JP4406509B2 - 回転可能なエレメントの回転角度捕捉装置 - Google Patents
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Description
本発明は、請求項1の上位概念に記載の回転可能なエレメントの回転角度捕捉装置並びに請求項10の上位概念に記載の相応の方法に関する。
【0002】
無接触な回転角度捕捉を実施可能であるこの形式の装置は例えばドイツ連邦共和国特許出願公開第19543562号公報から公知である。このような装置では、角度位置を求めようとする回転可能な軸に磁石が結合されている。軸の回転角度によって変化する磁界は、2つのセンサエレメントを用いて測定される。これらセンサエレメントは、相互に90゜の角度だけ回転されている2つのホールセンサエレメントであるか、または相互に45゜の角度だけ回転されている2つの磁気抵抗センサエレメントである。センサエレメントには、相互に適当な方法で位相がシフトされている交番電圧信号が供給される。センサエレメントの出力信号の重畳の結果、角度位置を表している信号経過が生じる。この刊行物において記載されている無接触の回転角度捕捉装置は、それぞれ2つの同形式のセンサエレメントを有している。このことは不都合を来す可能性がある。というのはホールセンサは例えば大きな温度依存性および大きなストレス依存性を有しているからである。これに対して磁気抵抗センサエレメントは、温度依存性およびストレス依存性に関して比較的有利な特性を有しており、これらは温度およびストレスにホールセンサより僅かしか依存していないが、物理的な効果に基づいて180゜の角度領域しか検出することができないという欠点を有している。このような角度領域は例えば内燃機関のカム軸の位置の捕捉の際ないし操舵角の測定方法では小さすぎる。
【0003】
ドイツ連邦共和国特許第19722016号明細書から、少なくとも2つのセンサエレメントを有するセンサ装置の磁気的に影響される特性を評価して、回転可能なエレメントによって生成されるまたは影響を受ける磁界強度が評価回路において検出されかつ回転位置を求めるために用いられるようになっている、回転可能なエレメントの無接触回転角度捕捉装置が公知であり、ここでは1つのセンサエレメントは磁気抵抗効果が利用されて動作しかつ他方のセンサエレメントはホール効果が利用されて動作し、かつ2つのセンサエレメントから送出される信号が相互に組み合わされる。磁気抵抗センサとホールセンサとの組み合わせは実際に非常に煩雑であることが認められている。
【0004】
本発明の課題は、できるだけ大きな角度領域、殊に0゜〜360゜が僅かなコストで一義的に捕捉検出できるようにした、回転角度捕捉装置ないし方法を提供することである。
【0005】
この課題は、請求項1の特徴部分に記載の構成を有する装置並びに請求項10の特徴部分に記載の構成を有する方法によって解決される。
【0006】
そこで本発明によれば、0゜および360゜の間の角度を一義的に求めるための磁気抵抗センサ装置を使用することが初めて可能である。この場合、従来技術のセンサ装置とは異なって、付加的なホールセンサは必要でない。これにより、回転角度捕捉装置を用意するためのコストは低減される。例えば内燃機関のカム軸の位置を捕捉する際に有利な用途が生じる。本発明は更に有利には、操舵角測定方法において使用可能である。というのは、従来の方法に比べて実現される、一義的な領域の360゜への拡張のために、システム全体の許容偏差限界値が大きくなるからである。
【0007】
本発明の有利な形態は従属請求項の対象である。
【0008】
有利な形態によれば、センサ装置は複数の磁気抵抗エレメントを有し、該エレメントは少なくとも2つのブリッジ回路、例えばホイートストーンブリッジに接続形成されており、該ブリッジの一方は、検出すべき第1の磁界Bextの、基準方向に関する角度のコサインに対応付けられている信号を送出し、かつ他方は、角度のサインに対応付けられている信号を送出する。この線形の独立した信号に基づいて、簡単な信号評価が実施可能である。
【0009】
磁気抵抗エレメントは有利には、長く延びた形状のAMR素子として実現されている。長く延びた形状のAMR素子は以下に簡単にAMR測定ストリップともいう。この形式の測定ストリップは比較的簡単および安価な手法で、適当に配向されて基板に被着させることができる。
【0010】
ブリッジ回路のブリッジ分岐に配属されている2つの磁気抵抗エレメントそれぞれを流れる電流の方向が相互に垂直に延在していることは好都合である。
【0011】
ブリッジ回路は有利には、殊に、45゜の角度だけ相互に回転されて配置されている。この配置によって、サインおよびコサイン信号は簡単に抽出可能である。
【0012】
補助磁界BHがブリッジ回路において異なった方向を有し、ここでこれらの方向は殊に45゜の角度を包含していることは好都合である。
【0013】
磁気抵抗エレメントは有利にはミアンダ形状に実現されている。この措置によって、比較的高いセンサ信号が得られ、これらは比較的簡単に評価可能である。
【0014】
補助磁界BHはプレーナコイルを用いて生成可能であり、該プレーナコイルは非導電性の中間層を介して磁気抵抗エレメントおよび金属化部とも称するその金属被膜に関して電気的に絶縁されて配置されていることが望ましい。この形式のコイルによって、布線コストは比較的僅かであり、更に補助磁界BHの絶対値および方向は所望通りに設定可能である。
【0015】
本発明の方法の有利な実施例によれば、相関は次式の領域関数F
【0016】
【数2】
【0017】
を用いて実施され、ここでαAMR180は補助磁界BHが印加されていないときに180゜の一義性領域を以て捕捉される角度信号であり、Sは設定可能な重要度しきい値であり、δUcosないしδUsinはセンサ装置の角度に依存している変化信号であり、かつf(α1,α2)はブリッジ回路ないしそれぞれのブリッジ回路の当該場所における補助磁界の、基準方向に関する角度配向の加算ないし減算関数である。これにより、計算によりあまり煩雑でない手法で実施することができる、360゜の角度領域にわたって一義的な回転角度を求めるため方法が使用可能になる。領域関数の形はそれぞれのブリッジ回路における補助磁界BHの方向に依存している。補助磁界BHの使用による角度領域0≦α≦180゜および180゜≦α≦360゜の区別は、補助磁界BHの任意の方向において可能であり、その際ブリッジ回路1の当該場所におけるBHの方向はブリッジ回路11の当該場所におけるBHの方向とは異なっていることが注目されるべきである。殊に、BHの方向が45゜だけ異なっていれば有利である。
【0018】
本発明の方法の特別有利な実施形態によれば、関数f(α1,α2)はα1+α2の形の関数である。補助磁界BHが、ブリッジ回路1の当該場所では方向α=90゜において印加され、かつブリッジ回路11の当該場所ではα=45゜の方向において印加される場合には、例えば次の領域関数が生じる:
【0019】
【数3】
【0020】
本発明の方法の別の特別有利な実施形態によれば、関数f(α1,α2)は|α1−α2|の形の関数である。補助磁界BHが、ブリッジ回路1の当該場所では方向α=90゜を有し、かつブリッジ回路11ではα=135゜の方向を有している場合には、例えば次の領域関数が生じる:
【0021】
【数4】
【0022】
次に本発明を有利な実施例に基づいて添付図面を参照して詳細に説明する。これらの図において
図1は、回転可能なエレメントの回転角度捕捉のための装置の有利な実施例の略図を示し、
図2は、検出すべき外部の磁界の方向に依存して補助磁界を印加した際に、回転角度を検出するための本発明の装置において発生するコサインおよびサインブリッジ信号電圧の変化を示し、
図3は、回転角度捕捉のための本発明の装置の有利な実施例の1つの可能なレイアウトの平面図を示す。
【0023】
回転角度捕捉のための本発明の装置の、図1に図示のセンサ装置は、2つのホイートストンブリッジ1,11を有している。磁気抵抗エレメントとしてそれぞれのホイートストーンブリッジ1,11は異方性磁気抵抗薄膜センサないしAMR測定ストリップ1/1ないし1/4ないし11/1ないし11/4を有している。
【0024】
例えばパーマロイのようなAMR材料の電気抵抗は、磁化方向ないし印加される磁界Bextの方向とAMR材料を流れる電流Iの方向との間の角度に依存している。AMR測定ストリップ内の電流方向が、図1において、それぞれの測定ストリップに配属されている線群によって略示されている(ホイートストーンブリッジのそれぞれのブリッジ分岐がそれぞれ、相互に垂直方向に延在している電流方向を有する2つのAMR測定ストリップを有していることがわかる)。電流方向がAMR測定ストリップの幾何学形状によって決められている一方、磁化の方向は検出すべき外部の磁界の方向に追従する。図1には、回転角度αに相応している、外部磁界Bextの方向が細長い矢印によって示されている。AMR測定ストリップの電気抵抗の角度依存性は180゜の周期性を有しており、その際抵抗は、磁化の方向が平行ないし逆平行であるとき最大であり、かつそれが電流方向に対して垂直であるとき最小である。それぞれ、接続されてホイートストーンブリッジ1,11を形成しているAMR測定ストリップ1/1ないし1/4ないし11/1ないし11/4は角度に依存している有効信号の抽出のために用いられる。ホイートストーンブリッジ1から得られる信号Ucosは180゜の周期性を有しておりかつコサイン形状の経過Ucos〜cos(2α)を示す。角度αは既述のように、検出すべき外部磁界の方向を指示する。第2のホイートストーンブリッジ11は第1のホイートストーンブリッジ1に関して45゜だけ回転されている。AMR測定ストリップは相応に配置されているので、ホイートストーンブリッジ11はサイン形状の出力信号Usin〜sin(2α)を送出する。(図示されていない)電子評価回路におけるアークタンジェント形成によって、測定すべき角度αが得られる。ブリッジ電圧の2α依存性に基づいて、180゜の周期性が設定されているので、絶対角度指示は領域0゜≦α≦180゜でしか可能でない。
【0025】
2つの角度領域0゜≦α≦180゜および180゜≦α≦360゜を区別するために、短時間、図1においてこのことは幅広の矢印によって示されているように、補助磁界BHが印加される。この磁界BHによって、AMR測定ストリップ1/1ないし1/4ないし11/1ないし11/4における磁化の方向が僅かに変化するので、ホイートストーンブリッジ1,11から導出される信号UcosないしUsinは相応の変化を受ける。補助磁界BHが印加されていない場合の測定に対して相対的なこの信号ないし電圧変化δUcosおよびδUsinは論理結合、いわゆる領域関数において評価される。後で詳細に説明することになっている領域関数は論理値「0」または「1」をとることができ、これにより測定された角度αが0゜ないし180゜の領域にあるかまたは180゜ないし360゜の領域にあるかを決定することができる。これにより、AMR角度センサ装置を用いて、0゜ないし360゜の領域全体にわたる絶対角度測定が実現可能である。
【0026】
ホイートストーンブリッジ11に印加される補助磁界の方向(角度α2)は、ホイートストーンブリッジ1に印加される補助磁界(角度α1)に対して45゜だけ異なった方向を有している。このことは例えば図1に示されている。ここでは補助磁界BHはホイートストーンブリッジ11に対して方向α2=45゜に配向されておりかつホイートストーンブリッジ1に対して方向α1=90゜に配向されている。補助磁界BHのこの配向によって、図2には、所属の信号変化δUcosおよびδUsinが示されている。電圧変化を確実に評価するために、重要度しきい値Sが定義される。重要度しきい値Sは例えば0.05*δUmax≦S≦0.35*δUmaxの大きな帯域幅内で選択することができる。図2では、重要度しきいS=0.33*δUmaxが選択されている。そこでαAMR180を、補助磁界なしに測定されかつ、180゜の周期性に基づいて、一義性領域0゜〜180゜に制限されている角度と表すとすれば、論理的な領域関数Fは次の通りである:
【0027】
【数5】
【0028】
ここで、F=FALSCH(false)ないし「0」は、外部磁界Bextの検出すべき磁界方向の角度αが領域0゜ないし180゜にあり、すなわちα=αAMR180であることを意味しており、かつ
F=WAHR(true)ないし「1」は、外部磁界Bextの検出すべき磁界方向の角度αが領域180゜ないし360゜にあり、すなわちα=αAMR180+180゜であることを意味している。
【0029】
次の表1に、領域関数の論理結合が詳細に示されている。信号変化δUcosの絶対値が重要度しきい値Sの下方にあるときだけ、信号変化δUsinが領域判定のために用いられることがわかる。この例は、図2に示されているように殊に、α=0゜、90゜、180゜、270゜および360゜の周りの角度領域に対してないしαAMR180=0゜、90゜および180゜に対して生じる。
【0030】
【表1】
【0031】
この場合論理的な領域関数Fは次の値をとる:
0゜≦α<180゜の場合0、および
180゜≦α<360゜の場合1。
【0032】
αAMR180に対して、論理状態:
0゜≦αAMR180≦135゜の場合u、および
135゜≦αAMR180≦180゜の場合o
が基準である。
【0033】
関数δUcosおよびδUsinの論理状態は次のように定義されている:
δU>+Sの場合+
|δU|<+Sの場合?、および
δU<−Sの場合−。
【0034】
図3には、本発明の360゜AMR角度センサの有利なレイアウトが示されており、これは薄膜技術を用いて製造可能である。個々のAMR測定ストリップないし抵抗はここでも参照番号1/1ないし1/4(COSブリッジ)および11/1ないし11/4(SINブリッジ)によって示されている。これらの抵抗の厚さは典型的には20nmないし50nmの領域にある。ストリップ幅は例えば10μmである。AMR抵抗1/1ないし1/4および11/1ないし11/4の、2つのホイートストーンブリッジへの接続形成ないし金属化は例えばアルミニウムまたは銅ストリップ10によって薄膜技術において実現されている。
【0035】
補助磁界BHは薄膜プレーナコイル2によって生成される。このコイルは、典型的には200nmないし500nmの厚さの非導電性の中間層によって電気的に絶縁されて、AMR抵抗1/1ないし1/4および11/1ないし11/4ないしこれらの金属化部の上に存在している。プレーナコイル2の形状は、補助磁界BHが図1に示されているようにホイートストーンブリッジ1(COSブリッジ)の領域において方向α=90゜において配向されており、かつホイートストーンブリッジ11(SINブリッジ)の領域において方向α=45゜において配向されておりかつAMR測定ストリップの領域において層平面に対して平行に延在しているように、選択されている。殊に、プレーナコイル2の巻回はAMR抵抗のストリップないしミアンダ方向に対して平行ないし垂直に延在している。プレーナコイル2の巻回の幅は典型的には、AMR抵抗の幅に合わせて定められている。図示の例において、それは12μmである。プレーナコイル2の巻回の層厚は典型的には、領域500nmないし1000nmにある。図示の例において、ホイートストーンブリッジ1,11は並列に接続されている。全体のセンサエレメントは2つのコイル接続端子を含めて8つの接続パッド、すなわちUcos−,Ucos+,Usin−,Usin+,Vcc,Vs−,Vs+およびGNDを有している。適当なケーシング、殊にSOIC8ケーシングでのパッケージは簡単な手法で可能である。
【0036】
プレーナコイル2による補助磁界BHの生成は、図3に示されているAMR抵抗の配置およびミアンダ化された形状には制限されていない。AMR抵抗の実現もしくは配置により、ホイートストーンブリッジ1,11の抵抗における電流方向が図1に示されている方向において延在していることが保証されていればよいだけである。すなわち、プレーナコイル2による補助磁界BHの生成は、例えばヨーロッパ特許出願第0671605号公報に記載されているスター形状の相互にかみ合わされている形式の接続のような択一的な配置においても可能である。同様に、例えばミアンダ化されたAMR抵抗ないし抵抗ストリップに代わって、例えばWO9700426A1およびドイツ連邦共和国特許第4327458号明細書に記載されているような、任意の方形、正方形、円形または楕円形のAMR薄膜ストラクチャの直列接続も可能である。
【0037】
(詳しく図示されていない)評価回路には領域関数を実現するために必要である量が供給される。補助磁界BHが印加されていない場合の、すなわちプレーナコイル2に電流が流れていない状態において角度αAMR180の算出は例えば、マイクロプロセッサ回路を介して公知の方法により式α=0.5*arctan(Usin/Ucos)によるアークタンジェントの計算によりまたは別の適当な計算方法を介して行われる。別のデジタル回路網を用いて、信号電圧Usin,Ucosおよび角度αAMR180が記憶される。引き続いて、印加される補助磁界BH、すなわち電流が流れているプレーナコイル2を用いた新たな測定が実施される。別の論理回路網を介して上に述べた領域関数Fの実現が行われる。この関数は重要度しきい値Sを使用して電圧変化δUcosおよびδUsinの極性を評価しかつ出力すべき測定角度がαAMR180に等しいのかまたはαAMR180+180゜に等しいのかを決定する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 回転可能なエレメントの回転角度捕捉のための装置の有利な実施例の略図である。
【図2】 検出すべき外部の磁界の方向に依存して補助磁界を印加した際に、回転角度を検出するための本発明の装置において生成するコサインおよびサインブリッジ信号電圧の変化を示す線図である。
【図3】 回転角度捕捉のための本発明の装置の有利な実施例の可能なレイアウトの平面図である。
Claims (15)
- 回転可能なエレメントの回転角度捕捉装置であって、
センサ装置の磁気的に影響される特性が評価されて、回転可能なエレメントによって生成されるまたは影響される第1の磁界Bextが評価回路において検出されかつ回転角度を求めるために用いられ、ここでセンサ装置は磁気抵抗効果を利用して、180゜である第1の角度領域にわたって、前記第1の磁界Bextの方向に一義的に対応している信号を送出する形式のものにおいて、
センサ装置に補助磁界BHを選択的に印加するための手段(2)が設けられており、該補助磁界を用いて、前記第1の磁界Bextの方向に対応している信号を変形して、360゜である第2の角度領域にわたる角度を一義的に求めることができるようにした
ことを特徴とする装置。 - センサ装置は複数の磁気抵抗エレメント(1/1〜1/4;11/1〜11/4)を有し、該エレメントは相互接続されて少なくとも2つのブリッジ回路を形成しており、該ブリッジの一方は、第1の磁界Bextの、基準方向に関する角度のコサインに対応している信号を送出し、かつ他方は、角度のサインに対応している信号を送出する
請求項1記載の装置。 - ブリッジ回路はホイートストーンブリッジ(1,11)である
請求項2記載の装置。 - 磁気抵抗エレメントは長く延びた形状のAMR素子(1/1〜1/4;11/1〜11/4)である
請求項3記載の装置。 - ブリッジ回路(1;11)のブリッジ分岐に配属されている2つの磁気抵抗エレメントそれぞれを流れる電流の方向は相互に垂直に延在している
請求項1から4までのいずれか1項記載の装置。 - ブリッジ回路(1;11)は45゜の角度だけ相互に回転されて配置されている
請求項1から5までのいずれか1項記載の装置。 - 補助磁界BHはそれぞれのブリッジ回路(1;11)において異なった方向を有し、ここで異なっている方向は相互に45゜の角度を成している
請求項1から6までのいずれか1項記載の装置。 - 磁気抵抗エレメント(1/1〜1/4;11/1〜11/4)はミアンダ形状に実現されている
請求項1記載の装置。 - 補助磁界BHはプレーナコイル(2)を用いて生成可能であり、該プレーナコイルは非導電性の中間層を介して磁気抵抗エレメント(1/1〜1/4;11/1〜11/4)およびその金属被膜に関して電気的に絶縁されて配置されている
請求項1から8までのいずれか1項記載の装置。 - 回転可能なエレメントの回転角度捕捉方法であって、
センサ装置の磁気的な特性が評価されて、回転可能なエレメントによって引き起こされるまたは影響される第1の磁界Bextを評価回路において検出しかつ回転角度を求めるために用いる形式の方法において、
a)第1の磁界Bextが印加されているときにセンサ装置によって捕捉される信号を求め、
b)センサ装置に付加的な補助磁界BHを一時的に印加し、
c)センサ装置によって捕捉された信号の、補助磁界BHが印加されていないときに捕捉される信号に関する変化を求めて、回転角度に依存した変化信号が得られるようにし、かつ
d)該変化信号と、補助磁界BHが印加されていないときに捕捉される信号とを相関して、360゜までの回転角度が一義的に求められるようにする
ことを特徴とする方法。 - センサ装置は2つの、45゜だけ相互に回転されているブリッジ回路を有している
請求項10記載の方法。 - ブリッジ回路はホイートストーンブリッジである
請求項11記載の方法。 - f(α1,α2)はα1+α2の形の関数である
請求項13記載の方法。 - f(α1,α2)は|α1−α2|の形の関数である
請求項13記載の方法。
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