JP4440694B2 - 半導体素子用トレイ - Google Patents
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Description
本発明の参考例1に係る半導体素子用トレイについて、斜視図を図1(a)に示し、図1(a)のA−A’の断面図を図1(b)に示し、ポケット部分の拡大断面図を図1(c)に示す。
本発明の実施の形態に係る半導体素子用トレイについて、断面図を図2(a)に示し、ポケット部分の拡大上面図を図2(b)に示し、ポケット部分の拡大断面図を図2(c)に示す。
本発明の参考例2に係る半導体素子用トレイについて、斜視図を図3(a)に示し、ポケット部分の拡大断面図を図3(b)に示す。
本発明の参考例3に係る半導体素子用トレイについて、全体の断面図を図4(a)に示し、ポケット部分の拡大断面図を図4(b)に示す。
本発明の参考例4に係る半導体素子用トレイについて、断面図を図5(a)、(b)に示し下面図を図5(c)に示す。
本発明の参考例5に係る半導体素子用トレイの断面図を図6(a)に示し、半導体素子の断面図を図6(b)に示す。
本発明の参考例6に係る半導体素子用トレイの断面図を図7に示す。樹脂材などから構成される四角形のトレイ本体71の上面には、四角形の凹部からなる、半導体素子を収納するための複数のポケット72がマトリックス状に形成されている。そして、ポケット72内を不活性液体73で充填する。この不活性液体73としては、例えば、米国のスリーエム社製のフロリナート(フッ素不活性液体)を用いることができる。そして、搬送中などに不活性液体73が漏れるのを防止するパッキン74と、トレイ本体71を覆うカバー75を有する。
12,24,33,43,54,63,72 ポケット
13,64 半導体素子
14,28,75 カバー
15 溝
22 第1のトレイ構成部
23 第2のトレイ構成部
25 ひさし部
27 空隙部
29 突起部
32 枠体
35 開口部
36 位置決め用突起
37 位置決め用穴
42 補助板
44,55 吸着用穴
45 空間
46 真空引き用穴
52 弾性シート
53 取っ手
56 接続用板
57 枠部
62 磁石
65 磁性体
66 メッキ層
73 不活性液体
74 パッキン
81 トレイ本体
82 ポケット
83 半導体素子
84 カバー
Claims (1)
- 半導体素子を収納するためのポケットを有し、前記ポケットが互いに対向する第1の辺と第2の辺を持つトレイ本体と、
前記ポケットの前記第1の辺側に設けられ、前記ポケットの一部を覆うひさし部と、
前記トレイ本体を覆うカバーとを有し、
前記カバーは、前記トレイ本体を覆った際に、前記ポケットの前記第2の辺側において、前記ひさし部の下方へ収納した前記半導体素子と前記ポケットの側壁との間に挿入される突起部を有することを特徴とする半導体素子収納用トレイ。
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