JP4412125B2 - 薄膜積層装置 - Google Patents

Description

本発明は、第１の薄膜に対し、所定形状に切断された第２の薄膜を積層する薄膜積層装置に関する。

従来より、各種のシート状の積層体が知られている。その１つとして、燃料電池のＭＥＡ（Membrane Electrode Assembly）がある。ここで、ＭＥＡは、電極触媒層を担持した固体電解質材料膜である触媒層・電解膜の両側に、カーボンペーパーからなるガス拡散層を積層した構造となっている。

このようなＭＥＡを効率よく形成するため、１つの触媒層・電解膜についてのシート（電解膜シート）と、２つのガス拡散層についてのシート（拡散膜シート）をそれぞれ、ローラに巻き付けておき、これらをローラから各シートを送り出し、これらを積層切断することが提案されている（特許文献１）。

この装置では、２つの拡散膜シートを２つの回転する吸引ローラにそれぞれ吸着させ、その状態で、所定の大きさにカットする。そして、これら２つの拡散膜シートを巻き付けた状態で、吸引ローラの接合位置において、電解膜シートを挟み込むようにして、押圧輸送することで、３つのシートを積層する。従って、３つのシートの積層体であるＭＥＡを効率的に製造することができる。

また、特許文献２には、薄膜をロータリダイと吸着ローラで挟みつつ、ロータリダイの刃によって切断する装置が示されている。さらに、特許文献３には、センサの検出結果に基づいて、切断ローラの回転速度を調節することが示されている。

ここで、上記特許文献１では、吸引ローラによってカットされた拡散膜シートを保持する必要がある。ところが、この拡散膜シートは、材質にもよるが比較的堅いものが多く、吸引ローラにより十分吸引することが難しい場合もある。

また、３つのシートを一対のローラ（接合用のローラ）により挟み込んで積層するが、電解膜シートは、１つ１つのＭＥＡとして機能するためにその触媒層について所定のパターンが形成されている。そこで、電解膜シートが接合用のローラに入り込むタイミングを調整する必要がある。従来は各シートの送りを停止して、調整していたが、さらに効率的に調整したいという課題がある。

本発明は、比較的堅い拡散膜シートを適切に送ることを目的とする。

特開２００１−７６７４３号公報 特開２００３−４８１９０号公報 特開昭６３−１５６６９０号公報

本発明は、第１の薄膜に対し、所定形状に切断された第２の薄膜を積層する薄膜積層装置であって、対向して回転する２つのローラから構成され、異なる方向から供給される前記第１の薄膜および前記第２の薄膜を接合させて一緒に輸送する接合ローラ対と、前記接合ローラ対とは別に設けられ、対向して回転する２つのローラから構成されるとともに、少なくとも一方のローラに切断刃が形成され、前記第２の薄膜を所定形状に切断すると共に切断された第２の薄膜を前記接合ローラに向けて送るロータリカッタと、前記接合ローラ対の一方に対し、前記接合ローラ対の接触位置の上流側で接触回転し、前記切断された第２の薄膜を前記接合ローラ対に押しつけて輸送する押さえローラと、を有し、前記ロータリカッタが前記切断された第２の薄膜と離れる位置と、前記押さえローラが前記切断された第２の薄膜と接触する位置との間隔は、切断された第２の薄膜の長さより短く設定される、ことを特徴とする。

また、本発明は、第１の薄膜に対し、所定形状に切断された第２の薄膜を積層する薄膜積層装置であって、対向して回転する２つのローラから構成され、異なる方向から供給される前記第１の薄膜および前記第２の薄膜を接合させて一緒に輸送する接合ローラ対と、対向して回転する２つのローラから構成されるとともに、少なくとも一方のローラに切断刃が形成され、前記第２の薄膜を所定形状に切断すると共に切断された第２の薄膜を前記接合ローラに向けて送るロータリカッタと、前記接合ローラ対の一方に対し、前記接合ローラ対の接触位置の上流側で接触回転し、前記切断された第２の薄膜を押さえて輸送する押さえローラと、を有し、前記押さえローラと前記接合ローラ対の一方との接触位置と、前記接合ローラ対の接触位置の間に設けられ、前記切断された第２の薄膜を、前記接合ローラ対の一方に対し押さえつける規制手段を有することを特徴とする。

また、前記接合ローラ対の一方は、前記第２の薄膜と接触する部分の幅が前記切断された第２の薄膜の幅より狭く、前記切断された第２の薄膜の幅方向の両端部分を第１の薄膜に対し直接には押しつけないことが好適である。

また、前記接合ローラ対は、その周面にその回転軸に平行な方向の凹溝をそれぞれ有し、これら凹溝が対向することで、前記第１の薄膜と前記接合ローラ対との機械的な接触関係を断ったアンクランプ状態とし、このアンクランプ状態において、接合ローラ対の凹溝と、第１の薄膜の所定パターンとの相対位置を調整することが好適である。

また、前記アンクランプ状態において、接合ローラ対の回転速度を調整することが好適である。

また、前記アンクランプ状態において、前記第１の薄膜の移動速度を調整することが好適である。また、前記ロータリカッタは、前記第２の薄膜を幅方向に横断し、所定の幅を持ってカットすると共に、幅方向の両端をカットすることで、コの字形の不要部分を切除することが好適である。また、前記ロータリカッタの幅方向の両端部分に対向して設けられ、前記コの字形の不要部分の両側部分を押さえてロータリカッタから剥離させる押さえ部材を有することが好適である。

このように、前記ロータリカッタが前記切断された第２の薄膜と離れる位置と、前記押さえローラが前記切断された第２の薄膜と接触する位置との間隔は、切断された第２の薄膜の長さより短く設定されるため、切断された第２の薄膜を確実に受け渡すことができる。

また、前記押さえローラと前記接合ローラ対の一方との接触位置と、前記接合ローラ対の接触位置の間に設けられ、前記切断された第２の薄膜を、前記接合ローラ対の一方に対し押さえつける規制手段を有することで、第２の薄膜が比較的堅くても、これを接合ローラに沿って移動させることができる。
前記接合ローラ対の一方は、前記第２の薄膜と接触する部分の幅が前記切断された第２の 薄膜の幅より狭く、前記切断された第２の薄膜の幅方向の両端部分を第１の薄膜に対し直接には押しつけないことで、第１の薄膜のダメージを小さくできる。

また、前記接合ローラ対は、その周面にその回転軸に平行な方向の凹溝をそれぞれ有し、これら凹溝が対向することで、前記第１の薄膜と前記接合ローラ対との機械的な接触関係を断ったアンクランプ状態とすることができる。従って、このアンクランプ状態において、接合ローラ対の凹溝と、第１の薄膜の所定パターンとの相対位置を調整することができる。
また、ロータリカッタにより、第２の薄膜からコの字状の不要部分を切除することで、第２の薄膜について、長さ方向および幅方向の整形が同時に行える。

以下、本発明の実施形態について、図面に基づいて説明する。

まず、触媒層・電解膜について電解膜シート１０は、ローラ１２に巻き付けられている。また、ガス拡散層についての拡散膜シート２０ａは、ローラ２２ａに巻き付けられており、ガス拡散層についての拡散膜シート２０ｂは、ローラ２２ｂに巻き付けられている。そして、電解膜シート１０は、図における下方に向けて送り出され、拡散膜シート２０ａ、２０ｂは、水平方向（左右端側から中央方向）に送り出される。

拡散膜シート２０ａ、２０ｂは、ローラ２２ａ、２２ｂから送り出され、ロータリカッタ２４ａ、２４ｂとこれに対向するアンビルローラ２６ａ、２６ｂに挟み込まれる。このロータリカッタ２４ａ、２４ｂは、挟み込んだ拡散膜シート２０ａ、２０ｂをアンビルローラ２６ａ、２６ｂに押しつけ、その刃によってカットする。

図２（ａ）、（ｂ）には、ロータリカッタ２４および刃の形状についての概略構成が示されている。ロータリカッタ２４の本体ローラ２４−１の周面には、カット後の拡散膜シート２０−１の形状（ワーク形状）に対応した四角形状の刃２４−２が形成されている。そして、図２（ｂ）に示すように、この四角形の刃２４−２の本体ローラ２４−１の回転軸と平行な刃の一方は、本体ローラ２４−１の側端部にまで伸びている。従って、図２（ａ）に示すように、拡散膜シート２０は、周辺部分がコの字状の端切れ２０−２としてカットされ、捨てられ、ワーク形状に対応する拡散膜シート２０−１が得られる。なお、図２（ａ）に示すように、本体ローラ２４−１の刃２４−２の両端側に対応する部分には、一対の押さえ２４−３を上から押しつけるようにして、コの字上の端切れ２０−２を確実に排除している。

このようにして、四角形のワーク形状にカットされた拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂは、接合ローラ２８ａ、２８ｂと、拡散層押さえローラ３０ａ、３０ｂの間に導入される。接合ローラ２８ａ、２８ｂは、図１に示すように水平方向に対向して配置されており、拡散層押さえローラ３０ａ、３０ｂは、接合ローラ２８ａ、２８ｂの接合位置より９０°拡散膜シート２０−１の送り方向における上流側に位置している。従って、拡散層押さえローラ３０ａ、３０ｂは、接合ローラ２８ａ、２８ｂに対し図における上方から押しつけられている。

ここで、ロータリカッタ２４ａ、２４ｂとアンビルローラ２６ａ、２６ｂの接合位置から、接合ローラ２８ａ、２８ｂと押さえローラ３０ａ、３０ｂまでの距離は、カットされた拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂの送り方向長さより短く設定されている。従って、カットされた拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂは、ロータリカッタ２４ａ、２４ｂとアンビルローラ２６ａ、２６ｂ、または接合ローラ２８ａ、２８ｂと押さえローラ３０ａ、３０ｂのいずれか一方によって必ず挟まれている。このため、拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂが確実に輸送できる。

また、拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂは、接合ローラ２８ａ、２８ｂの周りを１／４周だけ巻き付いて移動する。接合ローラ２８ａ、２８ｂには、吸引手段などを設けていない。このため、そのままでは拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂは、水平方向に移動するだけで、接合ローラ２８ａ、２８ｂの周面に沿って移動しない。

そこで、複数（この例では、３つずつ）の拡散層規制板３２ａ、３２ｂを設け、拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂを接合ローラ２８ａ、２８ｂに押しつけている。この拡散層規制板３２ａ、３２ｂは、図３に示すように、接合ローラ２８ａ、２８ｂの回転軸方向に伸びる長方形の細長板をその短辺方向についてＵ字状に折り曲げた全体として樋状の板である。拡散層規制板３２ａ、３２ｂは、その中央部分が接合ローラ２８ａ、２８ｂに向けて押しつけられており、これによって拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂが接合ローラ２８ａ、２８ｂの周りを巻き付いて移動し、図における下方に向けて送り出される。

なお、拡散層規制板３２ａ、３２ｂは、拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂを接合ローラ２８ａ、２８ｂの周面に押しつけることができれば他の形状でもよい。例えば、複数の小径のローラでもよい。また、複数のローラに掛け回したベルトを押しつける構成でもよい。例えば、ベルトを３つのローラに掛け回し、その一辺を接合ローラ２８ａ、２８ｂに押しつける構成が採用できる。

また、電解膜シート１０は、接合ローラ２８ａ、２８ｂの接合部において、拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂの間に上方から供給される。従って、接合ローラ２８ａ、２８ｂは、その接合部において、拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂを電解膜シート１０に向けて押しつける。

ここで、接合ローラ２８ａ、２８ｂは、内部に加熱機構を有しており、全体として加熱されている。そこで、この接合ローラ２８ａ、２８ｂの接合部において、電解膜シート１０に対し、拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂがその両側から融着される。

また、図１および図４に示すように、接合ローラ２８ａ、２８ｂは、その外周面に、拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂの大きさに対応し、それより若干小さい凸部２８−１ａ、２８−１ｂがそれぞれ２つ形成されている。従って、接合ローラ２８ａ、２８ｂのそれぞれ１つの凸部２８−１ａ、２８−１ｂによって、拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂが押しつけられたときに、図５に示すように、拡散膜シート２０−１ａ、２０−ｂの外縁部は押圧されないことになる。これによって、拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂの外端部によって、電解膜シート１０に加えられるダメージを低減することができる。

また、接合ローラ２８ａ、２８ｂの表面に、凸部２８−１ａ、２８−１ｂが形成されることで、凸部２８−１ａ、２８−１ｂが形成されていない部分に回転軸に平行な方向の凹溝２８−２ａ、２８−２ｂが生じる。そして、この凹溝２８−２ａ、２８−２ｂが対向する位置においては、接合ローラ２８ａ、２８ｂの表面間距離が広くなり、押圧力が発生しない。この例では、この凹溝２８−２ａ、２８−２ｂの存在する箇所は、基本的に拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂが存在しない場所に対応している。従って、接合ローラ２８ａ、２８ｂの接合位置に凹溝２８−２ａ、２８−２ｂが位置するタイミングにおいて、電解膜シート１０は、接合ローラ２８ａから離れ、アンクランプ状態になる。なお、接合ローラ２８ａ、２８ｂを離れる方向に移動して、アンクランプ状態としてもよい。

従って、このアンクランプ状態において、接合ローラ２８ａ、２８ｂおよび拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂと、電解膜シート１０との位置調整が可能になる。

また、接合ローラ２８ａ、２８ｂの積層物の送り出し側（下流側）には、フィルム送りローラ３８ａ、３８ｂが配置されている。このフィルム送りローラ３８ａ、３８ｂにより、積層物（タイミングによって、電解膜シート１０でもよい）を送ることでも、電解膜シート１０の位置調整が行える。

さらに、電解膜シート１０の接合ローラ２８ａ、２８ｂ間に入る少し上流側には、光電センサ３４が設けられており、電解膜シート１０には、所定のパターン（１つの電極として利用する部分について、触媒層が形成されているパターン）が形成されている。光電センサ３４は、電解膜シート１０の触媒層パターンの送り方向エッジ（始端または終端）を検出する。そして、この光電センサ３４の検出結果に基づいて、電解膜シート１０と、拡散膜シート２０−１および接合ローラ２８ａ、２８ｂの位置調整が行われる。この位置調整の詳細については、後述する。

また、フィルム送りローラ３８ａ、３８ｂの下流側には、光電センサ３６が設けられている。この光電センサ３６は、接合後の拡散膜シート２０−１ａまたは２０−１ｂのエッジ（始端または終端）を検出する。光電センサ３６の下流側には、ロータリカッタ４０，アンビルローラ４２が対向配置されており、ロータリカッタ４０によって拡散膜シート２０−１が積層されていない、電解膜シート１０の部分がカットされる。なお、このロータリカッタ４０によるカット位置は、光電センサ３６の検出結果によって制御されるため、正確な位置でのカットが行える。そして、カットされた積層物は、ガイド４４を介し、パレット４６に積層状態で収容される。

このようにして、ローラ１２に巻き付けられている電解膜シート１０と、２つのローラ２２ａ、２２ｂに巻き付けられている拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂが積層され、所定の大きさのＭＥＡとして、トレー４６内に得られる。

このような動作について、図６に基づいて説明する。触媒層・電解膜（電解膜シート１０）には、触媒パターン（触媒層のパターン）が形成されている。一方、ペーパー拡散層は、カーボンクロスなどで構成されており、これがロータリカッタ２４ａ、２４ｂによって、所定のワーク形状にカットされる。このとき、端切れ２０−２は、コの字状に残り、これが分離回収される。また、ワーク形状の拡散膜シート２０−１は、完全に切断される前に、接合ローラ２８ａ、２８ｂと、拡散層押さえローラ３０に把持されるので、位置ずれなく接合ローラ２８ａ、２８ｂに受け渡される。ここで、ロータリカッタ２４ａ、２４ｂと、接合ローラ２８ａ、２８ｂとは、一定の位相を保ったまま同期回転している。従って、ワーク形状にカットされた拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂは、接合ローラ２８ａ、２８ｂの凸部に把持される。

接合ローラ２８ａ、２８ｂに受け渡されたワーク形状にカットされた拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂは、拡散層押さえローラ３０ａ、３０ｂによって、把持された状態で、拡散層規制板３２ａ、３２ｂによって、接合ローラ２８ａ、２８ｂ側におさえつけられながら、接合ローラ２８ａ、２８ｂに沿って移動する。

一方、電解膜シート１０は、一定の速度で送られている。前の触媒層パターンが接合されている最中に次の触媒層パターンが光電センサ３４によって検出され、これにより触媒層パターンと接合ローラ２８ａ、２８ｂの凸部２８−１ａ、２８−１ｂのずれが計算される。

電解膜シート１０の前の触媒パターンと、拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂの接合が終わると、対向する接合ローラ２８ａ、２８ｂは、その凹溝２８−２ａ、２８−２ｂが対向する形になり、接合ローラ２８ａ、２８ｂ間が開き、電解膜シート１０はアンクランプ状態になる。この状態で、上述のようにして算出したずれ量に基づいて接合ローラが速度を変更し（同期するロータリカッタも同様に速度を変える）、電解膜シート１０の触媒層パターンと接合ローラ２８ａ、２８ｂの凸部２８−１ａ、２８−１ｂが一致するように補正（位置調整）が行われる。また、図示しない触媒層パターンの幅方向の位置ずれもセンサによって検出し、補正を行うとよい。

これらの位置調整作業は、一定速度で移動する電解膜シート１０の次の触媒層パターンが接合位置に来る前に終了する。

このような位置調整について、図７に示す。接合中は、接合ローラ２８ａ、２８ｂおよび電解膜シート１０は、一定速度で移動する。接合が終了した場合には、光電センサで検出した触媒層パターンの送り方向位置と、接合ローラ２８ａ、２８ｂの凸部２８−１ａ、２８−１ｂの位置ずれに基づいて、接合ローラ２８ａ、２８ｂの速度を変更し、位置調整（補正）を行う。このような作業を順次繰り返すことで、接合動作を中断せずに、位置調整を行うことができ、作業の効率化を図ることができる。

なお、上述のような作業は、マイコンなどのコントローラによって、自動的に行われる。

また、上述のような位置合わせは、次にように行うこともできる。まず、上述のように光電センサ３４によって、触媒層パターンと接合ローラ２８ａ、２８ｂの凸部２８−１ａ、２８−１ｂのずれが計算される。そして、電解膜シート１０が接合ローラ２８ａ、２８ｂからフリーになっている状態で、フィルム送りローラ３８ａ、３２ｂの速度を変更する。すなわち、電解膜シート１０のアンクランプ状態において、フィルム送りローラ３８ａの速度を変更すると、接合ローラ２８ａ、２８ｂおよび拡散膜シート２０−１ａ、２０−１ｂには何ら影響なく、電解膜シート１０の接合ローラ２８ａ、２８ｂに対する位置が変更され、位置ずれを補償することができる。

すなわち、図８に示すように、接合中は、接合ローラ２８ａ、２８ｂおよび電解膜シート１０は、一定速度で移動する。接合が終了した場合には、光電センサで検出した触媒層パターンの送り方向位置と、接合ローラ２８ａ、２８ｂの凸部２８−１ａ、２８−１ｂの位置ずれに基づいて、フィルム送りローラ３８ａ、３８ｂの速度を変更することで、電解膜シート１０の送り速度を変更し位置調整（補正）を行う。このような方法によっても、接合動作を中断せずに、位置調整を行うことができ、作業の効率化を図ることができる。

上述の説明では、燃料電池のＭＥＡの作成についてのみ説明したが、上述のような構成は、ロールで供給される薄膜の積層であれば、他のものにも適用することができる。

システムの全体構成を示す図である。 ロータリカッタ２４の構成および作用を示す図である。 拡散層規制板３２の構成を示す図である。 接合ローラ２８の構成を示す図である。 電解膜シート１０と接合ローラ２８の凸部２８−１の関係を説明する図である。 全体の動作を説明する図である。 位置調整の一例を説明する図である。 位置調整の他の例を説明する図である。

符号の説明

１０ 電解膜シート、１２，２２（２２ａ，２２ｂ），３０（３０ａ，３０ｂ） ローラ、２０（２０ａ，２０ｂ） 拡散膜シート、２４（２４ａ，２４ｂ），４０ ロータリカッタ、２４−１ 本体ローラ、２４−２ 刃、２４−３ 押さえ、２６（２６ａ，２６ｂ），４２ アンビルローラ、２８（２８ａ，２８ｂ） 接合ローラ、２８−１ 凸部、２８−２ 凹溝、３２（３２ａ，３２ｂ） 拡散層規制板、３４，３６ 光電センサ、３８（３８ａ，３８ｂ） フィルム送りローラ、４４ ガイド、４６ トレー、４６ パレット。

Claims (9)

1. 第１の薄膜に対し、所定形状に切断された第２の薄膜を積層する薄膜積層装置であって、
   対向して回転する２つのローラから構成され、異なる方向から供給される前記第１の薄膜および前記第２の薄膜を接合させて一緒に輸送する接合ローラ対と、
   前記接合ローラ対とは別に設けられ、対向して回転する２つのローラから構成されるとともに、少なくとも一方のローラに切断刃が形成され、前記第２の薄膜を所定形状に切断すると共に切断された第２の薄膜を前記接合ローラに向けて送るロータリカッタと、
   前記接合ローラ対の一方に対し、前記接合ローラ対の接触位置の上流側で接触回転し、前記切断された第２の薄膜を前記接合ローラ対に押しつけて輸送する押さえローラと、
   を有し、
   前記ロータリカッタが前記切断された第２の薄膜と離れる位置と、前記押さえローラが前記切断された第２の薄膜と接触する位置との間隔は、切断された第２の薄膜の長さより短く設定される、
   ことを特徴とする薄膜積層装置。
2. 第１の薄膜に対し、所定形状に切断された第２の薄膜を積層する薄膜積層装置であって、
   対向して回転する２つのローラから構成され、異なる方向から供給される前記第１の薄膜および前記第２の薄膜を接合させて一緒に輸送する接合ローラ対と、
   前記接合ローラ対とは別に設けられ、対向して回転する２つのローラから構成されるとともに、少なくとも一方のローラに切断刃が形成され、前記第２の薄膜を所定形状に切断すると共に切断された第２の薄膜を前記接合ローラに向けて送るロータリカッタと、
   前記接合ローラ対の一方に対し、前記接合ローラ対の接触位置の上流側で接触回転し、前記切断された第２の薄膜を前記接合ローラ対に押しつけて輸送する押さえローラと、
   を有し、
   前記押さえローラと前記接合ローラ対の一方との接触位置と、前記接合ローラ対の接触位置の間に設けられ、前記切断された第２の薄膜を、前記接合ローラ対の一方に対し押さえつける規制手段を有することを特徴とする薄膜積層装置。
3. 請求項２に記載の薄膜積層装置において、
   前記規制手段は、回転軸方向に伸びる長方形の細長い板をその短辺方向についてＵ字状に折り曲げた全体として樋状の一以上の板を、その中央の凸部が接合ローラ対に向けて押しつけられるようにした構成であることを特徴とする薄膜積層装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１つに記載の薄膜積層装置において、
   前記接合ローラ対の一方は、前記第２の薄膜と接触する部分の幅が前記切断された第２の薄膜の幅より狭く、前記切断された第２の薄膜の幅方向の両端部分を第１の薄膜に対し直接には押しつけないことを特徴とする薄膜積層装置。
5. 請求項１〜３のいずれか１つに記載の薄膜積層装置において、
   前記接合ローラ対は、その周面にその回転軸に平行な方向の凹溝をそれぞれ有し、これら凹溝が対向することで、前記第１の薄膜と前記接合ローラ対との機械的な接触関係を断ったアンクランプ状態とし、このアンクランプ状態において、接合ローラ対の凹溝と、第１の薄膜の所定パターンとの相対位置を調整することを特徴とする薄膜積層装置。
6. 請求項５に記載の装置において、
   前記アンクランプ状態において、接合ローラ対の回転速度を調整することを特徴とする薄膜積層装置。
7. 請求項５に記載の装置において、
   前記アンクランプ状態において、前記第１の薄膜の移動速度を調整することを特徴とする薄膜積層装置。
8. 請求項１〜３のいずれか１つに記載の薄膜積層装置において、
   前記ロータリカッタは、前記第２の薄膜を幅方向に横断し、所定の幅を持ってカットすると共に、幅方向の両端をカットすることで、コの字形の不要部分を切除することを特徴とする薄膜積層装置。
9. 請求項８に記載の装置において、
   前記ロータリカッタの幅方向の両端部分に対向して設けられ、前記コの字形の不要部分の両側部分を押さえてロータリカッタから剥離させる押さえ部材を有することを特徴とする薄膜積層装置。

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