JP2011108862A - パッケージおよびその封止方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】貫通孔を塞ぐときに発生する割れを防止できるパッケージの提供。
【解決手段】本発明は、水晶振動子2が収容される空間を有するパッケージ本体4と、パッケージ本体4の開口部を塞ぐ蓋体5と、を備えている。そして、パッケージ本体4の開口部は、蓋体5により塞がれている。パッケージ本体4の底部の厚さ方向には、貫通孔7が設けられている。貫通孔7は、金属ガラス8が充填されて塞がれ、これによりパッケージ3内が気密状態で封止される。貫通孔7の金属ガラス8の充填は、貫通孔7内において溶融させた金属ガラス8を非晶質状態で再凝固させることにより行う。
【選択図】図1
【解決手段】本発明は、水晶振動子2が収容される空間を有するパッケージ本体4と、パッケージ本体4の開口部を塞ぐ蓋体5と、を備えている。そして、パッケージ本体4の開口部は、蓋体5により塞がれている。パッケージ本体4の底部の厚さ方向には、貫通孔7が設けられている。貫通孔7は、金属ガラス8が充填されて塞がれ、これによりパッケージ3内が気密状態で封止される。貫通孔7の金属ガラス8の充填は、貫通孔7内において溶融させた金属ガラス8を非晶質状態で再凝固させることにより行う。
【選択図】図1
Description
本発明は、水晶振動子などの電子部品が収容されるパッケージ、およびこのパッケージの封止方法に関する。
従来、この種のパッケージとしては、例えば特許文献1に記載のように圧電デバイスに適用されるものが知られている。
この従来の圧電デバイスは、圧電振動片と、この圧電振動片を収容するパッケージと、を備えている。パッケージは、圧電振動片が収容されセラミックなどからなる容器本体と、容器本体の開口部を塞ぐ蓋体とを備え、容器本体に蓋体が接合される。容器本体の一部には、製造工程において、ガスを排気するための貫通孔が設けられている。そして、その貫通孔は、結晶合金などを充填することによって塞がれている。
この従来の圧電デバイスは、圧電振動片と、この圧電振動片を収容するパッケージと、を備えている。パッケージは、圧電振動片が収容されセラミックなどからなる容器本体と、容器本体の開口部を塞ぐ蓋体とを備え、容器本体に蓋体が接合される。容器本体の一部には、製造工程において、ガスを排気するための貫通孔が設けられている。そして、その貫通孔は、結晶合金などを充填することによって塞がれている。
ところで、貫通孔の充填材としては、例えばAu(金)などを主成分とする結晶合金が使用されている。そして、貫通孔を塞ぐときには、結晶合金を加熱、溶融させて貫通孔内で凝固させるようにしている。
しかし、結晶合金を使用する場合には、結晶合金の凝固時に発生する収縮応力と高いヤング率によって、貫通孔を塞ぐときに、容器本体(パッケージ)に割れが発生するという不具合がある。また、結晶合金としてAuを主成分とする場合には、充填部材として高価であり、低減化が望まれていた。
しかし、結晶合金を使用する場合には、結晶合金の凝固時に発生する収縮応力と高いヤング率によって、貫通孔を塞ぐときに、容器本体(パッケージ)に割れが発生するという不具合がある。また、結晶合金としてAuを主成分とする場合には、充填部材として高価であり、低減化が望まれていた。
そこで、本発明の幾つかの態様の目的は、貫通孔を塞ぐときに発生する割れを防止できるパッケージの提供、およびそのパッケージの封止方法を提供することにある。
上記の課題を解決し本発明の目的を達成するために、本発明は、以下のように構成される。
本発明の態様の1つは、電子部品が収容されるパッケージであって、前記パッケージの一部に貫通孔が形成され、前記貫通孔は、金属ガラスが充填されて塞がれている。
このような構成によれば、貫通孔を塞ぐときに発生するパッケージの割れを防止することが可能となる。
前記貫通孔の内周面には、金属ガラスの再凝固時に冷却を行うヒートシンクが形成されている。
このような構成によれば、貫通孔内において金属ガラスを再凝固させるときに、金属ガラスの冷却を促進させて、急速な冷却に寄与できる。
本発明の態様の1つは、電子部品が収容されるパッケージであって、前記パッケージの一部に貫通孔が形成され、前記貫通孔は、金属ガラスが充填されて塞がれている。
このような構成によれば、貫通孔を塞ぐときに発生するパッケージの割れを防止することが可能となる。
前記貫通孔の内周面には、金属ガラスの再凝固時に冷却を行うヒートシンクが形成されている。
このような構成によれば、貫通孔内において金属ガラスを再凝固させるときに、金属ガラスの冷却を促進させて、急速な冷却に寄与できる。
また、ヒートシンクの材料は金属であるので、金属ガラスの凝固後は、金属ガラスとヒートシンクとは金属同士の接合となり、両者の接着性が向上する。
前記貫通孔は、前記パッケージの外側の開口部が前記パッケージの内側の開口部よりも広くなっている。
このような構成によれば、貫通孔内において金属ガラスを溶融させて再凝固させるときに、金属ガラスが貫通孔内の開口からパッケージ内に落下するのを防止できる。
前記貫通孔は、前記パッケージの外側の開口部が前記パッケージの内側の開口部よりも広くなっている。
このような構成によれば、貫通孔内において金属ガラスを溶融させて再凝固させるときに、金属ガラスが貫通孔内の開口からパッケージ内に落下するのを防止できる。
さらに、本発明の他の態様は、貫通孔を有し、電子部品が収容されるパッケージの封止方法であって、金属ガラスを加熱、溶融させて、前記貫通孔内において非晶質状態で再凝固させ、前記貫通孔内に金属ガラスを充填させる充填工程を、有する。
この方法によれば、凝固時の収縮量が小さく、かつ、ヤング率が小さい金属ガラスを貫通孔の充填材として使用するようにしたので、パッケージの封止時に、その封止部にかかる応力を小さくでき、パッケージの割れの発生を防止できる。
前記充填工程に先立って行う前処理工程をさらに有し、前記前処理工程では、前記金属ガラスの再凝固時に冷却を行うヒートシンクを、前記貫通孔の内周面に形成させる。
この方法によれば、凝固時の収縮量が小さく、かつ、ヤング率が小さい金属ガラスを貫通孔の充填材として使用するようにしたので、パッケージの封止時に、その封止部にかかる応力を小さくでき、パッケージの割れの発生を防止できる。
前記充填工程に先立って行う前処理工程をさらに有し、前記前処理工程では、前記金属ガラスの再凝固時に冷却を行うヒートシンクを、前記貫通孔の内周面に形成させる。
この方法によれば、貫通孔内において金属ガラスを再凝固させるときに、金属ガラスの冷却を促進させて、急速な冷却に寄与できる。
前記充填工程では、前記貫通孔内に収容させた金属ガラスに対してレーザ光を照射し、当該金属ガラスを加熱、溶融させて、前記貫通孔内において再凝固させるようにした。
この方法によれば、レーザ光の特徴を活かして、局所加熱ができるとともに、その加熱後の急速な冷却が可能である。
前記充填工程では、前記充填工程では、金属ガラスを加熱して流動化しておき、流動化状態の金属ガラスを前記貫通孔内に収容させて再凝固させるようにした。
この方法によれば、充填工程として粘性流動加工が適用できる。
前記充填工程では、前記貫通孔内に収容させた金属ガラスに対してレーザ光を照射し、当該金属ガラスを加熱、溶融させて、前記貫通孔内において再凝固させるようにした。
この方法によれば、レーザ光の特徴を活かして、局所加熱ができるとともに、その加熱後の急速な冷却が可能である。
前記充填工程では、前記充填工程では、金属ガラスを加熱して流動化しておき、流動化状態の金属ガラスを前記貫通孔内に収容させて再凝固させるようにした。
この方法によれば、充填工程として粘性流動加工が適用できる。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
(パッケージの第1実施形態)
図1は、本発明のパッケージの第1実施形態が適用される電子デバイスの構成を示す断面図である。
この電子デバイス1は、図1に示すように、電子部品である水晶振動子2と、この水晶振動子2が収容されるパッケージ3と、を備えている。
第1実施形態に係るパッケージ3は、図1に示すように、例えば矩形の箱状に形成されている。具体的には、パッケージ3は、水晶振動子2が収容される空間を有するパッケージ本体4と、パッケージ本体4の開口部を塞ぐ蓋体5と、を備えている。そして、パッケージ本体4の開口部は、蓋体5により塞がれている。パッケージ本体4はセラミックス(例えばアルミナ系セラミックス)などで構成され、蓋体5は酸化物透明ガラスなどで構成されている。
(パッケージの第1実施形態)
図1は、本発明のパッケージの第1実施形態が適用される電子デバイスの構成を示す断面図である。
この電子デバイス1は、図1に示すように、電子部品である水晶振動子2と、この水晶振動子2が収容されるパッケージ3と、を備えている。
第1実施形態に係るパッケージ3は、図1に示すように、例えば矩形の箱状に形成されている。具体的には、パッケージ3は、水晶振動子2が収容される空間を有するパッケージ本体4と、パッケージ本体4の開口部を塞ぐ蓋体5と、を備えている。そして、パッケージ本体4の開口部は、蓋体5により塞がれている。パッケージ本体4はセラミックス(例えばアルミナ系セラミックス)などで構成され、蓋体5は酸化物透明ガラスなどで構成されている。
水晶振動子2は、パッケージ本体4内の所定位置に収容されている。そして、水晶振動子2の一端側に設けた電極(図示せず)は、パッケージ本体4内に形成される電極(図示せず)と導電性接着剤6により接合されている。
パッケージ本体4の底部の厚さ方向には、製造工程においてガスを排気するために設け、その後に塞がれる貫通孔(封止孔)7が設けられている。貫通孔7は、図2に示すように、パッケージ本体4の底部であってパッケージ本体4の外部側に設けられた第1の孔71と、この第1の孔71に連通しパッケージ本体4の内部側に設けられた第2の孔72とからなる。そして、第1の孔71の内径d1と第2の孔72の内径d2は、d1>d2の関係にある。
貫通孔7は、金属ガラス8が充填されて塞がれ、これによりパッケージ3内が気密状態で封止される。貫通孔7の金属ガラス8の充填は、貫通孔7内において溶融させた金属ガラス8を非晶質状態で再凝固させることにより行う。
パッケージ本体4の底部の厚さ方向には、製造工程においてガスを排気するために設け、その後に塞がれる貫通孔(封止孔)7が設けられている。貫通孔7は、図2に示すように、パッケージ本体4の底部であってパッケージ本体4の外部側に設けられた第1の孔71と、この第1の孔71に連通しパッケージ本体4の内部側に設けられた第2の孔72とからなる。そして、第1の孔71の内径d1と第2の孔72の内径d2は、d1>d2の関係にある。
貫通孔7は、金属ガラス8が充填されて塞がれ、これによりパッケージ3内が気密状態で封止される。貫通孔7の金属ガラス8の充填は、貫通孔7内において溶融させた金属ガラス8を非晶質状態で再凝固させることにより行う。
次に、金属ガラス8の具体例について説明する。
金属ガラス8としては、Mg(マグネシウム)を主成分とする合金、Pt(プラチナ)を主成分とする合金、Pd(パラジウム)を主成分とする合金、Zr(ジルコニウム)を主成分とする合金、Fe(鉄)を主成分とする合金、Co(コバルト)を主成分とする合金などがあげられる。
これらを主成分とする各種の合金の一例を示すと、例えば、図4に示す図表のようになる。
以上のように、図1のパッケージ3では、貫通孔7を塞ぐ充填材として、凝固時の収縮量が小さく、かつ、ヤング率が小さい金属ガラス8を使用するようにした。このため、パッケージ3の封止時に、その貫通孔7の近傍にかかる応力を小さくでき、パッケージ3の割れの発生を防止できる。
金属ガラス8としては、Mg(マグネシウム)を主成分とする合金、Pt(プラチナ)を主成分とする合金、Pd(パラジウム)を主成分とする合金、Zr(ジルコニウム)を主成分とする合金、Fe(鉄)を主成分とする合金、Co(コバルト)を主成分とする合金などがあげられる。
これらを主成分とする各種の合金の一例を示すと、例えば、図4に示す図表のようになる。
以上のように、図1のパッケージ3では、貫通孔7を塞ぐ充填材として、凝固時の収縮量が小さく、かつ、ヤング率が小さい金属ガラス8を使用するようにした。このため、パッケージ3の封止時に、その貫通孔7の近傍にかかる応力を小さくでき、パッケージ3の割れの発生を防止できる。
また、図1のパッケージ3では、貫通孔7を塞ぐ充填材として、Auを含有しない合金を使用するようにしたので、貫通孔7の充填に必要な材料費を節減できる。
さらに、図1のパッケージ3では、貫通孔7を第1の孔71と第2の孔72とで形成し、それらの内径d1、d2はd1>d2の関係になるようにした。このため、貫通孔7内において金属ガラス8を充填するときに、溶融状態の金属ガラス8が貫通孔7の開口からパッケージ3内に落下するのを防止できる。
さらに、図1のパッケージ3では、貫通孔7を第1の孔71と第2の孔72とで形成し、それらの内径d1、d2はd1>d2の関係になるようにした。このため、貫通孔7内において金属ガラス8を充填するときに、溶融状態の金属ガラス8が貫通孔7の開口からパッケージ3内に落下するのを防止できる。
(パッケージの第2実施形態)
図3は、本発明のパッケージの第2実施形態が適用される、電子デバイスの構成を示す断面図である。
この電子デバイス1aは、図1に示す電子デバイス1の構成を基本にし、パッケージ3の構成を図3に示すパッケージ3aに置き換えたものである。このため、第2実施形態に係るパッケージ3aは、パッケージ本体4aと、パッケージ本体4aの開口部に塞ぐ蓋体5と、を備えている。
図3は、本発明のパッケージの第2実施形態が適用される、電子デバイスの構成を示す断面図である。
この電子デバイス1aは、図1に示す電子デバイス1の構成を基本にし、パッケージ3の構成を図3に示すパッケージ3aに置き換えたものである。このため、第2実施形態に係るパッケージ3aは、パッケージ本体4aと、パッケージ本体4aの開口部に塞ぐ蓋体5と、を備えている。
パッケージ本体4aは、図1のパッケージ本体4の構成を基本にし、貫通孔7の内周面の一部または全部にヒートシンク9を形成させ、この点の構成を追加した。そして、ヒートシンク9を内周面に形成させた貫通孔7は、金属ガラス8が充填されて塞がれ、これによりパッケージ3a内が気密状態で封止される。
ここで、電子デバイス1aの他の部分の構成は、電子デバイス1の構成と同様であるので、同一の構成要素には同一符号を付してその説明は省略する。
ここで、電子デバイス1aの他の部分の構成は、電子デバイス1の構成と同様であるので、同一の構成要素には同一符号を付してその説明は省略する。
次に、ヒートシンク9の具体的な構成について説明する。
ヒートシンク9は、貫通孔7内において溶解させた金属ガラス8を再凝固させるときに、金属ガラス8の冷却を行い、非晶質状態で再凝固させるために設けるものである。このヒートシンク9は、図3の例では貫通孔7のうちの第1の孔71の内周面に、メッキにより一定の厚さで形成されている。
ヒートシンク9に使用される材料としては、熱伝導率が高く冷却性能が優れた金属が好適であり、Cu(銅)、Al(アルミニウム)などが使用される。
ヒートシンク9は、貫通孔7内において溶解させた金属ガラス8を再凝固させるときに、金属ガラス8の冷却を行い、非晶質状態で再凝固させるために設けるものである。このヒートシンク9は、図3の例では貫通孔7のうちの第1の孔71の内周面に、メッキにより一定の厚さで形成されている。
ヒートシンク9に使用される材料としては、熱伝導率が高く冷却性能が優れた金属が好適であり、Cu(銅)、Al(アルミニウム)などが使用される。
以上のように、図3のパッケージ3aでは、パッケージ本体4aに設けた貫通孔7の内周面の一部または全部にヒートシンク9を形成させるようにした。このため、貫通孔7内において金属ガラス8を再凝固させるときに、金属ガラス8の急速な冷却に寄与でき、非晶質状態で再凝固させることができる。
したがって、図3のパッケージ3aでは、図1のパッケージ3に比較して、より広い範囲の金属ガラスを適用することができる。
さらに、ヒートシンク9の材料は金属であるので、金属ガラス8の凝固後は、金属ガラス8とヒートシンク9とは金属同士の接合となり、両者の接着性が向上する。
したがって、図3のパッケージ3aでは、図1のパッケージ3に比較して、より広い範囲の金属ガラスを適用することができる。
さらに、ヒートシンク9の材料は金属であるので、金属ガラス8の凝固後は、金属ガラス8とヒートシンク9とは金属同士の接合となり、両者の接着性が向上する。
(パッケージの封止方法の第1実施形態)
次に、本発明のパッケージの封止方法の第1実施形態が適用される、図1に示す電子デバイス1の製造方法について図5を参照して説明する。
この製造方法では、パッケージ本体4の貫通孔7に充填する金属ガラス8は、Pdを主成分とする合金(Pd基合金)を使用し、その重量比は図4に示す図表中の上から3番目に示すものとした。
次に、本発明のパッケージの封止方法の第1実施形態が適用される、図1に示す電子デバイス1の製造方法について図5を参照して説明する。
この製造方法では、パッケージ本体4の貫通孔7に充填する金属ガラス8は、Pdを主成分とする合金(Pd基合金)を使用し、その重量比は図4に示す図表中の上から3番目に示すものとした。
次に、この製造方法について具体的に説明する。
まず、パッケージ3の構成部品として、パッケージ本体4および蓋体5をそれぞれ製造する。
パッケージ本体4は、例えば以下のような手順により製造する。
(1)原料を調整してシートを形成する。
(2)そのシートを例えば3つに分割し、その各シートに対して孔開けや回路印刷などを行う。
(3)3つのシートを積層することにより、パッケージ本体になるべきものが複数(例えば4つ)形成された積層基板を形成させる。
(4)その積層基板からその後に複数のパッケージ本体を分離(切断)できるように、積層基板に切断溝を形成する。
(5)その後、積層基板を焼成させる。
(6)焼成させた積層基板の回路部に対して所定のメッキを施す。
(7)その積層基板を分割すると、パッケージ本体4が完成する。
まず、パッケージ3の構成部品として、パッケージ本体4および蓋体5をそれぞれ製造する。
パッケージ本体4は、例えば以下のような手順により製造する。
(1)原料を調整してシートを形成する。
(2)そのシートを例えば3つに分割し、その各シートに対して孔開けや回路印刷などを行う。
(3)3つのシートを積層することにより、パッケージ本体になるべきものが複数(例えば4つ)形成された積層基板を形成させる。
(4)その積層基板からその後に複数のパッケージ本体を分離(切断)できるように、積層基板に切断溝を形成する。
(5)その後、積層基板を焼成させる。
(6)焼成させた積層基板の回路部に対して所定のメッキを施す。
(7)その積層基板を分割すると、パッケージ本体4が完成する。
次いで、その完成したパッケージ本体4内に水晶振動子2を収納し、水晶振動子2の一端側に設けた電極(図示せず)を、パッケージ本体4内に形成される電極(図示せず)と導電性接着剤6により接合させる、そして、パッケージ本体4の開口部を接着剤を用いて蓋体5で塞ぐと、図5(A)に示す状態になる。
そして、図5(B)に示すように、外部から蓋体5を介してレーザ光を水晶振動子2に対して照射することにより、水晶振動子2の電極などをトリミングして、水晶振動子2の発振周波数を調整する。その際、パッケージ3内に微量のガスが発生するので、そのガスを貫通孔7から外部に真空排気する。
そして、図5(B)に示すように、外部から蓋体5を介してレーザ光を水晶振動子2に対して照射することにより、水晶振動子2の電極などをトリミングして、水晶振動子2の発振周波数を調整する。その際、パッケージ3内に微量のガスが発生するので、そのガスを貫通孔7から外部に真空排気する。
その後、パッケージ本体4の貫通孔7の第1の孔71内に所定の大きさの金属ガラス8を収容(配置)させ、その金属ガラス8に対してレーザ光を照射させる。これにより、金属ガラス8は、加熱されて第1の孔71内で溶融され、非晶質状態で再凝固される。これにより、金属ガラス8は、その再凝固により金第1の孔71内に充填され、貫通孔7を塞いた状態になる(図5(C)参照)。
ここで、金属ガラス8は凝固時の収縮量が小さく、かつ、ヤング率が小さいので、その凝固時に、貫通孔7の近傍にかかる応力を小さくでき、パッケージ3の割れの発生を防止できる。
ここで、金属ガラス8は凝固時の収縮量が小さく、かつ、ヤング率が小さいので、その凝固時に、貫通孔7の近傍にかかる応力を小さくでき、パッケージ3の割れの発生を防止できる。
このような方法によれば、貫通孔7を封止する充填材として、凝固時の収縮量が小さく、かつ、ヤング率が小さい金属ガラスを使用するようにした。このため、パッケージ3の封止時に、その封止部にかかる応力を小さくでき、パッケージ3の割れの発生を防止できる。
なお、以上述べた方法では、金属ガラスとしてPd基合金を使用したが、これ以外に図4に示すようなMg基合金、Pt基合金、Zr基合金、Fe基合金、Co基合金などを使用することができる。
なお、以上述べた方法では、金属ガラスとしてPd基合金を使用したが、これ以外に図4に示すようなMg基合金、Pt基合金、Zr基合金、Fe基合金、Co基合金などを使用することができる。
(パッケージの封止方法の第2実施形態)
次に、本発明のパッケージの封止方法の第2実施形態が適用される、図3に示す電子デバイス1aの製造方法について図6を参照して説明する。
この製造方法では、パッケージ本体4aの貫通孔7に充填する金属ガラス8は、Pd基合金を使用し、その重量比は図4に示す図表中の上から3番目に示すものとした。
また、この製造方法は、図5に示す製造方法を基本にし、図6(A)に示すような前処理工程を追加した点に特徴がある。
次に、本発明のパッケージの封止方法の第2実施形態が適用される、図3に示す電子デバイス1aの製造方法について図6を参照して説明する。
この製造方法では、パッケージ本体4aの貫通孔7に充填する金属ガラス8は、Pd基合金を使用し、その重量比は図4に示す図表中の上から3番目に示すものとした。
また、この製造方法は、図5に示す製造方法を基本にし、図6(A)に示すような前処理工程を追加した点に特徴がある。
次に、この製造方法について具体的に説明する。
まず、パッケージ3aの構成部品として、パッケージ本体4aおよび蓋体5をそれぞれ製造する。
パッケージ本体4aの製造は、上述したパッケージ本体4と同様に製造するが、図6(A)に示すように、パッケージ本体4aでは貫通孔7の内周面にヒートシンク9を予め形成させる必要がある。
そこで、そのヒートシンク9を形成する工程を、上記のパッケージ本体4の製造で説明した工程中の(6)の段階に含ませるようにした。すなわち、焼成させた積層基板の回路部に対して所定のメッキを施すときに、貫通孔7の内周面に相当する部分にもメッキを施してヒートシンク9を形成するようにした。
このような前処理により、ヒートシンク9が追加されたパッケージ本体4aを製造することができる(図6(A)参照)。
まず、パッケージ3aの構成部品として、パッケージ本体4aおよび蓋体5をそれぞれ製造する。
パッケージ本体4aの製造は、上述したパッケージ本体4と同様に製造するが、図6(A)に示すように、パッケージ本体4aでは貫通孔7の内周面にヒートシンク9を予め形成させる必要がある。
そこで、そのヒートシンク9を形成する工程を、上記のパッケージ本体4の製造で説明した工程中の(6)の段階に含ませるようにした。すなわち、焼成させた積層基板の回路部に対して所定のメッキを施すときに、貫通孔7の内周面に相当する部分にもメッキを施してヒートシンク9を形成するようにした。
このような前処理により、ヒートシンク9が追加されたパッケージ本体4aを製造することができる(図6(A)参照)。
次いで、その完成したパッケージ本体4a内に水晶振動子2を収納し、水晶振動子2の一端側に設けた電極(図示せず)を、パッケージ本体4a内に形成される電極(図示せず)と導電性接着剤6により接合させる、そして、パッケージ本体4の開口部を接着剤を用いて蓋体5で塞ぐと、図6(B)に示す状態になる。
そして、図6(C)に示すように、外部から蓋体5を介してレーザ光を水晶振動子2に対して照射することにより、水晶振動子2の電極などをトリミングして、水晶振動子2の発振周波数を調整する。その際、パッケージ3a内に微量はガスが発生するので、そのガスを貫通孔7から外部に真空排気する。
そして、図6(C)に示すように、外部から蓋体5を介してレーザ光を水晶振動子2に対して照射することにより、水晶振動子2の電極などをトリミングして、水晶振動子2の発振周波数を調整する。その際、パッケージ3a内に微量はガスが発生するので、そのガスを貫通孔7から外部に真空排気する。
その後、パッケージ本体4aの貫通孔7の第1の孔71内に所定の大きさの金属ガラス8を収容(配置)させ、その金属ガラス8に対してレーザ光を照射させる。これにより、金属ガラス8は、加熱されて第1の孔71内で溶融され、再凝固される。
このとき、ヒートシンク9は、金属ガラス8の冷却を促進させ、非晶質状態で金属ガラス8を再凝固させる。これにより、金属ガラス8は、その再凝固により金第1の孔71内に充填され、貫通孔7を塞いた状態になる(図6(D)参照)。
このとき、ヒートシンク9は、金属ガラス8の冷却を促進させ、非晶質状態で金属ガラス8を再凝固させる。これにより、金属ガラス8は、その再凝固により金第1の孔71内に充填され、貫通孔7を塞いた状態になる(図6(D)参照)。
このような方法によれば、パッケージ本体4aに設けた貫通孔7の内周面にヒートシンク9を形成させるようにした。このため、貫通孔7内において金属ガラス8を再凝固させるときに、金属ガラス8の冷却を促進させて非晶質状態で再凝固させることができる。したがって、パッケージ3aの封止時に、その封止部にかかる応力を小さくでき、パッケージ3aの割れの発生を防止できる。
また、この方法ではヒートシンク9を使用するようにしたので、金属ガラス8の再凝固時の冷却速度が調整でき、図5の方法に比べて、貫通孔7の充填材としてより広い範囲の金属ガラスを適用することができる。
さらに、この方法によれば、ヒートシンク9の材料は金属であるので、金属ガラス8の凝固後は、金属ガラス8とヒートシンク9とは金属同士の接合となり、両者の接着性が向上する。
さらに、この方法によれば、ヒートシンク9の材料は金属であるので、金属ガラス8の凝固後は、金属ガラス8とヒートシンク9とは金属同士の接合となり、両者の接着性が向上する。
(その他の実施形態など)
(1)図1および図3パッケージ4、4aのそれぞれでは、貫通孔7を内径が異なる第1の孔71と第2の孔72とに分割するようにした。しかし、封止孔7は、パッケージ本体4、4aの外部側の開口部が一番広く、その開口面積がパッケージ本体4の内部側に向けて徐々に小さくなっていくようにしても良い。このようにすれば、図1、図3パッケージ4、4aと同様の作用効果を実現できる。
(1)図1および図3パッケージ4、4aのそれぞれでは、貫通孔7を内径が異なる第1の孔71と第2の孔72とに分割するようにした。しかし、封止孔7は、パッケージ本体4、4aの外部側の開口部が一番広く、その開口面積がパッケージ本体4の内部側に向けて徐々に小さくなっていくようにしても良い。このようにすれば、図1、図3パッケージ4、4aと同様の作用効果を実現できる。
(2)図4に示すように、金属ガラスは、その組成により図4に示すようにガラス転移点Tgに違いがある。そして、金属ガラスは、ガラス転移点Tg以上の温度で結晶化が始まり、結晶化することで大きく収縮するという性質がある。このため、金属ガラスは再結晶時に非結晶化の状態であっても、その使用環境においてガラス転移点Tgを越えると、結晶化する。
このため、図1および図3パッケージ4、4aの貫通孔7の充填に使用する金属ガラス8は、その特性の違いを考慮して使用環境に適したものを選択する必要がある。
このため、図1および図3パッケージ4、4aの貫通孔7の充填に使用する金属ガラス8は、その特性の違いを考慮して使用環境に適したものを選択する必要がある。
(3)上記の方法では、レーザ光により金属ガラスを加熱、溶融させ、再凝固化させることにより、貫通孔7に金属ガラス8を充填するようにした。
しかし、金属ガラスがPd基合金、Pt基合金、Zr基合金などであって、その最大ガラス化径(棒形状)が15mmを越える場合には、レーザ光に代えてリフロー方式(ヒータにより金属ガラスを溶融させ、再凝固化させる方式)が適用可能である。
しかし、金属ガラスがPd基合金、Pt基合金、Zr基合金などであって、その最大ガラス化径(棒形状)が15mmを越える場合には、レーザ光に代えてリフロー方式(ヒータにより金属ガラスを溶融させ、再凝固化させる方式)が適用可能である。
(4)金属ガラスには、過冷却液体領域ΔTx(ΔTx=結晶化温度Tx−ガラス転移点Tg)がある。そして、その過冷却液体領域ΔTxが50Kを越える金属ガラスの場合には、上記のようにレーザ光による加熱、溶融などを行わなくても、ガラス遷移現象を応用した粘性流動加工を使用して貫通孔7に金属ガラスを充填し、その貫通孔7を封止することができる。
この場合には、金属ガラスを加熱して流動化しておき、流動化状態の金属ガラスを貫通孔7内に収容させて再凝固させる。
この場合には、金属ガラスを加熱して流動化しておき、流動化状態の金属ガラスを貫通孔7内に収容させて再凝固させる。
1、1a・・・電子デバイス、2・・・水晶振動子、3、3a・・・パッケージ、4、4a・・・パッケージ本体、5・・・蓋体、6・・・導電性接着材、7・・・貫通孔、8・・・金属ガラス、9・・・ヒートシンク、71・・・第1の孔、72・・・第2の孔
Claims (7)
- 電子部品が収容されるパッケージであって、
前記パッケージの一部に貫通孔が形成され、
前記貫通孔は、金属ガラスが充填されて塞がれていることを特徴とするパッケージ。 - 前記貫通孔の内周面には、金属ガラスの再凝固時に冷却を行うヒートシンクが形成されていることを特徴とする請求項1に記載のパッケージ。
- 前記貫通孔は、前記パッケージの外側の開口部が前記パッケージの内側の開口部よりも広くなっていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のパッケージ。
- 貫通孔を有し、電子部品が収容されるパッケージの封止方法であって、
金属ガラスを加熱、溶融させて、前記貫通孔内において非晶質状態で再凝固させ、前記貫通孔内に金属ガラスを充填させる充填工程を、
有することを特徴とするパッケージの封止方法。 - 前記充填工程に先立って行う前処理工程をさらに有し、
前記前処理工程では、前記金属ガラスの再凝固時に冷却を行うヒートシンクを、前記貫通孔の内周面に形成させることを特徴とする請求項4に記載のパッケージの封止方法。 - 前記充填工程では、前記貫通孔内に収容させた金属ガラスに対してレーザ光を照射し、当該金属ガラスを加熱、溶融させて、前記貫通孔内において再凝固させることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のパッケージの封止方法。
- 前記充填工程では、金属ガラスを加熱して流動化しておき、流動化状態の金属ガラスを前記貫通孔内に収容させて再凝固させることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のパッケージの封止方法。
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CN109422241A (zh) * | 2017-09-05 | 2019-03-05 | 罗伯特·博世有限公司 | 用于以激光熔化封闭微机械装置的方法和微机械装置 |
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- 2009-11-18 JP JP2009262616A patent/JP2011108862A/ja not_active Withdrawn
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