JP4435002B2 - 精度測定パターン、表示パネルの製造方法および表示装置の製造方法 - Google Patents
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- 露光および現像を行なって、複数の層を形成する工程を含む表示パネルの製造方法において、
前記層のうち基準層に共通基準凹部を含む複数の基準凹部を、平面形状がそれぞれ長方形になるように形成する基準凹部形成工程と、
一の露光に対応した第1マークを共通基準凹部に、平面形状が長方形になるように1個形成する第1マーク形成工程と、
他の露光に対応した第2マークを前記共通基準凹部に、平面形状がそれぞれ長方形となって1個の前記第1マークを挟むように2個形成する第2マーク形成工程と
を含み、
前記第2マーク形成工程は、前記共通基準凹部において、前記第1マークと離れて前記第2マークを形成する、表示パネルの製造方法。 - 前記第1マーク形成工程および前記第2マーク形成工程は、前記第1マークの外縁の辺、前記第2マークの外縁の辺および前記基準凹部の外縁の辺が、互いにほぼ平行になるように行なう、請求項1に記載の表示パネルの製造方法。
- 請求項1または2に記載の製造方法によって表示パネルを形成する工程と、
前記表示パネルを筐体に配置する工程と
を含む、表示装置の製造方法。 - 基準層の表面に、平面形状が長方形になるように形成された共通基準凹部と、
前記共通基準凹部の表面に、平面形状が長方形になるように1個形成された第1マークと、
前記共通基準凹部の表面に、平面形状がそれぞれ長方形となって前記第1マークを挟むように2個形成された第2マークと
を備え、
前記第1マークと前記第2マークとが互いに離れて配置されている、精度測定パターン。 - 前記共通基準凹部、前記第1マークおよび前記第2マークは、それぞれの平面形状がほぼ四角形になるように形成され、前記共通基準凹部の外縁の辺、前記第1マークの外縁の辺、および前記第2マークの外縁の辺が互いに略平行になるように形成された、請求項4に記載の精度測定パターン。
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