JP4432954B2 - フィルムキャリアテープ、及び電子部品実装フィルムの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、電子部品が実装されるフィルムキャリアテープ、及び電子部品実装フィルムの製造方法に関する。

絶縁材からなる長尺のベース材上に導電材からなる複数の配線パターンが当該ベース材の長手方向に沿って形成されており、各配線パターンにそれぞれ接続されるようにＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）等の電子部品が実装されるフィルムキャリアテープが知られている。かかるテープにおける配線パターンが形成された外周をそれぞれ打ち抜くことによって、複数のプリント配線板を得ることができる。ここで、フィルムキャリアテープの幅方向両端部近傍には、長手方向に沿って複数のスプロケット孔が形成されている。これにより、スプロケット孔を用いてテープを長手方向に搬送しつつ、電子部品の実装、配線パターンを保護するためのソルダーレジストの塗布等を行うことができるようになっている。

特許文献１に開示されているフィルムキャリアテープには、導電材からなるダミー配線が、テープの幅方向両端部近傍において、テープの長手方向に沿って延びるように設けられている。すなわち、スプロケット孔の周囲にダミー配線が形成されている。これにより、スプロケット孔の周囲の強度が増すので、テープ搬送時にスプロケット孔が変形するのを防ぐことができる。

また、特許文献２に開示されているプリント配線板には、半硬化状態のソルダーレジストが、接合相手方の導電体と電気的に接続される複数の端子部に跨って塗布されている。そして、かかる半硬化状態のソルダーレジストの層を接合相手方の導電体によって貫通させ、配線パターンと接合相手方の導電体とを接続させる。これにより、複数の端子部を露出させるために、端子部近傍のソルダーレジストの層を高精度に開口させる工程が不要となるので、プリント配線板の製造コストを削減することができる。
特開平５−２９３９４号公報（図１） 特開２００５−３０５８４７号公報（図１０）

ここで、特許文献２に開示されているような配線パターンと接合相手方との接合方法を採用する際には、プリント配線板における端子部が形成されている領域に塗布されるソルダーレジストが、その他の領域に塗布されるソルダーレジストよりも厚いことが好ましい。よって、端子部が形成されている領域に塗布されるソルダーレジストを半硬化状態となるまで乾燥させる際には、通常オーブンが用いられる。したがって、特許文献１に開示されているような長尺のフィルムキャリアテープを用いて、特許文献２に開示されているようなプリント配線板を作製する際には、フィルムキャリアテープを幅方向に沿って切断することによって、それぞれが１つの配線パターン及び電子部品を含む複数のテープ片とした後、各テープ片の端子部が形成されている領域にソルダーレジストを塗布し、半硬化状態まで乾燥させることとなる。

この場合、フィルムキャリアテープを幅方向に沿って切断する際に、テープの幅方向両端に設けられているダミー配線を切断することとなるので、導電性の切断屑が生じる。この導電性屑が、ソルダーレジストによって保護されていない微細な配線パターン上に付着することによって、短絡してしまうことがある。

そこで、本発明の目的は、配線パターンの短絡を防止することができるフィルムキャリアテープ、及び電子部品実装フィルムの製造方法を提供することである。

本発明のフィルムキャリアテープは、絶縁材からなる基材上に導電材からなる互いに同じ形状を有する複数の配線パターンが前記基材の長手方向に沿って互いに離隔領域を挟みつつ等間隔で配列されていると共に、前記複数の配線パターンが、前記長手方向に沿って複数の貫通孔が配列された２つの孔列の間に挟まれたフィルムキャリアテープである。そして、前記基材上には、同一の前記孔列に含まれる複数の前記貫通孔を取り囲み且つ前記複数の配線パターンとは絶縁されつつ、前記長手方向に延在した２つの導電層が形成されており、前記２つの導電層のそれぞれには、各導電層を分断する分断スリットが前記基材の幅方向に沿って形成されており、一方の前記導電層に形成された前記分断スリットと他方の前記導電層に形成された前記分断スリットとが、前記長手方向に関して前記離隔領域に相当する同じ位置にある。

また、本発明の電子部品実装フィルムの製造方法は、絶縁材からなる基材上に導電材からなる互いに同じ形状を有する複数の配線パターンが前記基材の長手方向に沿って互いに離隔領域を挟みつつ等間隔に配列されていると共に、前記複数の配線パターンが、前記長手方向に沿って複数の貫通孔が配列された２つの孔列の間に挟まれたフィルムキャリアテープを作製するテープ作製工程と、前記フィルムキャリアテープに、前記複数の配線パターンとそれぞれ接続された電子部品を実装する電子部品実装工程と、各配線パターンの一部を第１の絶縁層によって被覆する第１の被覆工程と、前記フィルムキャリアテープを前記離隔領域に相当する位置で前記基材の幅方向に沿って切断することによって、それぞれが１つの前記配線パターン及び前記電子部品を含む複数のテープ片を形成する切断工程と、前記切断工程後に、各テープ片に含まれる前記配線パターンの他の一部を第２の絶縁層によって被覆する第２の被覆工程と、前記第２の被覆工程後に、前記配線パターン及び前記電子部品を含む所定形状以外の部分を各テープ片から除去する除去工程とを備えている。そして、前記テープ作製工程において、同一の前記孔列に含まれる複数の前記貫通孔を取り囲み且つ前記複数の配線パターンとは絶縁されつつ、前記長手方向に延在した２つの導電層が前記基材上に形成されており、前記２つの導電層のそれぞれに、各導電層を分断する分断スリットが前記基材の幅方向に沿って形成されており、さらに、一方の前記導電層に形成された前記分断スリットと他方の前記導電層に形成された前記分断スリットとが、前記長手方向に関して前記離隔領域に相当する同じ位置にある前記フィルムキャリアテープを作製し、前記切断工程において、前記フィルムキャリアテープを、前記長手方向に関して同じ位置にある２つの前記分断スリットを通過するように前記基材の幅方向に沿って切断する。

第１の被覆工程と切断工程との順番は入れ替ってもよい。

これらの構成によると、フィルムキャリアテープを基材の幅方向に沿って切断することによって、それぞれが１つの配線パターンを含む複数のテープ片を形成する際に、導電層に設けられた分断スリットを通過するように切断することができる。よって、フィルムキャリアテープの切断により導電層の微細な切断屑が発生することが抑制され、導電層の切断屑に起因する配線パターンの短絡を防止できる。

本発明のフィルムキャリアテープは、前記分断スリットが、所定数の前記貫通孔ごとに形成されていることが好ましい。この構成によると、分断スリットの形成位置を等間隔とすることにより、分断スリットを通過するようにフィルムキャリアテープを切断することによって形成される複数のテープ片のサイズを揃えることができる。

本発明のフィルムキャリアテープでは、前記複数の配線パターンとそれぞれ接続された電子部品が実装されており、各配線パターンの一部が絶縁層によって被覆されている。この構成によると、配線パターンの一部を絶縁層によって保護することができるので、フィルムキャリアテープの切断までに配線パターンの当該部分に異物が付着し、配線パターンが短絡するのを防止することができる。

本発明の電子部品実装フィルムの製造方法では、前記第１の被覆工程後であって前記切断工程前に、前記第１の絶縁層を硬化させる硬化工程と、前記第２の被覆工程後であって前記除去工程前に、前記第２の絶縁層を半硬化させる半硬化工程とをさらに備えていてもよい。この構成によると、硬化工程によって第１の絶縁層が硬化されるので、第１の絶縁層によって覆われる配線パターンの一部の保護を確実なものとすることができる。さらに、半硬化工程によって第２の絶縁層が半硬化されるので、第２の絶縁層を接合相手方の導電体によって貫通させて、接合相手方と配線パターンと接合させることができる。

本発明の電子部品実装フィルムの製造方法では、第２の被覆工程前に、前記除去工程において除去される前記所定形状以外の部分と前記所定形状の部分との境界のうち、前記第２の被覆工程において前記第２の絶縁層によって被覆される箇所に除去スリットを形成する除去スリット形成工程をさらに備えていることが好ましい。この構成によると、除去工程において、半硬化状態の第２の絶縁層に覆われている箇所を切断する必要がない。したがって、除去工程において、テープ片を打ち抜くための金型等に第２の絶縁層を構成する材料が付着することによって、切断能力が低下するのを防止することができる。また、テープ片における半硬化状態の第２の絶縁層に覆われている箇所を金型等で打ち抜くことによって、第２の絶縁層の平面度が低下するのを防ぐことができる。よって、第２の絶縁層の平面度が低下し、接合相手方との接合に悪影響が生じるのを防ぐことができる。

本発明の電子部品実装フィルムの製造方法では、前記第２の被覆工程において、前記第１の絶縁層よりも厚い前記第２の絶縁層を形成してもよい。この構成によると、第２の絶縁層を接合相手方の導電体によって貫通させて、接合相手方と配線パターンと接合させる接合方法に一層適応させ易くなる。

本発明の電子部品実装フィルムの製造方法では、前記電子部品実装工程、前記第１の被覆工程、前記切断工程、前記第２の被覆工程及び前記除去工程において、前記貫通孔を位置合わせのために用いてもよい。この構成によると、貫通孔を効果的に用いることができ、位置合わせのための孔を別途設ける必要がない。

本発明の電子部品実装フィルムの製造方法では、前記第２の被覆工程及び前記除去工程において、互いに異なる前記貫通孔を用いて位置合わせを行ってもよい。この構成によると、各工程において同一の貫通孔を繰り返し用いて位置合わせを行うことによって、貫通孔が変形し、位置合わせの精度が低下するのを防ぐことができる。

以下、本発明の好適な一実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施の形態は、インクを吐出するインクジェットヘッドに用いられる電子部品実装フィルム（ＣＯＦ：Chip On Film）を得るためのフィルムキャリアテープ、及びＣＯＦの製造方法に本発明を適用した一例である。

本実施の形態のインクジェットヘッドは、記録用紙の搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）の記録領域全体にインク吐出面が位置するように固定配置される、いわゆるライン式である。図１は、本実施の形態に係るインクジェットヘッドの副走査方向に沿う断面図である。図２は、ヘッド本体の平面図である。図１に示すように、本実施の形態のインクジェットヘッド１は、記録用紙に対してインクを吐出する複数のノズル８（図３参照）を備えたヘッド本体７０と、ヘッド本体７０の上方に配置されていると共に、ヘッド本体７０に供給するインクが貯留されている２つのインク溜まり３が形成されたベースブロック７１とを備えている。

ヘッド本体７０の平面形状は、図２に示すように、主走査方向に沿う長辺を有する矩形形状である。そして、ヘッド本体７０は、その内部に後述するように複数の圧力室１０（図３参照）を含むインク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面に接合されていると共に、略台形の平面形状を有しており、圧力室１０の容積を変動させることによって、圧力室１０に繋がっているノズル８（図３参照）からインクを吐出する複数のアクチュエータユニット２１とを有している。なお、流路ユニット４におけるアクチュエータユニット２１の接合領域とは反対側の下面は、多数のノズル８がマトリクス状に配列されたインク吐出領域となっている。すなわち、流路ユニット４の下面（インク吐出面）には、複数のインク吐出領域が形成されている。

また、図１に示すように、各アクチュエータユニット２１の上面には、アクチュエータユニット２１の駆動を制御するためのドライバＩＣ８０が実装されたＣＯＦ５０がそれぞれ接合され、左右に引き出されている。そして、ＣＯＦ５０のアクチュエータユニット２１と接合されている側とは反対側の端部近傍に形成された端子部５７は、装置全体の制御を司る制御装置と電気的に接続された中継基板７５のコネクタ７５ａに接続されている。これにより、制御装置からの信号をドライバＩＣ８０に伝達することができる。

さらに、図１に示すように、ベースブロック７１には、インク溜まり３に連通するインク供給路３ｂが下方に突出して設けられている。そして、ベースブロック７１は、インク供給路３ｂが、図２に示すように、流路ユニット４の上面に形成されており、後述するように流路ユニット４の内部に形成されているマニホールド５（図３参照）に連通する開口４ａに繋がるように配置されている。すなわち、ベースブロック７１は、インク供給路３ｂの下端部においてのみ流路ユニット４と接触している。これにより、ベースブロック７１の下面７３におけるインク供給路３ｂの下端部以外の領域は、流路ユニット４から離隔しており、その間の空間にアクチュエータユニット２１が配設されている。

次に、ヘッド本体７０の内部構造について説明する。図３は、ヘッド本体７０の部分断面図である。ヘッド本体７０は、上から、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート２９、及びノズルプレート３０の合計１０枚プレートが積層された積層構造を有している。そして、これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた９枚のプレート２２〜３０から流路ユニット４が構成されている。

流路ユニット４を構成する９枚のプレート２２〜３０は、いずれも金属プレートであり、後述する個別インク流路３２が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。キャビティプレート２２には、後述するように略菱形の平面形状を有する圧力室１０を形成する開口が複数設けられており、アパーチャプレート２４には、ハーフエッチングにより形成されたアパーチャ１２が、１つの圧力室１０につき１つずつ設けられている。マニホールドプレート２６、２７、２８は、主走査方向に沿って延びており、複数の圧力室１０に共通のマニホールド５が設けられており、ノズルプレート３０には、１つの圧力室１０につき１つずつノズル８が設けられている。そして、圧力室１０の長手方向一端部（図３中右側端部）が、アパーチャ１２を介してマニホールド５に連通するように、ベースプレート２３及びサプライプレート２５には、連通孔がそれぞれ形成されている。さらに、圧力室１０とノズル８との間に位置する各プレート２３〜２９には、圧力室１０のマニホールド５と連通している側とは反対側の端部（図３中左側端部）からノズル８への連通孔がそれぞれ形成されている。

これにより、流路ユニット４の内部には、マニホールド５から、アパーチャ１２及び圧力室１０を経てノズル８に至る個別インク流路３２が複数の圧力室１０ごとに形成されている。なお、かかる個別インク流路３２は、流路ユニット４内におけるインク吐出領域に対応する箇所に多数形成されている。

次に、流路ユニット４の最上層のキャビティプレート２２に積層された、アクチュエータユニット２１の構成について説明する。図４（ａ）はアクチュエータユニット２１と圧力室１０との部分拡大断面図であり、図４（ｂ）はアクチュエータユニット２１の表面に形成された個別電極３５の平面図である。

図４（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、４枚の圧電シート４１、４２、４３、４４を有している。圧電シート４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミック材料からなるものであり、いずれも流路ユニット４内の１つのインク吐出領域に対応する箇所に形成された複数の圧力室１０に跨って連続して配置されている。最上層の圧電シート４１の表面には、個別電極３５が形成されており、圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、シート全面に形成された共通電極３４が介在している。個別電極３５及び共通電極３４は、いずれも例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。なお、共通電極３４は、グランド電位に保持されている。

図４（ｂ）に示すように、個別電極３５は、圧力室１０よりも一回り小さな略菱形の平面形状を有しており、平面視で圧力室１０と重なる位置に形成されている主電極部３５ａと、平面形状が円形であり、略菱形の主電極部３５ａにおける鋭角部の一方から平面視で圧力室１０と重ならない位置まで引き出されて形成されているランド部３５ｂとを有する。ランド部３５ｂは、例えばガラスフリットを含む金からなる。また、個別電極３５のランド部３５ｂの表面には、Ａｇを含む金属材料からなり導電性を有するバンプ９０が上方に突出して形成されている。そして、後述するように、バンプ９０を介してＣＯＦ５０の端子部５３（図６参照）が、個別電極３５に電気的に接続される。これにより、各個別電極３５の電位をそれぞれ制御することができるようになっている。なお、本実施の形態においては、バンプ９０は略半球状に形成されており、その高さは３５μｍ程度となっている。

ここで、アクチュエータユニット２１の作用について説明する。アクチュエータユニット２１は、最上層の圧電シート４１における共通電極３４と個別電極３５とに挟まれている箇所が活性層となっており、圧電シート４２〜４４が非活性層となっている。なお、圧電シート４１は、その厚み方向に分極されている。複数の個別電極３５に対して選択的に駆動電位を付与することによって、圧電シート４１における当該個別電極３５に対応する活性層に厚み方向の電界を印加すると、当該活性層は、分極方向である厚み方向と直交する水平方向に収縮する。このとき、圧電シート４１の活性層の収縮に伴って圧電シート４１〜４４が非活性層側に凸となるように変形する。これにより、圧電シート４１の活性層と対向している圧力室１０の容積が減少して圧力室１０内のインクに圧力が付与され、当該圧力室１０に連通するノズル８（図３参照）からインクの液滴が吐出される。

次に、図５、６、７を参照しつつ、ＣＯＦ５０について説明する。図５は、ＣＯＦ５０の平面図であり、図６は、ＣＯＦ５０におけるアクチュエータユニット２１に接合される部分の断面図である。なお、図５、６に示すＣＯＦ５０は、いずれもアクチュエータユニット２１に接合される前の状態である。また、図７は、ＣＯＦ５０がアクチュエータユニット２１に接合された状態を示す図である。

ＣＯＦ５０は、後述するフィルムキャリアテープ１５０（図９参照）から得られるものであり、図５に示すように、ベースブロック７１とアクチュエータユニット２１との間から引き出される引出部分５０ａと、アクチュエータユニット２１に接合される略台形形状の接合部分５０ｂとからなる。

また、ＣＯＦ５０は、図６に示すように、ポリイミドからなるベース材５１と、ベース材５１上に導電性金属により形成された複数の導体部５２ａからなる配線パターン５２と、配線パターン５２を覆うようにベース材５１上に塗布され、配線パターン５２を保護する絶縁性の合成樹脂層５５のカバーコートとからなっている。ここで、接合部分５０ｂに形成されている導体部５２ａの末端部は、個別電極３５に電気信号を供給する端子部５３である。端子部５３の表面は、半田メッキ５４が施されている。図５に示すように、引出部分５０ａには、封止樹脂５９で覆われたドライバＩＣ８０が実装されている。

図５に示すように、合成樹脂層５５は、中継基板７５のコネクタ７５ａに接続される端子部５７が露出するように、引出部分５０ａを覆う第１の絶縁層５５ａと、接合部分５０ｂを覆う第２の絶縁層５５ｂとの２種類の層からなる。ここで、第２の絶縁層５５ｂは、アクチュエータユニット２１に接合される前は、半硬化状態に形成されている。第２の絶縁層５５ｂの厚みは、５〜２０μｍ程度であり、第１の絶縁層５５ａに比べて肉厚となっている。

上述のようなＣＯＦ５０を、端子部５３とバンプ９０とを位置合わせしつつ、アクチュエータユニット２１の個別電極３５が形成されている側の面に押し付けることによって、バンプ９０が未硬化の第２の絶縁層５５ｂを貫通し、その後第２の絶縁層５５ｂを硬化させることで、図７に示すように、半田メッキ５４を介してバンプ９０がＣＯＦ５０に形成されている端子部５３と電気的に接続される。

続いて、図８〜図１４を参照しつつ、ＣＯＦ５０の製造方法の一例について説明する。図８は、ＣＯＦ５０の製造工程を示すフローチャートである。また、図９〜図１４は、各製造工程における状態をそれぞれ示している。

まず、絶縁材であるポリイミドフィルムからなる長尺状のベース材１５１（図９参照：後にＣＯＦ５０のベース材５１となる）上の全面に銅を塗布することによって金属層を形成する（ステップＳ１）。次に、ベース材１５１の幅方向両端部近傍において長手方向に沿って等間隔に配列されるように複数のスプロケット孔１５７（図９参照）を形成する（ステップＳ２）。すなわち、ベース材１５１の幅方向両端部近傍には、複数のスプロケット孔１５７によって形成される孔列１５７ａ（図９参照）がそれぞれ設けられることとなる。

さらに、ステップＳ１において形成された金属層をエッチングにより選択的に除去することによって、図９に示すように、複数の配線パターン５２、及びスプロケット孔１５７を補強するための補強層１５３を形成し、フィルムキャリアテープ１５０を作製する（ステップＳ３：テープ作製工程）。なお、配線パターン５２と補強層１５３とは絶縁されている。

複数の配線パターン５２は、ステップＳ２で形成された２つの孔列１５７ａに挟まれており、いずれも同じ形状を有していると共に、ベース材１５１の長手方向に沿って互いに離隔領域１５２（図９において破線で囲まれた領域）を挟みつつ配列される。また、補強層１５３は、同一の孔列１５７ａに含まれる複数のスプロケット孔１５７を取り囲んでいると共に、ベース材１５１の長手方向に沿って延在する。すなわち、補強層１５３は、ベース材１５１の幅方向両端部近傍にそれぞれ形成される。補強層１５３には、各補強層１５３を分断する複数の分断スリット１５４が、ベース材１５１の幅方向に沿ってそれぞれ形成されている。２つの補強層１５３に形成される分断スリット１５４は、ベース材１５１の長手方向に関して離隔領域１５２に相当する同じ位置にある。さらに、本実施の形態においては、分断スリット１５４は、８個のスプロケット孔１５７ごとに形成されている。

なお、以下後述するステップＳ７の工程までは、スプロケット孔１５７に噛み合う複数のピンを有するスプロケットが設けられた搬送ローラ（図示せず）によって、フィルムキャリアテープ１５０を搬送しつつ行われる。

次に、配線パターン５２における完成後のＣＯＦ５０の引出部分５０ａ（図５参照）に相当する部分を、端子部５７を露出させつつ覆うように、熱硬化性の樹脂であるソルダーレジストを塗布することによって、第１の絶縁層１５５ａ（図１０参照：後にＣＯＦ５０の合成樹脂層５５における第１の絶縁層５５ａとなる）を形成する（ステップＳ４：第１の被覆工程）。より詳細には、第１の絶縁層１５５ａは、図示しないマスクを用いて、短辺がＣＯＦ５０の第１の絶縁層５５ａの上下方向（図５中上下方向）に沿う長さと等しく、長辺がＣＯＦ５０の第１の絶縁層５５ａの幅方向（図５中左右方向）に沿う長さよりも若干長い矩形形状の領域に形成される。続いて、図１０に示すように、フィルムキャリアテープ１５０に、複数の配線パターン５２とそれぞれ接続されるドライバＩＣ８０を実装する（ステップＳ５：電子部品実装工程）。このとき、ドライバＩＣ８０を封止樹脂５９によって覆う。

その後、オーブンによって、第１の絶縁層１５５ａを硬化させる（ステップＳ６：硬化工程）。さらに、フィルムキャリアテープ１５０を離隔領域１５２（図９参照）に相当する位置でベース材１５１の幅方向に沿って切断し、図１１に示すように、それぞれが１つの配線パターン５２及びドライバＩＣ８０を含む複数のテープ片１６０を形成する（ステップＳ７：切断工程）。ここで、図１０において、ステップＳ７で切断される位置を破線で示す。図１０に示すように、フィルムキャリアテープ１５０は、ベース材１５１の長手方向に関して同じ位置にある２つの分断スリット１５４を通過するように切断される。

なお、上述のステップＳ４における第１の被覆工程、ステップＳ５における電子部品実装工程、及びステップＳ７における切断工程を行う際には、スプロケット孔１５７に噛み合うピンを有するスプロケットが設けられている搬送ローラ（図示せず）の回転量を制御することによって、位置合わせが行われる。したがって、フィルムキャリアテープ１５０の所定の位置に高精度に処理を施すことができる。

ここで、上述のように、長尺のフィルムキャリアテープ１５０を搬送しつつ、ステップＳ４〜ステップＳ７の工程を行い、複数のテープ片１６０とした後は、一旦工程を停止させる。したがって、本実施の形態においては、ステップＳ７の後は待機状態とし、この間に、テープ片１６０を次の工程を行うための別の場所に移動し、次の工程の準備が整うまでは待機する（ステップＳ８）。

続いて、配線パターン５２に含まれる端子部５３（図６参照）の表面に、半田を塗布することにより、半田メッキ５４の層（図６参照）を形成する（ステップＳ９：接合材層形成工程）。その後、図１２に示すように、配線パターン５２における完成後のＣＯＦ５０の接合部分５０ｂ（図５参照）に相当する部分を覆うように、熱硬化性の樹脂であるソルダーレジストを塗布することによって、第２の絶縁層１５５ｂ（後にＣＯＦ５０の合成樹脂層５５における第２の絶縁層５５ｂとなる）を形成する（ステップＳ１０：第２の被覆工程）。より詳細には、第２の絶縁層１５５ｂは、短辺がＣＯＦ５０の第２の絶縁層５５ｂの上下方向（図５中上下方向）に沿う長さと等しく、長辺がＣＯＦ５０の第２の絶縁層５５ｂの幅方向（図５中左右方向）に沿う長さよりも若干長い矩形形状の開口１８２が形成されたマスク１８０（図１３参照）を用いて形成される。なお、このとき形成される第２の絶縁層１５５ｂは、ステップＳ４において形成される第１の絶縁層１５５ａに比べて肉厚となっている。

ここで、上述のステップＳ９及びステップＳ１０の工程は、図１３に示すように、ステージ１７０の表面１７１にテープ片１６０を載置した状態で行われる。ステージ１７０は、図示しない駆動機構により、その表面１７１に平行であり、且つ互いに直交する２方向（図１３中矢印で示すＸ、Ｙ方向）に移動可能となっている。また、ステージ１７０の表面１７１には、上方に突出する２本の位置決めピン１７２が設けられている。よって、スプロケット孔１５７を位置決めピン１７２に挿通することで、ステージ１７０の表面１７１の所定位置にテープ片１６０を固定することができる。なお、本実施の形態においては、図１３に示すように、孔列１５７ａの伸延方向に関して同じ位置にある２つのスプロケット孔１５７が２本の位置決めピン１７２に挿通されている。さらに、図１３に示すステージ１７０には、１つのテープ片１６０が載置されているが、ステージ１７０は複数のテープ片１６０を載置可能であってもよい。

さらに、ステージ１７０の上方には、図１３に示すように、位置決めピン１７２に対応する箇所に位置決め孔１８１が形成されたマスク１８０が、表面１７１と対向するように配置されている。なお、図１３に示すマスク１８０は、ステップＳ１０において用いられるものであるが、ステップＳ９においても同様に位置決め孔が形成されたマスクを用いる。これにより、マスク１８０の位置決め孔１８１を位置決めピン１７２に挿通することで、テープ片１６０とマスク１８０との位置合わせを高精度に行う。位置合わせを行った後、公知のスキージ等の塗布方法（図示せず）を用いて、テープ片１６０上に第２の絶縁層１５５ｂを塗布する。

次いで、図１４に示すように、トレイ１９０上に複数のテープ片１６０を載置し、オーブンによって、第２の絶縁層１５５ｂを半硬化させる（ステップＳ１１：半硬化工程）。最後に、ＣＯＦ５０となる部分の外形（図１２中一点鎖線で示す部分）を金型（図示せず）によって打ち抜き、ＣＯＦ５０以外の部分を各テープ片１６０から除去する（ステップＳ１２：除去工程）。ステップＳ１２においても、ステップＳ９、１０と同様に、ステージ１７０上にテープ片１６０を載置した状態で行う。したがって、テープ片１６０と打ち抜き用の金型との位置合わせを高精度に行うことができる。

なお、上述の製造工程は一例であり、その順番は適宜可能である。したがって、例えば、ステップＳ４における第１の被覆工程は、ステップＳ７における切断工程の後に行われてもよい。

以上のように、本実施の形態では、ポリイミドフィルムからなる長尺状であり、その幅方向両端部近傍に、その長手方向に沿って複数のスプロケット孔１５７が配列された孔列１５７ａが形成されているベース材１５１上に、ベース材１５１の長手方向に沿って互いに離隔領域１５２を挟みつつ複数配列されており、銅からなる配線パターン５２と、同一の孔列１５７ａに含まれる複数のスプロケット孔１５７を取り囲んでいると共に、各配線パターン５２と絶縁されつつ、ベース材１５１の長手方向に延在しており、銅からなる２つの補強層１５３とが形成されたフィルムキャリアテープ１５０からＣＯＦ５０を得る。２つの補強層１５３には、各補強層１５３を分断する複数の分断スリット１５４がベース材１５１の幅方向に沿ってそれぞれ形成されており、一方の補強層１５３に形成された分断スリット１５４と、他方の補強層１５３に形成された分断スリット１５４とが、ベース材１５１の長手方向に関して離隔領域１５２に相当する同じ位置にある。そして、ＣＯＦ５０の製造工程は、フィルムキャリアテープ１５０にドライバＩＣ８０を実装する電子部品実装工程（Ｓ５）と、配線パターン５２におけるＣＯＦ５０の引出部分５０ａに相当する部分を第１の絶縁層１５５ａによって被覆する第１の被覆工程（Ｓ４）と、フィルムキャリアテープ１５０を、ベース材１５１の長手方向に関して同じ位置にある２つの分断スリット１５４を通過するように、ベース材１５１の幅方向に沿って切断することによって、複数のテープ片１６０を形成する切断工程（Ｓ７）と、切断工程後に配線パターン５２におけるＣＯＦ５０の接合部分５０ｂに相当する部分を第２の絶縁層１５５ｂによって被覆する第２の被覆工程（Ｓ１０）と、ＣＯＦ５０となる部分の外形を打ち抜くことによって、ＣＯＦ５０以外の部分をテープ片１６０から除去する除去工程（Ｓ１２）とを含んでいる。したがって、切断工程において、銅からなる補強層１５３が形成された箇所を切断することがないので、銅の微細な切断屑が発生することがない。よって、銅の切断屑に起因する配線パターン５２の短絡を防止できる。さらに、第１の絶縁層１５５ａによって、配線パターン５２におけるＣＯＦ５０の引出部分５０ａに相当する部分を保護することができるので、切断工程までに配線パターン５２の当該部分に異物が付着し、配線パターン５２が短絡するのを防止することができる。

また、本実施の形態では、フィルムキャリアテープ１５０の分断スリット１５４は、８個のスプロケット孔１５７ごとに形成されている。したがって、分断スリット１５４の形成位置を等間隔とすることができるので、分断スリット１５４を通過するようにフィルムキャリアテープ１５０を切断することによって形成される複数のテープ片１６０のサイズを揃えることができる。

さらに、本実施の形態では、ＣＯＦ５０の製造工程は、第１の被覆工程（Ｓ４）の後であって切断工程（Ｓ７）の前に、第１の絶縁層１５５ａを硬化させる硬化工程（Ｓ６）と、第２の被覆工程（Ｓ１０）の後であって除去工程（Ｓ１２）の前に、第２の絶縁層１５５ｂを半硬化させる半硬化工程（Ｓ１１）とを含んでいる。したがって、硬化工程によって第１の絶縁層１５５ａが硬化されるので、配線パターン５２における第１の絶縁層１５５ａによって覆われる部分の保護を確実なものとすることができる。さらに、完成後のＣＯＦ５０の第２の絶縁層５５ｂとなる第２の絶縁層１５５ｂが、半硬化工程によって半硬化されるので、ＣＯＦ５０の第２の絶縁層５５ｂをアクチュエータユニット２１に形成される個別電極３５のバンプ９０によって貫通させて、個別電極３５と配線パターン５２と接合させる接合方法に適応させ易くなる。

加えて、本実施の形態では、第２の被覆工程（Ｓ１０）において、第１の絶縁層１５５ａよりも厚い第２の絶縁層１５５ｂを形成することによって、ＣＯＦ５０の第２の絶縁層５５ｂを個別電極３５のバンプ９０によって貫通させて、個別電極３５と配線パターン５２と接合させる接合方法に一層適応させ易くなる。

また、本実施の形態では、第１の被覆工程（Ｓ４）、電子部品実装工程（Ｓ５）、及び切断工程（Ｓ７）においては、スプロケット孔１５７に噛み合う複数のピンを有するスプロケットが設けられた搬送ローラの回転量を制御することによって位置合わせを行い、接合材層形成工程（Ｓ９）、第２の被覆工程（Ｓ１０）、及び除去工程（Ｓ１２）においては、スプロケット孔１５７に挿通される位置決めピン１７２が設けられており、その表面１７１に平行であり且つ互いに直交する２方向に移動可能なステージ１７０上にテープ片１６０を載置することによって位置合わせを行う。つまり、上述の各工程においては、スプロケット孔１５７を用いて位置合わせを行う。したがって、スプロケット孔１５７を効果的に用いることができるために製造効率が向上する。

次に、上述の実施の形態の変形例について説明する。まず、図１５を参照しつつ、本実施の形態の第１の変形例について説明する。図１５（ａ）は、本変形例における第２の被覆工程を行う際の状態を示す図であり、図１５（ｂ）は、本変形例における除去工程を行う際の状態を示す図である。

図１５（ａ）、（ｂ）にそれぞれ示すように、本変形例においては、第２の被覆工程を行う際に、テープ片１６０が載置されるステージ１７０の位置決めピン１７２が挿通されるスプロケット孔１５７と、除去工程を行う際に、位置決めピン１７２が挿通されるスプロケット孔１５７とが異なっている。すなわち、第２の被覆工程においては、図１５（ａ）中、上から３番目に位置するスプロケット孔１５７に位置決めピン１７２が挿通され、除去工程においては、図１５（ｂ）中、上から６番目に位置するスプロケット孔１５７に位置決めピン１７２が挿通される。したがって、本変形例においては、第２の被覆工程及び除去工程において同一のスプロケット孔１５７を繰り返し位置決めピン１７２に挿通することによって、スプロケット孔１５７が変形し、位置合わせの精度が低下するのを防ぐことができる。

続いて、図１６を参照しつつ、本実施の形態の第２の変形例について説明する。図１６は、本変形例における第２の被覆工程が行われる前のテープ片２６０を示す図である。図１６に示すように、本変形例のテープ片２６０には、除去工程においてテープ片２６０から除去されるＣＯＦ５０以外の部分とＣＯＦ５０となる部分との境界のうち、第２の被覆工程において第２の絶縁層１５５ｂによって被覆される箇所、換言すると、ＣＯＦ５０の接合部分５０ｂとなる部分の外形（図中太線で示す）に沿って除去スリット２６６が形成されている。なお、除去スリット２６６の形成は、第２の被覆工程の前であれば、いつ行われてもよい。

本変形例においては、除去スリット２６６が形成されていることにより、除去工程において、ＣＯＦ５０の引出部分５０ａとなる部分の外形のみを金型で打ち抜くこととなる。すなわち、半硬化状態の第２の絶縁層１５５ｂで被覆されている箇所を金型によって打ち抜く必要がない。したがって、除去工程において、金型に第２の絶縁層１５５ｂを構成する材料が付着することによって、切断能力が低下するのを防止することができる。また、テープ片２６０における半硬化状態の第２の絶縁層１５５ｂに覆われている箇所を打ち抜くことによって、第２の絶縁層１５５ｂの平面度が低下するのを防ぐことができる。よって、完成後のＣＯＦ５０における第２の絶縁層５５ｂの平面度が低下することによって、個別電極３５と接合する際に、第２の絶縁層５５ａがアクチュエータユニット２１の表面の圧電シート４１に接触し、その後硬化する際に、圧電シート４１〜４４の変形を阻害するのを防ぐことができる。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて、様々な設計変更を行うことが可能なものである。例えば、上述の実施の形態では、フィルムキャリアテープ１５０の分断スリット１５４が、８個のスプロケット孔１５７ごとに形成されている場合について説明したが、分断スリット１５４は、８個以外の所定数のスプロケット孔１５７ごとに形成されていてもよい。また、分断スリット１５４は、所定数のスプロケット孔１５７ごとに形成されていなくてもよい。

さらに、上述の実施の形態では、ステップＳ１０における第２の被覆工程の後、一旦テープ片１６０をステージ１７０から外して、オーブン内にて半硬化させる半硬化工程を行い、再度ステージ１７０に装着してからステップＳ１２の除去工程を行っているが、一連の工程にて第２の被覆工程、半硬化工程、及び除去工程を実施してもよい。これにより、テープ片１６０をステージ１７０から取り外して、半硬化工程後に再度装着する手間が省けるので、製造効率を向上させることができる。

加えて、上述の実施の形態では、第２の被覆工程（Ｓ１０）において、第１の絶縁層１５５ａよりも厚い第２の絶縁層１５５ｂを形成する場合について説明したが、第２の絶縁層１５５ｂは、第１の絶縁層１５５ａよりも厚くなくてもよい。

また、上述の実施の形態では、第１の被覆工程（Ｓ４）、電子部品実装工程（Ｓ５）、切断工程（Ｓ７）、接合材層形成工程（Ｓ９）、第２の被覆工程（Ｓ１０）、及び除去工程（Ｓ１２）において、スプロケット孔１５７を用いて位置合わせを行う場合について説明したが、これには限られない。例えば、スプロケット孔１５７とは別に位置合わせ用の孔を設け、スプロケット孔１５７は、フィルムキャリアテープ１５０の搬送にのみ用いるようにしてもよい。

本発明の実施の形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。 図１に示すヘッド本体の平面図である。 図２に示すヘッド本体の部分断面図である。 図２に示すアクチュエータユニット表しており、（ａ）はアクチュエータユニットの断面図、（ｂ）は個別電極の平面図である。 図１に示すＣＯＦのアクチュエータユニットに接合される前の状態の平面図である。 図１に示すＣＯＦのアクチュエータユニットに接合される前の状態の断面図である。 図１に示すＣＯＦのアクチュエータユニットに接合された状態を示す断面図である。 図１に示すＣＯＦの製造工程を示すフローチャートである。 図１に示すＣＯＦの製造工程におけるテープ作製工程後の状態を示す図である。 図１に示すＣＯＦの製造工程における電子部品実装工程後の状態を示す図である。 図１に示すＣＯＦの製造工程における切断工程後の状態を示す図である。 図１に示すＣＯＦの製造工程における第２の被覆工程後の状態を示す図である。 図１に示すＣＯＦの製造工程において第２の被覆工程を行う際の状態を示す図である。 図１に示すＣＯＦの製造工程において半硬化工程を行う際の状態を示す図である。 本発明の実施の形態の第１の変形例を示す図であり、（ａ）は第２の被覆工程を行う際の状態を示す図であり、（ｂ）は除去工程を行う際の状態を示す図である。 本発明の実施の形態の第２の変形例を示す図であり、第２の被覆工程が行われる前の状態を示す図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
２１ アクチュエータユニット
３５ 個別電極
５０ ＣＯＦ
５２ 配線パターン
８０ ドライバＩＣ（電子部品）
９０ バンプ
１５０ フィルムキャリアテープ
１５１ ベース材（基材）
１５２ 離隔領域
１５３ 補強層（導電層）
１５４ 分断スリット
１５５ａ 第１の絶縁層（絶縁層）
１５５ｂ 第２の絶縁層
１５７ スプロケット孔（貫通孔）
１５７ａ 孔列
１６０、２６０ テープ片
１７０ ステージ
１７２ 位置決めピン
２６６ 除去スリット

Claims (9)

1. 絶縁材からなる基材上に導電材からなる互いに同じ形状を有する複数の配線パターンが前記基材の長手方向に沿って互いに離隔領域を挟みつつ等間隔で配列されていると共に、前記複数の配線パターンが、前記長手方向に沿って複数の貫通孔が配列された２つの孔列の間に挟まれたフィルムキャリアテープであって、
   前記基材上には、同一の前記孔列に含まれる複数の前記貫通孔を取り囲み且つ前記複数の配線パターンとは絶縁されつつ、前記長手方向に延在した２つの導電層が形成されており、
   前記２つの導電層のそれぞれには、各導電層を分断する分断スリットが前記基材の幅方向に沿って形成されており、一方の前記導電層に形成された前記分断スリットと他方の前記導電層に形成された前記分断スリットとが、前記長手方向に関して前記離隔領域に相当する同じ位置にあることを特徴とするフィルムキャリアテープ。
2. 前記分断スリットが、所定数の前記貫通孔ごとに形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフィルムキャリアテープ。
3. 前記複数の配線パターンとそれぞれ接続された電子部品が実装されていると共に、各配線パターンの一部が絶縁層によって被覆されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルムキャリアテープ。
4. 絶縁材からなる基材上に導電材からなる互いに同じ形状を有する複数の配線パターンが前記基材の長手方向に沿って互いに離隔領域を挟みつつ等間隔に配列されていると共に、前記複数の配線パターンが、前記長手方向に沿って複数の貫通孔が配列された２つの孔列の間に挟まれたフィルムキャリアテープを作製するテープ作製工程と、
   前記フィルムキャリアテープに、前記複数の配線パターンとそれぞれ接続された電子部品を実装する電子部品実装工程と、
   各配線パターンの一部を第１の絶縁層によって被覆する第１の被覆工程と、
   前記フィルムキャリアテープを前記離隔領域に相当する位置で前記基材の幅方向に沿って切断することによって、それぞれが１つの前記配線パターン及び前記電子部品を含む複数のテープ片を形成する切断工程と、
   前記切断工程後に、各テープ片に含まれる前記配線パターンの他の一部を第２の絶縁層によって被覆する第２の被覆工程と、
   前記第２の被覆工程後に、前記配線パターン及び前記電子部品を含む所定形状以外の部分を各テープ片から除去する除去工程とを備えており、
   前記テープ作製工程において、同一の前記孔列に含まれる複数の前記貫通孔を取り囲み且つ前記複数の配線パターンとは絶縁されつつ、前記長手方向に延在した２つの導電層が前記基材上に形成されており、前記２つの導電層のそれぞれに、各導電層を分断する分断スリットが前記基材の幅方向に沿って形成されており、さらに、一方の前記導電層に形成された前記分断スリットと他方の前記導電層に形成された前記分断スリットとが、前記長手方向に関して前記離隔領域に相当する同じ位置にある前記フィルムキャリアテープを作製し、
   前記切断工程において、前記フィルムキャリアテープを、前記長手方向に関して同じ位置にある２つの前記分断スリットを通過するように前記基材の幅方向に沿って切断することを特徴とする電子部品実装フィルムの製造方法。
5. 前記第１の被覆工程後であって前記切断工程前に、前記第１の絶縁層を硬化させる硬化工程と、
   前記第２の被覆工程後であって前記除去工程前に、前記第２の絶縁層を半硬化させる半硬化工程とをさらに備えていることを特徴とする請求項４に記載の電子部品実装フィルムの製造方法。
6. 第２の被覆工程前に、前記除去工程において除去される前記所定形状以外の部分と前記所定形状の部分との境界のうち、前記第２の被覆工程において前記第２の絶縁層によって被覆される箇所に除去スリットを形成する除去スリット形成工程をさらに備えていることを特徴とする請求項５に記載の電子部品実装フィルムの製造方法。
7. 前記第２の被覆工程において、前記第１の絶縁層よりも厚い前記第２の絶縁層を形成することを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載の電子部品実装フィルムの製造方法。
8. 前記電子部品実装工程、前記第１の被覆工程、前記切断工程、前記第２の被覆工程及び前記除去工程において、前記貫通孔を位置合わせのために用いることを特徴とする請求項４〜７のいずれか１項に記載の電子部品実装フィルムの製造方法。
9. 前記第２の被覆工程及び前記除去工程において、互いに異なる前記貫通孔を用いて位置合わせを行うことを特徴とする請求項８に記載の電子部品実装フィルムの製造方法。

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