JP4406439B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、ソース・ドレイン部の寄生抵抗を安定的に低減できる半導体装置の製造方法を提供する。
図1は、本発明の実施の形態にかかる半導体装置を表す概念図である。すなわち、図1(a)はその要部の模式平面図、図1(b)及び(c)は、それぞれ図1(a)のA−A線断面図、B−B線断面図である。
そして、図5に表したように、窒化シリコン層12をパターニングし、ソース・ドレイン部6b(図1参照)に対応する部分のみを開口する。
本比較例においては、SOI層6をエッチングすることにより、リセスしたソース・ドレイン部6bを形成する。すなわち、図4に関して前述したように、窒化シリコン層12を堆積し、RIEなどの異方性エッチングを用いて垂直方向にエッチング加工する。すると、チャネル部6aの上部でゲート側壁12が形成されるとともに、ソース・ドレイン部6bにおいてSOI層をエッチングすることにより、図10に表したように、リセスしたソート・ドレイン部6bを形成することが可能である。
本実施形態の半導体装置は、図12に表したように、絶縁層4に開口4aが設けられているので、矢印Lで表したように、開口4aを介してソース・ドレイン間でリークが生ずるおそれもある。しかし、例えば、絶縁層4の厚みTを概ね0.5〜1.0マイクロメータ以上とすれば、矢印Lで表した電流パスのコンダクタンスは十分に小さく、電流リークは無視できる。
本変型例においては、不純物偏析を利用した金属−半導体接合型のソース・ドレインを有する電界効果トランジスタ(偏析ショットキー・トランジスタ)が形成されている。すなわち、ソース・ドレイン部6bは、ハロー領域18の上にシリサイド領域17が形成された構造を有する。この構造は、図9(b)に関して前述したエクステンション領域の形成の際のイオン注入の加速電圧と、シリサイドを形成するためのニッケルなどの堆積膜厚と、を調整することにより形成できる。
本変型例においては、ソース・ドレイン部6bのn+型の拡散領域16の下に、p+型のストッパ領域20が設けられている。このようなストッパ領域20は、例えば、図7に関して前述したように開口4aを形成した後に、開口4aを介してp型の不純物を支持基板2に導入することにより形成できる。
本変型例においては、ソース・ドレイン部6bにおいてシリサイド領域17が絶縁層4の開口4aの中にまで侵入して形成されている。このようにすれば、寄生抵抗をさらに低減することが可能となる。そして、このような場合にも、n+型の拡散領域16の下に、p+型のストッパ領域20を設けることにより、支持基板2に向けて空乏層が伸びることを阻止する。つまり、ストッパ領域20は、支持基板2がパンチスルーすることによる電流リークを防止する。このようなストッパ領域20を設ければ、絶縁層4の厚みTを薄くしても開口4aを介した電流リークを防止できる。
図16及び図17は、本変型例の半導体装置の製造方法を例示する工程断面図である。
すなわち、図16に表したように、絶縁層4に開口4aを設け、支持基板2を露出させる。この工程は、図7に関して前述したものと同様である。具体的には、例えば、100ナノメータの厚みに堆積した窒化シリコン層をソース・ドレイン部以外を全てマスクするようにパターニングする。そして、支持基板2が露出するまで絶縁層4をエッチングする。この際に、絶縁層4を形成する酸化シリコンと、支持基板2を形成するシリコンと、のエッチング選択比の高いRIEを用いることにより、絶縁層4と支持基板2がそれぞれエッチング・ストップ層となり、正確なエッチングが可能となる。
また、本実施形態は、複数のフィンを有するマルチフィン型のトランジスタに限定されるものではない。すなわち、ひとつのフィンのみを有するフィン型トランジスタの場合にも、本発明を適用することにより、ソース・ドレイン部6bをリセスした構造を安定的に形成することができる。その結果として、寄生抵抗を低減したフィン型トランジスタを得ることができる。
4 絶縁層
4a 開口
6 半導体フィン(SOI層)
6a チャネル部
6b ソース・ドレイン部
6c 埋め込み領域
8 チャネル保護膜
9 ゲート絶縁膜
10 ゲート電極
12 ゲート側壁(窒化シリコン層)
14 不純物領域
15 チャネル領域
16 拡散領域
17 シリサイド領域
18 ハロー領域
20 ストッパ領域
Claims (8)
- 半導体からなる支持基板と、前記支持基板の上に設けられた絶縁層と、前記絶縁層の上に設けられた第1の半導体層と、を有する積層体の前記第1の半導体層及び絶縁層を選択的に除去して、前記絶縁層の上に立設された前記第1の半導体層からなるチャネル部を形成するとともに、前記チャネル部の両側において前記支持基板を露出させる工程と、
前記露出させた前記支持基板の上に第2の半導体層を成長させ、隣接する前記チャネル部と接続させ前記チャネル部の高さよりも低い状態で前記成長を停止させてソース・ドレイン部を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ソース・ドレイン部を形成する工程において、前記支持基板の上における前記第2の半導体層の成長速度が、前記チャネル部の側面における半導体層の成長速度よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体からなる支持基板と、前記支持基板の上に設けられた絶縁層と、前記絶縁層の上に設けられた半導体層と、を有する積層体の前記半導体層及び絶縁層を選択的に除去して、前記絶縁層の上に設けられた前記半導体層からなるチャネル部を形成するとともに、前記チャネル部の両側において前記支持基板を露出させる工程と、
前記露出させた支持基板の上に金属膜を堆積する工程と、
前記金属膜と前記支持基板とを合金化させてシリサイドを成長させ、隣接する前記チャネル部と接続させ前記チャネル部の高さよりも低い状態で前記成長を停止させてソース・ドレイン部を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ソース・ドレイン部は、シリサイドを含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記支持基板は、第2導電型であり、
前記ソース・ドレイン部は、第1導電型であり、
前記支持基板は、前記ソース・ドレイン部との間に、相対的に高濃度の第2導電型領域を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ソース・ドレイン部を形成する工程の前に、前記チャネル部の側面にゲート絶縁膜を形成し前記ゲート絶縁膜の上にゲート電極を形成する工程を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 複数の前記チャネル部を併設させ、
前記複数の前記チャネル部のそれぞれの側面に前記ゲート絶縁膜を形成し、
前記複数の前記チャネル部のそれぞれの前記側面に形成した前記ゲート絶縁膜の上に共通の前記ゲート電極を形成することを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。 - 前記支持基板の主面は、(100)面であり、
前記ソース・ドレイン部に対向する前記チャネル部の側面は、(110)面であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
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