JP6619974B2 - エンコーダ - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 41
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/16—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying resistance
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/0017—Means for compensating offset magnetic fields or the magnetic flux to be measured; Means for generating calibration magnetic fields
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02K11/00—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
- H02K11/20—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection for measuring, monitoring, testing, protecting or switching
- H02K11/21—Devices for sensing speed or position, or actuated thereby
- H02K11/215—Magnetic effect devices, e.g. Hall-effect or magneto-resistive elements
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Description
また、本発明のエンコーダは、基板上に形成された磁気抵抗素子と、前記磁気抵抗素子のオフセット電圧を検出するオフセット電圧検出部と、前記磁気抵抗素子の温度を検出する温度検出部と、前記オフセット電圧と前記磁気抵抗素子の温度とを関連づけて記録する記憶部と、前記記憶部に記録されている前記オフセット電圧と前記磁気抵抗素子の温度とのデータから、前記オフセット電圧と前記磁気抵抗素子の温度との関係を示す近似式を算出し、起動時において、前記磁気抵抗素子の温度から前記近似式をもとにして現在のオフセット電圧を推定し、推定した前記オフセット電圧を新たなオフセット電圧とするオフセット電圧決定部と、を有し、前記温度検出部は、前記磁気抵抗素子の温度を、外部の制御装置との通信周期毎に1回検出し、前記オフセット電圧決定部は前記通信周期の中で前記近似式を算出する。すなわち、角度応答開始から次の制御装置からのリクエストまでの間に、温度演算処理が実行される。このように、通信周期毎に温度検出を行うことで、割り込み処理などで非定期的に行うよりも、処理を簡潔にすることができる。すなわち、処理時間を十分に確保できるため、確実に温度演算処理を終了させることができる。
また、起動時に素子を加熱する等して恒温制御を行う必要がなく、一定温度になるまでの時間が無くとも適したオフセット値を取得できる。すなわち、起動直後から精度の高い出力を実現できる。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る磁気センサ装置10およびロータリエンコーダ1における原理を示す説明図である。図1(a)は、感磁素子4等に対する信号処理系を説明する図である。図1(b)は、感磁素子4から出力される信号を説明する図である。図1(c)は、信号と回転体2の角度位置(電気角)との関係を示す図である。図2は、磁気センサ装置10およびロータリエンコーダ1に用いた感磁素子4の感磁膜41〜44(磁気抵抗膜)の電気的な接続構造を説明する図である。図2(a)は、+A相の感磁膜43および−A相の感磁膜41が構成するブリッジ回路4aの図を示している。図2(b)は、+B相の感磁膜44および−B相の感磁膜42が構成するブリッジ回路4bの図を示している。
R=R0−k×sin2θ
R0:無磁界中での抵抗値
k:抵抗値変化量(飽和感度領域以上のときは定数)
このような原理に基づいて回転磁界を検出すれば、角度θが変化すると抵抗値Rが正弦波に沿って変化するので、波形品質の高いA相出力およびB相出力を得ることができる。
本実施の形態では、感磁素子(MR素子)に流れる電流をもとに感磁素子自体の温度を直接検出し、その温度のオフセット電圧を算出する。なお、感磁素子(MR素子)の温度計測技術以外の構成は第1の実施の形態と同様の構成・機能で実現できるため、本実施の形態に特徴的な技術について説明し、同様の構成・機能については同一符号を付して説明を適宜省略する。
RMR=R0MR+α(t−t0)
α:感磁素子4の抵抗温度係数
R0MR:所定の温度t0での感磁素子4の抵抗値
2 回転体
4 感磁素子
4a、4b ブリッジ回路
10 磁気センサ装置
20 マグネット
21 着磁面
31、32、35、36 増幅回路
40 基板
41、42、43、44 感磁膜
45 感磁領域(感磁部)
47 温度監視用抵抗膜(温度検出部)
61 第1ホール素子
62 第2ホール素子
90 制御部
91 ADC部
92 信号処理部
93 温度算出部(温度検出部)
94 オフセット調整部
95 メモリ
150 電流検出回路(温度検出部)
151 電流検出用抵抗
152 電流検出用アンプ
Claims (6)
- 基板上に形成された磁気抵抗素子と、
前記磁気抵抗素子のオフセット電圧を検出するオフセット電圧検出部と、
前記磁気抵抗素子の温度を検出する温度検出部と、
前記オフセット電圧と前記磁気抵抗素子の温度とを関連づけて記録する記憶部と、
前記記憶部に記録されている前記オフセット電圧と前記磁気抵抗素子の温度とのデータから、前記オフセット電圧と前記磁気抵抗素子の温度との関係を示す近似式を算出し、起動時において、前記磁気抵抗素子の温度から前記近似式をもとにして現在のオフセット電圧を推定し、推定した前記オフセット電圧を新たなオフセット電圧とするオフセット電圧決定部と、
を有し、
前記オフセット電圧決定部は、計測されたオフセット電圧と前記磁気抵抗素子の温度との関係が、前記近似式から所定量以上離間した場合に、新たなデータをもとに新たな近似式を算出することを特徴とするエンコーダ。 - 基板上に形成された磁気抵抗素子と、
前記磁気抵抗素子のオフセット電圧を検出するオフセット電圧検出部と、
前記磁気抵抗素子の温度を検出する温度検出部と、
前記オフセット電圧と前記磁気抵抗素子の温度とを関連づけて記録する記憶部と、
前記記憶部に記録されている前記オフセット電圧と前記磁気抵抗素子の温度とのデータから、前記オフセット電圧と前記磁気抵抗素子の温度との関係を示す近似式を算出し、起動時において、前記磁気抵抗素子の温度から前記近似式をもとにして現在のオフセット電圧を推定し、推定した前記オフセット電圧を新たなオフセット電圧とするオフセット電圧決定部と、
を有し、
前記温度検出部は、前記磁気抵抗素子の温度を、外部の制御装置との通信周期毎に1回検出し、
前記オフセット電圧決定部は前記通信周期の中で前記近似式を算出することを特徴とするエンコーダ。 - 前記温度検出部は、前記磁気抵抗素子が形成されている同一の前記基板上に備わることを特徴とする請求項1又は2に記載のエンコーダ。
- 前記記憶部に、前記オフセット電圧と前記磁気抵抗素子の温度とが関連づけて記録される際に、温度範囲は所定範囲毎に分割され、前記温度範囲内で検出したオフセット電圧が平均されることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 前記温度検出部は、前記磁気抵抗素子の抵抗値を算出し、算出した抵抗値より現在の温度を検出することを特徴とする請求項1から4までのいずれかに記載のエンコーダ。
- 前記温度検出部は、前記磁気抵抗素子が形成されている前記基板上に形成された温度監視用抵抗膜を備えることを特徴とする請求項1から5までのいずれかに記載のエンコーダ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015168606A JP6619974B2 (ja) | 2015-08-28 | 2015-08-28 | エンコーダ |
TW105125017A TWI688751B (zh) | 2015-08-28 | 2016-08-05 | 編碼器 |
CN201610719370.XA CN106482754B (zh) | 2015-08-28 | 2016-08-24 | 编码器 |
KR1020160107761A KR102677085B1 (ko) | 2015-08-28 | 2016-08-24 | 인코더 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015168606A JP6619974B2 (ja) | 2015-08-28 | 2015-08-28 | エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017044625A JP2017044625A (ja) | 2017-03-02 |
JP6619974B2 true JP6619974B2 (ja) | 2019-12-11 |
Family
ID=58211914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015168606A Active JP6619974B2 (ja) | 2015-08-28 | 2015-08-28 | エンコーダ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6619974B2 (ja) |
KR (1) | KR102677085B1 (ja) |
CN (1) | CN106482754B (ja) |
TW (1) | TWI688751B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102103162B1 (ko) * | 2018-12-13 | 2020-04-22 | 현대 파워텍 주식회사 | 스피드 센서 |
CN109579880B (zh) * | 2018-12-26 | 2021-04-20 | 上海英威腾工业技术有限公司 | 带有自适应补偿功能的磁编码器 |
CN115824032A (zh) * | 2022-12-02 | 2023-03-21 | 赛卓电子科技(上海)股份有限公司 | 磁编码器的校正方法、装置及磁编码器 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0738174A (ja) * | 1993-07-23 | 1995-02-07 | Hamamatsu Koden Kk | 磁気検出素子内蔵ハイブリッドic |
RU2303791C2 (ru) * | 2002-11-29 | 2007-07-27 | Ямаха Корпорейшн | Магнитный датчик и способ компенсации зависящей от температуры характеристики магнитного датчика |
JP2006047004A (ja) | 2004-08-02 | 2006-02-16 | Denso Corp | 温度センサおよび磁気抵抗素子を用いたセンサ |
US7173414B2 (en) * | 2004-10-18 | 2007-02-06 | Honeywell International Inc. | Position detection apparatus and method for linear and rotary sensing applications |
JP4706413B2 (ja) | 2005-09-22 | 2011-06-22 | 株式会社安川電機 | 磁気式エンコーダ装置、その回転角度算出方法および位置検出方法 |
JP2008008883A (ja) * | 2006-06-02 | 2008-01-17 | Denso Corp | 磁気センサ及びセンサ |
JP4919176B2 (ja) | 2009-03-23 | 2012-04-18 | 日立金属株式会社 | 磁気センサ組立体および磁気エンコーダ |
DE102009042473B4 (de) * | 2009-09-24 | 2019-01-24 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren zur Auswertung von Signalen eines Winkelsensors |
JP6151544B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2017-06-21 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置およびロータリエンコーダ |
CN104655003B (zh) * | 2013-11-19 | 2017-03-15 | 吴凯 | 耐高温磁阻转角位置传感器驱动器及传感器系统 |
CN104677266B (zh) * | 2015-01-20 | 2017-11-10 | 江苏多维科技有限公司 | 强磁场误差校准的磁电阻角度传感器及其校准方法 |
-
2015
- 2015-08-28 JP JP2015168606A patent/JP6619974B2/ja active Active
-
2016
- 2016-08-05 TW TW105125017A patent/TWI688751B/zh active
- 2016-08-24 KR KR1020160107761A patent/KR102677085B1/ko active IP Right Grant
- 2016-08-24 CN CN201610719370.XA patent/CN106482754B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102677085B1 (ko) | 2024-06-21 |
KR20170026209A (ko) | 2017-03-08 |
JP2017044625A (ja) | 2017-03-02 |
CN106482754B (zh) | 2019-03-12 |
CN106482754A (zh) | 2017-03-08 |
TW201708794A (zh) | 2017-03-01 |
TWI688751B (zh) | 2020-03-21 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180712 |
|
A977 | Report on retrieval |
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