが剛性が高いが、表面板2を載置面とするステージ等の用途には(a)の構造体を用いることができる。
図2は図1の(b)の構造体の断面図である。この図に示すように、ハニカム構造を有するコア材1と表面板2との間には、SiC粒子と金属Siの複合材料層3が形成されている。この複合材料層3の存在によりコア材1と表面板2が強固に接合される。
コア材1を構成するハニカム構造の目開きは、用途に応じて適宜決定すればよいが、3〜20mmであることが好ましい。目開きが3mmよりも小さいと軽量化の効果が得難く、20mmよりも大きいと局部的なヤング率低下が生じてしまう。また、表面板2の厚さは、2〜20mmが好ましい。
次に、上記SiC質構造体を得る方法の一例について説明する。
まず、SiCの前駆体である炭素質物質でハニカム構造のコア材に相当する部材および表面板に相当する部材をそれぞれ作製し、これらをSiC粒子を含むペーストによって接合し、一体型のプリフォームを得る。その後、この一体型のプリフォームに高温・真空あるいは高温・不活性雰囲気下でSiを溶融・含浸させる。これにより、SiC質のコア材および表面板の間にSiC粒子と金属Siの複合材料層が形成されたSiC質構造体を得る。
具体的には、まず、SiCの前駆体であるカーボン製の平板とハニカム構造物との接触部に、例えば平均粒径40μmのSiC80質量%とカーボンペースト20質量%を混練した接着剤を塗布し、これらを接合し、一体型のプリフォームを作製し、次いで、この一体型のプリフォームと金属SiをArガス雰囲気中で1600℃に加熱し、金属Siを溶融させるとともにプリフォームに含浸させ反応させることにより、上記SiC質構造体が得られる。
このように一体化したプリフォームにSiを含浸させ、コア材と表面板との間にSiC粒子と金属Siとを複合させた複合材料層を形成するので、コア材と表面板とが強固に接合され、これらが剥離破損するおそれが極めて小さい。
本発明においてコア材と表面板との間に介在する複合材料層のSiC粒子の割合は10体積%以上95体積%未満であることが好ましい。10体積%未満では接合部の強度が低下するため好ましくない。また95体積%以上のものは作製が困難である。
本発明においてコア材と表面板の間に介在する複合材料層のSiCの平均粒径は150μm以下であることが好ましい。150μmより大きいと強度が低下するため好ましくない。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく本発明の要旨の範囲内で種々変更可能である。例えば、上述した製造方法は例示であって、SiC質のコア材と表面板の間にSiC粒子と金属Siからなる複合材料層が形成されれば他の方法であっても構わない。
次に、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。
(実施例1)
カーボンブラック粉末100質量部にメチルセルロース10質量部、水20質量部を混練、押し出し成形しカーボンハニカム(目開き3mm正方形、壁厚さ0.5mm、50mm×50mm×H30mm)を作製した。
平均粒径100μmのSiC粉末100質量部とアクリルバインダー10質量部およびエタノール20質量部を混練した接着剤を、上記カーボンハニカムのコア材と多孔質カーボン板の接着面に塗布し、金属SiとともにArガス雰囲気中で1600℃に加熱した。その結果、SiC質ハニカムの両側にSiC質表面板が配置され、それらの間にSiC粒子と金属Siとの複合材料層を有し、この複合材料層によりSiC質ハニカムとSiC質表面板が強固に接着されたサンドイッチパネルを得た。得られた複合材料層のSiC粒子の割合は40体積%であった。このサンドイッチパネルの接合部を模擬してカーボン素材を上記接着剤で接着しSiを含浸させた試験片を作製し、その接合部を中心にして4点曲げ強度試験により接合強度を測定した結果、220MPaと高い接着強度を示した。
(実施例2)
平均粒径0.8μmのSiC粉末10質量部とアクリルバインダー100質量部およびエタノール200質量部を混練した接着剤を用いたこと以外は実施例1と同様の方法および手段によりサンドイッチパネルを得た。得られた複合材料層のSiC粒子の割合は8体積%であった。実施例1と同様に試験片を準備し、4点曲げ強度試験により接合強度を測定した結果、強度は150MPaであった。
(実施例3)
平均粒径180μmのSiC粉末を使用した以外は実施例1と同様の方法および手段によりサンドイッチパネルを得た。得られた複合材料層のSiC粒子の割合は50体積%であった。実施例1と同様に試験片を準備し、4点曲げ強度試験により接合強度を測定した結果、強度は160MPaであった。
(比較例)
接着剤を用いなかったこと以外は実施例1と同様の方法および手段によりサンドイッチパネルを得た。得られたSiC質ハニカムとSiC質表面板の間にはSi層が介在していた。この比較例のサンドイッチパネルの接合部を模擬してカーボン素材同士を接着剤を用いずにSiを含浸させた試験片を作製し、その接合部を中心にして4点曲げ強度試験により接合強度を測定した結果、強度は80MPaであった。
以上の、実施例1〜3および比較例について、接着剤としての複合材料層の有無、複合材料層のSiC粒子の粒径、複合材料層のSiC粒子の割合、強度を表1にまとめて示す。
Figure 0004460239
本発明のSiC質構造体は、ハニカム構造のコア材と表面板とがSiC粒子と金属Siとの複合材料により強固に接着されているので、結果的に軽量でかつ高剛性、高ヤング率のものとすることができ、大型軽量化ミラーやステージに好適である。
本発明の実施の形態に係るSiC質構造体を示す図であり、(a)はコア材の一方側のみに表面板を設けた構造体とした例を示す図、(b)はコア材の両側に表面板を設けてサンドイッチパネル状の構造体とした例を示す図。 上記図1の(b)に示す構造体の断面図。
符号の説明
1 コア材
2 表面板
3 複合材料層

Claims (1)

  1. SiC質材料で構成され、ハニカム構造を有するコア材と、このコア材の少なくとも一方側に設けられ、SiC質材料で構成された表面板とを有するSiC質構造体であって、前記コア材と前記表面板との間にSiC粒子と金属Siの複合材料層が形成され
    前記複合材料層において、SiC粒子の割合が10体積%以上95体積%未満であり、SiC粒子の平均粒径が150μm以下であることを特徴とするSiC質構造体。
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