JP2002022925A - カラーフィルターの製造方法及び着色感光性樹脂組成物 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法及び着色感光性樹脂組成物Info
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
Abstract
(57)【要約】
【課題】 パターン寸法安定性に優れ、かつ現像マージ
ン、パターン密着性が良好なカラーフィルターの製造方
法及びそれに使用される着色感光性樹脂組成物を提供す
る。 【解決手段】 （A）ヒンダードフェノール系酸化防止
剤、（B）光重合開始剤、（C）感光性樹脂及び／又は感
光性モノマーからなる感光性樹脂成分及び（D）分散顔
料を必須成分として含む着色感光性樹脂組成物を所定の
乾燥膜厚みとなるように透明基板上に塗工、乾燥した
後、（a）紫外線露光装置による露光、（b）アルカリ水
溶液による現像の各工程を必須工程とするカラーフィル
ターの製造方法。
ン、パターン密着性が良好なカラーフィルターの製造方
法及びそれに使用される着色感光性樹脂組成物を提供す
る。 【解決手段】 （A）ヒンダードフェノール系酸化防止
剤、（B）光重合開始剤、（C）感光性樹脂及び／又は感
光性モノマーからなる感光性樹脂成分及び（D）分散顔
料を必須成分として含む着色感光性樹脂組成物を所定の
乾燥膜厚みとなるように透明基板上に塗工、乾燥した
後、（a）紫外線露光装置による露光、（b）アルカリ水
溶液による現像の各工程を必須工程とするカラーフィル
ターの製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
用樹脂組成物及びそれを用いたパターン精度に優れたカ
ラーフィルターの製造方法に関する。
用樹脂組成物及びそれを用いたパターン精度に優れたカ
ラーフィルターの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】カラー液晶表示装置は、光の透過量ある
いは反射量を制御する液晶部とカラーフィルターを構成
要素とするが、そのカラーフィルターの製造方法とし
て、着色顔料微粒子が感光性樹脂組成物に分散された
赤、緑、青の画素及びブラックマトリックスをガラス基
板上に形成する方法が用いられるようになっている。こ
の方法で製作されたカラーフィルターは耐熱性、耐光性
に優れた特性を示すが、近年、ノートブックパソコン等
携帯用表示装置等における低消費電力化の要求に答える
ための高開口率化が求められている。このため、カラー
フィルター上の赤、青、緑の画素は200〜300μmから100
μmへ、ブラックマトリックスは20μmから10μmへ細線
化され、これにともなって感光性樹脂材料には高い寸法
精度が求められるようになった。
いは反射量を制御する液晶部とカラーフィルターを構成
要素とするが、そのカラーフィルターの製造方法とし
て、着色顔料微粒子が感光性樹脂組成物に分散された
赤、緑、青の画素及びブラックマトリックスをガラス基
板上に形成する方法が用いられるようになっている。こ
の方法で製作されたカラーフィルターは耐熱性、耐光性
に優れた特性を示すが、近年、ノートブックパソコン等
携帯用表示装置等における低消費電力化の要求に答える
ための高開口率化が求められている。このため、カラー
フィルター上の赤、青、緑の画素は200〜300μmから100
μmへ、ブラックマトリックスは20μmから10μmへ細線
化され、これにともなって感光性樹脂材料には高い寸法
精度が求められるようになった。
【０００３】バインダー樹脂にアルカリ溶解性を有する
ベンジルメタクリレート-メタクリル酸共重合物を、感
光性樹脂成分に多官能アクリレート樹脂を用いた着色感
光性樹脂組成物が知られている。この着色感光性樹脂組
成物を用い、パターンマスクをかけた上から高圧水銀ラ
ンプで紫外線露光を行えばマクスされていない露光部分
は硬化塗膜となる。続いて、アルカリ水溶液による現像
操作を行うことで、マスクされていた未露光部分の未硬
化塗膜は溶出するので所望の画素パターン形状を有する
カラーフィルターを形成することができる。ところが、
この着色感光性樹脂組成物は、酸素の存在下では硬化反
応が不十分になりパターンの解像度や感度が低下すると
いう問題があった。このため、露光前に酸素遮断膜を形
成し、現像前に酸素遮断膜を剥離するという工程が必要
となり、その製造工程の増加が新たな課題となってい
た。
ベンジルメタクリレート-メタクリル酸共重合物を、感
光性樹脂成分に多官能アクリレート樹脂を用いた着色感
光性樹脂組成物が知られている。この着色感光性樹脂組
成物を用い、パターンマスクをかけた上から高圧水銀ラ
ンプで紫外線露光を行えばマクスされていない露光部分
は硬化塗膜となる。続いて、アルカリ水溶液による現像
操作を行うことで、マスクされていた未露光部分の未硬
化塗膜は溶出するので所望の画素パターン形状を有する
カラーフィルターを形成することができる。ところが、
この着色感光性樹脂組成物は、酸素の存在下では硬化反
応が不十分になりパターンの解像度や感度が低下すると
いう問題があった。このため、露光前に酸素遮断膜を形
成し、現像前に酸素遮断膜を剥離するという工程が必要
となり、その製造工程の増加が新たな課題となってい
た。
【０００４】また、特開平1-152449号公報には、上記課
題解決を図るためと、顔料濃度を高めて良好な色再現性
を図りつつ感度低下を防止するために、高感度光重合開
始剤としてハロメチルオキサジアゾール系化合物、ハロ
メチル-S-トリアジン系化合物の使用例が開示されてい
る。しかし、これらの化合物は上記の酸素による反応阻
害により表面平坦性低下は改善されるものの、パターン
寸法精度の点では依然として満足すべき水準には達して
いない。
題解決を図るためと、顔料濃度を高めて良好な色再現性
を図りつつ感度低下を防止するために、高感度光重合開
始剤としてハロメチルオキサジアゾール系化合物、ハロ
メチル-S-トリアジン系化合物の使用例が開示されてい
る。しかし、これらの化合物は上記の酸素による反応阻
害により表面平坦性低下は改善されるものの、パターン
寸法精度の点では依然として満足すべき水準には達して
いない。
【０００５】優れた寸法精度を持つ微細パターンを得る
には、光重合性組成物中の光重合開始剤の種類や添加量
を最適化することが必要である。カラーフィルターなど
の薄膜に於いては一般的にパターン細線が太った場合、
光重合開始剤の量を減らし感度を低下させることで適正
な線幅に調整することは可能であるが、感度低下のため
に表面荒れ、密着性、現像マージンの低下及びパターン
形状の不良を生じやすかった。このように、従来の顔料
分散法で作製されたカラーフィルターは、製造工程が複
雑であり、また、画像の高精細化への要求に答えるだけ
の解像度や寸法精度が不足するなどの問題を有してい
る。
には、光重合性組成物中の光重合開始剤の種類や添加量
を最適化することが必要である。カラーフィルターなど
の薄膜に於いては一般的にパターン細線が太った場合、
光重合開始剤の量を減らし感度を低下させることで適正
な線幅に調整することは可能であるが、感度低下のため
に表面荒れ、密着性、現像マージンの低下及びパターン
形状の不良を生じやすかった。このように、従来の顔料
分散法で作製されたカラーフィルターは、製造工程が複
雑であり、また、画像の高精細化への要求に答えるだけ
の解像度や寸法精度が不足するなどの問題を有してい
る。
【０００６】また、ヒンダードフェノール系酸化防止剤
を含む感光性樹脂組成物は既に知られており、特開平11
-103168号公報等に記載がある。しかしながら、これは
加湿状態での耐熱や絶縁信頼性を維持しつつ微小なバイ
アホールを形成可能とする絶縁層を有する多層配線板の
製造方法に関するものであって、パターン寸法精度やパ
ターンと基板の密着性が要求されるカラーフィルターの
製造方法に関するものとは解決しようとする課題が異な
るだけでなく、顔料を必須としない点で組成物としても
異なる。
を含む感光性樹脂組成物は既に知られており、特開平11
-103168号公報等に記載がある。しかしながら、これは
加湿状態での耐熱や絶縁信頼性を維持しつつ微小なバイ
アホールを形成可能とする絶縁層を有する多層配線板の
製造方法に関するものであって、パターン寸法精度やパ
ターンと基板の密着性が要求されるカラーフィルターの
製造方法に関するものとは解決しようとする課題が異な
るだけでなく、顔料を必須としない点で組成物としても
異なる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
課題を解決し、パターン寸法安定性に優れ、かつ現像マ
ージン、パターン密着性が良好な優れたカラーフィルタ
ー用樹脂組成物とその製造方法を提供するものである。
課題を解決し、パターン寸法安定性に優れ、かつ現像マ
ージン、パターン密着性が良好な優れたカラーフィルタ
ー用樹脂組成物とその製造方法を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意研究の
結果、（A）ヒンダードフェノール系酸化防止剤、（B）
光重合開始剤、（C）感光性樹脂成分及び（D）分散顔料
を必須成分として含むカラーフィルター用樹脂組成物を
用いれば、現像マージン、パターン密着性を犠牲にする
ことなく、パターン寸法精度に優れたカラーフィルター
を提供できることを見いだして本発明を完成させた。
結果、（A）ヒンダードフェノール系酸化防止剤、（B）
光重合開始剤、（C）感光性樹脂成分及び（D）分散顔料
を必須成分として含むカラーフィルター用樹脂組成物を
用いれば、現像マージン、パターン密着性を犠牲にする
ことなく、パターン寸法精度に優れたカラーフィルター
を提供できることを見いだして本発明を完成させた。
【０００９】すなわち、本発明は、（A）ヒンダードフ
ェノール系酸化防止剤、（B）光重合開始剤、（C）感光
性樹脂及び／又は感光性モノマーからなる感光性樹脂成
分及び（D）分散顔料を必須成分として含むカラーフィ
ルター用着色感光性樹脂組成物に関する。
ェノール系酸化防止剤、（B）光重合開始剤、（C）感光
性樹脂及び／又は感光性モノマーからなる感光性樹脂成
分及び（D）分散顔料を必須成分として含むカラーフィ
ルター用着色感光性樹脂組成物に関する。
【００１０】また、本発明は、（A）ヒンダードフェノ
ール系酸化防止剤、（B）光重合開始剤、（C）感光性樹
脂成分及び（D）分散顔料を必須成分として含む着色感
光性樹脂組成物を所定の乾燥膜厚みとなるように透明基
板上に塗工、乾燥した後、（a）紫外線露光装置による
露光、（b）アルカリ水溶液による現像の各工程を必須
工程とするカラーフィルターの製造方法である。また、
本発明は、（A）ヒンダードフェノール系酸化防止剤の
配合率が（B）光重合開始剤の5〜60重量％の範囲であ
り、かつ（B）光重合開始剤の配合率が（C）感光性樹脂
の5〜9重量％の範囲である前記のカラーフィルターの製
造方法である。
ール系酸化防止剤、（B）光重合開始剤、（C）感光性樹
脂成分及び（D）分散顔料を必須成分として含む着色感
光性樹脂組成物を所定の乾燥膜厚みとなるように透明基
板上に塗工、乾燥した後、（a）紫外線露光装置による
露光、（b）アルカリ水溶液による現像の各工程を必須
工程とするカラーフィルターの製造方法である。また、
本発明は、（A）ヒンダードフェノール系酸化防止剤の
配合率が（B）光重合開始剤の5〜60重量％の範囲であ
り、かつ（B）光重合開始剤の配合率が（C）感光性樹脂
の5〜9重量％の範囲である前記のカラーフィルターの製
造方法である。
【００１１】ヒンダードフェノール系酸化防止剤（以
下、（A）成分ということもある）としては、公知のヒ
ンダードフェノール系酸化防止剤が使用できるが、代表
的には、トリエチレングリコール-ビス[3-（3-t-ブチル
-5-メチル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート]、
1,6-ヘキサンジオール-ビス-[3-（3,5-ジ-t-ブチル-4-
ヒドロキシフェニル）プロピオネート]、ペンタエリス
リチル−テトラキス[3-（3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキ
シフェニル）プロピオネート]、オクタデシル-3-（3,5-
ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート、
1,3,5-トリメチル-2,4,6-トリス（3,5-ジ-t-ブチル-4-
ヒドロキシベンジル）ベンゼン、2,6-ジ-t-ブチル-4-エ
チルフェノール、2,2'-メチレンビス（4-メチル-6-t-ブ
チルフェノール）、4,4'-チオ-ビス（3-メチル-6-t-ブ
チルフェノール）、4,4'-ブチリデン-ビス（3-メチル-6
-t-ブチルフェノール）、1,1,3-トリス（2-メチル-4ヒ
ドロキシ-5-t-ブチルフェニル）ブタン、1,3,5-トリス
（4-ヒドロキシベンジル）ベンゼン及びテトラキス[メ
チレン-3-（3,5'-ジ-t-ブチル-4'-ヒドロキシフェニル
プロピオネート）]メタン等を挙げることができ、これ
らは１種又は２種以上を使用することができるが、特に
トリエチレングリコール-ビス[3-（3-t-ブチル-5-メチ
ル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート]、1,6-ヘキ
サンジオール-ビス-[3-（3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキ
シフェニル）プロピオネート]、ペンタエリスリチル−
テトラキス[3-（3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニ
ル）プロピオネート]、オクタデシル-3-（3,5-ジ-t-ブ
チル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネートが好まし
い。
下、（A）成分ということもある）としては、公知のヒ
ンダードフェノール系酸化防止剤が使用できるが、代表
的には、トリエチレングリコール-ビス[3-（3-t-ブチル
-5-メチル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート]、
1,6-ヘキサンジオール-ビス-[3-（3,5-ジ-t-ブチル-4-
ヒドロキシフェニル）プロピオネート]、ペンタエリス
リチル−テトラキス[3-（3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキ
シフェニル）プロピオネート]、オクタデシル-3-（3,5-
ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート、
1,3,5-トリメチル-2,4,6-トリス（3,5-ジ-t-ブチル-4-
ヒドロキシベンジル）ベンゼン、2,6-ジ-t-ブチル-4-エ
チルフェノール、2,2'-メチレンビス（4-メチル-6-t-ブ
チルフェノール）、4,4'-チオ-ビス（3-メチル-6-t-ブ
チルフェノール）、4,4'-ブチリデン-ビス（3-メチル-6
-t-ブチルフェノール）、1,1,3-トリス（2-メチル-4ヒ
ドロキシ-5-t-ブチルフェニル）ブタン、1,3,5-トリス
（4-ヒドロキシベンジル）ベンゼン及びテトラキス[メ
チレン-3-（3,5'-ジ-t-ブチル-4'-ヒドロキシフェニル
プロピオネート）]メタン等を挙げることができ、これ
らは１種又は２種以上を使用することができるが、特に
トリエチレングリコール-ビス[3-（3-t-ブチル-5-メチ
ル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート]、1,6-ヘキ
サンジオール-ビス-[3-（3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキ
シフェニル）プロピオネート]、ペンタエリスリチル−
テトラキス[3-（3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニ
ル）プロピオネート]、オクタデシル-3-（3,5-ジ-t-ブ
チル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネートが好まし
い。
【００１２】光重合開始剤（以下、（B）成分というこ
ともある）としては、公知の光重合開始剤が使用できる
が、代表的には、アセトフェノン、2,2'-ジエトキシア
セトフェノン、p-ジメチルアセトフェノン、p-tert-ブ
チルアセトフェノン等のアセトフェノン類、ベンゾフェ
ノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p'- ビスジメチルア
ミノベンゾフェノン、3,3',4,4'-テトラ（tert-ブチル-
ペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、4,4'-ジエチ
ルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、ベンゾ
インメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテ
ル、ベンゾインブチルエーテル等のベンゾインエーテル
類、2-メチル-1-[4-（メチルチオ）フェニル]-2-モンフ
ォリノプロパノン-1、1,2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-
1-（4-モノフォリノフェニル）-ブタノン-1、ビス（2,
4,6-トリメチルベンゾイル）フェニル−ホスファイン-
オキサイド等のα-アミノアルキルフェノン類、N-フェ
ニルグリシン等のグリシン類、2,4-トリクロロメチル-
（ピピロニル）-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-
（4'-メチキシスチリル）-6-トリアジン、2,4-トリクロ
ロメチル-（4'-メトキシスチリル）-6-トリアジン等の
トリアジン類などを挙げることができ、これらは１種又
は２種以上を使用することができる。
ともある）としては、公知の光重合開始剤が使用できる
が、代表的には、アセトフェノン、2,2'-ジエトキシア
セトフェノン、p-ジメチルアセトフェノン、p-tert-ブ
チルアセトフェノン等のアセトフェノン類、ベンゾフェ
ノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p'- ビスジメチルア
ミノベンゾフェノン、3,3',4,4'-テトラ（tert-ブチル-
ペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、4,4'-ジエチ
ルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、ベンゾ
インメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテ
ル、ベンゾインブチルエーテル等のベンゾインエーテル
類、2-メチル-1-[4-（メチルチオ）フェニル]-2-モンフ
ォリノプロパノン-1、1,2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-
1-（4-モノフォリノフェニル）-ブタノン-1、ビス（2,
4,6-トリメチルベンゾイル）フェニル−ホスファイン-
オキサイド等のα-アミノアルキルフェノン類、N-フェ
ニルグリシン等のグリシン類、2,4-トリクロロメチル-
（ピピロニル）-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-
（4'-メチキシスチリル）-6-トリアジン、2,4-トリクロ
ロメチル-（4'-メトキシスチリル）-6-トリアジン等の
トリアジン類などを挙げることができ、これらは１種又
は２種以上を使用することができる。
【００１３】感光性樹脂成分（以下、（C）成分という
こともある）は、感光性の樹脂又はモノマーであり、
（イ）１分子中に2つ以上のエチレン性不飽和基を有し
架橋反応に関与するものと（ロ）１分子中にエチレン性
不飽和基を１つしか持たず反応性希釈剤として作用する
ものがある。（イ）としては、多価アルコールとα.β-
不飽和カルボン酸とを結合して得られるもの、例えばジ
エチレングリコール（メタ）アクリレート（ジアクリレ
ート又はジメタアクリレートの意味、以下同じ）、トリ
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエ
チレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロ
ールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロール
プロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロ
パントリ（メタ）アクリレート、1,3-プロパンジオール
（メタ）アクリレート、1,3-ブタンジオール（メタ）ア
クリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アク
リレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アク
リレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アク
リレート、2,2-ビス（4-アクリロキシジエトキシフェニ
ル）プロパン、2,2-ビス（4-メタクリロキシペンタエト
キシフェニル）プロパン、新中村化学（株）製商品名BP
E-500(2,2-ビス（4-メタクリロキシポリエトキシフェニ
ル）プロパンの混合物）等、グリシジル基含有化合物に
α,β-不飽和カルボン酸を付加して得られるもの、例え
ばトリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ
（メタ）アクリレート、ビスフェノールAジクリシジル
エーテルジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールフル
オレンのジグリシジルエーテル化物のアクリル酸付加体
（新日鐵化学（株）製ASF400）等、不飽和アミド、例え
ばメチレンビスアクリロアミド、1,6-ヘキサメチレンビ
スアクリルアミド等、ビニルエステル、例えばジビニル
サクシネート、ジビニルアジベート、ジビニルフタレー
ト、ジビニルテレフタレート、ジビニルベンゼン-1,3-
ジスルホネート等が挙げられる。
こともある）は、感光性の樹脂又はモノマーであり、
（イ）１分子中に2つ以上のエチレン性不飽和基を有し
架橋反応に関与するものと（ロ）１分子中にエチレン性
不飽和基を１つしか持たず反応性希釈剤として作用する
ものがある。（イ）としては、多価アルコールとα.β-
不飽和カルボン酸とを結合して得られるもの、例えばジ
エチレングリコール（メタ）アクリレート（ジアクリレ
ート又はジメタアクリレートの意味、以下同じ）、トリ
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエ
チレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロ
ールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロール
プロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロ
パントリ（メタ）アクリレート、1,3-プロパンジオール
（メタ）アクリレート、1,3-ブタンジオール（メタ）ア
クリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アク
リレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アク
リレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アク
リレート、2,2-ビス（4-アクリロキシジエトキシフェニ
ル）プロパン、2,2-ビス（4-メタクリロキシペンタエト
キシフェニル）プロパン、新中村化学（株）製商品名BP
E-500(2,2-ビス（4-メタクリロキシポリエトキシフェニ
ル）プロパンの混合物）等、グリシジル基含有化合物に
α,β-不飽和カルボン酸を付加して得られるもの、例え
ばトリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ
（メタ）アクリレート、ビスフェノールAジクリシジル
エーテルジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールフル
オレンのジグリシジルエーテル化物のアクリル酸付加体
（新日鐵化学（株）製ASF400）等、不飽和アミド、例え
ばメチレンビスアクリロアミド、1,6-ヘキサメチレンビ
スアクリルアミド等、ビニルエステル、例えばジビニル
サクシネート、ジビニルアジベート、ジビニルフタレー
ト、ジビニルテレフタレート、ジビニルベンゼン-1,3-
ジスルホネート等が挙げられる。
【００１４】更には、多価アルコールとα.β-不飽和カ
ルボン酸とを結合して得られるものを酸無水物で重縮合
してオリゴマー化したもの、例えばビスフェノールフル
オレンのジグリシジルエーテル化物のアクリル酸付加体
をビフェニルテトラカルボン酸で重縮合して得たオリゴ
マー（新日鐵化学（株）製V259及びV301）等を挙げるこ
とができる。このオリゴマー中には重縮合に関与しなか
ったカルボン酸が存在するので、アルカリ現像性の向上
に有効となる。また、（ロ）としては、N-ビニルピロリ
ドン、安息香酸ビニル、酢酸ビニル等のモノビニル化合
物を例示することができる。
ルボン酸とを結合して得られるものを酸無水物で重縮合
してオリゴマー化したもの、例えばビスフェノールフル
オレンのジグリシジルエーテル化物のアクリル酸付加体
をビフェニルテトラカルボン酸で重縮合して得たオリゴ
マー（新日鐵化学（株）製V259及びV301）等を挙げるこ
とができる。このオリゴマー中には重縮合に関与しなか
ったカルボン酸が存在するので、アルカリ現像性の向上
に有効となる。また、（ロ）としては、N-ビニルピロリ
ドン、安息香酸ビニル、酢酸ビニル等のモノビニル化合
物を例示することができる。
【００１５】分散顔料（以下、（D）成分ともいう）と
しては、通常この分野で使用される分散顔料を使用する
ことができるが、代表的には次のような顔料が挙げられ
る。赤・橙色系では、縮合多環芳香族に属するアントラ
キノニルレッド、アンタントロンレッド、テトラクロル
チオインジゴ、ペリレンレッド、ペリレンスローレッ
ド、ペリレンマルーン、キナクリドンレッド、キナクリ
ドンマゼンタ、ジケトピロロピロールレッド、不溶性ア
ゾ系に属するパーマネントレッドR、ジアニオリンオレ
ンジ、ブリリアントカーミンFB、パーマネントレッドF5
RK、ピラゾロンオレンジ、ピラゾロンレッド、溶性アゾ
系に属するパーマネントレッド2B、レーキレッドR、ボ
ルドー10B、ボンマルーンメジウム、ボンマルーンライ
ト等が挙げられる。黄色系では、モノアゾ系に属するフ
ァーストイエローG、ベンツイミダゾロンイエローHG、
ジスアゾ系に属するパーマネントイエロー、スレン系に
属するアントラピリミジンイエロー、フラバントロンイ
エロー、金属錯体系に属するアゾメチン系銅錯体イエロ
ー、ニトロソ系ニッケル錯体イエロー、ニッケルアゾイ
エロー、キノフタロン系に属するキノフタロンイエロー
等が挙げられる。緑色系では、塩素化フタロシアニング
リーン、塩臭素化フタロシアニングリーン等、青色系で
はフタロシアニンブルー、銅フタロシアニンブルー、イ
ンダンスレンブルー等等が挙げられる。紫色系では、ジ
オキサジンバイオレット、キナクリドンバイオレット等
の顔料が挙げられる。これらの分散顔料は、分散剤を用
いて溶剤若しくは前記樹脂成分溶液中に分散若しくは共
分散させたものの中から選ばれる1種以上の組み合わせ
が使用できるが、青色系分散顔料を使用すること、特に
フタロシアニンブルー分散顔料を使用することが好まし
い。
しては、通常この分野で使用される分散顔料を使用する
ことができるが、代表的には次のような顔料が挙げられ
る。赤・橙色系では、縮合多環芳香族に属するアントラ
キノニルレッド、アンタントロンレッド、テトラクロル
チオインジゴ、ペリレンレッド、ペリレンスローレッ
ド、ペリレンマルーン、キナクリドンレッド、キナクリ
ドンマゼンタ、ジケトピロロピロールレッド、不溶性ア
ゾ系に属するパーマネントレッドR、ジアニオリンオレ
ンジ、ブリリアントカーミンFB、パーマネントレッドF5
RK、ピラゾロンオレンジ、ピラゾロンレッド、溶性アゾ
系に属するパーマネントレッド2B、レーキレッドR、ボ
ルドー10B、ボンマルーンメジウム、ボンマルーンライ
ト等が挙げられる。黄色系では、モノアゾ系に属するフ
ァーストイエローG、ベンツイミダゾロンイエローHG、
ジスアゾ系に属するパーマネントイエロー、スレン系に
属するアントラピリミジンイエロー、フラバントロンイ
エロー、金属錯体系に属するアゾメチン系銅錯体イエロ
ー、ニトロソ系ニッケル錯体イエロー、ニッケルアゾイ
エロー、キノフタロン系に属するキノフタロンイエロー
等が挙げられる。緑色系では、塩素化フタロシアニング
リーン、塩臭素化フタロシアニングリーン等、青色系で
はフタロシアニンブルー、銅フタロシアニンブルー、イ
ンダンスレンブルー等等が挙げられる。紫色系では、ジ
オキサジンバイオレット、キナクリドンバイオレット等
の顔料が挙げられる。これらの分散顔料は、分散剤を用
いて溶剤若しくは前記樹脂成分溶液中に分散若しくは共
分散させたものの中から選ばれる1種以上の組み合わせ
が使用できるが、青色系分散顔料を使用すること、特に
フタロシアニンブルー分散顔料を使用することが好まし
い。
【００１６】また、必要により（C）成分以外の樹脂成
分（以下、（E）成分ともいう）を配合することができ
る。例えば、アルカリ現像性を向上させる目的でアルカ
リ可溶性樹脂を配合することができる。（E）成分は、
分子中にカルボキシル基やフェノール性水酸基のような
酸性基を有するものが好ましく、また、末端基にエチレ
ン性不飽和基を有していてもよい。但し、感光性を示す
ものは（C）成分として扱われる。（E）成分の具体例と
しては、（メタ）アクリル酸エステルと（メタ）アクリ
ル酸との共重合体、（メタ）アクリル酸エステルと（メ
タ）アクリル酸及びこれらと共重合し得るビニルモノマ
ーとの共重合体等が用いられる。ここで使用される（メ
タ）アクリル酸エステルとしては、例えば、（メタ）ア
クリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸2-エチルヘキシ
ル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸
テトラヒドロフルフリル、（メタ）アクリル酸ジメチ
ル、（メタ）アクリル酸ジエチル、（メタ）アクリル酸
グリシジル、2,2,2-トリフルオロエチル（メタ）アクリ
レート、2,2,3,3-テトラフルオロプロピル（メタ）アク
リレートアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド等
が挙げられる。また、（メタ）アクリル酸エステルや
（メタ）アクリル酸と共重合しうるビニルモノマーとし
ては、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。その
他、スチレン―無水マレイン酸共重合体の部分エステ
ル、ジオールと酸二酸水和物との共重合体の部分エステ
ル、不飽和ポリエステルの部分エステル等のカルボキシ
ル基を持つエステルオリゴマーも（E）成分として挙げ
られる。
分（以下、（E）成分ともいう）を配合することができ
る。例えば、アルカリ現像性を向上させる目的でアルカ
リ可溶性樹脂を配合することができる。（E）成分は、
分子中にカルボキシル基やフェノール性水酸基のような
酸性基を有するものが好ましく、また、末端基にエチレ
ン性不飽和基を有していてもよい。但し、感光性を示す
ものは（C）成分として扱われる。（E）成分の具体例と
しては、（メタ）アクリル酸エステルと（メタ）アクリ
ル酸との共重合体、（メタ）アクリル酸エステルと（メ
タ）アクリル酸及びこれらと共重合し得るビニルモノマ
ーとの共重合体等が用いられる。ここで使用される（メ
タ）アクリル酸エステルとしては、例えば、（メタ）ア
クリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸2-エチルヘキシ
ル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸
テトラヒドロフルフリル、（メタ）アクリル酸ジメチ
ル、（メタ）アクリル酸ジエチル、（メタ）アクリル酸
グリシジル、2,2,2-トリフルオロエチル（メタ）アクリ
レート、2,2,3,3-テトラフルオロプロピル（メタ）アク
リレートアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド等
が挙げられる。また、（メタ）アクリル酸エステルや
（メタ）アクリル酸と共重合しうるビニルモノマーとし
ては、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。その
他、スチレン―無水マレイン酸共重合体の部分エステ
ル、ジオールと酸二酸水和物との共重合体の部分エステ
ル、不飽和ポリエステルの部分エステル等のカルボキシ
ル基を持つエステルオリゴマーも（E）成分として挙げ
られる。
【００１７】また、その他の樹脂成分として、上記成分
以外に、これらと相溶する光重合性及びアルカリ可溶性
に関与しない樹脂成分、例えば、エポキシ樹脂、ロジン
樹脂、アルキド樹脂等を添加することができる。
以外に、これらと相溶する光重合性及びアルカリ可溶性
に関与しない樹脂成分、例えば、エポキシ樹脂、ロジン
樹脂、アルキド樹脂等を添加することができる。
【００１８】ヒンダードフェノール系酸化防止剤(A)
は、 光重合開始剤（B）で発生するラジカルの内、過剰
分を捕捉することでパターン寸法精度を向上させるもの
である。従って、（A）成分の配合率は、（B）成分の5
〜60重量％の範囲の一定割合で配合する。なお、本発明
でいう（A）成分の配合率（重量％）は、Ａ／Ｂ×100
（但し、Ａ及びＢは（A）成分及び（B）成分の配合量
（重量部）である）で計算されたものである。
は、 光重合開始剤（B）で発生するラジカルの内、過剰
分を捕捉することでパターン寸法精度を向上させるもの
である。従って、（A）成分の配合率は、（B）成分の5
〜60重量％の範囲の一定割合で配合する。なお、本発明
でいう（A）成分の配合率（重量％）は、Ａ／Ｂ×100
（但し、Ａ及びＢは（A）成分及び（B）成分の配合量
（重量部）である）で計算されたものである。
【００１９】高圧水銀ランプの照度が強ければ光重合開
始剤のラジカル発生量は多くなる。よって、照度の違い
によってヒンダードフェノール系酸化防止剤の添加量を
最適量添加することが必要である。好ましくは、紫外線
露光装置のI線照度と（A）成分の配合率（重量％）が次
の関係を満たすようにする。 I線照度が5〜15mW/cm2の時、（A）の配合率5〜30重
量％、 I線照度が15〜40mW/cm2の時、（A）の配合率30〜60
重量％
始剤のラジカル発生量は多くなる。よって、照度の違い
によってヒンダードフェノール系酸化防止剤の添加量を
最適量添加することが必要である。好ましくは、紫外線
露光装置のI線照度と（A）成分の配合率（重量％）が次
の関係を満たすようにする。 I線照度が5〜15mW/cm2の時、（A）の配合率5〜30重
量％、 I線照度が15〜40mW/cm2の時、（A）の配合率30〜60
重量％
【００２０】光重合開始剤（B）の配合量は、本着色感
光性樹脂組成物の光硬化反応に用いる紫外線露光装置の
照度に反比例させて設定することがよい。即ち、5〜15m
W/cm 2の低照度の紫外線露光装置を用いる場合には、硬
化反応を促進する必要から（B）成分の配合率を感光性
樹脂成分（C）の6.0〜9.0重量％の多めの配合量とする
ことが好ましい。なお、（B）成分の配合率（重量％）
は、Ｂ／Ｃ×100（但し、Ｂ及びＣは（Ｂ）成分及び
（Ｃ）成分の配合量（重量部）である）。更に、このと
きの膜厚が0.5〜2.0μmの薄膜時には（B）成分の配合率
は6.0〜7.0重量％に、2.0〜4.0μmの厚膜時には（B）成
分の配合率は7.0〜9.0重量％とすることが更に好まし
い。
光性樹脂組成物の光硬化反応に用いる紫外線露光装置の
照度に反比例させて設定することがよい。即ち、5〜15m
W/cm 2の低照度の紫外線露光装置を用いる場合には、硬
化反応を促進する必要から（B）成分の配合率を感光性
樹脂成分（C）の6.0〜9.0重量％の多めの配合量とする
ことが好ましい。なお、（B）成分の配合率（重量％）
は、Ｂ／Ｃ×100（但し、Ｂ及びＣは（Ｂ）成分及び
（Ｃ）成分の配合量（重量部）である）。更に、このと
きの膜厚が0.5〜2.0μmの薄膜時には（B）成分の配合率
は6.0〜7.0重量％に、2.0〜4.0μmの厚膜時には（B）成
分の配合率は7.0〜9.0重量％とすることが更に好まし
い。
【００２１】また、15〜40mW/cm2未満の高照度の紫外線
露光装置を用いる場合には、硬化反応を抑制する必要か
ら光重合開始剤（B）の配合率は5.0〜7.0重量％の少な
めの配合量とすることが好ましく、更にこのときの膜厚
が0.5〜2.0μmの薄膜時には（B）成分の配合率は5.0〜
6.0重量％に、2.0〜4.0μmの厚膜時には（B）成分の配
合率は6.0〜7.0重量％とすることが更に好ましい。
露光装置を用いる場合には、硬化反応を抑制する必要か
ら光重合開始剤（B）の配合率は5.0〜7.0重量％の少な
めの配合量とすることが好ましく、更にこのときの膜厚
が0.5〜2.0μmの薄膜時には（B）成分の配合率は5.0〜
6.0重量％に、2.0〜4.0μmの厚膜時には（B）成分の配
合率は6.0〜7.0重量％とすることが更に好ましい。
【００２２】（C）感光性樹脂成分の配合率は、着色感
光性樹脂組成物の塗工特性やパターン膜厚の要求値によ
って種々規定される他、用いる感光性樹脂の種類によっ
ても変化するが、一般的には溶剤も含んだ着色感光性樹
脂組成物中、10〜30重量％の範囲とすることが好まし
い。
光性樹脂組成物の塗工特性やパターン膜厚の要求値によ
って種々規定される他、用いる感光性樹脂の種類によっ
ても変化するが、一般的には溶剤も含んだ着色感光性樹
脂組成物中、10〜30重量％の範囲とすることが好まし
い。
【００２３】（D）分散顔料の配合率も、用いる顔料の
種類や要求されるカラーフィルターの色純度によっても
異なるが、一般的には樹脂成分である（C）成分と（E）
成分の合計に対する比率、即ち、顔料重量／樹脂成分合
計の比（以下、P／Bと称する）が、0.3〜0.8の範囲とす
るのが好ましい。
種類や要求されるカラーフィルターの色純度によっても
異なるが、一般的には樹脂成分である（C）成分と（E）
成分の合計に対する比率、即ち、顔料重量／樹脂成分合
計の比（以下、P／Bと称する）が、0.3〜0.8の範囲とす
るのが好ましい。
【００２４】本発明の着色感光性樹脂組成物は、塗工を
容易とするため、溶剤に溶解又は希釈させて使用するこ
とが好ましい。このために使用する溶剤としては、例え
ば、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレン
グリコールモノヘキスルエーテル、エチレングリコール
モノフェニルエーテル、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノフェニルエーテ
ル、ジエチテングリコールジメチルエーテル、トリエチ
レングリコールジメチルエーテル等の各種のグリコール
エーテル類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイ
ソブチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン、ペン
トキノン、N-メチルピロリドン、γ-ブチロラクトン等
のケトン類、ブチルエーテル、ジオキサン、テトラヒド
ロフラン等のエーテル類、メトキシブタノール、ジアセ
トンアルコール、ブタノール、イソプロパノール等のア
ルコール類、トルエン、キシレン、ヘキサン等の炭化水
素類、酢酸エチル、酢酸ブチル、安息香酸エチル等のエ
ステル類等を挙げることができる。このような溶剤の１
種又は２種以上を用いて溶解、混合又は分散させること
により、塗工に適した均一な溶液状の組成物となる。
容易とするため、溶剤に溶解又は希釈させて使用するこ
とが好ましい。このために使用する溶剤としては、例え
ば、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレン
グリコールモノヘキスルエーテル、エチレングリコール
モノフェニルエーテル、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノフェニルエーテ
ル、ジエチテングリコールジメチルエーテル、トリエチ
レングリコールジメチルエーテル等の各種のグリコール
エーテル類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイ
ソブチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン、ペン
トキノン、N-メチルピロリドン、γ-ブチロラクトン等
のケトン類、ブチルエーテル、ジオキサン、テトラヒド
ロフラン等のエーテル類、メトキシブタノール、ジアセ
トンアルコール、ブタノール、イソプロパノール等のア
ルコール類、トルエン、キシレン、ヘキサン等の炭化水
素類、酢酸エチル、酢酸ブチル、安息香酸エチル等のエ
ステル類等を挙げることができる。このような溶剤の１
種又は２種以上を用いて溶解、混合又は分散させること
により、塗工に適した均一な溶液状の組成物となる。
【００２５】また、本発明の着色感光性樹脂組成物に
は、界面活性剤、カップリング剤、充填剤、可塑剤、接
着促進剤などの添加物を必要により加えることができ
る。
は、界面活性剤、カップリング剤、充填剤、可塑剤、接
着促進剤などの添加物を必要により加えることができ
る。
【００２６】
【発明の実施の形態】一般に、酸化防止剤は、ラジカル
を効率よく捕捉する働きがあり、光重合開始剤や樹脂起
因によるラジカル種を捕捉した場合、重合反応が抑制さ
れてパターンの線太りが抑制される。酸化防止剤を最適
量添加した場合、パターンのトップ幅よりもボトム幅の
太りを制御する作用がみられたが、これは、大気中の酸
素に接しやすいパターン表面部はパーオキシラジカルに
よる酸素禁止反応が起きやすく、酸化防止剤を添加して
いない系ではパターン表面荒れ、トップ幅の過度な減少
などの問題が生じやすいのに比べて、酸化防止剤を添加
するとパーオキシラジカルを捕捉し酸素禁止反応を抑制
する働きがあるためと推測される。
を効率よく捕捉する働きがあり、光重合開始剤や樹脂起
因によるラジカル種を捕捉した場合、重合反応が抑制さ
れてパターンの線太りが抑制される。酸化防止剤を最適
量添加した場合、パターンのトップ幅よりもボトム幅の
太りを制御する作用がみられたが、これは、大気中の酸
素に接しやすいパターン表面部はパーオキシラジカルに
よる酸素禁止反応が起きやすく、酸化防止剤を添加して
いない系ではパターン表面荒れ、トップ幅の過度な減少
などの問題が生じやすいのに比べて、酸化防止剤を添加
するとパーオキシラジカルを捕捉し酸素禁止反応を抑制
する働きがあるためと推測される。
【００２７】次に、本着色感光性樹脂組成物を用いたカ
ラーフィルターの製造法について説明する。まず、本着
色感光性樹脂組成物を、ガラス等の基板上にスピンコー
ター、バーコーター、スプレー等の塗工機若しくは印刷
法等により所定厚みに塗布、乾燥して着色塗板を得る。
この塗板にフォトマスクを介して、超高圧水銀灯、高圧
水銀ランプ、メタルハライドランプ、遠紫外線灯等の光
源を用いて露光を行い、塗膜中の感光性樹脂を光硬化さ
せる。次に、露光済み塗板を炭酸ナトリウム等のアルカ
リ金属炭酸塩、水酸化ナトリウム等のアルカリ金属水酸
化物、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド等
の有機塩基などのアルカリ水溶液の流れ又はシャワー中
にさらしてアルカリ現像及び水洗浄を行って基板上にパ
ターンを形成する。次に、パターン形成基板をベーキン
グしてパターン中の樹脂成分を加熱硬化させる。これを
赤、緑、青の各着色感光性樹脂組成物について3回繰り
返すことでカラーフィルターが作製される。なお、本発
明では、塗布、乾燥工程、露光工程及びアルカリ現像工
程は必須であるが、他の工程については、別の方法とす
ることも可能である。
ラーフィルターの製造法について説明する。まず、本着
色感光性樹脂組成物を、ガラス等の基板上にスピンコー
ター、バーコーター、スプレー等の塗工機若しくは印刷
法等により所定厚みに塗布、乾燥して着色塗板を得る。
この塗板にフォトマスクを介して、超高圧水銀灯、高圧
水銀ランプ、メタルハライドランプ、遠紫外線灯等の光
源を用いて露光を行い、塗膜中の感光性樹脂を光硬化さ
せる。次に、露光済み塗板を炭酸ナトリウム等のアルカ
リ金属炭酸塩、水酸化ナトリウム等のアルカリ金属水酸
化物、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド等
の有機塩基などのアルカリ水溶液の流れ又はシャワー中
にさらしてアルカリ現像及び水洗浄を行って基板上にパ
ターンを形成する。次に、パターン形成基板をベーキン
グしてパターン中の樹脂成分を加熱硬化させる。これを
赤、緑、青の各着色感光性樹脂組成物について3回繰り
返すことでカラーフィルターが作製される。なお、本発
明では、塗布、乾燥工程、露光工程及びアルカリ現像工
程は必須であるが、他の工程については、別の方法とす
ることも可能である。
【００２８】
【実施例】以下、実施例及び比較例に基づいて、本発明
を具体的に説明する。ここで、実施例、比較例のカラー
フィルターの製造で用いた原料及び略号は以下の通りで
ある。 （感光性樹脂成分） C-1：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジ
ペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物；
日本化薬（株）製 商品名 DPHA C-2：フルオレン骨格を有するエポキシアクリレートの
酸無水物重縮合物のプロピレングリコールモノメチルエ
ーテルアセテート溶液；新日鐵化学（株）製商品名V259
ME及び同社製 商品名V301MEの重量比52.9：47.1の混合
物（樹脂固形分濃度=56.1重量％） （その他の樹脂成分） F-1：3,3',5,5'-テトラメチル-4,4'-ビフェノールジグ
リシジルエーテル
を具体的に説明する。ここで、実施例、比較例のカラー
フィルターの製造で用いた原料及び略号は以下の通りで
ある。 （感光性樹脂成分） C-1：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジ
ペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物；
日本化薬（株）製 商品名 DPHA C-2：フルオレン骨格を有するエポキシアクリレートの
酸無水物重縮合物のプロピレングリコールモノメチルエ
ーテルアセテート溶液；新日鐵化学（株）製商品名V259
ME及び同社製 商品名V301MEの重量比52.9：47.1の混合
物（樹脂固形分濃度=56.1重量％） （その他の樹脂成分） F-1：3,3',5,5'-テトラメチル-4,4'-ビフェノールジグ
リシジルエーテル
【００２９】（光重合開始剤） B-1：2-メチル-1-[4-（メチルチオ）フェニル]-2-モノ
フォリノプロパン-1-オン B-2：p,p-ジエチルアミノベンゾフェノン B-3：2-（4-メトキシスチリル）-4,6-ビス（トリクロロ
メチル）-1,3,5-トリアジン （ヒンダードフェノール系酸化防止剤） A-1：ペンタエリスリチル-テトラキス[3-（3,5-ジ-t-ブ
チル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート] A-2：オキタデシル-3-（3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシ
フェニル）プロピオネート A-3：トリエチレングリコール-ビス[3-（3-t-ブチル-5-
メチル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート] A-4：1,6-ヘキサンジオール-ビス-[3-（3,5-ジ-t-ブチ
ル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート]
フォリノプロパン-1-オン B-2：p,p-ジエチルアミノベンゾフェノン B-3：2-（4-メトキシスチリル）-4,6-ビス（トリクロロ
メチル）-1,3,5-トリアジン （ヒンダードフェノール系酸化防止剤） A-1：ペンタエリスリチル-テトラキス[3-（3,5-ジ-t-ブ
チル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート] A-2：オキタデシル-3-（3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシ
フェニル）プロピオネート A-3：トリエチレングリコール-ビス[3-（3-t-ブチル-5-
メチル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート] A-4：1,6-ヘキサンジオール-ビス-[3-（3,5-ジ-t-ブチ
ル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート]
【００３０】（分散顔料） D-1：ε型フタロシアニンブルー顔料（C.I.ピグメント
ナンバーPB-15：6）を顔料濃度14.2重量％でプロピレン
グリコールモノメチルエーテルアセテート溶媒へ分散し
たもの。 （溶剤） G-1：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ート G-2：ジエチレングリコールジメチルエーテル （シランカップリング剤） H-1：チッソ（株）製 商品名S-510 （界面活性剤） I-1：住友スリーエム（株）製 商品名フロラードFC-430
ナンバーPB-15：6）を顔料濃度14.2重量％でプロピレン
グリコールモノメチルエーテルアセテート溶媒へ分散し
たもの。 （溶剤） G-1：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ート G-2：ジエチレングリコールジメチルエーテル （シランカップリング剤） H-1：チッソ（株）製 商品名S-510 （界面活性剤） I-1：住友スリーエム（株）製 商品名フロラードFC-430
【００３１】また、実施例、比較例におけるカラーフィ
ルターの評価項目と方法は以下の通りである。 ＜評価項目と方法＞ （膜厚）触針式膜厚計（東京精密（株）製 商品名サー
フコム）を用いて測定した。 （線幅）測長顕微鏡（（株）ニコン製 商品名XD-20）を
用い、カラーフィルター画素パターンの所定箇所の線幅
を測定し、マスク幅100μmに対して線太り率が±6％未
満のときを○、それ以上のときを×と判定した。
ルターの評価項目と方法は以下の通りである。 ＜評価項目と方法＞ （膜厚）触針式膜厚計（東京精密（株）製 商品名サー
フコム）を用いて測定した。 （線幅）測長顕微鏡（（株）ニコン製 商品名XD-20）を
用い、カラーフィルター画素パターンの所定箇所の線幅
を測定し、マスク幅100μmに対して線太り率が±6％未
満のときを○、それ以上のときを×と判定した。
【００３２】（密着性）現像後の画素パターンを顕微鏡
観察し、基板に対する剥離やパターンエッジ部分のギザ
ツキが認められないものを○<良好>、一部認められるも
のを△<やや不良>、全域に認められるものを×<不良>と
評価した。と評価した。 （表面荒れ）製造したカラーフィルター表面を目視観察
し、ヘーズのないものを○<良好>、あるものを×<不良>
と評価した。 （現像マージン）現像時間60秒で調製した画素パターン
を顕微鏡観察し、剥離や極端な線細りが認められないも
のを○<良好>、認められるものを×<不良>と評価した。
観察し、基板に対する剥離やパターンエッジ部分のギザ
ツキが認められないものを○<良好>、一部認められるも
のを△<やや不良>、全域に認められるものを×<不良>と
評価した。と評価した。 （表面荒れ）製造したカラーフィルター表面を目視観察
し、ヘーズのないものを○<良好>、あるものを×<不良>
と評価した。 （現像マージン）現像時間60秒で調製した画素パターン
を顕微鏡観察し、剥離や極端な線細りが認められないも
のを○<良好>、認められるものを×<不良>と評価した。
【００３３】実施例1 表1記載の配合で、着色感光性樹脂組成物を調製した。
表１において、光重合開始剤配合率は感光性樹脂成分に
対する割合であり、ヒンダードフェノール系酸化防止剤
の配合率は光重合開始剤配合量に対する割合である。こ
の着色感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて5
インチ×5インチのガラス基板上に乾燥後の膜厚が1.25
μmとなるように塗布した後、25℃の温度下、塗膜表面
にタックが生じなくなるまで充分自然乾燥し、形成した
乾燥塗膜の上に、ライン/スペース=100μm/100μmのネ
ガ型フォトマスクを被せ、露光ギャップを175μmに調整
した上で、I線照度9mW/cm2（ウシオ電機（株）製照度
計、商品名：UIT-101/受光器UVD-365PDで測定した値）
の超高圧水銀ランプ（ハイテック（株）製商品名：HTE
505S)、を用いて200mj/cm2の紫外線を照射し感光部分の
光硬化反応を行った。次に、この露光済み塗板を0.4％
炭酸ナトリウム水溶液中、25℃にて30秒及び60秒のデイ
ップ現像及び2K圧のスプレー水洗（基板とスプレー噴射
部を10cm離した状態）を行い、ガラス基板上に青色の画
素パターンを形成、パターン線幅及びガラス基板との密
着性、塗膜表面荒れ、現像マージンを評価した。結果
は、表1に示した通り良好であった。
表１において、光重合開始剤配合率は感光性樹脂成分に
対する割合であり、ヒンダードフェノール系酸化防止剤
の配合率は光重合開始剤配合量に対する割合である。こ
の着色感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて5
インチ×5インチのガラス基板上に乾燥後の膜厚が1.25
μmとなるように塗布した後、25℃の温度下、塗膜表面
にタックが生じなくなるまで充分自然乾燥し、形成した
乾燥塗膜の上に、ライン/スペース=100μm/100μmのネ
ガ型フォトマスクを被せ、露光ギャップを175μmに調整
した上で、I線照度9mW/cm2（ウシオ電機（株）製照度
計、商品名：UIT-101/受光器UVD-365PDで測定した値）
の超高圧水銀ランプ（ハイテック（株）製商品名：HTE
505S)、を用いて200mj/cm2の紫外線を照射し感光部分の
光硬化反応を行った。次に、この露光済み塗板を0.4％
炭酸ナトリウム水溶液中、25℃にて30秒及び60秒のデイ
ップ現像及び2K圧のスプレー水洗（基板とスプレー噴射
部を10cm離した状態）を行い、ガラス基板上に青色の画
素パターンを形成、パターン線幅及びガラス基板との密
着性、塗膜表面荒れ、現像マージンを評価した。結果
は、表1に示した通り良好であった。
【００３４】実施例２ ヒンダードフェノール系酸化防止剤をA-1からA-2に変え
た以外は実施例1と同様の配合、同様の条件でカラーフ
ィルターを製造して評価を行い、表１に示した通り良好
な結果を得た。
た以外は実施例1と同様の配合、同様の条件でカラーフ
ィルターを製造して評価を行い、表１に示した通り良好
な結果を得た。
【００３５】実施例３ 光重合開始剤配合率を6.50％から5.50％に減じ、ヒンダ
ードフェノール系酸化防止剤をA-1からA-3に変え、配合
率を14.0％から40.0％に増やし、紫外線露光装置をI線
照度23mW/cm2のもの（大日本スクリーン（株）製）に変
えた以外は実施例1と同様の配合、同様の条件でカラー
フィルターを製造して評価を行い、表１に示した通り良
好な結果を得た。
ードフェノール系酸化防止剤をA-1からA-3に変え、配合
率を14.0％から40.0％に増やし、紫外線露光装置をI線
照度23mW/cm2のもの（大日本スクリーン（株）製）に変
えた以外は実施例1と同様の配合、同様の条件でカラー
フィルターを製造して評価を行い、表１に示した通り良
好な結果を得た。
【００３６】実施例４ 光重合開始剤配合率を6.50％から7.50％に増やし、ヒン
ダードフェノール系酸化防止剤をA-1からA-4に変え、着
色感光性樹脂組成物塗膜の膜厚を1.25μmから3.00μmに
増やした以外は、実施例1と同様の配合、同様の条件で
カラーフィルターを製造して評価を行い、表１に示した
通り良好な結果を得た。
ダードフェノール系酸化防止剤をA-1からA-4に変え、着
色感光性樹脂組成物塗膜の膜厚を1.25μmから3.00μmに
増やした以外は、実施例1と同様の配合、同様の条件で
カラーフィルターを製造して評価を行い、表１に示した
通り良好な結果を得た。
【００３７】実施例５ 光重合開始剤配合率を6.50％から5.50％に減じ、ヒンダ
ードフェノール系酸化防止剤配合率を14.0％から40.0％
に増やし、紫外線露光装置をI線照度23mW/cm2のもの
（大日本スクリーン（株）製）に変えた以外は実施例1
と同様の配合、同様の条件でカラーフィルターを製造し
て評価を行い、表１に示した通り良好な結果を得た。
ードフェノール系酸化防止剤配合率を14.0％から40.0％
に増やし、紫外線露光装置をI線照度23mW/cm2のもの
（大日本スクリーン（株）製）に変えた以外は実施例1
と同様の配合、同様の条件でカラーフィルターを製造し
て評価を行い、表１に示した通り良好な結果を得た。
【００３８】実施例６ ヒンダードフェノール系酸化防止剤配合率を40.0％から
55.0％に増やした以外は実施例5と同様の配合、同様の
条件でカラーフィルターを製造して評価を行い、表２に
示した通り良好な結果を得た。
55.0％に増やした以外は実施例5と同様の配合、同様の
条件でカラーフィルターを製造して評価を行い、表２に
示した通り良好な結果を得た。
【００３９】実施例７ 光重合開始剤配合率を6.50％から7.50％増やし、着色感
光性樹脂組成物塗膜の膜厚を1.25μmから3.00μmに増や
した以外は、実施例1と同様の配合、同様の条件でカラ
ーフィルターを製造して評価を行い、表２に示した通り
良好な結果を得た。
光性樹脂組成物塗膜の膜厚を1.25μmから3.00μmに増や
した以外は、実施例1と同様の配合、同様の条件でカラ
ーフィルターを製造して評価を行い、表２に示した通り
良好な結果を得た。
【００４０】実施例８ 光重合開始剤B-1配合率を2.50％、 B-3配合率を2.00％
とし、ヒンダードフェノール系酸化防止剤配合率を14.0
％から40.0％に増やし、紫外線露光装置をI線照度23mW/
cm2のものに変え、着色感光性樹脂組成物塗膜の膜厚を
1.25μmから3.00μmに増やした以外は、実施例1と同様
の配合、同様の条件でカラーフィルターを製造して評価
を行い、表２に示した通り良好な結果を得た。
とし、ヒンダードフェノール系酸化防止剤配合率を14.0
％から40.0％に増やし、紫外線露光装置をI線照度23mW/
cm2のものに変え、着色感光性樹脂組成物塗膜の膜厚を
1.25μmから3.00μmに増やした以外は、実施例1と同様
の配合、同様の条件でカラーフィルターを製造して評価
を行い、表２に示した通り良好な結果を得た。
【００４１】実施例９ I線照度23mW/cm2の超高圧水銀ランプを用いて200mj/cm2
の紫外線を照射し感光部分の光硬化反応を行った以外
は、実施例1と同様の条件でカラーフィルターを製造し
て評価を行った。結果を表２に示したが、パターンのボ
トム線幅に6％以上の線太りが認められたため、線幅判
定は×の不良となったものの、パターン密着性、表面荒
れ、現像マージン等の線幅特性は良好であった。
の紫外線を照射し感光部分の光硬化反応を行った以外
は、実施例1と同様の条件でカラーフィルターを製造し
て評価を行った。結果を表２に示したが、パターンのボ
トム線幅に6％以上の線太りが認められたため、線幅判
定は×の不良となったものの、パターン密着性、表面荒
れ、現像マージン等の線幅特性は良好であった。
【００４２】実施例10 I線照度23mW/cm2を用いて200mj/cm2の紫外線を照射し感
光部分の光硬化反応を行った以外は、実施例7と同様の
条件でカラーフィルターを製造して評価を行った。結果
を表２に示したが、パターンのボトム線幅に6％以上の
線太りが認められたため、線幅判定は×の不良となった
ものの、パターン密着性、表面荒れ、現像マージン等の
線幅特性は良好であった。
光部分の光硬化反応を行った以外は、実施例7と同様の
条件でカラーフィルターを製造して評価を行った。結果
を表２に示したが、パターンのボトム線幅に6％以上の
線太りが認められたため、線幅判定は×の不良となった
ものの、パターン密着性、表面荒れ、現像マージン等の
線幅特性は良好であった。
【００４３】実施例11 I線照度9mW/cm2を用いて200mj/cm2の紫外線を照射し感
光部分の光硬化反応を行った以外は、実施例8と同様の
条件でカラーフィルターを製造して評価を行った。結果
を表２に示したが、パターンのボトム線幅に6％以上の
線細りが認められたため、線幅判定は×の不良となった
ものの、パターン密着性、表面荒れ、現像マージン等の
線幅特性は良好であった。
光部分の光硬化反応を行った以外は、実施例8と同様の
条件でカラーフィルターを製造して評価を行った。結果
を表２に示したが、パターンのボトム線幅に6％以上の
線細りが認められたため、線幅判定は×の不良となった
ものの、パターン密着性、表面荒れ、現像マージン等の
線幅特性は良好であった。
【００４４】比較例1 ヒンダードフェノール系酸化防止剤を配合せず、かつ光
重合開始剤B-2配合率を1.00％とした以外は、実施例1と
同様の条件でカラーフィルターを製造して評価を行っ
た。結果を表３に示したが、パターンのボトム線幅に6
％以上の線太りが認められたため、線幅判定は×の不良
となった。また、パターン密着性および表面荒れが、良
好でなかった。
重合開始剤B-2配合率を1.00％とした以外は、実施例1と
同様の条件でカラーフィルターを製造して評価を行っ
た。結果を表３に示したが、パターンのボトム線幅に6
％以上の線太りが認められたため、線幅判定は×の不良
となった。また、パターン密着性および表面荒れが、良
好でなかった。
【００４５】比較例2 ヒンダードフェノール系酸化防止剤を配合せず、かつ光
重合開始剤B-3配合率を0.80％とした以外は、実施例1と
同様の条件でカラーフィルターを製造して評価を行っ
た。結果を表３に示したが、パターンのボトム線幅に6
％以上の線太りが認められたため、線幅判定は×の不良
となった。また、パターン密着性および表面荒れが、良
好でなかった。
重合開始剤B-3配合率を0.80％とした以外は、実施例1と
同様の条件でカラーフィルターを製造して評価を行っ
た。結果を表３に示したが、パターンのボトム線幅に6
％以上の線太りが認められたため、線幅判定は×の不良
となった。また、パターン密着性および表面荒れが、良
好でなかった。
【００４６】比較例3 ヒンダードフェノール系酸化防止剤を配合していない以
外は、実施例9と同様の条件でカラーフィルターを製造
して評価を行った。結果を表３に示したが、パターンの
ボトム線幅に6％以上の線太りが認められたため、線幅
判定は×の不良となった。
外は、実施例9と同様の条件でカラーフィルターを製造
して評価を行った。結果を表３に示したが、パターンの
ボトム線幅に6％以上の線太りが認められたため、線幅
判定は×の不良となった。
【００４７】比較例4 ヒンダードフェノール系酸化防止剤を配合していない以
外は、実施例7と同様の条件でカラーフィルターを製造
して評価を行った。結果を表３に示したが、パターンの
ボトム線幅に6％以上の線太りが認められたため、線幅
判定は×の不良となった。また、パターン密着性および
表面荒れが、良好でなかった。
外は、実施例7と同様の条件でカラーフィルターを製造
して評価を行った。結果を表３に示したが、パターンの
ボトム線幅に6％以上の線太りが認められたため、線幅
判定は×の不良となった。また、パターン密着性および
表面荒れが、良好でなかった。
【００４８】比較例5 ヒンダードフェノール系酸化防止剤を配合せず、 B-2配
合率を0.50％、 B-3配合率を1.50％とした以外は光重合
開始剤の以外は、実施例10と同様の条件でカラーフィル
ターを製造して評価を行った。結果を表３に示したが、
パターンのボトム線幅に6％以上の線細りが認められた
ため、線幅判定は×の不良となった。また、パターン密
着性、表面荒れおよび現像マージンが、良好でなかっ
た。
合率を0.50％、 B-3配合率を1.50％とした以外は光重合
開始剤の以外は、実施例10と同様の条件でカラーフィル
ターを製造して評価を行った。結果を表３に示したが、
パターンのボトム線幅に6％以上の線細りが認められた
ため、線幅判定は×の不良となった。また、パターン密
着性、表面荒れおよび現像マージンが、良好でなかっ
た。
【００４９】比較例6 ラジカル捕捉剤として、ヒンダードフェノール系酸化防
止剤から、ヒンダードアミン系光安定剤（ビス（1,2,2,
6,6-ペンタメチル-4-ピレリジニル）セバケート）に変
えた以外は実施例1と同様の配合、同様の条件でカラー
フィルターを製造して評価を行った。結果はヒンダード
アミン系光安定剤の溶解性が悪く、スピンコーターでガ
ラス基板状にレジストインキを塗布後の表面状態を観察
すると、不溶成分の異物が多数存在し良好な塗布状態が
得られなかったため、不適とした。
止剤から、ヒンダードアミン系光安定剤（ビス（1,2,2,
6,6-ペンタメチル-4-ピレリジニル）セバケート）に変
えた以外は実施例1と同様の配合、同様の条件でカラー
フィルターを製造して評価を行った。結果はヒンダード
アミン系光安定剤の溶解性が悪く、スピンコーターでガ
ラス基板状にレジストインキを塗布後の表面状態を観察
すると、不溶成分の異物が多数存在し良好な塗布状態が
得られなかったため、不適とした。
【００５０】上記実施例１〜１１の結果を表１及び表２
に示し、比較例１〜５の結果を表３に示す。なお、表２
は表１のつづきであり、左向きの矢印は左に同じを意味
する。したがって、表２の左向きの矢印は、表１と続け
て読まれる。
に示し、比較例１〜５の結果を表３に示す。なお、表２
は表１のつづきであり、左向きの矢印は左に同じを意味
する。したがって、表２の左向きの矢印は、表１と続け
て読まれる。
【００５１】
【表１】
【００５２】
【表２】
【００５３】
【表３】
【００５４】
【発明の効果】本発明の着色感光性樹脂組成物は、光重
合開始剤に対して一定割合でヒンダードフェノール系酸
化防止剤が配合されているため、パターン密着性等を損
なうこのないパターン寸法精度に優れたカラーフィルタ
ーの製造方法が提供できる。
合開始剤に対して一定割合でヒンダードフェノール系酸
化防止剤が配合されているため、パターン密着性等を損
なうこのないパターン寸法精度に優れたカラーフィルタ
ーの製造方法が提供できる。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０８Ｋ 5/3412 Ｃ０８Ｋ 5/3412 5/375 5/375 Ｃ０８Ｌ 101/00 Ｃ０８Ｌ 101/00 Ｇ０３Ｆ 7/004 ５０２ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５０２ ５０５ ５０５ 7/027 7/027 7/028 7/028 (72)発明者 藤城 光一 千葉県木更津市築地１番地 新日鐵化学株 式会社電子材料開発センター内 (72)発明者 横山 直樹 千葉県木更津市築地１番地 新日鐵化学株 式会社電子材料開発センター内 Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AA04 AA14 AB13 AC01 AD01 BC31 BC51 CA01 CA14 CA27 CA28 CA35 CC01 CC12 FA03 FA17 2H048 BA45 BA47 BA48 BB02 BB14 BB42 4J002 BC011 BF011 BF021 BF041 BG041 BG051 BG071 BG131 BJ001 CD201 CH051 EJ026 EJ036 EJ046 EJ066 EU027 EV056 FD076 FD097 GP03 4J011 PA23 PA27 PA33 PA43 PA44 PA45 PB24 PB25 PC02 QA08 QA12 QA13 QA17 QA18 QA19 QA22 QA23 QA24 QA33 QA34 QA35 QA39 QA40 QA46 QB16 QB19 QB20 SA02 SA04 SA12 SA16 SA22 SA25 SA27 SA28 SA29 SA34 SA61 SA78 SA82 SA83 WA01
Claims (9)
- 【請求項１】 （A）ヒンダードフェノール系酸化防止
剤、（B）光重合開始剤、（C）感光性樹脂及び／又は感
光性モノマーからなる感光性樹脂成分及び（D）分散顔
料を必須成分として含むカラーフィルター用着色感光性
樹脂組成物。 - 【請求項２】 （A）ヒンダードフェノール系酸化防止
剤、（B）光重合開始剤、（C）感光性樹脂及び／又は感
光性モノマーからなる感光性樹脂成分及び（D）分散顔
料を必須成分として含む着色感光性樹脂組成物を所定の
乾燥膜厚みとなるように透明基板上に塗工、乾燥した
後、（a）紫外線露光装置による露光、（b）アルカリ水
溶液による現像の各工程を必須工程とするカラーフィル
ターの製造方法。 - 【請求項３】 ヒンダードフェノール系酸化防止剤が、
トリエチレングリコール-ビス[3-（3-t-ブチル-5-メチ
ル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート]、1,6-ヘキ
サンジオール-ビス-[3-（3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキ
シフェニル）プロピオネート]、ペンタエリスリチル−
テトラキス[3-（3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニ
ル）プロピオネート]、オクタデシル-3-（3,5-ジ-t-ブ
チル-4-ヒドロキシフェニル）プロピオネート、1,3,5-
トリメチル-2,4,6-トリス（3,5-ジ-t-ブチル-4-ヒドロ
キシベンジル）ベンゼン、2,6-ジ-t-ブチル-4-エチルフ
ェノール、2,2'-メチレンビス（4-メチル-6-t-ブチルフ
ェノール）、4,4'-チオ-ビス（3-メチル-6-t-ブチルフ
ェノール）、4,4'-ブチリデン-ビス（3-メチル-6-t-ブ
チルフェノール）、1,1,3-トリス（2-メチル-4ヒドロキ
シ-5-t-ブチルフェニル）ブタン、1,3,5-トリス（4-ヒ
ドロキシベンジル）ベンゼン及びテトラキス[メチレン-
3-（3,5'-ジ-t-ブチル-4'-ヒドロキシフェニルプロピオ
ネート）]メタンからなる群から選ばれる少なくとも一
つ以上の化合物である請求項２に記載のカラーフィルタ
ーの製造方法。 - 【請求項４】 （D）分散顔料が、フタロシアニンブル
ー顔料分散体である請求項２又は３記載のカラーフィル
ターの製造方法。 - 【請求項５】 （A）ヒンダードフェノール系酸化防止
剤の配合率が（B）光重合開始剤の5〜60重量％の範囲で
あり、かつ（B）光重合開始剤の配合率が（C）感光性樹
脂成分の5〜9重量％の範囲である請求項２〜４のいずれ
かに記載のカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項６】 （a）紫外線露光装置のI線照度が5〜15m
W/cm2であり、膜厚が0.5〜2.0μmであり、（A）ヒンダ
ードフェノール系酸化防止剤の配合率が（B）光重合開
始剤の5〜30重量％の範囲にあり、かつ（B）光重合開始
剤の配合率が（C）感光性樹脂成分の6.0〜7.0重量％の
範囲にある請求項２〜５のいずれかに記載のカラーフィ
ルターの製造方法。 - 【請求項７】 （a）紫外線露光装置のI線照度が15〜40
mW/cm2で、膜厚が0.5〜2.0μmであり、（A）ヒンダード
フェノール系酸化防止剤の配合率が（B）光重合開始剤
の30〜60重量％の範囲にあり、かつ（B）光重合開始剤
の配合率が（C）感光性樹脂成分の5.0〜6.0重量％の範
囲にある請求項２〜５のいずれかに記載のカラーフィル
ターの製造方法。 - 【請求項８】 （a）紫外線露光装置のI線照度が5〜15m
W/cm2で、膜厚が2.0〜4.0μmであり、（A）ヒンダード
フェノール系酸化防止剤の配合率が（B）光重合開始剤
の5〜30重量％の範囲にあり、かつ（B）光重合開始剤の
配合率が（C）感光性樹脂成分7.0〜9.0重量％の範囲に
ある請求項２〜５のいずれかに記載のカラーフィルター
の製造方法。 - 【請求項９】 （a）紫外線露光装置のI線照度が15〜40
mW/cm2、膜厚が2.0〜4.0μmであり、（A）ヒンダードフ
ェノール系酸化防止剤の配合率が（B）光重合開始剤の3
0〜60重量％の範囲にあり、かつ（B）光重合開始剤の配
合率が（C）感光性樹脂成分の6.0〜7.0重量％の範囲に
ある請求項２〜５のいずれかに記載のカラーフィルター
の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000210106A JP2002022925A (ja) | 2000-07-11 | 2000-07-11 | カラーフィルターの製造方法及び着色感光性樹脂組成物 |
| TW90116276A TW574611B (en) | 2000-07-11 | 2001-07-03 | Method for producing color filter and colored photosensitive resin composition |
| KR1020010040853A KR20020006441A (ko) | 2000-07-11 | 2001-07-09 | 컬러필터의 제조방법 및 착색 감광성 수지 조성물 |
| CNB011248467A CN1220888C (zh) | 2000-07-11 | 2001-07-11 | 彩色滤光片的制造方法及着色感光性树脂组合物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000210106A JP2002022925A (ja) | 2000-07-11 | 2000-07-11 | カラーフィルターの製造方法及び着色感光性樹脂組成物 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2000210106A Withdrawn JP2002022925A (ja) | 2000-07-11 | 2000-07-11 | カラーフィルターの製造方法及び着色感光性樹脂組成物 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002022925A (ja) |
| KR (1) | KR20020006441A (ja) |
| CN (1) | CN1220888C (ja) |
| TW (1) | TW574611B (ja) |
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