JP4418929B2 - 赤外超短パルスレーザーによる膜形成法 - Google Patents
赤外超短パルスレーザーによる膜形成法 Download PDFInfo
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electron laser;FEL)を用いた、ターゲット構成分子の振動励起を誘起したPLD法に注目が集まっている。この手法により、高分子材料やバイオ材料を高品質に薄膜化できる可能性が見出されている。しかしこの手法では、極めて大きな(例えば数10〜100m長)FEL装置を使用すること、設置場所がごく限られており使用に制限があることなどが実用化への大きな障害と考えられている。
2 入射窓
3 レンズ
10 ターゲット材料
11 基板
20 真空ポンプ
30 fsレーザー装置
31 OPA
40 ダイクロイックミラー
50 レーザー光源
Claims (3)
- レーザーアブレーションによる膜形成法において、パルス幅がフェムト秒オーダーの長短パルスレーザー光源と、前記光源からのレーザー光を受けて赤外域で波長可変なパルス幅1ns未満の超短パルスレーザー光を発生する光学的波長可変手段とを用い、波長が0.79μmより大きい赤外域のターゲット材料の光吸収帯に対応した超短パルスレーザー光を前記ターゲット材料に照射し、前記ターゲット材料に対向した基体上に前記ターゲット材料と実質的に同一組成の膜を形成することを特徴とする赤外超短パルスレーザーによる膜形成法。
- 前記ターゲット材料に対し、可視光、紫外光あるいはそれより短波長の光の照射を併用する請求項1記載の赤外超短パルスレーザーによる膜形成法。
- 前記光学的波長可変手段がオプティカルパラメトリック増幅器である請求項1又は2記載の赤外超短パルスレーザーによる膜形成法。
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JP2006006143A JP4418929B2 (ja) | 2006-01-13 | 2006-01-13 | 赤外超短パルスレーザーによる膜形成法 |
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CN103668085A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-03-26 | 武汉理工大学 | 脉冲激光沉积装置 |
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