JP4451384B2 - リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
集積回路(IC)の製造におけるリソグラフィ装置の使用について、具体的な参照がこのテキストで行われる場合があるが、本明細書で説明するリソグラフィ装置は、DNAチップ、MEMS、MOEMS、集積光学システム、磁区メモリー用のガイド及び検出パターン、フラット・パネル・ディスプレイ、薄膜磁気ヘッド、マイクロ及びマクロ流体デバイス、等々の製造などの他の用途も有することができることを理解されたい。当分野の技術者なら、そのような別の用途の文脈で、本明細書での術語「ウエハー」又は「ダイ」のどんな使用も、より一般的な術語「基板」又は「目標部分(target portion)」のそれぞれと同義語とみなすことができよう。本明細書において言及される基板は、露光の前又は後で、例えば、トラック(track)(通常、基板にレジスト層を塗布して、露光されたレジストを現像するツール)又は計測若しくは検査ツールで処理することができる。実用に適する場合、本明細書の開示は他のそのような基板処理ツールにも応用することができる。さらに基板は、例えば、多層ICを作り出すために2回以上処理することができる。したがって、本明細書で使用される術語基板は、既に多重の処理層を含む基板をも指すことができる。
図1は、本発明の一実施例によるリソグラフィ投影装置を概略的に示す。この装置は、照明システムIL、個別に制御可能な要素のアレイPPM、基板テーブルWT、及び投影システム(「レンズ」)PLを備える。照明システム(例えば、照明器)ILは、放射(例えば、UV放射)の投影ビームPBを供給する。個別に制御可能な要素のアレイPPM(例えば、プログラム可能なミラーアレイ)は、パターンを投影ビームに付け加える。一般に、個別に制御可能な要素のアレイの位置は、品目PLに対して固定される。しかしながら、その代わりに品目PLに対して正確に配置するために位置決め手段に結合することもできる。基板(例えば、レジストが塗布されたガラス又はウエハー)Wを支持するための基板テーブル(例えば、ウエハー・テーブル)WTは、品目PLに対して基板を正確に配置するために位置決め手段PWに結合される。投影システム(「レンズ」)PLは、個別に制御可能な要素のアレイPPMによって投影ビームPBに付与されたパターンを基板Wの目標部分C(例えば、1つ又は複数のダイを含む)上に写す。この投影システムは、個別に制御可能な要素のアレイを基板上に写すことができる。別法として、投影システムは、個別に制御可能な要素のアレイの要素がそれ用のシャッターとして働く二次的な供給源を写すこともできる。
様々な例では、MLA内のレンズの位置を変更するためには、MLA全体を変形させることができるか、又はMLA内の局所的な領域を変形させることができるかのいずれかである。これを達成するために、アクチュエータがMLA内、又は周辺に配置される。圧電アクチュエータが、その簡単さ、コスト及び使用の容易さから特に適していることが見出されてきた。
図6は、本発明の一実施例による、1つ又は複数の上記実施例及び/又は本発明の複数の例を如何に実施することができるかの一例を示す。カメラ30が、基板Wの移動方向に、投影システムPLの上流側方向で基板Wの上方に配置される。このカメラ30は、基板Wの表面高さを検出する。このデータは制御器35に供給され、それがMLA内の、又は周囲のアクチュエータ(図示せず)を制御する。カメラ30が基板Wの表面高さの変化を検出するとき、投影ビームPBの焦点が基板Wの上表面にとどまっているように、この変化を補償するためにアクチュエータを作動させることができる。
本発明の様々な実施例を上記で説明してきたが、それらは例示としてのみ示したもので、限定ではないことを理解されたい。関連する分野の技術者には、本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく、本発明の形態及び詳細に様々な変化を行うことができることは明らかであろう。したがって、本発明の広がりと範囲は、上記で説明した例示的な実施例によって限定されるべきではなく、以下の特許請求の範囲及びそれらの均等物に従ってのみ定義されるべきである。
BD ビーム伝達システム
C 目標部分
IF 干渉計測手段
IL 照明システムCO 集光器
IN 積分器
PPM 個別に制御可能な要素
PL 投影システム(「レンズ」)
PB 投影ビーム
PW 位置決め手段
SO 放射源
W 基板
WT 基板テーブル
11、12、13、14、15 圧電アクチュエータ
18 フレーム
21、22、23、24 アクチュエータ
30 カメラ
35 制御器
Claims (5)
- 放射ビームを整える照明システムと、
ビームにパターンを与える個別に制御可能な要素のアレイと、
パターンを与えられたビームを基板の目標部分上に投影する投影システムであって、
レンズのアレイ中の各レンズが前記パターンを与えられたビームの異なる部分を伝達するように、平面に配置されたレンズのアレイと、
レンズの前記アレイ内の局所的な領域を変形させるように、個々のレンズの間に配置された少なくとも1つのアクチュエータとを備える投影システムとを備え、
前記少なくとも1つのアクチュエータは、レンズの前記アレイをレンズの前記アレイの平面内で伸張させる、リソグラフィ装置。 - 前記少なくとも1つのアクチュエータは、レンズの前記アレイをレンズの前記アレイの平面内で伸張させることによって、前記リソグラフィ装置の倍率を非対称的に変化させる、請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのアクチュエータのうちの1つの動作が前記レンズのうちの1つの位置を別の前記レンズに対してレンズの前記アレイの平面に垂直な方向に変化させる、請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのアクチュエータは少なくとも1つの圧電アクチュエータを含む、請求項1に記載の装置。
- 個別に制御可能な要素のアレイを使用して放射ビームにパターンを与えるステップと、
レンズのアレイ中の各レンズが前記パターンを与えられたビームの異なる部分を伝達するように、平面に配置された少なくとも1つのレンズのアレイを使用して、前記パターンを与えられたビームを基板の目標部分上に投影するステップと、
レンズの前記アレイを要求される形状にセットする少なくとも1つのアクチュエータを使用して、レンズの前記アレイの形状を制御するステップとを含み、
前記少なくとも1つのアクチュエータは、レンズの前記アレイ内の局所的な領域を変形させるように、個々のレンズの間に配置され、
前記少なくとも1つのアクチュエータは、レンズの前記アレイをレンズの前記アレイの平面内で伸張させる、デバイス製造方法。
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