JP4443848B2

JP4443848B2 - カラーフィルター用レジスト材料及びカラーフィルター

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Publication number: JP4443848B2
Application number: JP2003096466A
Authority: JP
Inventors: 俊英板原; 直樹横山; 光一藤城
Original assignee: Nippon Steel Chemical Co Ltd
Current assignee: Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd
Priority date: 2003-03-31
Filing date: 2003-03-31
Publication date: 2010-03-31
Anticipated expiration: 2023-03-31
Also published as: JP2004302245A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルター用レジスト材料及びカラーフィルターに関するものである。詳しくは、カラーフィルターの着色硬化膜を形成する塗膜形成材料とこれを用いて得られるカラーフィルターに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
カラー液晶表示装置に使われるカラーフィルターは、感光性樹脂に光重合開始剤や各種添加剤と赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各着色剤を加えた後、溶剤によってこれら樹脂成分等の濃度等を調整したカラーレジストを塗布、乾燥後、一連の工程によりパターンをフォトリソ法などで形成したものが知られている。その際、塗布工程に於いては一般にスピンコーター、スリット＆スピンコーター、スリットコーター、ロールコーター、バーコーターなどによる塗工が行われ、均一な塗布板を得ており、これを真空乾燥もしくは加熱乾燥により塗布膜を作成している。この時、塗布膜の面内に於いて塗布ムラに伴う色調ムラの発生はカラーフィルターの欠陥となる。
【０００３】
カラーフィルターは、通常スピンコーター、スリット＆スピンコーター、スリットコーター、ロールコーター、バーコーター等の塗布装置を用いて塗布されたのち、溶剤を除くためにオーブンやホットプレートで加熱乾燥するか、減圧乾燥装置で減圧乾燥を行い、均一な塗膜を形成した後パターンを露光、現像する。この乾燥工程の際、オーブンやホットプレートを使用する場合には、均一な加熱が行なわれず熱ムラが発生する。その結果、カラーフィルターの表示領域に雲状のムラが発生し、表示品位を落とす。一方、減圧乾燥による場合は急激な溶剤の揮発により蒸発ムラが発生し、オーブンやホットプレートを用いた場合と同様、カラーフィルターの表示領域に雲状のムラが発生する。そして、この雲状のムラは最終硬化工程後も存続する。
【０００４】
このような塗布ムラの発生傾向は、単一の溶剤を用いた場合に特に顕著である。そこで、従来より、塗布性を向上させるため高沸点の溶剤との併用が行われてきている。これは溶剤の蒸発速度を緩慢にして表面部分のみが先に乾燥する「革張り」と呼ばれる状態を回避し、全体的に均一に乾燥膜が形成されるようにする手段である。しかしながら、高沸点溶剤を併用した場合には、乾燥時間が長くなるほか、乾燥膜表面にタックが残りやすくなり、その結果、異物も付着しやすい。例えば、スピンコートによる保護膜膜厚の不均一性を防止するため、高沸点の溶剤を用いて、塗布時の溶剤蒸発を抑制する方法が、特許文献１に提案されている。しかし、この方法は沸点190℃以上の溶剤を全溶剤の30〜60重量％含むため、真空乾燥時の乾燥時間が長くなるほか、膜表面にタックが残りやすくなり、その結果、異物も付着しやすいという欠点を有する。
【０００５】
一方、一般に、塗布性の向上のためには界面活性剤の添加が有効であることが知られている。界面活性剤は、乾燥時に生じる「ベナードセル」などの蒸発ムラを防止するために添加される。すなわち、これは表面張力を低い値で安定させることで溶剤蒸発時に発生する膜内の表面張力の変化を防止して「ベナードセル」などを発生し難くするものである。しかしながら、表面張力の低下はスピンコート時のガラス基板周辺部におけるレジスト液の戻りが生じ易く、塗布ムラとレジスト液の戻り幅のバランスをとり難いという問題がある。このような事情から、カラーフィルター用レジスト材料として、膜内の表面張力を極端に低下させず、均一に維持する手法が望まれていた。
【０００６】
なお、エポキシ（メタ）アクリレート化合物等の光重合性化合物、光重合開始剤、着色剤を主成分とする材料を溶剤に溶解してなるカラーフィルター用レジスト材料は、特許文献２等において知られている。
【特許文献１】
特開2000−86906号公報
【特許文献２】
特開平6-1938号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、従来のカラーフィルター用レジスト材料の欠点を解消し、塗布ムラが生じにくく、塗布性に優れたカラーフィルター用レジスト材料を提供することを目的とする。また、本発明はこのカラーフィルター用レジスト材料から得られる硬化膜、及びこの硬化膜を有するカラーフィルターを提供することでもある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上述の問題点を解決すべく鋭意検討を行った結果、カラーフィルター用レジスト材料に使用する溶剤として、2種以上の溶剤を用い、その表面張力に注目し、これを制御することで塗布ムラ、塗布性が改善され、色調ムラが解消されたカラーフィルター硬化膜を形成し得ることを見出し本発明を完成した。
【０００９】
すなわち、本発明は、エポキシ（メタ）アクリレート化合物（Ａ１）を必須成分とする光重合性化合物（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、着色剤（Ｃ）を主成分とする成分を溶剤（Ｄ）に溶解してなるカラーフィルター用レジスト材料において、溶剤（Ｄ）は沸点の異なる２種以上の有機溶剤を含み、かつ溶剤中に１ｗｔ％以上含まれる有機溶剤の内、表面張力値が最大の有機溶剤と表面張力値が最小の有機溶剤の表面張力値の差が３ｄｙｎ／ｃｍ以内であることを特徴とするカラーフィルター用レジスト材料である。ここで、上記溶剤（Ｄ）はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル及びジエチレングリコールジエチルエーテルの組み合わせであり、有機溶剤の少なくとも１種が１６０℃以下の低沸点溶剤であり、それの溶剤中の含有量が５０ｗｔ％以上である。なお、上記成分は、溶剤以外の成分をいう。
【００１０】
ここで、有機溶剤の少なくとも1種が160℃以下の低沸点溶剤であり、それの溶剤中の含有量が50wt％以上であること、又は、エポキシ（メタ）アクリレート化合物（Ａ1）が、下記一般式（1）
【化３】

（式中、R₁、R₂は水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン原子の何れかであり、Xは、−CO−、−SO₂−、−C(CF₃)₂−、−Si(CH₃)₂−、−CH₂−、−C(CH₃)₂−、−O−、下記式（２）で表される基、
【化４】

又は直結合を示し、ｎは0〜20であり、AはCH₂=CR'−CO−を示しR'は水素原子又はメチル基を示す。）で表されるエポキシ（メタ）アクリレートと多塩基酸又はその酸無水物とを反応させて得られる化合物であることは有利である。
【００１１】
更に、本発明は、前記のカラーフィルター用レジスト材料を塗布、乾燥、硬化して得られるカラーフィルター硬化膜である。また、本発明は、前記のカラーフィルター硬化膜を有するカラーフィルターである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明のカラーフィルター用レジスト材料は、光重合可能な成分を必須成分として含む樹脂成分等（溶剤以外の成分をいう）を、溶剤に溶解した溶液である。この樹脂成分等は、（Ａ）成分：エポキシ（メタ）アクリレート化合物（Ａ1）成分を必須とする光重合性化合物、（Ｂ）成分：光重合開始剤及び（Ｃ）成分：着色剤を主成分とする。かかる樹脂成分等は特許文献２等により公知であり、これらに記載されたものが広く使用できる。具体的には、次のような各成分が使用できる。
【００１３】
（Ａ1）成分であるエポキシ（メタ）アクリレート化合物としては、各種ジグリシジルエーテルと（メタ）アクリル酸との付加化合物あるいは各種ビスフェノールジグリシジルエーテルと（メタ）アクリル酸との付加化合物であるジヒドロキシプロピルアクリレート樹脂、又はこれに多価カルボン酸又はその酸無水物を反応させて得られる化合物を例示することができる。
【００１４】
グリシジルエーテルは、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、水添ビスフェノールＡ、ビス（4-ヒドロキシフェニル）ケトン、ビス（4-ヒドロキシフェニル）スルホン、2,2-ビス（4-ヒドロキシフェニル）プロパン、ビス（4-ヒドロキシフェニル）エーテル、ビス（4-ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、9,9-ビス（4-ヒドロキシフェニル）フルオレン、ビス（4-ヒドロキシフェニル）ジメチルシラン、4,4'-ビフェノール等のジオール化合物から誘導されるものが例示され、本発明では、これらジグリシジルエーテルと（メタ）アクリル酸との付加化合物をエポキシ（メタ）アクリレート化合物として用いることができる。
【００１５】
レジスト材料にアルカリ可溶性を付与するためには、エポキシ（メタ）アクリレート化合物中にカルボキシル基を有していることが好ましく、その他、レジスト材料としての特性等を考慮すると、上記一般式（1）で表されるエポキシ（メタ）アクリレート化合物と多塩基酸又はその酸無水物とを反応させて得られる不飽和基含有化合物が好ましい。ここで、Ｘとしては上記した基が好ましく挙げられる。
【００１６】
多塩基酸又はその酸無水物としては、マレイン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸、ジフェニルスルホンテトラカルボン酸及びこれらの酸の無水物が例示できる。
【００１７】
本発明においては、光重合性化合物である（Ａ）成分には、上記（Ａ1）成分の他、必要に応じて他の光重合性モノマーやオリゴマー等の光重合性化合物（Ａ2）を添加できる。使用される他の光重合性のモノマーやオリゴマーとしては、例えば、2-ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、2-ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、2-エチルヘキシル（メタ）アクリレート等の水酸基を有するモノマーや、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エステル類等を挙げることができ、これらはその1種のみを単独で用いてもよく、また、2種以上を併用することもできる。
【００１８】
（Ａ）成分として、（Ａ1）成分と共に（Ａ2）成分を使用する場合は、その使用量は本発明のレジスト材料（インクということがある）の性質を損なわない範囲で選択することができるが、（Ａ1）成分の100重量部に対して、（Ａ2）成分25〜100重量部の範囲が望ましい。
【００１９】
更に、本発明では、カラーレジストの他の性能を阻害しない範囲でアルカリ物質等への耐性を付与するためエポキシ樹脂を添加しても良い。エポキシ樹脂としては、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等を代表的なものとして例示することができる。エポキシ樹脂を使用する場合、その添加量は（Ａ）成分100重量部に対して0〜30重量部であり、5〜20重量部が最も良好である。
【００２０】
（Ｂ）成分の光重合開始剤としては、アセトフェノン、p-tert-ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類、ベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p'-ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインブチルエーテル等のベンゾインエーテル類、2-メチル-1 [4-（メチルチオ）フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-（4-モルフォリノフェニル）-ブタノン-1等のα-アミノアルキルフェノン類、ビス（2,4,6-トリメチルベンゾイル）-フェニル-ホスファイン-オキサイド等のビスアシルフォスフィンオキサイド類、N-フェニルグリシン等のグリシン類、2,4-トリクロロメチル-（ピぺロニル）-6-トリアジン、2,4- トリクロロメチル-（4'-メトキシスチリル）-6-トリアジン等のトリアジン類が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、2種以上を併用しても良い。また、本発明における光重合開始剤は、p-ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、p-ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル等の公知の光重合促進剤（増感剤）と併用することもできる。
【００２１】
なお、本発明で用いる（Ｂ）成分の光重合開始剤や光重合促進剤（増感剤）は、（Ａ1）成分ばかりでなく、必要に応じて配合される他の光重合性のモノマーやオリゴマー等の（Ａ2）成分の光重合開始剤としても用いられるものである。したがって、（Ｂ）成分の使用量は、（Ａ1）成分100重量部に対して、5〜25重量部であることが好ましいが、（Ａ1）成分の他に（Ａ2）成分を使用する場合にはこれらの合計量100重量部に対して、1〜15重量部使用することが好ましい。
【００２２】
（Ｃ）成分の着色剤は、顔料を含む着色剤であることが好ましい。具体的には、顔料とこれを微細分散し安定化させるのに必要な分散剤等との顔料組成物である。顔料には、有機顔料と無機顔料がある。有機顔料としては、アゾレーキ系、不溶性アゾ（PY-150）系、フタロシアニン系（PG-7、PG-36＆PB-15.6）、キノフタロン系（PY138）、キナクドリン系、ジオキサジン（PV-23）系、イソインドリノン（PY-139）系、ベリノン系、アントラキノン（PR-177）系、ピロロピロール系（PR-254）、ペリレン系等が例示され、これらを併用することもできる。また、無機顔料としてはミロリブルー、酸化鉄、コバルト系、マンガン系、群青、紺青、コバルトブルー、セルリアンブルー、ピリジアン、エメラルドグリーン、コバルトグリーン等が例示され、これらを併用することもできる。これらの顔料については、塗膜の透明性を維持しつつ着色するために、可視光の波長の下限である0.4μｍ以下の平均粒子径に分散されることが好ましい。実用的に好ましい平均粒子径範囲は0.2〜0.3μｍである。
【００２３】
本発明のレジスト材料は、前記（A）、（B）及び（C）成分を主成分とする樹脂成分等を溶剤に溶解してなるが、この樹脂成分等は大別すると樹脂又は硬化後に樹脂を形成するモノマー等の樹脂固形分と、非樹脂系の成分があり、これらは乾燥、硬化後においても、殆どが残存する。そして、樹脂固形分には上記（Ａ）成分、他のバインダ樹脂、分散剤等の樹脂成分が含まれ得る。非樹脂系の成分には光重合開始剤や光安定剤等の添加剤、着色剤等が含まれ得る。そして、（C)成分の着色剤は樹脂固形分100重量部に対して、50〜200重量部配合することが好ましい。
【００２４】
本発明においては、（Ｄ）成分の溶剤として、沸点の異なる2種以上の有機溶剤を用いる。ここで、溶剤中に1wt％以上含まれる有機溶剤の内、表面張力値が最大の有機溶剤と最小の有機溶剤の表面張力値の差（以下、Δγという）を3dyn/cm以内の範囲とすることを必須とする。
【００２５】
有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン等のケトン類、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、セロソルブアセテート等のセロソルブ類、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールn-プロピルエーテル、プロピレングリコールn-ブチルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールn-プロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールn-ブチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル等のジエチレングリコールジアルキルエーテル類、乳酸メチル、乳酸エチル等の乳酸エステル類、酢酸n-ブチル等の酢酸エステル類の他、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド等が有用なものとして例示され、これらを前記した条件に合致するもの、すなわち、その表面張力の値が近いものを2種以上選択して併用する。
【００２６】
２溶剤系の例としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｂｐ．１４６℃、γ ２８．８）とジエチレングリコールジメチルエーテル（ｂｐ．１６２℃、γ ２９．５）のように沸点が異なり表面張力が近しい溶剤を選択する。なお、＜ｂｐ．＞は沸点を＜γ＞は物質の化学構造から計算されるパラコール値を用いて計算した表面張力の値を示す。
【００２７】
また、3溶剤系の例としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｂｐ.146℃、γ 28.8）とジエチレングリコールジメチルエーテル（ｂｐ.162℃、γ 29.5）ジエチレングリコールジエチルエーテル（ｂｐ.188℃、γ 27.7）の様な組み合わせがある。
【００２８】
本発明において用いられる溶剤は、上記要件を満たせば、これらの混合比は任意であるが、低沸点成分が主体になる方が乾燥後にタックなどの問題を回避出来ることから好ましい。すなわち、本発明においては、全溶剤の50重量％以上を沸点が160℃以下の溶剤で構成し、残りの溶剤をこれと表面張力が近いものを用いることが好ましい。溶剤が2種の溶剤からなる場合には、該低沸点溶剤との表面張力の差が3dyn/cm以内のものを用い、3種以上溶剤を用いる場合は該低沸点溶剤を含む全溶剤がいずれも他の溶剤に対し表面張力の最大値と最小値の差が3dyn/cm以内とする。なお、溶剤には通常不純物が微量〜少量含まれるが1wt％に満たない成分は単なる不純物として扱う。
【００２９】
この点を考慮し、上記に例示した2溶剤系及び3溶剤系での好ましい態様を示せば、例えば2溶剤系ではプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100重量部に対して、ジエチレングリコールジメチルエーテルが1〜50重量部の範囲が望ましく、特に35重量部以下が良好であり、また、3溶剤系では、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100重量部に対して、ジエチレングリコールジメチルエーテル1〜50部、ジエチレングリコールジエチルエーテル1〜20部の範囲が望ましい。特にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100重量部に対してジエチレングリコールジメチルエーテル1〜35重量部、ジエチレングリコールジエチルエーテル1〜5重量部が良好である。
【００３０】
溶剤（Ｄ）の使用量は、全樹脂成分等100重量部に対して、250〜600重量部が適当である。
【００３１】
本発明のカラーフィルター用レジスト材料には、本発明の効果を損なわない範囲であれば、他の成分を含有してもよい。例えば、濡れ性の向上のためには界面活性剤が、密着性向上のためにはカップリング剤が好ましく使用される。この場合、界面活性剤は0.01〜0.2重量％の範囲で含有させることが好ましい。
【００３２】
【実施例】
以下、実施例により本発明を、更に詳しく説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。なお、実施例中、別段の断りがない限り、部は重量部を表し、％は重量％を表す。また、カラーフィルターレジスト膜の作成及び塗布ムラの評価は別段の断りがない限り、以下の方法による。
【００３３】
［カラーレジスト膜の作成］
ポストベーク後の膜厚が1.5±0.05μｍとなるスピンコート条件でカラーフィルター用レジスト膜用材料を、ＳｉＯ₂をコーティングしたガラス基板に塗布し、プレベーク80℃,3分で溶剤を蒸発し、カラーフィルター用レジスト膜を作成した（表１中、塗布ムラ評価▲２▼80℃乾燥の結果参照）。一方、減圧乾燥を模式して実施する場合は、同様にガラス基板にスピンコート塗布したのち、23℃のクリーンルーム内でガラス基板の四隅を支持して約1ｃｍ浮かせて固定し30分放置により溶剤をゆっくり蒸発させカラーフィルター用レジスト膜を作成した（表１中、塗布ムラ評価▲１▼23℃乾燥の結果参照）。更にこれを230℃で20分硬化処理を行い、硬化レジスト膜を作成した（表１中、塗布ムラ評価▲３▼硬化後の結果参照）。
【００３４】
［塗布ムラの評価］
上記カラーレジスト膜の作成方法に従って形成したガラス基板上のカラーフィルター用レジスト膜（1.5±0.05μｍ）を、ナトリウムランプ光源下で目視により観察し、塗布ムラを評価した。塗膜にムラの無い状態を◎、ムラの有る状態を×、ムラは目視で確認できるが実用性に問題のない軽微な状態を○、として３段階で評価した。
【００３５】
［その他の性能評価］
塗布、露光から硬化処理までの一連の処理を実施したカラーフィルターに対して250℃のオーブンに１時間投入して色の変化を測定する試験を耐熱試験とする。更に同一処理したカラーフィルターに対して5％のNaOH水溶液に25℃で10分間浸漬後の色相変化を測定する試験を耐アルカリ試験とした。
双方ともΔEが３以下を良好とし、評価は○とし、これ以上を×とする。（表１中、その他の性能の結果参照）。
【００３６】
実施例1
サンプル瓶（300ml）にテフロン（登録商標）被覆した回転子を入れ、マグネチックスターラーに設置した。プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（PGMEA）42.0ｇとジエチレングリコールジメチルエーテル（DMDG）40ｇをサンプル瓶に入れた。攪拌しながら、光重合開始剤の2−メチル−1［4−（メチルチオ）フェニル］−2−モルフォリノプロパン−1−オン（チバガイギー社製商品名イルガキュア907）0.8ｇと4,4−ジエチルアミノベンゾフェノン（保土ヶ谷化学工業社製商品名 EAB-F）0.2ｇ、2,4−トリクロロメチル（ピペロニル）−6−トリアジン（日本シーベルへグナー社製トリアジン−PP）0.6ｇを加える。これらの開始剤が溶解したのを確認後、エポキシ樹脂のYX-4000Ｈ（ジャパンエポキシレジン社製）を2ｇ加えて更に攪拌する。エポキシ樹脂が溶解したのを確認後、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートDPHA（日本化薬社製）9.8ｇとフルオレン型エポキシ型アクリレート／酸無水物重合付加体のPGMEA溶液（新日鐵化学(株)製Ｖ259ME、樹脂成分等56.5％）を17.6ｇ加えて更に攪拌する。
全てが均一に溶解したことを確認後、着色剤として、PR-254（チバスペシャルケミカル社製顔料）を予めPGMEA溶剤と分散剤とで混合分散した顔料分散体（樹脂成分等 19.2％）87ｇを入れ十分に攪拌溶解した後に、シランカップリング剤0.6ｇ、界面活性剤0.06ｇを加えて更に30分攪拌する。これをろ過して、カラーフィルター用レジスト膜用材料を得た。
【００３７】
得られたカラーフィルター用レジスト膜用材料を用いて、上述の評価方法に従い、ガラス基板上にレジスト膜及び硬化膜を形成し、ナトリウムランプ光源下で塗布ムラを観察し、◎、○、×の３段階で評価した。表１に結果を示す。実施例１によるカラーフィルター用レジスト膜用材料が塗布性に優れることが確認された。なお、実施例１は参考例であると理解される。
【００３８】
実施例２
溶剤として、PGMEA、DMDG、ジエチレングリコールジエチルエーテル（DEDG）を用い、その使用量を表１に示す割合に変化させたこと以外は実施例1と同様に行った。結果を表1に示す。カラーフィルター用レジスト膜用材料が塗布性に優れることが確認された。
【００３９】
実施例３
サンプル瓶（300ml）にテフロン（登録商標）被覆した回転子を入れ、マグネチックスターラーに設置した。PGMEA 25ｇ、DMDG 38ｇ及びDEDG 4ｇをサンプル瓶に入れた。攪拌しながら、光重合開始剤のイルガキュア907を0.76ｇとEAB-F 0.19ｇ、トリアジン-PP 0.19ｇを加える。これらの開始剤が溶解したのを確認後、エポキシ樹脂のYX-4000Ｈを1.5ｇ加えて更に攪拌する。エポキシ樹脂が溶解したのを確認後、DPHA 10.2ｇとＶ259MEを26.7ｇ加えて更に攪拌する。
全てが均一に溶解したことを確認後、PR-254を予めPGMEA溶剤と分散剤とで混合分散した顔料分散体（樹脂成分等19.2％）を92ｇ入れ十分に攪拌溶解した後に、シランカップリング剤0.6ｇ、界面活性剤0.06ｇを加えて更に30分攪拌する。これをろ過して、カラーフィルター用レジスト膜用材料を得た。
得られたカラーフィルター用レジスト膜用材料について、塗布性を評価した。結果を表1に示す。カラーフィルター用レジスト膜用材料が塗布性に優れることが確認された。
【００４０】
比較例１
実施例1で使用した溶剤のDMDGをシクロヘキサノン（ANON ｂｐ．155.7℃、γ 34.2）に変化させたこと以外は実施例1と同様に行った。結果を表1に示す。
実施例記載のカラーフィルター用レジスト用組成物に比較して塗布性に劣ることが確認された。
【００４１】
比較例２
実施例3で使用した溶剤のDMDGをANONに変化させたこと以外は実施例3と同様に行った。結果を表1に示す。実施例記載のカラーフィルター用レジスト用組成物に比較して塗布性に劣ることが確認される。
【００４２】
【表１】

【００４３】
【発明の効果】
本発明のカラーフィルター用レジスト材料は、塗膜物性や塗布性に優れ、特に、塗布後の色調ムラの原因となる塗布ムラの発生しにくいカラーフィルター用レジスト材料であり、これを用いて形成したカラーフィルターは発色の均一性に優れている。

Claims

エポキシ（メタ）アクリレート化合物（Ａ１）を必須成分として含む光重合性化合物（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、着色剤（Ｃ）を主成分とする成分を溶剤（Ｄ）に溶解してなるカラーフィルター用レジスト材料において、溶剤（Ｄ）は沸点の異なる２種以上の有機溶剤を含み、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル及びジエチレングリコールジエチルエーテルの組み合わせであり、有機溶剤の少なくとも１種が１６０℃以下の低沸点溶剤であり、それの溶剤中の含有量が５０ｗｔ％以上であり、かつ溶剤中に１ｗｔ％以上含まれる有機溶剤の内、表面張力値が最大の有機溶剤と表面張力値が最小の有機溶剤の表面張力値の差が３ｄｙｎ／ｃｍ以内であることを特徴とするカラーフィルター用レジスト材料。
エポキシ（メタ）アクリレート化合物（Ａ１）が、下記一般式（１）

（式中、Ｒ₁、Ｒ₂は水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、ハロゲン原子の何れかであり、Ｘは、−ＣＯ−、−ＳＯ₂−、−Ｃ（ＣＦ₃）₂−、−Ｓｉ（ＣＨ₃）₂−、−ＣＨ₂−、−Ｃ（ＣＨ₃）₂−、−Ｏ−、下記式（２）で表される基、

又は直結合を示し、ｎは０〜２０であり、ＡはＣＨ₂＝ＣＲ'−ＣＯ−を示しＲ'は水素原子又はメチル基を示す。）で表されるエポキシ（メタ）アクリレート樹脂と多塩基酸又はその酸無水物とを反応させて得られる化合物である請求項１記載のカラーフィルター用レジスト材料。
請求項１又は２に記載のカラーフィルター用レジスト材料を塗布、乾燥、硬化して得られるカラーフィルター硬化膜。
請求項３に記載のカラーフィルター硬化膜を有するカラーフィルター。