JP4450765B2 - ヒートシンク材及びその製造方法 - Google Patents
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Description
14…金属 20、20A、20B…ブロック
22a〜22h…マイカシート 24a、24b…セラミックシート
26…包装体 28…針金
30…孔 32…予熱炉
40…プレス機 44…金型
48…パンチ 64…溶湯
Claims (25)
- カーボン又はグラファイトと、金属とを含み、
前記カーボン又はグラファイトを焼成してネットワーク化することによって得られる多孔質焼結体に前記金属が含浸されて構成され、
直交する3軸方向の平均又はいずれかの軸方向の熱伝導率が180W/mK以上であって、かつ、
熱膨張率が1ppm/℃〜10ppm/℃であると共に、
前記金属に、カーボン又はグラファイトとの界面の少なくとも密着性改善のための元素が添加されていることを特徴とするヒートシンク材において、
前記金属は、Cu、Alから選択された少なくとも1種であり、
前記界面の少なくとも密着性改善のための添加元素がFeであって、該Feが1.2〜4wt%添加され、
前記金属に、湯流れ性を向上させるためのSiが2.8〜12wt%添加されていることを特徴とするヒートシンク材。 - 請求項1記載のヒートシンク材において、
前記Feが少なくとも1.2wt%以上添加され、かつ、前記Siが少なくとも2.8wt%以上添加されていることを特徴とするヒートシンク材。 - 請求項1又は2記載のヒートシンク材において、
前記金属が含浸された後の前記多孔質焼結体の引張強度が3.5MPa以上であることを特徴とするヒートシンク材。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のヒートシンク材において、
閉気孔率が12vol%以下であることを特徴とするヒートシンク材。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のヒートシンク材において、
前記カーボン又はグラファイトとして、熱伝導率が100W/mK以上のものが使用されていることを特徴とするヒートシンク材。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のヒートシンク材において、
前記カーボン又はグラファイトと前記金属との体積率が、前記カーボン又はグラファイトが20vol%〜95vol%、金属が80vol%〜5vol%の範囲であることを特徴とするヒートシンク材。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のヒートシンク材において、
前記カーボン又はグラファイトと前記金属との体積率が、前記カーボン又はグラファイトが50vol%〜95vol%、金属が50vol%〜5vol%の範囲であることを特徴とするヒートシンク材。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載のヒートシンク材において、
前記カーボン又はグラファイトの表面に、カーバイド層が形成されていることを特徴とするヒートシンク材。 - 請求項8記載のヒートシンク材において、
前記カーバイド層の形成は、少なくとも前記カーボン又はグラファイトと前記添加元素であるFe及びSiとの反応に基づくものであることを特徴とするヒートシンク材。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載のヒートシンク材において、
最小の熱伝導率をとる方向と、最大の熱伝導率をとる方向で、熱伝導率の比が1:5以下であることを特徴とするヒートシンク材。 - 請求項1〜10のいずれか1項に記載のヒートシンク材において、
前記多孔質焼結体の気孔率が5vol%〜50vol%であって、平均気孔径が0.1μm〜200μmであることを特徴とするヒートシンク材。 - 請求項1〜11のいずれか1項に記載のヒートシンク材を製造するためのヒートシンク材の製造方法であって、
カーボン又はグラファイトを焼成してネットワーク化することによって多孔質焼結体を作製する焼成工程と、
前記多孔質焼結体を多数の孔が形成された保温部材にて包み、鉄製の締め付け手段にて固定する包装工程と、
Cu、Alから選択された少なくとも1種の金属を前記多孔質焼結体中に含浸させる含浸工程とを有することを特徴とするヒートシンク材の製造方法。 - 請求項12記載のヒートシンク材の製造方法において、
前記保温部材は、マイカ製のシートを含むことを特徴とするヒートシンク材の製造方法。 - 請求項12又は13記載のヒートシンク材の製造方法において、
前記締め付け手段は、針金であることを特徴とするヒートシンク材の製造方法。 - 請求項12〜14のいずれか1項に記載のヒートシンク材の製造方法において、
少なくとも前記含浸工程に至る一連の工程を1サイクルとしたとき、2サイクル以降は、直前のサイクルもしくはそれ以前のサイクルにおける前記含浸工程にて前記多孔質焼結体に含浸されなかった金属を含浸用の金属として再利用することを特徴とするヒートシンク材の製造方法。 - 請求項15記載のヒートシンク材の製造方法において、
前記含浸用の金属として再利用される金属に4wt%を超えるFeが含有された段階で、前記再利用を止めることを特徴とするヒートシンク材の製造方法。 - 請求項12〜16のいずれか1項に記載のヒートシンク材の製造方法において、
前記包装工程と前記含浸工程との間に、前記包装工程にて包装された前記多孔質焼結体を予熱する工程を有することを特徴とするヒートシンク材の製造方法。 - 請求項12〜17のいずれか1項に記載のヒートシンク材の製造方法において、
前記含浸工程は、
前記保温部材にて包まれ、且つ、前記鉄製の締め付け手段にて固定された前記多孔質焼結体をプレス機の金型内に収容する工程と、
前記金型内に前記金属の溶湯を注湯する工程と、
前記プレス機のパンチで前記溶湯を押し下げ圧入して前記多孔質焼結体中に前記溶湯を含浸させる工程とを有することを特徴とするヒートシンク材の製造方法。 - 請求項12〜17のいずれか1項に記載のヒートシンク材の製造方法において、
前記焼成工程と前記包装工程との間に、前記焼成工程にて作製された前記多孔質焼結体を加工して加工体を作製する加工工程を有し、
前記包装工程は、少なくとも1つの前記加工体を保温部材にて包み、鉄製の締め付け手段にて固定することを特徴とするヒートシンク材の製造方法。 - 請求項19記載のヒートシンク材の製造方法において、
前記包装工程は、2つ以上の前記加工体を保温部材にて包み、鉄製の締め付け手段にて固定する場合に、前記加工体の間に、該加工体よりも前記金属を含浸しやすい物体を挟んで行うことを特徴とするヒートシンク材の製造方法。 - 請求項19又は20記載のヒートシンク材の製造方法において、
前記包装工程と前記含浸工程との間に、前記包装工程にて包装された少なくとも1つの前記加工体を予熱する工程を有することを特徴とするヒートシンク材の製造方法。 - 請求項19〜21のいずれか1項に記載のヒートシンク材の製造方法において、
前記含浸工程は、
前記保温部材にて包まれ、且つ、前記鉄製の締め付け手段にて固定された少なくとも1つの前記加工体をプレス機の金型内に収容する工程と、
前記金型内に前記金属の溶湯を注湯する工程と、
前記プレス機のパンチで前記溶湯を押し下げ圧入して前記加工体中に前記溶湯を含浸させる工程とを有することを特徴とするヒートシンク材の製造方法。 - 請求項18又は22記載のヒートシンク材の製造方法において、
前記パンチによる圧入時の圧力が、前記多孔質焼結体の圧縮強度の5倍以下であることを特徴とするヒートシンク材の製造方法。 - 請求項23記載のヒートシンク材の製造方法において、
前記パンチによる圧入時の圧力が、1.01〜202MPaであることを特徴とするヒートシンク材の製造方法。 - 請求項12〜24のいずれか1項に記載のヒートシンク材の製造方法において、
さらに、少なくとも前記金属が含浸された前記多孔質焼結体を冷却する冷却工程を有し、
前記冷却工程は、
前記多孔質焼結体に前記金属が含浸された前記ヒートシンク材を、冷却ガスの吹き付けもしくは冷却水が供給されている少なくとも冷却ゾーンで冷却することを特徴とするヒートシンク材の製造方法。
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