JP4427000B2 - 工作物の保持装置及び工作物の保持位置調整方法 - Google Patents
工作物の保持装置及び工作物の保持位置調整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4427000B2 JP4427000B2 JP2005128654A JP2005128654A JP4427000B2 JP 4427000 B2 JP4427000 B2 JP 4427000B2 JP 2005128654 A JP2005128654 A JP 2005128654A JP 2005128654 A JP2005128654 A JP 2005128654A JP 4427000 B2 JP4427000 B2 JP 4427000B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adjustment member
- air passage
- workpiece
- processing machine
- bonded
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
転軸と対称形状の工作物の加工基準面の偏心及び傾きを容易かつ高精度に調整可能で、高
精度な加工を可能とする工作物の保持装置及び工作物の保持位置調整方法を提供すること
にある。
該加工機主軸と同軸上に配置され、工作物取付面及び第2の接合面が形成された調整部材と、
前記加工機主軸と前記調整部材との間に配置され、前記第1の接合面に接合されて前記回転軸に対し略直交方向又は傾き方向のいずれか一方向に調整可能な第1の被接合面と、前記第2の接合面に接合されて前記回転軸に対し略直交方向又は傾き方向のいずれか他方向に調整可能な第2の被接合面と、を有し、かつ前記第1のエアー通路に連通する第2のエアー通路が形成された中間調整部材と、を備え、
前記調整部材及び前記中間調整部材を、前記第1のエアー通路及び前記第2のエアー通路を介して前記加工機主軸に真空吸着にて固定保持する、ことを特徴とする。
前記第1の接合面及び第1の被接合面は球面であり、前記第2の接合面及び第2の被接合面は平面である、ことを特徴とする。
前記中間調整部材と前記調整部材の夫々に配置された圧電素子アクチュエータと、
工作物の偏心方向の基準面と傾き方向の基準面の位置を夫々検出する位置検出装置と、
該位置検出装置からの信号を入力して前記中間調整部材と前記調整部材の必要移動量、及び前記圧電素子アクチュエータの出力を決定する制御装置と、を有する、ことを特徴とする。
第1のエアー通路及び第1の接合部が形成された加工機主軸と同軸上に、工作物取付面及び第2の接合面が形成された調整部材を配置し、
前記第1の接合面に接合されて前記回転軸に対し略直交方向又は傾き方向のいずれか一方向に調整可能な第1の被接合面と、前記第2の接合面に接合されて前記回転軸に対し略直交方向又は傾き方向のいずれか他方向に調整可能な第2の被接合面と、を有する中間調整部材に、前記第1のエアー通路に連通される第2のエアー通路を形成し、
前記調整部材及び前記中間調整部材が前記第1のエアー通路及び前記第2のエアー通路を介して前記加工機主軸に真空吸着され、この真空吸着状態で前記調整部材又は前記中間調整部材に調整荷重を付加することにより、該調整部材又は前記中間調整部材を前記回転軸に対し略直交方向又は傾き方向に調整して工作物の傾き調整を行う、ことを特徴とする。
精度に調整可能で、回転重量バランスを崩すことがなく、偏心形状誤差のない高精度な光
学部品の加工を行うことができる。
(第1の実施の形態)
図1は、工作物の保持装置の要部を示す断面正面図である。同図1において、加工機主軸1は、段付き円筒状をなしていて回転軸1aを中心として回転自在であり、その略中心部には真空吸着用の第1のエアー通路2が形成され、この第1のエアー通路2が開口する回転軸端側には、平坦面(第1の接合面)3が形成されている。第1のエアー通路2は、その開口部側において複数のエアー通路2aに分岐されている。なお、図示しないが複数のエアー通路2aは、回転重量バランスを良好にする等のため、加工機主軸1の軸端側において、回転軸1aに対し略同心状かつ略等間隔に配設されている。
まず、傾き調整部材8を矢印P又はP'方向にタッピング(トントンと荷重を付加すること)することで、偏心調整部材4の凹球面6に対して傾き調整部材8の凸球面9の接触位置を矢印a方向に移動させ、回転軸1aに対する工作物21の加工基準面Aの傾き誤差を調整する。次に、偏心調整部材4の外周部を矢印Q方向(半径方向)にタッピングすることで、偏心調整部材4を加工機主軸1の回転軸1aに対して略直交するb方向に調整し、回転軸1aに対する工作物21の加工基準面Bの偏心誤差を調整する。なお、この偏心調整部材4及び傾き調整部材8の調整作業は、加工機主軸1の真空吸着状態を維持した状態で行われる。
(第2の実施の形態)
図2(a)(b)は、第2の実施の形態を示す図である。
(第3の実施の形態)
図3は、加工機主軸11に、傾き調整部材14と偏心調整部材18を真空吸着にて固定保持した実施の形態を示している。
1a 回転軸
2 第1のエア通路
3 平坦面
4 偏心調整部材
5 平坦面
6 凹球面
7 第2のエア通路
8 傾き調整部材
9 凸球面
10 工作物取付面
11 加工機主軸
11a 回転軸
12 第1のエア通路
13 凹球面
14 傾き調整部材
15 凸球面
16 平坦面
17 第2のエア通路
18 偏心調整部材
19 平坦面
20 工作物取付面
21 工作物
21' 工作物
32 圧電アクチュエータ
33 圧電アクチュエータ
35 位置検出装置
36 位置検出装置
37 制御装置
38 ドライバ
Claims (5)
- 第1のエアー通路、及び該第1のエアー通路が開口する回転軸端側に第1の接合面が形成された加工機主軸と、
該加工機主軸と同軸上に配置され、工作物取付面及び第2の接合面が形成された調整部材と、
前記加工機主軸と前記調整部材との間に配置され、前記第1の接合面に接合されて前記回転軸に対し略直交方向又は傾き方向のいずれか一方向に調整可能な第1の被接合面と、前記第2の接合面に接合されて前記回転軸に対し略直交方向又は傾き方向のいずれか他方向に調整可能な第2の被接合面と、を有し、かつ前記第1のエアー通路に連通する第2のエアー通路が貫通形成された中間調整部材と、を備え、
前記調整部材及び前記中間調整部材を、前記第1のエアー通路及び前記第2のエアー通路を介して前記加工機主軸に真空吸着にて固定保持する、
ことを特徴とする工作物の保持装置。 - 前記第1の接合面及び第1の被接合面は平面であり、前記第2の接合面及び第2の被接合面は球面である、
ことを特徴とする請求項1に記載の工作物の保持装置。 - 前記第1の接合面及び第1の被接合面は球面であり、前記第2の接合面及び第2の被接合面は平面である、
ことを特徴とする請求項1に記載の工作物の保持装置。 - 前記中間調整部材と前記調整部材の夫々に配置された圧電素子アクチュエータと、
工作物の偏心方向の基準面と傾き方向の基準面の位置を夫々検出する位置検出装置と、
該位置検出装置からの信号を入力して前記中間調整部材と前記調整部材の必要移動量、及び前記圧電素子アクチュエータの出力を決定する制御装置と、を有する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の工作物の保持装置。 - 第1のエアー通路及び第1の接合部が形成された加工機主軸と同軸上に、工作物取付面及び第2の接合面が形成された調整部材を配置し、
前記第1の接合面に接合されて前記回転軸に対し略直交方向又は傾き方向のいずれか一方向に調整可能な第1の被接合面と、前記第2の接合面に接合されて前記回転軸に対し略直交方向又は傾き方向のいずれか他方向に調整可能な第2の被接合面と、を有する中間調整部材に、前記第1のエアー通路に連通される第2のエアー通路を形成し、
前記調整部材及び前記中間調整部材が前記第1のエアー通路及び前記第2のエアー通路を介して前記加工機主軸に真空吸着され、この真空吸着状態で前記調整部材又は前記中間調整部材に調整荷重を付加することにより、該調整部材又は前記中間調整部材を前記回転軸に対し略直交方向又は傾き方向に調整して工作物の傾き調整を行う、
ことを特徴とする工作物の保持位置調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005128654A JP4427000B2 (ja) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | 工作物の保持装置及び工作物の保持位置調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005128654A JP4427000B2 (ja) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | 工作物の保持装置及び工作物の保持位置調整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006305651A JP2006305651A (ja) | 2006-11-09 |
JP4427000B2 true JP4427000B2 (ja) | 2010-03-03 |
Family
ID=37473139
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005128654A Active JP4427000B2 (ja) | 2005-04-26 | 2005-04-26 | 工作物の保持装置及び工作物の保持位置調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4427000B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5030058B2 (ja) * | 2007-07-18 | 2012-09-19 | Ntn株式会社 | 研磨方法および研磨装置 |
JP2017001155A (ja) * | 2015-06-12 | 2017-01-05 | オリンパス株式会社 | ワーク保持機構、加工装置、及びワークの加工方法 |
CN108127452B (zh) * | 2017-12-04 | 2023-12-12 | 广东开放大学(广东理工职业学院) | 一种用于斜面零件加工的夹具 |
CN111002493B (zh) * | 2019-11-26 | 2022-03-29 | 天津津航技术物理研究所 | 一种大口径锗单晶透镜的金刚石车削加工方法 |
CN112676891A (zh) * | 2020-12-11 | 2021-04-20 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种高精度加工的分体式调心装置及其调心方法 |
CN113714829B (zh) * | 2021-08-24 | 2022-09-06 | 大连理工大学 | 大尺寸三轴自动调姿工装设计及操作方法 |
-
2005
- 2005-04-26 JP JP2005128654A patent/JP4427000B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006305651A (ja) | 2006-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4427000B2 (ja) | 工作物の保持装置及び工作物の保持位置調整方法 | |
JP4875184B2 (ja) | 工具回転半径可変の工具ホルダおよび該工具を備えた工作機械ならびに前記工作機械を用いた加工方法 | |
CN101341002B (zh) | 用于加工成形非规则表面的磁悬浮高速机床主轴 | |
CN101417405B (zh) | 半导体晶片的同时双面磨削 | |
WO2012032667A1 (ja) | スクロール加工方法および加工装置 | |
JP5051925B2 (ja) | 運転中に位置合わせ可能なスピンドルを有するスピンドルユニット及びそれを備える工作機械 | |
US10507532B2 (en) | Chuck for a high precision machine tool | |
JP6205054B2 (ja) | 工具研削盤のスピンドル | |
JP2002346803A (ja) | 溝加工法、溝加工品、及び、光学部品又は精密部品 | |
JP2010274377A (ja) | タイヤ成型金型ピースの加工装置及び加工方法 | |
JPS62107935A (ja) | 平面研削盤の自動補正機構 | |
JP4843539B2 (ja) | 加工装置および加工方法 | |
US11511355B2 (en) | Adaptive precision chuck | |
JP4839423B2 (ja) | モータ軸調整用治具およびモータ軸調整方法 | |
EP3285947B1 (en) | Chuck arrangement | |
US7757373B2 (en) | Method and tool head for machining optically active surfaces, particularly surfaces of progressive spectacle lenses, which are symmetrical in pairs | |
JP5674439B2 (ja) | 自動芯出しシステム及び自動芯出し方法 | |
JP2009088401A (ja) | ウェハ位置検出装置と、これを有する半導体製造装置 | |
JP7362787B2 (ja) | 接合装置、及び接合方法 | |
JP5359009B2 (ja) | 半導体基板の貼り合わせ装置 | |
JP2021164962A (ja) | 砥石取付装置 | |
JPH0355145A (ja) | 調心装置 | |
JP2002350711A (ja) | 位置決めのあおり調整方法及びその装置 | |
JPS62107936A (ja) | 回転テ−ブルの微小角度調整装置 | |
JP2004142002A (ja) | 加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070423 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091117 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091211 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4427000 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121218 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131218 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |