JP4407373B2 - ガスセンサ素子 - Google Patents

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Description

本発明は、車両用内燃機関の燃焼制御等に用いることができるガスセンサ素子に関する。
車両用エンジンの排気系にA/Fセンサのようなガスセンサを設け、排気ガス中の酸素濃度等からエンジン燃焼室のA/Fを検出し、これを利用してエンジンの燃焼制御を行うことがある(排気ガスフィードバックシステム)。
特に、三元触媒を用いて効率よく排気ガスを浄化するためには車両用エンジンの燃焼室においてA/Fが特定の値となるように制御することが重要である。
上記用途におけるガスセンサに内蔵するガスセンサ素子として、後述する特許文献1に示される構成のガスセンサ素子を一例として挙げることができる。
即ち、固体電解質板と、該固体電解質板に設けた被測定ガス側電極及び基準電極とを有し、上記被測定ガス側電極及び上記基準電極が固体電解質板を介して向き合うことで形成されるセンシング部を有し、上記固体電解質板に一体的に設けたヒータ基板と該ヒータ基板に設けた発熱部とからなるヒータを有する。
また、上記排気ガスフィードバックシステムで使用するガスセンサとして、上記A/Fセンサの他に、排気ガス中の酸素濃度を検出する酸素センサや排気ガス中の大気汚染物質であるNOxの濃度を検出するNOxセンサ等が知られている。
これらのガスセンサは、それぞれ酸素センサ素子、NOxセンサ素子を内蔵しており、これらのガスセンサ素子が特定ガス濃度検出の役割を担っている。そして、各ガスセンサ素子は特許文献1と類似の構造を備えている。
特開2000−65782号公報 特許3174059号公報 特開2001−153835号公報
ところで、近年、上記ガスセンサ素子において、早期活性、高検出精度等の性能が要求されている。特に早期活性については、エンジン冷始動時初期に多く排出されるHCを排気ガス中から削減する効果が大きく、より一層の性能向上が望まれている。
上記早期活性を達成するためには、エンジン冷始動時に発熱部に投入する電力を増大する、またはガスセンサ素子自身の体格を小型化し、熱容量を小さくする方法が考えられる。
しかしながら、前者においては消費電力の増大につながり、後者においては小型化に伴う発熱部の製造容易性、性能等が問題となってくる。
一般に上記発熱部は導電性の細線をヒータ基板にパターン形成した導体パターンからなるが、素子の体格小型化に伴い、このパターン形状がより小型化し、より細線化することで発熱部の抵抗値が増大し、投入電力が頭打ちとなってしまう問題があった。
パターン幅を太くする、またはパターン厚みを増加させることで、発熱部の抵抗値を減らして上記問題を解決することができるが、発熱部を構成するパターン間のショート(ショートによって上記発熱部の抵抗値が減少し、電流値が増大する、または部分的な異常発熱が生じて素子破壊が発生するおそれがある。)を防止するためにはパターン間に所定の間隙が維持されていることが必要であり、従って大幅な発熱部の小型化は実現困難であった。
そこで、発熱部を構成する導体パターンを多層化することで、パターン幅を狭小化する工夫について提案がなされているが(特許文献2参照)、多層化に伴う導体パターン内の電界強度の増加によるエレクトロマイグレーションの発生が懸念化される。また多層化は製造コスト増大に繋がる。
また、特許文献3に示すごときガスセンサ素子を用いることで、発熱部を小型化することなくガスセンサ素子の体格小型化を図ることができると考えられる。
即ち、このガスセンサ素子9は、図15に示すごとく、固体電解質板11と、該固体電解質板11に設けた被測定ガス側電極161及び基準電極162とを有し、上記被測定ガス側電極161及び上記基準電極162により挟持された固体電解質板11とからなるセンシング部160を有し、上記固体電解質板11にスペーサ15を介して一体的に設けたヒータ基板190と該ヒータ基板190に設けた発熱部191とからなるヒータ19を有する。また、被測定ガス側電極161は、スペーサ12により形成された被測定ガス室120と対面する。スペーサ12には多孔質層13と遮蔽層14とが積層されている。
そして、このガスセンサ素子9は、遮蔽層14、多孔質層13、スペーサ12を設けた側の側面901、902が面取りされ、この面取りの分だけガスセンサ素子9が小型化されている。
しかしながら、近年、ガスセンサ素子に要求される早期活性の性能は、上記面取りだけでは不十分な場合も多く、より効果的な素子小型化方法が求められていた。
また、ガスセンサ素子の小型化を図ることは、ガスセンサ素子をより薄く、より細く構成することである。ガスセンサ素子は一般に脆いセラミックからなるため、素子体格の小型化は、ガスセンサ素子の機械的強度低下につながる。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたもので、早期活性に優れると共に機械的強度に優れたガスセンサ素子を提供しようとするものである。
本発明は、固体電解質板と、該固体電解質板に設けた被測定ガス側電極及び基準電極とを有し、
上記被測定ガス側電極及び上記基準電極が固体電解質板を介して向き合うことで形成されるセンシング部を有し、
上記固体電解質板に一体的に設けたヒータ基板と該ヒータ基板に設けた発熱部とからなるヒータを有するガスセンサ素子であって、
上記発熱部のガスセンサ素子長手方向における一方の端部と他方の端部とによって幅方向に区切られると共に、上記発熱部のガスセンサ素子長手方向と直交する幅方向における一方の端部と他方の端部とによって長手方向に区切られた上記ヒータ基板上の発熱領域の面積S1と、
上記センシング部のガスセンサ素子長手方向における一方の端部と、他方の端部とによって幅方向に区切られた固体電解質板上のセンサ領域の面積S2との間には、S2/S1≦0.9なる関係が成立し、
上記幅方向における断面形状が台形であることを特徴とするガスセンサ素子にある(請求項1)。
本発明では、ガスセンサ素子において発熱部が形成されたヒータ基板上の発熱領域の面積S1と、センシング部を含む固体電解質板上のセンサ領域の面積S2との間にS2/S1≦0.9なる関係が成立する。
ここでセンシング部は、被測定ガス側電極及び基準電極が固体電解質体を介して向き合うことで形成され、ここからガスセンサ素子の出力が得られる。
そしてセンサ領域とは、センシング部におけるガスセンサ素子の長手方向の両端において、それぞれガスセンサ素子長手方向に直交する幅方向に沿って区切った固体電解質板上の特定の領域であり、後述する図3にその一例を示す。また、固体電解質板の幅が、被測定ガス側電極を設けた面と基準電極を設けた面とで異なる場合は、より狭いほうの幅を備えた面を用いて、上記センサ領域を定義する。
また、発熱部は通電により発熱する導電パターンからなり、この導電体が形成されたヒータ基板上の特定の領域が上記発熱領域となる。
すなわち、上記発熱部のガスセンサ素子長手方向における一方の端部と他方の端部とによって幅方向に区切られると共に、上記発熱部のガスセンサ素子長手方向と直交する幅方向における一方の端部と他方の端部とによって長手方向に区切られた上記ヒータ基板上の領域が発熱領域となる。
具体的には、後述する図4に示すごとく、発熱部を構成する上記導電パターンにおいて、ガスセンサ素子長手方向の両端部をそれぞれ通る幅方向に平行な直線と、導体パターンにおいてガスセンサ素子幅方向(長手方向に対し直交する方向を幅方向とする)の両端部をそれぞれ通る長手方向に平行な直線を考えた場合に、これらの直線によって区切られた領域が上記発熱領域となる。
一般にガスセンサ素子における固体電解質板は酸素イオン導電性のジルコニアセラミックからなり(例えばイットリア含有の部分安定化ジルコニア)、その他の部分はアルミナ等の絶縁セラミックからなる。ジルコニアの破壊強度はアルミナ等の絶縁セラミックより小さい。更に、ジルコニアの熱伝導率はアルミナ等の絶縁セラミックより小さい。
従って、発熱領域とセンサ領域の面積の間に上記関係が成立することで、ガスセンサ素子における固体電解質板の占める領域を減じることができ、ガスセンサ素子におけるヒータによる加熱効率を高めることができる。
更に、上記熱伝導率の低いジルコニアの占める領域を減らすことで素子の温度分布の低減に伴う熱応力発生の低減により、応力による破壊への余裕度を高めることができる。
更に、本発明によれば、センサ領域と比べて発熱領域の面積が大きいため、発熱部の小型化を抑制し、発熱部の抵抗値の増大を抑制して、投入電力の頭打ちを防止することができる。更に発熱部の小型化が抑制されているため、発熱部におけるショートも生じ難い。
更に、本発明によれば、ガスセンサ素子の体格は部分的に小型化されるが、他の部分(たとえばヒータの近傍等)は小型化されておらず、ガスセンサ素子全体の強度低下が生じ難い。
以上、本発明によれば、早期活性に優れると共に機械的強度に優れたガスセンサ素子を提供することができる。
本発明にかかるガスセンサ素子は、被測定ガス中の特定ガス濃度を測定可能な積層型の素子であり、例えば酸素濃度を測定する酸素センサ素子、NOx濃度を測定するNOxセンサ素子、HC濃度を測定するHCセンサ素子、CO濃度を測定するCOセンサ素子等を例として挙げることができる。
また、自動車エンジン等の車両用内燃機関の排気系に設置し、空燃比フィードバックシステムにおけるガスセンサに内蔵するA/Fセンサ素子、λセンサ素子等を例に挙げることができる。
また、本発明を、センシング部をひとつ持つ素子(実施例1、2)の他、複数有する素子(実施例3)に適用することができる。
センシング部が複数ある場合、各センシング部に由来するセンサ領域に対してS2/S1が成立することが好ましい。
また、本発明にかかるガスセンサ素子において、S2/S1が0.9より大である場合、ガスセンサ素子における固体電解質板の占める領域が大きくなり、ヒータによる加熱効率が低下して早期活性が低下するおそれがある。
また、より好ましくは、S1とS2との間には、0.4≦S2/S1≦0.7なる関係が成立することが好ましい(請求項2)。
これによって、本発明の効果を確実に得て、早期活性に優れると共に機械的強度に優れたガスセンサ素子を提供することができる。
0.4未満とした場合には、ガスセンサ素子の形状が扁平となりすぎて、表面積増大によりヒータによる加熱効率が低下するおそれがある。また、ガスセンサ素子の体格が小型化され、強度低下が生じるおそれがある。
0.7より大である場合でも、上記の加熱効果を得ることはできるが、熱伝導の低い固体電解質板の影響によってヒータによる加熱効率が低下するおそれがある。
また、上記固体電解質板と上記発熱部との間にアルミナ材料を配置することが好ましい(請求項3)。
アルミナ材料は高熱伝導度であり、従って、発熱部からの熱をセンシング部に効率よく伝えて、ガスセンサ素子の早期活性を高めることができる。
また、上記ガスセンサ素子における長手方向かつセンシング部を設けた側の端部をセンシング側端部、該センシング側端部と反対側の端部を取り出し側端部とすると、上記センシング側端部の素子断面積は、上記取り出し側端部の素子断面積よりも小さいことが好ましい(請求項4)。
これにより、早期活性に重要なセンシング側端部の体積を小さくし、熱容量を減らして早期活性を高めることができる。
また、一般に取り出し側端部はガスセンサ素子の出力を取り出す接触端子等(後述する実施例1参照)を設けることが多く、従って接触不良を避けるためにもこの部分はある程度体格が大きいことが望まれる。
また、上記センシング側端部から上記取り出し側端部に向かって素子断面積は連続的に増加することが好ましい(請求項5)。
これにより、ガスセンサ素子側面に大きな段差が生じ難くなり、素子折れが生じ難くなる。特にガスセンサ素子のセンシング側端部に大きなモーメントが加わるような過重負荷に対する素子強度を高めることができる。
(実施例1)
本発明にかかるガスセンサ素子について、図1〜図5を用いて説明する。
図1〜図4に示すごとく、本例のガスセンサ素子1は、固体電解質板11と、該固体電解質板11に設けた被測定ガス側電極161及び基準電極171とを有する。
上記被測定ガス側電極161及び上記基準電極171が固体電解質板11を介して向き合うことで形成されるセンシング部16を有する。
また、上記固体電解質板11に一体的に設けたヒータ基板190と該ヒータ基板190に設けた発熱部191とからなるヒータ19を有する。
上記発熱部191のガスセンサ素子1の長手方向における一方の端部と他方の端部とによって幅方向に区切られると共に、上記発熱部191のガスセンサ素子1の長手方向と直交する幅方向における一方の端部と他方の端部とによって長手方向に区切られた上記ヒータ基板190上の発熱領域195の面積S1と、上記センシング部160のガスセンサ素子1の長手方向における一方の端部T1と、他方の端部T2とによって区切られた固体電解質板11上のセンサ領域165の面積S2との間には、S2/S1≦0.9なる関係が成立する。
以下、詳細に説明する。
本例にかかるガスセンサ素子1は、自動車エンジンの排気ガスフィードバックシステムに設けたガスセンサに内蔵して使用する。
上記ガスセンサ素子1は、図1、図2に示すごとく、被測定ガス側電極161を一方の面118に、他方の面119に基準電極171を設けた固体電解質板11と、上記被測定ガス側電極161を設けた面118に積層したスペーサ12と、該スペーサ12に積層した多孔質層13、遮蔽層14とを有し、また固体電解質板11の基準電極171を設けた面119にスペーサ15を介して積層した発熱部191を備えたヒータ基板190とを有する。
上記固体電解質板11は酸素イオン導電性の部分安定化ジルコニアからなり、その他遮蔽層14、多孔質層13、スペーサ12、15、ヒータ基板190は全てアルミナからなる。また、多孔質層13はガス透過性であり、その他はガス不透過である。
また、上記スペーサ12、15はそれぞれ窓部と溝部を備えており、これら窓部と溝部が被測定ガス室120、基準ガス室150を構成する。
固体電解質板11の面118には、被測定ガス側電極161と、これと導通するリード部162及び端子部163が設けてある。また、面119には、基準電極171と、これと導通するリード部172及び内部端子部173が設けてある。そして内部端子部173は固体電解質板11を貫通するスルーホール(図示略)を介して、面118に設けた端子部174と導通する。上記端子部163、174からガスセンサ素子1の出力を取り出すことができる。
ヒータ基板190におけるスペーサ15と対面する側の面198には、発熱部191と、該発熱部191と導通するリード部192及び内部端子部193が設けてある。該内部端子部193はヒータ基板190を貫通するスルーホール(図示略)を介して、面199に設けた端子部194と導通する。
上記発熱部191は、ガスセンサ1の長手方向を往復するようにパターン形成した導体パターンからなる。
図2に示すごとく、上記ガスセンサ素子1における長手方向かつセンシング部16のある側の端部をセンシング側端部、該センシング側端部と反対側の端部を取り出し側端部とする。上記内部端子部173、193及び端子部163、174、194は取り出し側端部近傍にある。
ガスセンサ素子1の出力は、被測定ガス側電極161と基準電極171が固体電解質板11を介して向き合うことで形成されるセンシング部16から得られ、図3に示すごとく、センシング部16におけるガスセンサ素子1の長手方向における一方の端部T1と他方の端部T2とによって幅方向に区切られた固体電解質板11上の領域がセンサ領域165である。
図4に示すごとく、ヒータ基板190上に発熱部191を設けた領域が発熱領域195である。
すなわち、発熱部191を構成する導体パターンのガスセンサ素子1の長手方向における両端を通る直線M1、M2、発熱部191を構成する導体パターンのガスセンサ素子1の幅方向における両端を通る直線M3、M4を考えると、これらM1〜M4で区画された領域が上記発熱領域195となる。
そして、図1に示すごとく、本例のガスセンサ素子1は、ガスセンサ素子の幅方向の断面形状が台形であり、遮蔽層14の幅が最も狭く、ヒータ基板190の幅が最も広い。
そうして、発熱領域195の面積をS1、センシング部16を含んだセンサ領域165の面積をS2とすると、S2/S1≦0.9が成立する。
ここで本例にかかる断面台形のガスセンサ素子1と、図15に示した遮蔽層14からスペーサ12までの側面901、902が面取りされた従来技術にかかるガスセンサ素子9の活性時間について測定した。
即ち、上記ガスセンサ素子1とガスセンサ素子9の材質と各層の厚み等の寸法は全て同等であり、更にヒータ基板190の面199側の幅、発熱部191を設けた発熱領域195の面積が同一である。しかし、固体電解質板11上のセンサ領域165は本例にかかるガスセンサ素子1と比べて、ガスセンサ素子9の発熱領域は大きく、該ガスセンサ素子9においてS2/S1>0.9である。
ガスセンサ素子1とガスセンサ素子9の各発熱部191に対し同じ電源から同じ電力を供給したところ、ガスセンサ素子1のセンサ領域165の温度が700℃に達するまでの時間は3.5秒であったが、ガスセンサ素子9については6秒かかった。
なお、上記ガスセンサ素子1、9は温度700℃に加熱してやることで有効な出力が得られて、ガス濃度の検出が可能となる。
また、本例にかかる形状のガスセンサ素子で、S2/S1が異なるものをいくつか準備して、上記と同様の方法で活性時間を各ガスセンサ素子について測定し、その結果を図5にかかる線図に記載した。
同図から明らかであるが、S2/S1が0.9を越えると急激に活性時間が増大することがわかった。また、S2/S1を0.7以下とすることで安定して短い活性時間が得られることが判った。
このように本例によれば、ガスセンサ素子1における固体電解質板11の占める領域を減じることができ、ガスセンサ素子1におけるヒータ19による加熱効率を高めて活性時間を短くすることができる。
また、センサ領域165と比べて発熱領域195の面積が大きいため、発熱部191の小型化を抑制し、発熱部191の抵抗値の増大を抑制して、投入電力の頭打ちを防止することができる。更に発熱部191の小型化が抑制されているため、発熱部191におけるショートも生じ難い。
また、アルミナの熱伝導率はジルコニアのおよそ10倍であり、固体電解質板11とヒータ基板190との間にアルミナ製のスペーサ15を設けることで、ヒータ19からの加熱効率を更に高めることができる。
そして、ガスセンサ素子1の体格は固体電解質板11を中心として小型化されるが、ヒータ19の近傍は小型化されておらず、全体の強度低下が生じ難い。
以上、本例によれば、早期活性に優れると共に機械的強度に優れたガスセンサ素子を提供することができる。
参考例1
本例は、図1と同様の構成のガスセンサ素子で、S2/S1≦0.9を満たすが、外形の異なる各種ガスセンサ素子について説明する。
図6〜図のガスセンサ素子1は、いずれもヒータ基板190にスペーサ15、固体電解質板11、スペーサ12、多孔質層13、遮蔽層14を積層した構成を有する。
そして、図6が幅方向断面形状が山形、図が半円型、図8が遮蔽層14から固体電解質板11までを幅細に、スペーサ15とヒータ基板190とを幅太に構成した形状である。
(実施例2)
本例は、図9に示すごとく、実施例1と同様の台形型であるが、ヒータ基板190の側面が図面の下方に向かうに従って、幅細に形成されている。
その他、ガスセンサ素子としての基本形状、構成は実施例1と同様であり、また作用効果も同様である。
(実施例3)
本例のガスセンサ素子2は、ひとつの素子内にセンシング部が二つある。
即ち、図10に示すごとく、本例のガスセンサ素子1は、遮蔽層14、多孔質層13、スペーサ12、固体電解質板11、スペーサ15、スペーサ21、固体電解質板22からなり、固体電解質板11はスペーサ12の形成する被測定ガス室120に面する被測定ガス側電極161、スペーサ15の形成する基準ガス室150に面する基準電極171を有し、また固体電解質22はスペーサ21の形成する基準ガス室210に面する基準電極22と、素子の外部に露出して被測定ガスに面する被測定ガス側電極232とを有する。
また、スペーサ15とスペーサ21との間に発熱部191が設けてあり、スペーサ21は実施例1で言うところのヒータ基板191を兼用してなる。よって、スペーサ21と発熱部191においてヒータ19が形成される。
一方のセンシング部16は、被測定ガス側電極161と基準電極171が固体電解質板11を介して向き合うことで形成されており、また他方のセンシング部23は被測定ガス側電極232と基準電極231が固体電解質板22を介して向き合うことで形成されている。
そして、それぞれのセンシング部16、23に対して、実施例1にかかる図3に示すごとくセンサ領域を決定する。
また、スペーサ21がヒータ基板であることから、面211に対して発熱部191が設けてある領域が発熱領域となる。
そして、センシング部16に対応するセンサ領域についても、センシング部23に対応するセンサ領域についても、それぞれS2/S1≦0.9が成立することで、実施例1と同様の作用効果を得ることができる。
その他、詳細は実施例1と同様である。
(実施例4)
本例にかかるガスセンサ素子1は、実施例1と同様の構成を備えているが、ガスセンサ素子1におけるセンサ領域(図示略)近傍についてのみ、固体電解質板11を幅細とした構成である。
即ち、図11、図12に示すごとく、ガスセンサ素子1の長手方向の半ばからセンシング側端部にかけて幅細に構成されており、特にセンサ領域にかかる部分の断面形状が、図12に示すごとく台形になっている。
なお、断面の詳細は実施例1の図1と同じであるため、記載は省略した。
また、図11、図12と異なる形状として、図13、図14に示すごとく、センシング側端部から取り出し側端部に向かって、長手方向の途中まで断面積が連続的に増加するガスセンサ素子1がある。
即ち、センシング側端部から順に断面を図示すると、最もセンシング側端部の断面は図14(a)に示すごとく、実施例1の図1と同様の台形であり、図14(b)は台形の形状が少し長方形に近づき、最も取り出し側端部に近い断面は、図14(c)に示すごとく、長方形に近い台形である。
なお、断面の詳細については実施例1の図1と同様であるため、記載は省略した。
これらのガスセンサ素子1は、いずれも発熱領域の面積S1とセンサ領域の面積S2との間にはS2/S1≦0.9なる関係が成立することで、実施例1と同様の作用効果を得ることができる。
実施例1にかかる、ガスセンサ素子の要部断面説明図。 実施例1にかかる、ガスセンサ素子の斜視展開図。 実施例1にかかる、固体電解質板上におけるセンサ領域を示す平面図。 実施例1にかかる、ヒータ基板上における発熱領域を示す平面図。 実施例1にかかる、S2/S1と活性時間との関係を示す線図。 参考例1にかかる、断面が山型のガスセンサ素子の要部断面説明図。 参考例1にかかる、断面が半円型のガスセンサ素子の要部断面説明図。 参考例1にかかる、幅が途中で切り替わった断面を有するガスセンサ素子の要部断面説明図。 実施例2にかかる、断面が台形で、ヒータ基板が図面の下方に向かうに従って、幅細に形成されたガスセンサ素子の要部断面説明図。 実施例3にかかる、二つのセンシング部を有するガスセンサ素子の要部断面説明図。 実施例4にかかる、長手方向の半ばからセンシング側端部にかけて幅細になったガスセンサ素子の斜視図。 図11におけるA−A矢視断面図。 実施例4にかかる、センシング側端部から取り出し側端部に向かって、長手方向の途中まで断面積が連続的に増加するガスセンサ素子の斜視図。 図13における、(a)B−B矢視断面図、(b)C−C矢視断面図、(c)D−D矢視断面図。 従来例にかかる、ガスセンサ素子の要部断面説明図。
符号の説明
1 ガスセンサ素子
11 固体電解質板
19 ヒータ
16 センシング部
165 センサ領域
161 被測定ガス側電極
171 基準電極
19 ヒータ
190 ヒータ基板
191 発熱部
195 発熱領域

Claims (5)

  1. 固体電解質板と、該固体電解質板に設けた被測定ガス側電極及び基準電極とを有し、
    上記被測定ガス側電極及び上記基準電極が固体電解質板を介して向き合うことで形成されるセンシング部を有し、
    上記固体電解質板に一体的に設けたヒータ基板と該ヒータ基板に設けた発熱部とからなるヒータを有するガスセンサ素子であって、
    上記発熱部のガスセンサ素子長手方向における一方の端部と他方の端部とによって幅方向に区切られると共に、上記発熱部のガスセンサ素子長手方向と直交する幅方向における一方の端部と他方の端部とによって長手方向に区切られた上記ヒータ基板上の発熱領域の面積S1と、
    上記センシング部のガスセンサ素子長手方向における一方の端部と、他方の端部とによって幅方向に区切られた固体電解質板上のセンサ領域の面積S2との間には、S2/S1≦0.9なる関係が成立し、
    上記幅方向における断面形状が台形であることを特徴とするガスセンサ素子。
  2. 請求項1において、上記S1とS2との間には、0.4≦S2/S1≦0.7なる関係が成立することを特徴とするガスセンサ素子。
  3. 請求項1または2において、上記固体電解質板と上記発熱部との間にアルミナ材料を配置することを特徴とするガスセンサ素子。
  4. 請求項1〜3のいずれか1項において、上記ガスセンサ素子における長手方向かつセンシング部を設けた側の端部をセンシング側端部、該センシング側端部と反対側の端部を取り出し側端部とすると、上記センシング側端部の素子断面積は、上記取り出し側端部の素子断面積よりも小さいことを特徴とするガスセンサ素子。
  5. 請求項4において、上記センシング側端部から上記取り出し側端部に向かって素子断面積は連続的に増加することを特徴とするガスセンサ素子。
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