JP4459291B2 - ヘッドジンバルアッセンブリの製造装置 - Google Patents

Description

【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に、ヘッドジンバルアッセンブリ（Ｈｅａｄ Ｇｉｍｂａｌ Ａｓｓｅｍｂｌｙ：ＨＧＡ）の製造装置に係り、特に、ハードディスク装置（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｃ Ｄｒｉｖｅ：ＨＤＤ）に搭載されるロングテールサスペンションの端子部の曲げ加工装置に関する。ここで、ＨＧＡは、磁気ヘッド部とベースプレートが搭載されたサスペンションアッセンブリであり、ヘッドサスペンションアッセンブリとも呼ばれる。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤは、典型的に、ディスクと、ヘッドを支持してディスクの所望の位置に移動するヘッドスタックアッセンブリ（Ｈｅａｄ Ｓｔａｃｋ Ａｓｓｅｍｂｌｙ：ＨＳＡ）とを有する。ＨＳＡは、モータによって軸周りに揺動するキャリッジ（「アクチュエータ」、断面がほぼＥ字形状であるために「Ｅブロック」、若しくは、「アクチュエータ（ＡＣ）ブロック」とも呼ばれる）と、キャリッジの支持部（以下、「アーム」という。）に取り付けられたＨＧＡとを有する。磁気ヘッド部は、信号を記録及び再生する微小なヘッドコア（以下、単に「ヘッド」という。）とこれを支持するスライダとから構成される。ベースプレートは、アームにカシメ締結される。
【０００３】
サスペンションは、スライダをディスクに所定の押付力で押し付ける板ばね機能も有する。ディスクが回転すると回転に伴う空気流（エア・ベアリング）がスライダとディスクとの間に形成され、スライダをディスク面から浮上させる。浮上したスライダは、浮上力と押付力との釣り合いにより、ディスクから一定距離だけ離間する。かかる状態において、アームが旋回してヘッドをディスク上の所望の位置へ移動（シーク）して情報の読み出し及び書き込みを行う。
【０００４】
近年の高速転送化の要請により、ロングテールサスペンションが使用されている。ロングテールサスペンションは、ヘッドに電気的に接続されてサスペンションに固定されたサスペンション基板の端部を、キャリッジ上に固定されたメインフレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ）に接続できるように延長したものである。
【０００５】
サスペンション基板は磁気ヘッド部からサスペンションの中央を長手方向に延び、その後サスペンションの外側に向かって９０度折れ曲がる。次いで、サスペンション基板の端部はサスペンションの側面で再度９０度折れ曲がり、サスペンションとアームの側面に隣接して空中に延びる空中部となる。空中部からメインＦＰＣまでのサスペンション基板の部分は一般にロングテールと呼ばれている。サスペンション基板はＳＵＳ基板に絶縁層を介して配線パターンが形成されている。その後、ロングテールから９０度折り曲げられた端子部がメインＦＰＣに半田付けされる。
【０００６】
従来技術としては、特許文献１乃至３がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【特許文献１】
特開昭６３−１７７５９９号公報
【特許文献２】
特開平０９−３０７０４８号公報
【特許文献３】
特開昭６０−１８９２４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ロングテールをメインＦＰＣに接続するにはサスペンション基板の端子部に設けられた端子とメインＦＰＣの端子とを位置合わせする必要である。しかし、端子部を曲げ加工する場合の曲げ角度が９０°からずれていたり、曲げ位置がロングテールと端子部との境界からずれていたりすれば、位置合わせが困難になる。特に、従来は、一つのヘッドに対して２つの記録用端子、２つの再生用端子の合計４つの端子が必要であったが、スライダの高精度な浮上量制御のために近年では２つの浮上量制御用端子が更に必要となってきた。一方、端子が形成される端子部の大きさは規格の制約から従来のままである。このため、サスペンション基板とメインＦＰＣは共に従来は４つの端子が設けられていた端子部に６つの端子を設ける必要が生じ、端子間ピッチの減少により両者にはより高精度な位置合わせが要求されるようになってきた。このため、より高精度な端子部の曲げ加工が必要となってきた。
【０００８】
本発明は、サスペンション基板の端子部を高精度に曲げ加工することによってＨＧＡを製造する製造装置に関する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一側面としての製造装置は、記憶媒体に情報の記録又は再生を行うヘッドを支持するサスペンションに固定され、一端が前記ヘッドに電気的に接続され、他端に端子部を有するサスペンション基板の前記端子部を加工台上で折り曲げることによって、前記ヘッドと前記サスペンションと前記サスペンション基板とを有するＨＧＡを製造する製造装置であって、前記ＨＧＡを吸引する吸引手段と、前記サスペンション基板の前記端子部に接続されたロングテールを移動する移動手段と、前記移動手段によって移動された前記ロングテールが突き当てられるストッパと、前記ロングテールが前記ストッパに位置決めされたかどうかを、０．０２ｍｍの溝を前記加工台に設け、前記溝を通過する光が前記ロングテールによって遮られたかどうかによって検出する透過型光センサと、前記ロングテールの一部を前記加工台上で押さえるテールホルダと、前記端子部を前記テールホルダに押し付けて前記端子部を前記ロングテールに対して直角に折り曲げるローラと、前記透過型光センサの検出結果に応じて、前記テールホルダの前記加工台に近づける移動と、前記ローラを前記テールホルダに近づける移動を制御する制御部とを有することを特徴とする。かかる製造装置は、制御部が透過型光センサの検出結果からロングテールがストッパに対して位置決めされたと判断した場合にのみテールホルダでロングテールを固定し、また、ローラで端子部を曲げ加工する。このように、透過型光センサにより、曲げ加工の精度を高め、制御部が曲げ加工を自動化して画一的な曲げ加工を行う。また、０．０２ｍｍの溝を検出することによって折り曲げ部はロングテールの端部から±０．０５ｍｍ以内とする規格上の要請を満足することができる。
【００１０】
前記ＨＧＡは、前記サスペンションを、当該サスペンションを駆動するアームに取り付けるためのベースプレートを更に有し、前記製造装置は、前記加工台の近傍に設けられた固定ブロックと、前記固定ブロックに設けられて前記ベースプレートのボス孔に嵌合するピンとを更に有し、前記吸引手段は、前記ピンの周囲に設けられて前記ベースプレートを吸引する第１の吸引口を含んでもよい。第１の吸引口により、ベースプレートをピンに嵌める作業が容易になる。
【００１１】
前記製造装置は、前記第１の吸引口に前記ベースプレートが搭載されたかどうかを検出する圧力センサを更に有し、前記制御部は前記圧力センサが前記ベースプレートを検出した場合に前記曲げ動作を実行することが好ましい。これにより、ベースプレートが存在する場合にのみ曲げ加工を行うことができる。
【００１２】
前記移動手段は、例えば、圧縮バネによって設定された押し付け力で前記ロングテールに接触するプローブピンと、当該プローブピンと共に移動するアライメントブロックとを有する。プローブピンは設定された押し付け力でロングテールに接触するので、ストッパとの間でロングテールを押し潰すおそれがない。
【００１３】
前記移動手段は、曲げ加工後のロングテールを接触する突起と、当該突起と共に移動するアライメントブロックとを有することが好ましい。曲げ加工後は、ロングテールへの押し付け力を制御する必要がないのでプローブピンではなく単なる突起で足りる。また、これによりプローブピンを採用した場合よりも構造が簡単になり、省スペース化とコストダウンも図ることができる。
【００１４】
前記吸引手段は、前記アライメントブロックに形成された第２の吸引口を含むことが好ましい。アライメントブロックに第２の吸引口を設けることにより、加工台の近傍でロングテールの反りを低減することができる。ロングテールのストッパに対する位置決め精度を上がるので、曲げ加工のスループットが向上する。この場合、前記第２の吸引口が前記ロングテールを吸引した状態では前記ロングテールは前記第２の吸引口の一部を横切ってもよい。このように、ロングテールが第２の吸引口を部分的に覆うことによってロングテールは第２の吸引口に吸引されたまま移動手段によって移動することができる。
【００１５】
前記ストッパは前記加工台上に設けられ、前記吸引手段は、前記溝及び前記ストッパの近傍に前記加工台に形成された第３の吸引口を含むことが好ましい。加工台に第３の吸引口を設けることにより、加工台におけるロングテールの反りを低減することができる。ロングテールのストッパに対する位置決め精度を上がるので、曲げ加工のスループットが向上する。
【００１６】
前記製造装置は、前記第３の吸引口に前記ベースプレートが搭載されたかどうかを検出する圧力センサを更に有し、前記制御部は前記圧力センサが前記ベースプレートを検出した場合に前記テールホルダを前記加工台に近づけることが好ましい。これにより、溝がゴミなどで塞がった場合などに曲げ加工動作が行われることを防止することができる。
【００１７】
前記テールホルダ及び前記ローラは非磁性超硬合金から構成されていることが好ましい。非磁性材料であるのでヘッドに悪影響を及ぼすことを防止することができる。超硬合金であるので、曲げ加工時に削れや磨耗を防止して最適の曲げ状態を維持することができる。
【００１８】
前記製造装置は、前記移動手段を前記加工台に対して移動可能に構成する第１のカム機構と、前記テールホルダを前記加工台に対して移動可能に構成する第２のカム機構と、前記ローラを前記加工台に対して移動可能に構成する第３のカム機構と、直動モータと、前記直動モータによって一方向に駆動される駆動板とを更に有し、前記第１のカム機構は、第１のカムと、当該第１のカムが接続された第１の駆動軸と、前記第１のカムと係合して前記第１のカムの位置を変位させる第１のガイドとを有し、前記第２のカム機構は、第２のカムと、当該第２のカムが接続された第２の駆動軸と、前記第２のカムと係合して前記第２のカムの位置を変位させる第２のガイドとを有し、前記第３のカム機構は、第３のカムと、当該第３のカムが接続された第３の駆動軸と、前記第３のカムと係合して前記第３のカムの位置を変位させる第３のガイドとを有し、前記第１のガイド、前記第２のガイド、前記第３のガイドは前記駆動板に搭載されて前記直動モータによって同一方向に同時に移動することが好ましい。駆動板が一方向に移動するだけで３つのカム機構のタイミングは機械的に維持される。各カム機構の状態を検出する手段、別個の駆動手段、タイミングの制御が不要になるので装置の構成が簡単になる。
【００１９】
前記制御部は、前記ローラを前記テールホルダに押し付けた状態で所定期間前記ローラの駆動を停止してもよい。これにより、端子部の折り曲げ状態が安定する。
【００２０】
本発明の更なる目的又はその他の特徴は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施例によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、サスペンション基板の端子部を高精度に曲げ加工することによってＨＧＡを製造する製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】 本発明の一側面としての曲げ加工装置の斜視図である。
【図２】 図１に示す曲げ加工装置の部分断面図である。
【図３】 図１に示す曲げ加工装置へのＨＧＡの取付直後及び位置決め後の状態を示す斜視図である。
【図４】 図３に示す曲げ加工装置へのＨＧＡの取付直後の状態を示す拡大斜視図である。
【図５】 図３に示す曲げ加工装置へのＨＧＡの位置決め後の状態を示す拡大斜視図である。
【図６】 図６（ａ）はロングテールの吸引前の反り状態を示す側面図であり、図６（ｂ）はロングテールの吸引後の反り状態を示す側面図である。
【図７】 図５に示す状態の部分拡大斜視図である。
【図８】 図７に示す状態の透過平面図である。
【図９】 位置決め後のＨＧＡをテールホルダで押さえつけた状態を示す斜視図である。
【図１０】 図１０（ａ）乃至図１０（ｃ）は、曲げ加工前、曲げ加工中、曲げ加工後のローラ、端子部、テールホルダの状態を示す概略断面図である。
【図１１】 図１に示すテールホルダとローラの押さえバネを示す斜視図である。
【図１２】 ６端子を有する端子部を曲げ加工する場合の図９に対応した斜視図である。
【図１３】 図１に示す曲げ加工装置の制御系のブロック図である。
【図１４】 図１に示す曲げ加工装置が行う曲げ加工動作のフローチャートである。
【図１５】 図１４に示す曲げ加工動作のタイミングチャートである。
【図１６】 曲げ加工が終了したＨＧＡを搭載したＨＤＤの内部構造を示す平面図である。
【図１７】 図１５に示すＨＤＤの磁気ヘッド部の拡大平面図である。
【図１８】 図１８（ａ）及び図１８（ｂ）は図１６に示すＨＳＡの概略平面図と概略側面図である。
【図１９】 図１９（ａ）は図１８（ａ）の部分拡大平面図であり、図１９（ｂ）は図１８（ｂ）の部分拡大側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施例の曲げ加工装置（ＨＧＡ製造装置）１について説明する。ここで、図１は、曲げ加工装置１の斜視図である。図２は、曲げ加工装置１の部分断面図である。曲げ加工装置１は、サスペンション基板１４０の端子部１４８を自動的に折り曲げることによって、ＨＧＡ１１０を製造するＨＧＡ製造装置である。曲げ加工装置１は、図１及び図２に示すように、ベース２上に、制御ユニット３と、作業部と、コンソール７と、一対の翼部８とを有する。
【００２４】
ベース２は、床の上に置かれて、曲げ加工装置１の各部を支持する。ベース２は、比較的薄い直方体形状を有する平板部材であり、底面の４隅に円筒状の脚２ａを有する。制御ユニット３は略直方体形状の筐体であり、側面には後述する制御系８０の電源スイッチ８３が設けられ、内部には、制御系８０の主要部が設けられる。
【００２５】
作業部は、ＨＧＡ１１０の曲げ加工を行う場所である。図１及び図２に示すように、作業部は、カバー４と、複数の柱５と、水平板６と、後述する各種部材を有する。
【００２６】
カバー４は加工台４０とその近傍のみを露出してその他の部材を覆うＵ字形状の板部材であり、ベース２の上に設けられる。図２は２つの柱５を示しているが、実際には４つ設けられる。柱５は、ベース２と水平板６との間の、矩形の水平板６の四隅に対応する位置に設けられて水平板６を支持する。水平板６は、比較的薄い直方体形状を有するベース２と平行な平板部材であり、水平板６の下には駆動系の主要部（直動モータ９０、駆動板９２、各種ガイド）が設けられる。
【００２７】
コンソール７は、カバー４の前側に設けられ、制御系８０の各種スイッチが設けられる。図２は、そのうちの一のスイッチ（８４ａなど）を示している。一対の翼部８は、カバー４の両側に設けられる補助台である。左側の翼部８には、例えば、加工前のＨＧＡ１１０が多数入った箱とそれを取り出すピンセットが配置される。右側の翼部８には、例えば、加工済みのＨＧＡ１１０が収納される箱が配置される。この場合、操作者はピンセットで左側翼部８の箱からＨＧＡ１１０を取り出してセットし、加工済みのＨＧＡ１１０を右側翼部８の箱にピンセットで入れていく。
【００２８】
以下、作業部に設けられる各種部材について説明する。図２乃至図５に示すように、作業部には、固定ブロック１０と、ピン１６と、吸引手段２０（図１３に図示）と、移動手段３０と、加工台４０と、ストッパ４２と、検出手段５０と、固定手段６０と、折り曲げ手段７０と、制御系８０とを有する。
【００２９】
ここで、図３は、曲げ加工装置１へのＨＧＡ１１０の取付直後及び位置決め後の状態を示す斜視図である。図４は、図３に示す曲げ加工装置１へのＨＧＡ１１０の取付直後の状態を示す拡大斜視図である。図５は、図３に示す曲げ加工装置１へのＨＧＡ１１０の位置決め後の状態を示す拡大斜視図である。
【００３０】
固定ブロック１０は略直方体形状を有するが、図４及び図５に示すように、幾つかの段差を有する。固定ブロック１０は、凹部１１と、凸部１２と、凸部１３と、凹部１４と、ピン１６とを有する。
【００３１】
凹部１１は、サスペンション１３０の表面が固定ブロック１０と接触して傷つくことを防止するために、凸部１２よりも高さが低い。なお、図４及び図５において、磁気ヘッド部１２０は手前側に設けられており、サスペンション１３０の表面は磁気ヘッド部１２０の設けられている面の反対側である。
【００３２】
凸部１２には、ピン１６が設けられる。ピン１６は、ＨＧＡのベースプレート１６０のボス孔１６２に挿入されて、ＨＧＡ１１０を回転可能に固定する。なお、本明細書ではボスとボス中央のボス孔の両方を参照符号１６２で表すものとする。また、ピン１６の周りには後述する円環状の吸引口２２が設けられる。このように、曲げ加工装置１は従来からＨＧＡ１１０に備わっているベースプレート１６０のボス孔１６２を有効利用している。ピン１６の周りにはベースプレート１６０が傷つかないように樹脂製のクッション（図示せず）が配置されている。
【００３３】
凸部１３は、移動手段３０が移動可能に収納される。上述のクッションがあるため、更に、サスペンション基板１４０はベースプレート１６０上に配置されているために、凸部１３は凸部１２よりも高さが高い。凹部１４には移動手段３０が移動可能に収納される。
【００３４】
吸引手段２０は、ＨＧＡ１１０を吸引する機能を有し、吸引口２２乃至２６と、排気部２８とを有する。
【００３５】
吸引口２２は、円環形状を有してピン１６の周りに設けられる。ベースプレート１６０のボス孔１６２とピン１６との嵌合をピンセットで行う作業は両者が小さくかつ嵌め合いが小さいために困難である。そこで、吸引口２２がベースプレート１６０を吸引することによって、ピン１６がボス孔１６２に入り易くなり、挿入作業が容易になる。
【００３６】
吸引口２４は、Ｘ方向に延びる長円形状を有し、移動手段３０の戻しブロック３２の中央に形成される。図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、吸引口２４を設けることにより、加工台４０の近傍でロングテール１４３の反りを低減することができる。ここで、図６（ａ）及び図６（ｂ）は反り修正実験の結果を示す側面図である。より詳細には、図６（ａ）はロングテール１４３の吸引前の反り状態を示す側面図であり、図６（ｂ）はロングテール１４３の吸引後の反り状態を示す側面図である。ロングテール１４３のストッパ４２に対する位置決め精度が上がるので、ＨＧＡ１１０を搭載してから曲げ加工開始までの時間が短くなり、曲げ加工のスループットが向上する。
【００３７】
また、図４及び図５に示すように、吸引口２４がロングテール１４３を吸引した状態ではロングテール１４３は吸引口２４の一部を横切って全部を塞がない。このように、ロングテール１４３が吸引口２４を部分的に覆うことによってロングテール１４３は吸引口２４に吸引されたまま移動手段３０によって移動することができる。ロングテール１４３が吸引口２４を完全に塞がない限り、吸引口２４の延びる方向はＸ方向に限定されないし、吸引口２４は凸部１３に形成されてもよい。
【００３８】
吸引口２６は、後述する図８に示すように、加工台４０に形成され、直径０．８ｍｍを有する円形形状を有する。加工台４０に吸引口２６を設けることにより、加工台４０におけるロングテール１４３の反りを低減することができる。ロングテール１４３のストッパ４２に対する位置決め精度を上がるので、ＨＧＡ１１０を搭載してから曲げ加工開始までの時間が短くなり、曲げ加工のスループットが向上する。吸引口２４とは異なり、ロングテール１４３は吸引口２６の上を移動する必要がないので位置決めがなされればロングテール１４３は吸引口２６を完全に塞ぐ。
【００３９】
排気部２８（図１３に図示）は、本実施例では、全ての吸引口２２、２４及び２６に対して共通に設けられているが、これらの吸引口の一又は複数は異なる排気部に接続されていてもよい。排気部２８による吸引の開始及び停止は、制御部８１によって制御される。排気部２８は、吸引口２２乃至２６に接続され、ＨＧＡ１１０、より詳細には、ベースプレート１６０又はロングテール１４３、を吸引する。
【００４０】
移動手段３０は、ロングテール１４３を移動し、曲げ加工前のロングテール１４３を加工位置に位置決めすると共に加工済みのロングテール１４３を曲げ位置から移動させて吸引口２６による吸引から解放する。移動手段３０は、アライメントブロック３１と、戻しブロック３２と、プローブピン３３と、戻し突起３４と、アライメントブロック駆動機構とを有する。
【００４１】
アライメントブロック３１はアライメントブロック駆動機構に接続されて、図４及び図５に示すＸ方向に移動可能である。
【００４２】
アライメントブロック３１は戻しブロック３２と結合される。戻しブロック３２のＸ_１側の先端には戻し突起３４が形成される。プローブピン３３はアライメントブロック３１から突出し、アライメントブロック３１内に設けられた図示しない圧縮バネによって図４及び図５に示すＸ_１方向に付勢されている。戻し突起３４は、アライメントブロック３１がＸ_２方向に移動したときにロングテール１４３と前面３４ａで接触する。ロングテール１４３はプローブピン３３と戻し突起３４との間に配置される。プローブピン３３がロングテール１４３と接触してアライメントブロック３１が移動している間は戻し突起３４はロングテール１４３とは接触しない。また、戻し突起３４がロングテール１４３と接触してアライメントブロック３１が移動している間はプローブピン３３はロングテール１４３とは接触しない。
【００４３】
アライメントブロック駆動機構は、図２に示すように、直動モータ９０と、駆動板９２と、カム３５と、ガイド３６と、駆動軸３７と、支点ユニット３８とを有する。カム３５は、円柱形状を有してガイド３６の表面と接触する。
【００４４】
直動モータ９０は、図２のＸ方向に駆動板９２を駆動するモータである。駆動板９２は、比較的薄い直方体形状を有するベース２と平行な平板部材であり、水平板６とベース２との間にＸ方向に移動可能に設けられる。直動モータ９０と駆動板９２は、後述するように、テールホルダ駆動機構及びローラ駆動機構にも共通に使用される。駆動板９２が一方向（Ｘ方向）に移動するだけで３つの駆動機構のタイミングは機械的に維持される。各カム機構の状態を検出する手段、別個の駆動手段、タイミングの制御が不要になるので曲げ加工装置１の構成が簡単になる。
【００４５】
ガイド３６は、カム３５と係合してカム３５の位置を変位させるガイド面３６ａを有する。カム３５は、図２に示す原点位置では、ガイド面３６ａの最も高い位置にあり、駆動板９２がＸ_２方向に移動するに従ってガイド面３６ａの低い位置に移動する。
【００４６】
駆動軸３７は、一端においてカム３５と接続し、他端においてアライメントブロック３１と接続する。また、略中点において支点ユニット３８と接続する。支点ユニット３８は、図２の紙面に垂直に延びるシャフト３８ａが駆動軸３７を貫通している。また、支点ユニット３８は、水平板６の上に固定されてシャフト３８ａはＺ方向には変位しない。この結果、駆動軸３７はシャフト３８ａ周りに回転することになる。具体的には、カム３５がガイド面３６ａに沿って下降すると、駆動軸３７は図２に示す反時計回りに回転する。この結果、駆動軸３７の他端に結合されたアライメントブロック３１はＸ_１方向に移動する。
【００４７】
加工台４０は、サスペンション基板１４０の端子部１４８を曲げ加工するために固定手段６０と協働してＨＧＡの一部を固定する機能を有する。加工台４０は、水平板６の上に設けられる直方体形状の台である。
【００４８】
図４、図５及び図７に示すように、加工台４０には直方体形状のストッパ４２が設けられる。ここで、図７は、図５に示すストッパ４２近傍の斜視図である。ストッパ４２は、その前面４２ａに、移動手段３０によって移動されたロングテール１４３が突き当てられる直方体形状の突起である。
【００４９】
また、図７及び図８に示すように、加工台４０のストッパ４２の前には０．０２ｍｍ×０．５ｍｍの溝４４が形成される。図８は図７の透過平面図である。溝４４は、検出手段５０の一部を構成する。加工台４０の溝４４及びストッパ４２の近傍には、吸引口２６が設けられる。図８に示すように、ロングテール１４３と端子部１４８との境界には２箇所の折り曲げ部（爪部）１４６が形成される。
【００５０】
検出手段５０は、ロングテール１４３がストッパ４２に位置決めされたかどうかを検出する。検出手段５０は、図２及び図７に示すように、水平板６に取り付けられた支柱５１と、支柱５１に固定手段５２を介して固定されたレーザ５３と、レーザ５３からのレーザ光を溝４４を介して受光する受光部５４とを有する。このような透過型光センサ（５３、５４）により、曲げ加工の精度を高めることができる。特に、０．０２ｍｍの溝４４を検出することによって折り曲げ部１４６はロングテール１４３の端部からの距離Ａが±０．０５ｍｍ以内とする規格上の要請を満足することができる。ここでは、±０．０５ｍｍ以内とする規格に対応する０．０２ｍｍの幅の溝としたが、要求される精度に対応して溝を規定の幅に適宜変更可能である。
【００５１】
距離Ａを図８に示す。受光部５４は、図１３に示すように、制御部８１に接続され、検出結果を制御部８１に通知する。
【００５２】
また、検出手段５０は、圧力センサ５５を更に有して吸引口２２にベースプレート１６０が取り付けられたどうかを検出する。更に、検出手段５０は、圧力センサ５６を更に有して吸引口２６にロングテール１４３が吸引されたかどうかを検出する。圧力センサ５５及び５６は、図１３に示すように、制御部８１に接続され、検出結果を制御部８１に通知する。
【００５３】
固定手段６０は、ロングテール１４３の一部を加工台４０上で押さえて固定する機能を有し、テールホルダ６１と、テールホルダ駆動機構とを有する。
【００５４】
テールホルダ６１は、図１０（ａ）乃至図１０（ｃ）に示すように、加工台４０に対する傾斜角度θが７５°乃至８５°に設定されたインゴット形状を有する。ここで、図１０（ａ）乃至図１０（ｃ）は、曲げ加工前、曲げ加工中、曲げ加工後のローラ７１、端子部１４８、テールホルダ６１の状態を示す概略断面図である。
【００５５】
傾斜角度θが９０°であるとローラ７１が離れたときに端子部１４８とロングテール１４３との角度はスプリングバックのために鋭角になってしまう。端子部１４８とロングテール１４３との角度を直角に曲げ加工するためには曲げ加工時の端子部１４８とロングテール１４３との角度を鈍角（従って、傾斜角度θを鋭角）にする必要がある。
【００５６】
傾斜角度θが８５°よりも大きいと曲げ加工後の端子部１４８とロングテール１４３との角度は鋭角になりやすい。傾斜角度θが７５°よりも小さいと曲げ加工後の端子部１４８とロングテール１４３との角度は鈍角になりやすい。
【００５７】
また、傾斜角度θを有する角部６１ａが０．０４ｍｍ乃至０．０８ｍｍの曲率を有する。また、角部６１ａは曲率がついて滑らかにされる必要がある。角部６１ａの曲率が０．０４ｍｍよりも小さいと角部６１ａが鋭利となって曲げ加工時に端子部１４８が角部６１ａで切断したり傷つけたりするおそれがある。角部６１ａの曲率が０．０８ｍｍよりも大きいと曲げ加工後の端子部１４８が直角に延びずに曲がってしまうおそれがある。
【００５８】
テールホルダ６１は非磁性超硬合金から構成されている。テールホルダ６１は非磁性材料から構成されているのでヘッド１２２に磁気的に悪影響を及ぼすことを防止することができる。また、テールホルダ６１は超硬合金から構成されているので、曲げ加工時に削れや磨耗を防止して最適の曲げ状態を維持することができる。特に、繰り返し曲げ加工を行っても上述の角部６１ａの曲率や傾斜角度θを維持することができる。
【００５９】
テールホルダ駆動機構は、図２に示すように、直動モータ９０と、駆動板９２と、カム６２と、ガイド６３と、駆動軸６４と、図１１に示す押さえバネ６５とを有する。カム６２は、円柱形状を有してガイド６３の表面と接触する。ガイド６３は、カム６２と係合してカム６２の位置を変位させるガイド面６３ａを有する。駆動軸６４は、一端においてカム６２と接続し、他端においてテールホルダ６１と接続する。押さえバネ６５は、一端が水平板６に係合し、テールホルダ６１に接続されたブロック又は駆動軸６４に係合する引張りバネである。この結果、駆動軸６４はＺ方向（Ｚ_１Ｚ_２方向）に沿って移動することができ、押さえバネ６５によってＺ_１方向に付勢される。
【００６０】
折り曲げ手段７０は、図９乃至図１０（ｃ）に示すように、端子部１４８をテールホルダ６１に押し付けて端子部１４８をロングテール１４３に対して直角に折り曲げる機能を有し、ローラ７１と、ローラ駆動機構とを有する。
【００６１】
ローラ７１は非磁性超硬合金から構成されている。ローラ７１は非磁性材料から構成されているのでヘッド１２２に磁気的に悪影響を及ぼすことを防止することができる。また、ローラ７１は超硬合金から構成されているので、曲げ加工時に削れや磨耗を防止して最適の曲げ状態を維持することができる。
【００６２】
ローラ駆動機構は、図２に示すように、直動モータ９０と、駆動板９２と、カム７２と、ガイド７３と、駆動軸７４と、図１１に示すブロック７５と、支点ユニット７６と、押さえバネ７７と、ブロック７８とを有する。
【００６３】
カム７２は、円柱形状を有してガイド７３の表面と接触する。ガイド７３は、カム７２と係合してカム７２の位置を変位させるガイド面７３ａを有する。駆動軸７４は、一端においてカム７２と接続し、他端においてローラ７１と接続する。ブロック７５は、ローラ７１とシャフト７５ａを介して接続する。支点ユニット７６は、ブロック７５を回転可能にするシャフト７６ａを有する。押さえバネ７７は、一端７７ａが水平板６に固定されたブロック７８に係合し、他端７７ｂがローラ７１と接続するブロック７５のシャフト７６ａよりも下部に係合する引張りバネである。この結果、駆動軸７４はＺ方向（Ｚ_１Ｚ_２方向）に沿って移動することができ、ローラ７１は押さえバネ７７によってテールホルダ６１側に（図２に示す紙面の奥側に）又は図１０（ａ）乃至図１０（ｃ）に示すように、付勢される。
【００６４】
なお、図１乃至図１１においては、端子部１４８は、超音波接合でメインＦＰＣ１５４と接続されるタイプのものであるが、図１２や後述する図１９（ｂ）に示すように、６端子用の端子部であってもよい。ここで、図１２は、６端子を有する端子部を曲げ加工する場合の図９に対応した斜視図である。
【００６５】
制御系８０は、図１３に示すように、制御部８１と、メモリ８２と、電源スイッチ８３と、スタートスイッチ８４ａと、ストップスイッチ８４ｂと、リセットスイッチ８４ｃと、吸引一時停止スイッチ８４ｄとを有する。
【００６６】
制御部８１は、各スイッチ８３乃至８４ｄ、排気部２８、検出部５４乃至５６、メモリ８２、モータ９０に接続されている。制御部８１は、曲げ加工動作を実行する。具体的には、制御部８１は、透過型光センサ（５３、５４）の検出結果に応じて、テールホルダ６１を加工台４０に近づける移動と、ローラ７１をテールホルダ６１に近づける移動を制御する。また、制御部８１は、圧力センサ５５及び５６の検出結果に基づいて後述するように曲げ加工動作を制御する。メモリ８２は、制御部８１が実行する図１４に示す曲げ加工方法を格納する。
【００６７】
電源スイッチ８３が押されると制御部８１は排気部２８に吸引を開始させる。スタートスイッチ８４ａが押されると制御部８１は直動モータ９０を駆動する。但し、曲げ加工動作は検出手段５０の検出結果に依存して変更される。ストップスイッチ８４ｂは緊急停止時に押され、これに応答して、制御部８１はモータ９０と排気部２８に吸引を一時停止する。リセットスイッチ８４ｃは、ストップスイッチ８４ｂが押された後で原状に復帰する際に押される。この後で、スタートスイッチ８４ａが押されると曲げ加工動作を開始する。吸引一時停止スイッチ８４ｄは曲げ加工終了後に押され、これに応答して、制御部８１は排気部２８に吸引を一時停止する。
【００６８】
以下、図２、図９乃至図１５を参照して、制御部８１が実行する曲げ加工動作について説明する。
【００６９】
まず、制御部８１は、電源スイッチ８３が投入されると排気部２８に吸引を開始させる。初期状態は図２に示す状態である。次に、スタートスイッチ８４ａが押されると制御部８１は直動モータ９０を駆動する。
【００７０】
次に、制御部８１は、センサ５５の出力がＯＮかどうかを判断する（ステップ１００２）。制御部８１はセンサ５５の出力がＯＦＦであると判断すると（ステップ１００２）、エラー処理を行う（ステップ１００４）。エラー処理では、動作を一時停止し、スタートスイッチ８４ａを押すと動作を再開するか、リセットスイッチ８４ｃを押すと原点復帰する。制御部８１は、センサ５５の出力がＯＮであると判断すると（ステップ１００２）、ベースプレート１６０のボス孔１６２がピン１６に挿入されたことを認識する。これにより、ＨＧＡ１１０が存在する場合にのみ曲げ加工を開始することができる。
【００７１】
次に、モータ９０の動作を維持する。この結果、アライメントブロック３１が前進する（ステップ１００６、図１５のＰ０〜Ｐ２）。より詳細には、駆動板９２が図２に示すＸ_２方向に移動し、カム３５がガイド面３６ａに沿って下がる。この結果、駆動軸３７がシャフト３８ａを中心に図２の反時計回りに回転する。このため、駆動軸３７の他端に接続されているアライメントブロック３１がＸ_１方向に移動する。そして、プローブピン３３がロングテール１４３を押して移動する。
【００７２】
次に、制御部８１は、受光部５４の出力がＯＦＦでセンサ５６の出力がＯＮであるかどうかを判断する（ステップ１００８、図１５の３、４）。制御部８１は受光部５４の出力がＯＦＦでセンサ５６の出力がＯＮではないと判断すると（ステップ１００８）、エラー処理を行う（ステップ１０１０）。エラー処理は、ステップ１００２と同様である。受光部５４の出力がＯＦＦであると、図７に示すように、レーザ５３からのレーザビームがロングテール１４３で遮断されている。センサ５６の出力がＯＮであると図８に示すようにロングテール１４３の吸引口２６への吸引が正しく行われている。そこで、この場合には、制御部８１はモータ９０の動作を維持する。この結果、テールホルダ６１が下降する（ステップ１０１２、図１５のＰ２〜Ｐ３．５）。
【００７３】
より詳細には、駆動板９２が図２に示すＸ_２方向に移動し、カム６２がガイド面６３ａに沿って下がる。この結果、駆動軸６４がＺ_１方向に移動する。このため、駆動軸６４の他端に接続されているテールホルダ６１が下降する。
【００７４】
次に、制御部８１は、受光部５４の出力がＯＦＦであるかどうかを判断する（ステップ１０１４、図１５の８）。この時は、既にテールホルダ６１による固定が終了しているので制御部８１はセンサ５６の出力を考慮しないが、考慮してもよい。制御部８１は受光部５４の出力がＯＦＦでないと判断すると（ステップ１０１４）、エラー処理を行う（ステップ１０１６）。エラー処理は、ステップ１００２と同様である。制御部８１は受光部５４の出力がＯＦＦであると判断すると（ステップ１０１４）、モータ９０の動作を維持する。この結果、図９及び図１０（ａ）に示すように、ローラ７１が上昇する（ステップ１０１８、図１５のＰ３．５〜Ｐ５）。
【００７５】
より詳細には、駆動板９２が図２に示すＸ_２方向に移動し、カム７２がガイド面７３ａに沿って上がる。この結果、駆動軸７４がＺ_２方向に移動する。このため、駆動軸７４の他端に接続されているローラ７１が上昇する。この時、押さえバネ７７によりローラ７１はテールホルダ６１側に付勢されている。
【００７６】
図１０（ｂ）に示す状態で、ローラは０．３秒停止する（ステップ１０２０、図１５の１１）。これにより端子部１４８の折り曲げ状態が安定する。次に、制御部８１はモータ９０を逆回転する。この結果、図２において、Ｘ_１方向に駆動板９２が移動する。そして、図１０（ｃ）に示すように、ローラ７１は下降する（ステップ１０２２）。次に、制御部８１は、その後も、モータ９０の動作を維持する。この結果、テールホルダ６１が上昇する（ステップ１０２４、図１５のＰ５〜Ｐ７）。制御部８１は、その後も、モータ９０の動作を維持する。この結果、アライメントブロック３１が後退する（ステップ１０２６、図１５のＰ７〜Ｐ９）。これにより、戻り突起３４の前面３４ａにロングテール１４３が係止されてアライメントブロック３１と共にＸ_２方向に移動する。この結果、原点復帰が終了する（図１５の１６）。その後、操作者は吸引一時停止スイッチ８４ｄを押す。この結果、制御部８１は、排気部２８の吸引を一時停止する。この結果、操作者はピンセットでベースプレート１６０をピン１６から取り出す。
【００７７】
以下、図１６乃至図１９（ｂ）を参照して折り曲げた端子部１４８とメインＦＰＣ１５０との接続について説明する。図１６は、ＨＤＤ１００の内部構造の概略平面図である。ＨＤＤ１００は、図１６に示すように、筐体１０２内に、記録媒体（又は記憶媒体）としての一又は複数の磁気ディスク１０４と、スピンドルモータ１０６と、ＨＳＡ１１１とを収納する。ＨＳＡ１１１は、ＨＧＡ１１０をキャリッジ１７０に取り付けたものである。ＨＧＡ１１０は、磁気ヘッド部１２０を支持するサスペンション１３０と、サスペンション基板１４０と、ベースプレート１６０から構成される。
【００７８】
磁気ヘッド部１２０は、スライダ１２１と、スライダ１２１の空気流出端に接合されて、読み出し及び書き込み用のヘッド１２２を内蔵するヘッド素子内蔵膜１２３とを有する。スライダ１２１はディスク１０４の表面から浮上する。ヘッド１２２は、ディスク１０４に情報の記録再生を施す。スライダ１２１の磁気ディスク１０４に対向する面は浮上面１２５として機能する。磁気ディスク１０４の回転に基づき生成される気流１２６は浮上面１２５に受け止められる。ここで、図１７は、磁気ヘッド部１２０の概略斜視図である。
【００７９】
サスペンション１３０は、磁気ヘッド部１２０を支持すると共に磁気ヘッド部１２０に対してディスク１０４方向に弾性力を加える機能を有し、例えば、ステンレス製のサスペンションである。サスペンション１３０は磁気ヘッド部１２０を片持ち支持するフレキシャー１３４とベースプレート１６０に接続されるロードビーム（ヒンジプレートその他の名称で呼ばれる場合もある）１３６とを有する。ロードビーム１３６はＺ方向に十分な押付力を印加するようにバネ部を中央に有している。ロードビーム１３６は基端部が剛体部、中央がバネ部、末端部が剛体部で構成されている。また、浮上面１２５はディスクの反りやうねりに追従して常にディスク面と平行になるように、ディンプル（ピボットその他の名称で呼ばれる場合もある）という突起を介してロードビーム１３６とフレキシャー１３４は接触している。磁気ヘッド部１２０はディンプルを中心に柔らかくピッチングとローリングができるように設計されている。
【００８０】
サスペンション１３０は、図１８（ａ）乃至図１９（ｂ）に示すように、磁気ヘッド部１２０に電気的に接続されるサスペンション基板１４０も搭載する。ここで、図１８（ａ）及び図１８（ｂ）は、ＨＳＡ１１１の概略平面図と概略側面図である。図１９（ａ）は図１８（ａ）の部分拡大平面図であり、図１９（ｂ）は図１８（ｂ）の部分拡大側面図である。
【００８１】
サスペンション基板１４０は、ヘッド１２２とメインＦＰＣ１５０に電気的に接続され、センス電流、書き込み情報及び読み出し情報を送信する。サスペンション基板１４０は、サスペンション１３０の磁気ヘッド部１２０が搭載された面１３１の溶接部１３２においてサスペンション１３０に溶接（固定）される。
【００８２】
サスペンション基板１４０は、基部１４１と、折れ曲がり部１４２と、ロングテール１４３と、ロングテール１４３の先端の端子部１４８とを有する。
【００８３】
基部１４１は磁気ヘッド部１２０からサスペンション１３０の面１３１の中央を長手方向Ｌに延びる。長手方向Ｌは支軸１７２の中心とアーム１７４の貫通孔１７５の中心（又はベースプレート１６０のボス孔１６２の中心）を結ぶ直線に平行である。
【００８４】
折れ曲がり部１４２は、基部１４１の端部からアームの外側に向かって９０度折れ曲がる。折れ曲がり部１４２のもう一つの端部は更にアーム１７４の側面１７６で約９０度折れ曲がる。
【００８５】
ロングテール１４３は、折れ曲がり部１４２の他端から開始し、端子部１４８で終了し、アーム１７４の側面１７６に沿って延びる。ロングテール１４３は、空中部と収納部とに分かれる。空中部は、アーム１７４の側面１７６において空中に露出した部分であり、収納部はアーム１７４に形成されたスリット１７７に収納された部分である。ロングテール１４３を含むサスペンション基板１４０はＳＵＳなどの剛性の高い又は実質的に剛性の基板にポリイミドなどの絶縁層を介して配線パターンが形成されている。
【００８６】
端子部１４８は、ロングテール１４３の端部に設けられ、ロングテール１４３の長手方向の周りに９０度折り曲げられてメインＦＰＣ１５０に半田付けされる。かかる折り曲げに曲げ加工装置１が使用される。端子部１４８は、図１９（ｂ）に示すように、ヘッド１２２の２つの記録用端子と、２つの再生用端子と、２つの浮上量制御用端子の合計６つの端子１４９を有する。
【００８７】
ロングテール１４３は、アーム１７４のベースプレート１６０との接続部近傍に屈曲部１４４を有する。ロングテール１４３は、屈曲部によりアーム１７４の側面１７６に沿った長手方向Ｌ１の伸縮を調節することができる。
【００８８】
メインＦＰＣ１５０は、端子部１４８と接続する端子部１５４を有する。メインＦＰＣ１５０は、サスペンション基板１４０に制御信号及びディスク１０４に記録されるべき信号並びに電力を供給すると共にディスク１０４から再生された信号を受信する。メインＦＰＣ１５０はプリアンプＩＣ１５２を含み、各種信号を増幅する。メインＦＰＣ１５０の端子部１５４も図１９（ｂ）に示す端子部１４８と同様の構成を有する。
【００８９】
ベースプレート１６０は、サスペンション１３０をアーム１７４に取り付ける機能を有し、被溶接部と、ボス（孔）１６２とを有する。被溶接部は、サスペンション１３０にレーザ溶接される。ボス（孔）１６２は図１９（ａ）の紙面に垂直に延びる突起であり、アーム１７４にカシメ締結される。
【００９０】
キャリッジ１７０は、磁気ヘッド部１２０を図１６に示す矢印方向に回動又は揺動する機能を有し、ボイスコイルモータ１７１と、支軸１７２と、アーム１７４とを有する。
【００９１】
ボイスコイルモータ１７１は、一対のヨーク１７１ａに挟まれたフラットコイル１７１ｂを有する。フラットコイル１７１ｂは筐体１０２に設けられた図示しない磁気回路に対向して設けられており、フラットコイル１７１ｂに流される電流の値に応じてキャリッジ１７０が支軸１７２回りに揺動する。磁気回路は、例えば、筐体１０２内に固定された鉄板に固定された永久磁石と、キャリッジ１７０に固定された可動磁石を有する。
【００９２】
支軸１７２は、キャリッジ１７０に設けられた円筒中空孔に嵌合し、筐体１０２内に図１６の紙面に垂直に配置される。支軸１７２の中心軸がアーム１７４の回転軸である。
【００９３】
アーム１７４は、アルミニウム製の剛体であり、その先端には貫通孔１７５が設けられ、側面１７６にはロングテール１４３を部分的に収納するスリット１７７が設けられる。この貫通孔とベースプレート１６０を介してサスペンション１３０がアーム１７４に取り付けられる。
【００９４】
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではなく、様々な変形及び変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００９５】
本発明によれば、サスペンション基板の端子部を高精度に曲げ加工することによってＨＧＡを製造する製造装置を提供することができる。
【符号の説明】
【００９６】
１ 曲げ加工装置
２０ 吸引手段
３０ 移動手段
４０ 加工台
４２ ストッパ
４４ 溝
５４ 透過型光センサ
６１ テールホルダ
７１ ローラ
８３ 制御部
１３０ ロングテールサスペンション
１４３ ロングテール
１４８ 端子部

Claims (13)

1. 記憶媒体に情報の記録又は再生を行うヘッドを支持するサスペンションに固定され、一端が前記ヘッドに電気的に接続され、他端に端子部を有するサスペンション基板の前記端子部を加工台上で折り曲げることによって、前記ヘッドと前記サスペンションと前記サスペンション基板とを有するヘッドジンバルアッセンブリを製造する製造装置であって、
   前記ヘッドジンバルアッセンブリを吸引する吸引手段と、
   前記サスペンション基板の前記端子部に接続されたロングテールを移動する移動手段と、
   前記移動手段によって移動された前記ロングテールが突き当てられるストッパと、
   前記加工台に設けられた溝を通過する光が前記ロングテールによって遮られたかどうかによって前記ロングテールが前記ストッパに位置決めされたことを検出する透過型光センサと、
   前記ロングテールの一部を前記加工台上で押さえるテールホルダと、
   前記端子部を前記テールホルダに押し付けて前記端子部を前記ロングテールに対して直角に折り曲げるローラと、
   前記透過型光センサの検出結果に応じて、前記テールホルダの前記加工台に近づける移動と、前記ローラを前記テールホルダに近づける移動を制御する制御部とを有することを特徴とする製造装置。
2. 前記ヘッドジンバルアッセンブリは、前記サスペンションを、当該サスペンションを駆動するアームに取り付けるためのベースプレートを更に有し、
   前記製造装置は、
   前記加工台の近傍に設けられた固定ブロックと、
   前記固定ブロックに設けられて前記ベースプレートのボス孔に嵌合するピンとを更に有し、
   前記吸引手段は、前記ピンの周囲に設けられて前記ベースプレートを吸引する第１の吸引口を含むことを特徴とする請求項１記載の製造装置。
3. 前記製造装置は、前記第１の吸引口に前記ベースプレートが搭載されたかどうかを検出する圧力センサを更に有し、
   前記制御部は前記圧力センサが前記ベースプレートを検出した場合に前記曲げ動作を実行することを特徴とする請求項２記載の製造装置。
4. 前記移動手段は、
   圧縮バネによって設定された押し付け力で前記ロングテールに接触するプローブピンと、
   当該プローブピンと共に移動するアライメントブロックとを有することを特徴とする請求項１記載の製造装置。
5. 前記移動手段は、
   曲げ加工後のロングテールを接触する突起と、
   当該突起と共に移動するアライメントブロックとを有することを特徴とする請求項１記載の製造装置。
6. 前記吸引手段は、前記アライメントブロックに形成された第２の吸引口を含むことを特徴とする請求項４又は５記載の製造装置。
7. 前記第２の吸引口が前記ロングテールを吸引した状態では前記ロングテールは前記第２の吸引口の一部を横切ることを特徴とする請求項６記載の製造装置。
8. 前記ストッパは前記加工台上に設けられ、
   前記吸引手段は、前記溝及び前記ストッパの近傍に前記加工台に形成された第３の吸引口を含むことを特徴とする請求項１記載の製造装置。
9. 前記製造装置は、前記第３の吸引口に前記ベースプレートが搭載されたかどうかを検出する圧力センサを更に有し、
   前記制御部は前記圧力センサが前記ベースプレートを検出した場合に前記テールホルダを前記加工台に近づけることを特徴とする請求項８記載の製造装置。
10. 前記テールホルダ及び前記ローラは非磁性超硬合金から構成されていることを特徴とする請求項１記載の製造装置。
11. 前記製造装置は、
    前記移動手段を前記加工台に対して移動可能に構成する第１のカム機構と、
    前記テールホルダを前記加工台に対して移動可能に構成する第２のカム機構と、
    前記ローラを前記加工台に対して移動可能に構成する第３のカム機構と、
    直動モータと、
    前記直動モータによって一方向に駆動される駆動板とを更に有し、
    前記第１のカム機構は、第１のカムと、当該第１のカムが接続された第１の駆動軸と、前記第１のカムと係合して前記第１のカムの位置を変位させる第１のガイドとを有し、前記第２のカム機構は、第２のカムと、当該第２のカムが接続された第２の駆動軸と、前記第２のカムと係合して前記第２のカムの位置を変位させる第２のガイドとを有し、前記第３のカム機構は、第３のカムと、当該第３のカムが接続された第３の駆動軸と、前記第３のカムと係合して前記第３のカムの位置を変位させる第３のガイドとを有し、
    前記第１のガイド、前記第２のガイド、前記第３のガイドは前記駆動板に搭載されて前記直動モータによって同一方向に同時に移動することを特徴とする請求項１記載の製造装置。
12. 前記制御部は、前記ローラを前記テールホルダに押し付けた状態で所定期間前記ローラの駆動を停止することを特徴とする請求項１記載の製造装置。
13. 記憶媒体に情報の記録又は再生を行うヘッドを支持するサスペンションに固定され、一端が前記ヘッドに電気的に接続され、他端に端子部を有するサスペンション基板の前記端子部を加工台上で折り曲げることによって、前記ヘッドと前記サスペンションと前記サスペンション基板とを有するヘッドジンバルアッセンブリを製造する製造方法であって、
    前記ヘッドジンバルアッセンブリを吸引手段を介して吸引するステップと、
    前記サスペンション基板の前記端子部に接続されたロングテールを移動手段を介して移動するステップと、
    ストッパに前記移動手段によって移動された前記ロングテールが突き当て、
    透過型光センサにより前記加工台に設けられた溝を通過する光が前記ロングテールによって遮られたかどうかによって前記ロングテールが前記ストッパに位置決めされたことを検出するステップと、
    テールホルダに前記ロングテールの一部を前記加工台上で押さえるステップと、
    前記端子部を前記テールホルダに押し付けて前記端子部を前記ロングテールに対してローラにより直角に折り曲げるステップと、
    前記透過型光センサの検出結果に応じて、制御部により前記テールホルダの前記加工台に近づける移動と、前記ローラを前記テールホルダに近づける移動を制御するステップとを有することを特徴とする製造方法。