JPH04181202A

JPH04181202A - カラーフィルター用感光性着色樹脂組成物

Info

Publication number: JPH04181202A
Application number: JP2308721A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Takao; 高尾　英昭; Kazuya Ishiwatari; 和也石渡; Tatsuo Murata; 辰雄村田; Noriyuki Nakai; 法行中井; Naoya Nishida; 直哉西田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1990-11-16
Filing date: 1990-11-16
Publication date: 1992-06-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、カラーフィルターを形成する際に用いる感光
性着色樹脂組成物に関するもので、特にカラー撮像素子
やカラーセンサー及びカラーデイスプレィなどの微細色
分解用として好適なカラーフィルターを形成する感光性
着色樹脂組成物に関するものである。

［従来の技術］従来、カラーフィルターとしては、基板上にゼラチン、
カゼイン、グリユーあるいはポリビニルアルコールなど
の親水性高分子物質からなる媒染層を設け、その媒染層
を色素で染色して着色層を形成する染色カラーフィルタ
ーが知られている。

このような染色法では、使用可能な染料が多くフィルタ
ーとして要求される分光特性への対応が比較的容易であ
るが、媒染層の染色工程に、染料を溶解させた染色洛中
に媒染層を浸漬するというコントロールの難しい湿式１
程を採用しており、また各色毎に防染用の中間層を設け
るといった複雑な工程を有するため歩留りが悪いといっ
た欠点を有している。また染色可能な色素の耐熱性が１
５０℃程度以下と比較的低く、該フィルターに熱的処理
を必要とする場合には、使用が困難である上、染色膜自
体の耐熱性、耐光性等の信頼性が劣るといった欠点も有
している。

これに対し、従来、ある種の着色材が透明樹脂中に分散
されてなる着色樹脂を用いたカラーフィルターが知られ
ている。

例えば、特開昭５８−４６３２５号公報、特開昭６０−
７８４０１号公報、特開昭６０−１８４２０２号公報、
特開昭６０−１８４２０３号公報、特開昭６０−１８４
２０４号公報、特開昭６０−１８４２０５号公報等に示
されている様に、ポリアミド樹脂またはポリイミド樹脂
等のポリアミノ系樹脂に着色材を混合した着色樹脂膜を
特徴とするカラーフィルターによれば、該ポリアミノ系
樹脂自体は、耐熱性、耐光性等の特性に優れたものであ
るが、非感光性樹脂であるためカラーフィルターのパタ
ーン形成には、微細パターンに不利な印刷による方法、
あるいは着色樹脂膜上にレジストによるマスクを設けた
後に、該着色樹脂膜をエツチングするという製造工程の
煩雑な方法をとらなければならなかった。

近年感光性を有するポリイミド樹脂を用いた着色剤が知
られてきたが、この樹脂はポリイミド前駆体型であり、
イミド化の為に通常３００℃以上の熱硬化が必要であっ
た。

一方、特開昭５７−１６４０７号公報、特開昭５７−７
４７０７号公報、特開昭６０−１２９７０７号公報等に
示されている様に、感光性樹脂に着色材を混合した着色
樹脂膜を特徴とするカラーフィルターによれば、カラー
フィルターの製造方法にとっては一般的なフォトリソ工
程のみで微細パターン化でき、工程の簡素化は可能とな
るが、該感光性樹脂として一般に用いられているものは
、樹脂膜材と感光性硬化剤とを混合してつくらねばなら
ない煩雑なものや、耐熱性、耐光性等の特性に充分満足
い（ものではなかった。

これに対し、本出願人は、既に特開昭６２−２１８９０
２号公報により、耐熱性の感光性ポリアミド樹脂あるい
はポリイミド樹脂及び色素、添加剤、溶剤等からなる感
光性着色樹脂組成物を用い、簡便な製造プロセスにより
微細パターンを形成することができ、さらに機械的特性
をはじめ、耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の諸性性の優れ
たカラーフィルターを提供できることを示した。

一般に、芳香族系のポリアミド樹脂あるいはポリイミド
樹脂には、その溶解性の観点から、溶剤には塩基性の極
性溶媒が用いられている。従って、これらの樹脂を使用
したカラーフィルター用感光性着色樹脂組成物において
も、溶剤として、通常は極性溶媒をその構成要素として
いる。

しかし、この様な溶媒系からなるカラーフィルター用感
光性着色樹脂組成物では、基板上にコーティングする際
のレベリング性（平坦性）あるいは、コーティング時の
色素の濃淡ムラの発生等の点でコーティング品位上、十
分満足できるものではなかった。特に、近年、カラーフ
ィルターを形成する基板の大版化傾向、及び生産性を向
上させる為に使用するロールコータ−や印刷機等のイン
キを転写によりコーティングする方法の使用により、こ
れらのコーティング品位上の問題は顕著になってきてい
る。

また、これらのコーティング品位が悪いことは、単にデ
バイスの性能を悪化させるのみならず、感光性着色樹脂
組成物を用いたカラーフィルターの形成時にも、コーテ
ィングムラからカラーフィルターの欠陥の発生等に結び
つき、歩留りにも大きく影響を及ぼす為、重要な問題と
なってきている。

［発明が解決しようとする課題］本発明の目的は、上述の従来例の持つ欠点を解消せしめ
、コーティング時にコーティング品位の優れた塗膜を形
成することができ、簡便な製造プロセスにより欠陥の少
ない微細パターンを形成することができるカラーフィル
ター用感光性着色樹脂組成物を提供することにある。

［課題を解決するための手段］即ち、本発明は、分子内に感光基を有する芳香族系のポ
リアミド樹脂またはポリイミド樹脂２色素、添加剤およ
び溶剤とを主成分とするカラーフィルター用感光性着色
樹脂組成物において、該溶剤が単独で樹脂を溶解可能な
第１の溶剤成分と、第１の溶剤成分より表面張力が小さ
（、単独では樹脂を溶解不可能な第２の溶剤成分とから
なリ、かつその配合比率において、第１の溶剤成分含有
量〉第２の溶剤成分含有量なる関係を有することを特徴
とするカラーフィルター用感光性着色樹脂組成物である
。

本発明によれば、表面張力の小さい第２の溶剤成分が、
樹脂の溶解性及び、その他感光性着色樹脂組成物として
の諸性性にほとんど影響を及ぼさない範囲で混合されて
いることにより、コーティング時のレベリング性及び、
色素の濃淡むら等の発生をなくし、コーティング品位の
優れたカラーフィルターを形成することができる。

本発明においける分子内に感光基を有する芳香族系のポ
リアミド樹脂またはポリイミド樹脂としては、　２００
℃以下にて硬化膜の得られるもので、特に、可視光波長
域（４００〜７００ｎｍ　）で特定の光吸収特性を持た
ないもの（光透過率で９０％程度以上のもの）が好まし
い。この観点からは、特に芳香族系のポリアミド樹脂が
好ましい。

また、本発明における感光性を有する基としては、以下
に示す様な感光性の炭化水素不飽和基をもつ芳香族鎖で
あれば良く、例えば、（１）安息香酸エステル類（式中Ｒ１はＣＨＸ＝ＣＹ−ＣＯＯ−Ｚ−１Ｘは−Ｈ又
は−ＣａＨｓ、Ｙは−Ｈ又は−ＣＨ３、Ｚは−又はエチ
ル基又はグリシジル基を示す）（２）ベンジルアクリレート類（式中Ｙは−Ｈ又はＣＨ３を示す）（３）ジフェニルエーテル類（式中Ｒ２はＣＨＸ＝ＣＹ−ＣＯＮＨ−１ＣＨ２＝ＣＹ
−ＣＯＯ−（ＣＨ２）　２−ＯＣＯ又はＣＨ２＝ＣＹ−
Ｃｏｏ−ＣＨ２−を１ヶ以上含むもの、Ｘ、Ｙは前記と
同じ基を示す）（４）カルコン類及びその他化合物鎖（式中Ｒ３はＨ−、アルキル基、アルコシキ基を示す）等が挙げられる。

これ等の基を分子内に持つ芳香族系のポリアミド樹脂及
びポリイミド樹脂の具体例を示すと、リソコートＰＡ−
１０００（宇部興産■製）、リソコートＰＩ−３００，
リソコートＰＩ−４００（宇部興産■製）等が挙げられ
る。

一般にフォトリソ工程で用いられる感光性樹脂は、その
化学構造によって差はあるものの、機械的特性をはじめ
耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の耐久性に優れたものは少
ない。これに対し、上記本発明の感光性ポリアミノ系樹
脂は、化学構造的にも、これらの耐久性に優れた樹脂系
であり、これらを用いて形成したカラーフィルターの耐
久性も非常に良好なものとなる。

本発明において、溶剤成分としては、主に樹脂を溶解さ
せる機能を有する第１の溶剤成分と、主にコーティング
品位を改善させる機能をもつ第２の溶剤成分とからなる
。

第１の溶剤成分としては、単独で樹脂を溶解することが
可能なもの、例えばＮ−メチル−２−ピロリドン（表面
張力ｙ　＝４１　（ｄｙｎｅ／ｃｍ）　（２５℃）；“
溶剤ハンドブック”■講談社サイエンティフィック）　
、　Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミド（γ＝３５．２（２
５℃）（２５℃）　）　、　Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトア
ミド（γ＝３２．４　（３０℃））、ジメチルスルホキ
シド（γ：４２．９　（２５℃））、ヘキサメチルホス
ホルアミド（γ＝３３．８　（２０℃））等が挙げられ
る。

第２の溶剤成分としては、単体では樹脂を溶解すること
が著しく難しいもので表面張力が小さく、かつ第１の溶
剤成分を含む感光性着色樹脂組成物との混和性の良いも
のから選ばれる。例えば、エチレングリコールモノメチ
ルエーテル（：３メチルセロソルブ、表面張力ｙ　＝　
３１．８　（ｄｙｎｅ／ｃｍ）（１４，９℃））、エチ
レングリコールモノエチルエーテル（３エチルセロソル
ブ、γ＝２８．２　（２５℃））、エチレングリコール
モノエチルエーテルアセテート（３エチルセロソルブア
セテート、γ；３１．８　（２５℃））、エチレングリ
コールモノブチルエーテル（＃ブチルセロソルブ、γ＝
２７．４　（２５℃））、ジアセトンアルコール（γ＝
３１．０　（２０℃））、ジエチレングリコールモノエ
チルエーテル（−３エチルカルピトール、γ＝３１．８
　（２５℃））、ジエチレングリコールジメチルエーテ
ルに８＋ジグライム、γ＝２９．５　（２５℃））等が
挙げられる。

これらの第１及び第２の溶剤成分の設定に際しては、第
１の溶剤成分の表面張力〉第２の溶剤成分の表面張力、
さらに第１の溶剤成分の使用量〉第２の溶剤成分の使用
量なる範囲より適当な組み合わせを選択する。

第１の溶剤成分よりも表面張力の大きな溶剤を第２の溶
剤成分に加えた場合には、コーティング品位の改善に結
びつかないし、又、第２の溶剤成分比率を高めていくと
、樹脂に対する溶解性が劣り、感光性着色樹脂としての
特性にも影響を及ぼし、安定性の悪い材料となる。

本発明における色素としては、有機顔料、無機顔料、染
料等のうち所望の分光特性を得られるものであれば、特
に限定されるものではない。この場合、各材料を単体で
用いることも、これらのうちのいくつかの混合物として
用いることもできる。ただし、染料を用いた場合には、
染料自体の耐久性により、カラーフィルターの性能が支
配されてしまうが、上記本発明の樹脂系を用いれば、通
常の染色カラーフィルターに比べ性能の優れたものが形
成可能である。従って、カラーフィルターの色特性及び
諸性能から勘案すると有機顔料が着色材料として最も好
ましい。

有機顔料としては、溶性アゾ系、不溶性アゾ系、縮合ア
ゾ系等のアゾ系顔料をはじめ、フタロシアニン系顔料、
そしてインジゴ系、アントラキノン系、ペリレン系、ペ
リノン系、ジオキサジン系、キナクリドン系、イソイン
ドリノン系、フタロン系、メチン・アゾメチン系、その
他金属錯体系を含む縮合多環系顔料、あるいはこれらの
うちのいくつかの混合物が用いられる。

本発明における添加剤としては、例えば光化学反応を促
進させる為に用いる通常の光重合開始剤あるいは増感剤
、硬化反応の暗反応を防ぐ為に用いる通常の熱重合防止
剤、有機顔料を均一に分散させる為に用いる通常の分散
剤や、基板との密着性を高める為に用いる通常のカップ
リング剤等が用いられる。

本発明のカラーフィルター用感光性着色樹脂組成物中に
おける各成分の配合割合は、分子内に感光基を有する芳
香族系のポリアミド樹脂またはポリイミド樹脂１００重
量部に対して、色素は１０〜１００重量部、好ましくは
３０〜９０重量部の範囲であり、添加剤は１〜４０＠ｇ
部、好ましくは５〜３０重量部の範囲で、また溶剤は１
０００〜２０００重量部、好ましくは１２００〜１８０
０重量部の範囲が望ましい。

本発明において、感光性着色樹脂組成物を調製する方法
は、第１の溶剤成分に溶解させた感光性ポリアミド樹脂
又はポリイミド樹脂溶液に所望の分光特性を有する色素
を樹脂に対して１０〜１００ｗｔ％程度の割合で配合し
、超音波、三本ロールあるいはボールミル等により充分
に分散させた後、フィルターにて、好ましくはｌｐｍ以
上の粒径の大きいものを除去する。次いで、第２の溶剤
成分及び添加剤類を加え、さらに異物を除去して調製す
る。なお、場合によっては、第２の溶剤成分のみをコー
ティングの直前に加える方法をとってもよい。この場合
には、樹脂の溶解性に不利な第２の溶剤成分が、保存状
態の感光性着色樹脂組成物中に混在していないので、安
定性の観点からより好ましい。

本発明の感光性着色樹脂組成物によるカラーフィルター
の形成は、該感光性着色樹脂組成物をスピンナー、ロー
ルコータ−９印刷機等のコーティング装置により、例え
ば、ガラス板、透明樹脂板、樹脂フィルム、あるいはブ
ラウン管表示面、撮像管の受光面、ＣＣＤ、　ＢＢＤ、
　Ｃ４Ｄ、　ＢＡＳＩＳ等の固体撮像素子が形成された
ウェハー、薄膜半導体を用いた密着型イメージセンサ−
１液晶デイスプレー面、カラー電子写真用感光体等の基
板上に塗布し、フォトリソ工程によりパターン状に形成
され、その層厚は所望とする分光特性に応じて決定され
るが、通常は０．５〜５ｐｍ程度、好ましくは、１〜２
涛ｍ程度が望ましい。

なお、上記のカラーフィルターは、それ自体充分な耐久
性を有する良好な材料で構成されているが、特に、より
各種の環境条件から、着色樹脂層を保護するためには、
着色樹脂層表面に、ポリアミド、ポリイミド、ポリウレ
タン、ポリカーボネート、シリコン系等の有機樹脂やＳ
ｉ３Ｎ４．　ＳｉＯ□。

ｓｉｏ、　Ａｉ）ｚｏａ、　ＴａｚＯ３等の無機膜をス
ピンコード。

ロールコート、印刷等の塗布法で、あるいは蒸着法によ
って、保護層として設けることができる。

以下、図面を参照しつつ、本発明の感光性着色樹脂組成
物を用いた代表的なカラーフィルターの形成法を説明す
る。

第１図は、カラーフィルターの形成法を説明する工程図
である。まず、第１図（ａ）に示すごとく、所望の分光
特性を有する色素を所定量配合したポリアミド樹脂また
はポリイミド樹脂（Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭ
Ｐ）／エチルセロソルブアセテート溶液）を用い、第１
色目の着色樹脂膜２を所定の基板１上に、ロールコータ
−を用い、所定の膜厚になるように塗布形成し、適当な
温度条件下でプリベークを行なう。次いで、第１図（ｂ
）に示すごと（、感光性着色樹脂の感度を有する光（例
えば、高圧水銀灯等）で、形成しようとするパターンに
対応した所定のパターン形状を有するフォトマスク３を
介して着色樹脂膜を露光し、パターン部の光硬化を行な
う。

そして第１図（ｃ）のごとく光硬化部分２ａを有した着
色樹脂膜２を、未露光部分のみを溶解する溶剤（例えば
、Ｎ−メチル−２−ピロリドン系溶剤等を主成分とする
もの）にて超音波現像した後、リンス処理（例えば、イ
ソプロピルアルコール等）を行なう。次いで、ボストベ
ーク処理を行ない、第１図（ｄ）のごとき本発明のパタ
ーン状着色樹脂層４を得ることができる。

なお、２色以上からなるカラーフィルターを形成する場
合には、更に必要に応じて、すなわち用いられるフィル
ターの色の数に応じて、第１図（ａ）から第１図（ｄ）
までの工程を、各色に対応した色素を分散させた着色樹
脂液をそれぞれ用いて繰り返して行ない、例えば、第１
図（ｅ）に示した様な異なる色のパターン状着色樹脂層
４，５及び６の３色からなるカラーフィルターを形成す
ることができる。

また、本発明のカラーフィルターは、第１図（ｆ）に示
すようにフィルター上部に、先に挙げたような材料から
形成した保護層７を有しているものであっても良い。

［実施例］以下に本発明の実施例を示す。

実施例ＩＮ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）に先め分散処理
を施した青色色素［ヘリオゲン　ブルー　（Ｈｅｌｉｏ
ｇｅｎ　Ｂｌｕｅ　）　Ｌ７０８０　　（商品名、ＢＡ
ＳＦ社製、Ｃ，１，Ｎｏ、７４１６０　）　］溶液（色
素含有量＠　１０ｗｔ％）に、感光性ポリアミド樹脂溶
液［ＰＡ−１０００（商品名、宇部興産社製、ポリマー
分′＝Ｆ１０ｗｔ％、溶剤＝Ｎ−メチルー２−ピロリド
ン］を顔料：樹脂＝１：２の重量比率になる様に配合し
、充分超音波分散を行なった。得られた溶液にエチルセ
ロソルブアセテート（ＥＣＡ）をＮＭＰ：　ＥＣＡ　＝
　４　：　１の重量比率になる様に配合し、青色カラー
フィルター用感光性着色樹脂組成物を得た。

この着色樹脂組成物を用い、ロールコータ−により、ガ
ラス基板上に１．５Ｉｊ、ｍの膜厚でコーティングを行
ない、８０℃、１０分間のプリベークを実施した。

得られたコーテイング膜は、表面上の著しい凹凸や、色
素の濃淡ムラ等のほとんど目立たないコーティング品位
の優れたものであった。

実施例２青色色素の代わりに、緑色色素である［リオノール　グ
リーン（Ｌｉｏｎｏｌ　Ｇｒｅｅｎ）　６ＹＫ　（ｆｌ
ｉ品名、東洋インキ社製、Ｃ，１，Ｎｏ、７４２６５　
）　］を用いる以外は、実施例１と同様にしてコーテイ
ング膜を得た。得られたコーテイング膜は、表面上の著
しい凹凸や色素の濃淡ムラ等のほとんど目立たないコー
ティング品位の優れたものであった。

実施例３青色色素の代わりに、赤色色素である［イルガジン　レ
ッド（Ｉｒｇａｚｉｎ　Ｒｅｄ　）　ＢＰＴ　　（商品
名、チバガイギ−（Ｃｉｂａ　−Ｇｅｉｇｙ　）社製、
Ｃ，１，Ｎｏ、７１１２７　）　］を用いる以外は、実
施例１と同様にしてコーテイング膜を得た。得られたコ
ーテイング膜は、表面上の著しい凹凸や、色素の濃淡ム
ラ等のほとんど目立たないコーティング品位の優れたも
のであった。

実施例４エチルセロソルブアセテートの代わりにブチルセロソル
ブをＮＭＰ　ニブチルセロソルブ＝９＝１に配合する以
外は、実施例１と同様に、青色カラーフィルター用感光
性着色樹脂組成物を得た。

この着色樹脂組成物を用い、配向膜用印刷機を利用して
コーティングを実施した。

実施例５実施例１で得た青色カラーフィルター用感光性着色樹脂
組成物、実施例２で得た緑色カラーフィルター用感光性
着色樹脂組成物及び、実施例３で得た赤色カラーフィル
ター用感光性着色樹月１ｒｆｆｉ成物をそれぞれ用い、
３色カラーフィルターを以下の様に形成した。

すなわち、まず、青色感光性着色樹脂組成物を用いて、
印刷法にてガラス基板上に１．５ｕｎ膜厚のコーティン
グを行ない、８０℃で１０分間のプリベークを実施した
。次に、形成しようとするパターン形状に対応したパタ
ーンマスクを介して高圧水銀灯にて露光した。露光終了
後、該着色樹脂膜の未露光部のみを溶解する専用現像液
（Ｎ−メチル−２−ピロリドンを主成分とする現像液）
にて超音波を使用して現像し、専用リンス液（イソプロ
ピルアルコールを主成分とするリンス液）で処理した後
、２００℃、３０分間のボストベークを行い、パターン
形状を有した青色着色樹脂膜を形成した。

なお、現像時にコーティングのムラから発生する様な、
欠陥は全（生じなかった。

続いて、青色着色パターンの形成されたガラス基板上に
、第２色目として緑色感光性着色樹脂組成物を用いる以
外は、上記と同様に緑色着色パターンを基板上の所定の
位置に形成した。

さらに、この様にして青色及び緑色パターンの形成され
ている基板上に、第３色目として赤色感光性着色樹脂組
成物を用いる以外は上記と同様に赤色着色パターンを基
板上の所定の位置に形成し、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（
青）の３色ストライブの着色パターンを得た。

このようにして形成された３色カラーフィルターの分光
特性を第２図に示す。

得られたカラーフィルターは、色特性のバラツキも小さ
く、表面上の粗れや凹凸も少ない上、コーティングのム
ラから発生する様な欠陥等のない品質の優れたものであ
った。

比較例１エチルセロソルブアセテートを全（用いなかった以外は
、実施例１と同様にしてコーテイング膜を得た。得られ
たコーテイング膜は、色素の濃淡ムラの目立つものであ
り、コーティング品位の劣ったものであった。

比較例２実施例１において、ＮＭＦ）　：　ＥＣＡの比率をｌ：
１にした以外は同様にしてコーテイング膜を得た。

得られたコーテイング膜は、品位の悪いものであるばか
りでなく、感光性着色樹脂組成物自体、不安定な材料に
なってしまった。

比較例３エチルセロソルブアセテートを全く用いなかった以外は
、実施例５と同様にして３色ストライブのカラーフィル
ターを得た。得られたカラーフィルターは、色特性のバ
ラツキが大きく、又色素の濃淡ムラの目立つものであっ
た。さらに、コーティングのムラが原因となって、バタ
ーニング時に発生したと考えられる剥離、現像残り等の
欠陥も生じていた。この様に、実施例５に比べ、品質の
劣るものであった。

［発明の効果］以上説明したように、本発明によれば、表面張力の小さ
い、レベリング性の良い第２の溶剤成分をカラーフィル
ター用感光性着色樹脂組成物中に配合していることによ
り、特にインキを転写してコーティングする様な方式の
塗布時にコーティング品位の優れた塗膜を形成できる。

また、これにより、コーティングのムラから発生するよ
うなカラーフィルターの欠陥を削減でき、合わせて、生
産性の良いカラーフィルターを提供すること力≦可能と
なった。

さらに、この第２の溶剤成分は、樹脂を溶解させている
第１の溶剤成分の量より少ない配合に設定している為、
感光性着色樹脂組成物のもつ基本特性や安定佐等に大き
な影響を及ぼすことはない。

従って、機械的強度にも優れ、かつ、耐熱性、耐光性、
耐溶剤性等の諸性性に優れた微細パターンを有するカラ
ーフィルターが、簡便に作製できる着色樹脂組成物を用
い、フォトリソのみの簡便な製造工程により作製するこ
とが可能となった。

すなわち、性能の良好なカラーフィルターを必要とする
広範囲な各種デバイスへの適用が可能となり、諸性性の
優れたカラーデバイスを作製することが可能となった。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（ｆ）は本発明のカラーフィルター用感
光性着色樹脂組成物を用いたカラーフィルターの形成法
を説明するための工程図、第２図は実施例５に於いて得
られたカラーフィルターの分光透過率を示すグラフであ
る。に基板２：着色樹脂膜２ａ：光硬化部分３：フォトマスク４．５．６：パターン状着色樹脂層７：保護層８：赤色着色樹脂層の分光特性９：緑色着色樹脂層の分光特性１０：青色着色樹脂層の分光特性

Claims

【特許請求の範囲】

　分子内に感光基を有する芳香族系のポリアミド樹脂ま
たはポリイミド樹脂、色素および溶剤とを主成分とする
カラーフィルター用感光性着色樹脂組成物において、該
溶剤が単独で樹脂を溶解可能な第１の溶剤成分と、第１
の溶剤成分より表面張力が小さく、単独では樹脂を溶解
不可能な第２の溶剤成分とからなり、かつその配合比率
において、第１の溶剤成分含有量＞第２の溶剤成分含有
量なる関係を有することを特徴とするカラーフィルター
用感光性着色樹脂組成物。