JPS62107936A - 回転テ−ブルの微小角度調整装置 - Google Patents
回転テ−ブルの微小角度調整装置Info
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- JPS62107936A JPS62107936A JP24638885A JP24638885A JPS62107936A JP S62107936 A JPS62107936 A JP S62107936A JP 24638885 A JP24638885 A JP 24638885A JP 24638885 A JP24638885 A JP 24638885A JP S62107936 A JPS62107936 A JP S62107936A
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- Japan
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- base
- axis
- table unit
- rotary table
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Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 abstract 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 abstract 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/52—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、被加工物を取り付けて超高精度で加工する回
転テーブルの軸心方向を精密に調整する装置に関するも
のである。
転テーブルの軸心方向を精密に調整する装置に関するも
のである。
この種の回転テーブルにおいては１回転テーブルに対し
て重力荷重、加速度加重の他に切削、研削荷重が加えら
れるため、極微小変形の発生を回避し難い。ところが１
例えば半導体ウェハの加工などの如く超高精度を要求さ
れる場合には上記の極微小変形による回転テーブル面の
傾きを無視できない。
て重力荷重、加速度加重の他に切削、研削荷重が加えら
れるため、極微小変形の発生を回避し難い。ところが１
例えば半導体ウェハの加工などの如く超高精度を要求さ
れる場合には上記の極微小変形による回転テーブル面の
傾きを無視できない。
従来技術においては、回転テーブル面の変位を補正する
ために該回転テーブルのテーブル軸の支承方向を、稼動
状態において遠隔操作できなかった。
ために該回転テーブルのテーブル軸の支承方向を、稼動
状態において遠隔操作できなかった。
機械装置を停止させることなく前記回転テーブル軸の軸
心方向を微小に調整することは１機械装置の能率を低下
させない為にも必要であるが、特に、稼動を継続しつつ
遠隔操作で調整できるということは、該加工機械装置を
自動化するための必要条件である。
心方向を微小に調整することは１機械装置の能率を低下
させない為にも必要であるが、特に、稼動を継続しつつ
遠隔操作で調整できるということは、該加工機械装置を
自動化するための必要条件である。
本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので、回転テー
ブルを有する加工用機械装置のテーブル軸を、当該機械
装置の稼動を停止せずに調整することができ、しかも、
遠隔操作による調整手段や自動調整手段の適用が容易な
、回転テーブル軸の微小角調整装置を提供しようとする
ものである。
ブルを有する加工用機械装置のテーブル軸を、当該機械
装置の稼動を停止せずに調整することができ、しかも、
遠隔操作による調整手段や自動調整手段の適用が容易な
、回転テーブル軸の微小角調整装置を提供しようとする
ものである。
上記の目的を達成するため、本発明の調整装置は、直交
３軸ｘ、ｙ、ｚを想定し、Ｚ軸方向のテーブル軸を支承
するテーブルユニットを構成して該テーブルユニットを
Ｙ方向の軸によってサブベースに対して枢支すると共に
、上記のサブベースをＸ方向の軸によってベース部材に
対して支承し、前記テーブルユニット及びサブベースを
それぞれＹ軸及びＸ軸の回りに微小角Δθ、Δφ回動せ
しめてテーブル軸の軸心方向を調整し得るように構成し
たことを特徴とする。
３軸ｘ、ｙ、ｚを想定し、Ｚ軸方向のテーブル軸を支承
するテーブルユニットを構成して該テーブルユニットを
Ｙ方向の軸によってサブベースに対して枢支すると共に
、上記のサブベースをＸ方向の軸によってベース部材に
対して支承し、前記テーブルユニット及びサブベースを
それぞれＹ軸及びＸ軸の回りに微小角Δθ、Δφ回動せ
しめてテーブル軸の軸心方向を調整し得るように構成し
たことを特徴とする。
次に、本発明の一実施例について、第１図及び第２図を
参照しつつ説明する。
参照しつつ説明する。
第１図は本発明の一実施例の一部を破断して描いた斜視
図、第２図は上記実施例をＸ−２面で切断して描いた断
面図である。
図、第２図は上記実施例をＸ−２面で切断して描いた断
面図である。
被加工物１はチャックテーブル２上に真空吸着され、チ
ャックテーブル２はテーブル軸３に固定されておリモー
タ６により回転駆動される。
ャックテーブル２はテーブル軸３に固定されておリモー
タ６により回転駆動される。
４は、テーブル軸３を支承したテーブルユニットであっ
て、このテーブルユニット４はＹ軸方向のヒンジビン９
により、サブベース１１に対して枢支しである。
て、このテーブルユニット４はＹ軸方向のヒンジビン９
により、サブベース１１に対して枢支しである。
そして、上記のサブベース１１は、Ｘ方向のヒンジピン
１２によってベース部材１４に対して枢支しである。上
記ベース部材１４は定盤１５に固定されている。
１２によってベース部材１４に対して枢支しである。上
記ベース部材１４は定盤１５に固定されている。
第２図に示すように、サブベース１１に圧電素子８を固
定し、前記のテーブルユニット４に対向当接せしめる。
定し、前記のテーブルユニット４に対向当接せしめる。
上記の圧電素子８は第１図にも現われている。
第１図に示したｌＯは、テーブルユニット４をサブベー
ス１１に対して締めつけているボルトであるが。
ス１１に対して締めつけているボルトであるが。
このボルトＩＯは材質・寸法・形状を適宜に設定して長
さ方向に微小寸法の弾性変形（伸縮）が可能なように構
成する。
さ方向に微小寸法の弾性変形（伸縮）が可能なように構
成する。
第２図に示した１６は、テーブルユニット４とサブベー
ス１１との間に介装したデジマイクロで、サブベース１
１に対するテーブルユニット４の微小回動角を検出する
。
ス１１との間に介装したデジマイクロで、サブベース１
１に対するテーブルユニット４の微小回動角を検出する
。
第１図に示すごとく、サブベース１１とベース部材１４
との間にも、圧電素子１３とデジマイクロ（図示せず）
とを介装し、弾性変形可能なボルト１０’で締結する。
との間にも、圧電素子１３とデジマイクロ（図示せず）
とを介装し、弾性変形可能なボルト１０’で締結する。
以上のように構成した調整装置において、圧電素子８に
電圧を加えると該圧電素子が伸縮変形し。
電圧を加えると該圧電素子が伸縮変形し。
サブベース１１に対してテーブルユニット４をＹ軸回り
に回動させる。その回動角はデジマイクロ１６によって
検出されるので、これをフィードバックすることができ
る。しかも、圧電素子及びデジマイクロは応答性の速い
部材であるから、上記のフィードバックによってクロー
ズトループ制御に関する公知技術を適用してオンライン
機構を用いた自動制御を行うことも容易に可能である。
に回動させる。その回動角はデジマイクロ１６によって
検出されるので、これをフィードバックすることができ
る。しかも、圧電素子及びデジマイクロは応答性の速い
部材であるから、上記のフィードバックによってクロー
ズトループ制御に関する公知技術を適用してオンライン
機構を用いた自動制御を行うことも容易に可能である。
同様にして、サブベース１１のベース部材１４に対する
Ｘ軸回りの微小回動角を制御することができる。
Ｘ軸回りの微小回動角を制御することができる。
上記の制御における駆動手段は圧電素子を用いているの
で、遠隔操作が容易であり、微小角変化検出手段を併用
することによって自動制御を行うに好適である。
で、遠隔操作が容易であり、微小角変化検出手段を併用
することによって自動制御を行うに好適である。
以上に説明したごとく１本発明の装置によれば、回転テ
ーブルを有する加工用機械装置のテーブル軸を、当該機
械装置の稼動を停止せずに調整することができ、しかも
、遠隔操作による調整手段や自動調整手段の適用が容易
ならしめるという優れた実用的効果を奏する。
ーブルを有する加工用機械装置のテーブル軸を、当該機
械装置の稼動を停止せずに調整することができ、しかも
、遠隔操作による調整手段や自動調整手段の適用が容易
ならしめるという優れた実用的効果を奏する。
第１図は本発明の一実施例の一部を破断して描いた斜視
図、第２＠は上記実施例をＸ−２面で切断して描いた断
面図である。 １・・・被加工物、２・・・チャックテーブル、３・・
・テーブル軸、４・・・テーブルユニット、６・・・モ
ータ、８・・・圧電素子、９・・・Ｙ方向のヒンジピン
、１０．１０’・・・ボルト、１１・・・サブベース、
１２・・・Ｘ方向のヒンジピン、１３・・・圧電素子、
１４・・・ベース部材、１５・・・定盤、Ｉ６・・・デ
ジマイクロ・
図、第２＠は上記実施例をＸ−２面で切断して描いた断
面図である。 １・・・被加工物、２・・・チャックテーブル、３・・
・テーブル軸、４・・・テーブルユニット、６・・・モ
ータ、８・・・圧電素子、９・・・Ｙ方向のヒンジピン
、１０．１０’・・・ボルト、１１・・・サブベース、
１２・・・Ｘ方向のヒンジピン、１３・・・圧電素子、
１４・・・ベース部材、１５・・・定盤、Ｉ６・・・デ
ジマイクロ・
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、直交３軸Ｘ、Ｙ、Ｚを想定し、Ｚ軸方向のテーブル
軸を支承するテーブルユニットを構成して該テーブルユ
ニットをＹ方向の軸によってサブベースに対して枢支す
ると共に、上記のサブベースをＸ方向の軸によってベー
ス部材に対して支承し、前記テーブルユニット及びサブ
ベースをそれぞれＹ軸及びＸ軸の回りに微小角Δθ、Δ
φ回動せしめてテーブル軸の軸心方向を調整し得るよう
に構成したことを特徴とする、回転テーブルの微小角度
調整装置。 ２、前記テーブルユニットとサブベースとの間、及び、
サブテーブルとベース部材との間にそれぞれ圧電素子を
介装し、上記圧電素子に印加する電圧を制御して、前記
の微小角Δθ、Δφをそれぞれ調整し得るように構成し
たことを特徴とする、特許請求の範囲第１項に記載の回
転テーブルの微小角度調整装置。 ３、前記テーブルユニットとサブベースとの間、及び、
サブテーブルとベース部材との間にそれぞれ、前記の微
小角Δθ、Δφの変化を検出するためのセンサを設けた
ことを特徴とする、特許請求の範囲第２項に記載の回転
テーブルの微小角度調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24638885A JPS62107936A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 回転テ−ブルの微小角度調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24638885A JPS62107936A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 回転テ−ブルの微小角度調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62107936A true JPS62107936A (ja) | 1987-05-19 |
Family
ID=17147786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24638885A Pending JPS62107936A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 回転テ−ブルの微小角度調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62107936A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0454639U (ja) * | 1990-09-18 | 1992-05-11 | ||
| JP2011218477A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Disco Corp | 加工装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761545A (en) * | 1980-09-30 | 1982-04-14 | Matsushita Electric Works Ltd | Cellulose incombustible heat-insulating material |
| JPS60131140A (ja) * | 1983-12-17 | 1985-07-12 | Omron Tateisi Electronics Co | 回転装置 |
| JPS60207702A (ja) * | 1984-03-31 | 1985-10-19 | Toshiba Corp | 鏡面加工装置 |
-
1985
- 1985-11-05 JP JP24638885A patent/JPS62107936A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761545A (en) * | 1980-09-30 | 1982-04-14 | Matsushita Electric Works Ltd | Cellulose incombustible heat-insulating material |
| JPS60131140A (ja) * | 1983-12-17 | 1985-07-12 | Omron Tateisi Electronics Co | 回転装置 |
| JPS60207702A (ja) * | 1984-03-31 | 1985-10-19 | Toshiba Corp | 鏡面加工装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0454639U (ja) * | 1990-09-18 | 1992-05-11 | ||
| JP2011218477A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Disco Corp | 加工装置 |
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